JPH03237739A - ウェーハ枚数計数装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ウェーハ枚数計数装置特に半導体製造装置で
ある縦型拡散ＣＶＤ装置に於けるウェーハ枚数計数装置
に関するものである。

［従来の技術］ 半導体製造装置の１つに縦型ＣＶＤ装置がある。これは
、実願昭６３−１７２３７号にも見られる様に、カセッ
トに装填されたウェーハを移載機によってボートに移載
し、該ボートを炉内の反応室へ装入して、加熱反応させ
るものである。

従来、前記移載機によりウェーハを把持する場合、ツイ
ーザが使用されており、このツイーザによりカセット内
のウェーハを吸着して取出し、更に移載機の駆動８１梢
によって、ボートに隙間なく並べて装填する。ところで
、ボートに隙間なく移載するには、カセット内にウェー
ハが全部装填されているか、或は歯抜けなく前詰めされ
ていなければならず、更にカセットに未挿入部分がある
場合は、予めオペレータが何枚入っているかを数えて、
制御装置にその枚数を入力しておく必要がある。移載機
の制御装置は、これらの情報に基づいて、前記駆動機構
を作動させていた。

［発明が解決しようとする課題］ ところが、上記した従来のものでは、カセット内にウェ
ーハが全部、或は所要枚数のウェーハが前詰されて装填
されていることが前提となっており、カセットへの誤挿
入により素抜があった場合には移載機が正しく動作しな
い。

更に、オペレータがウェーハの枚数を数えることは手間
がかかる作業であると共に数を誤ることも考えられる。

数を誤った場合には、ボートでウェーハが２枚重つたり
、間があいたりしてやはり移載の正しい機能が果せない
という問題がある。

本発明は上記実情に鑑み、ウェーハの検出、ウェーハの
枚数を計数し得るウェーハ計数装置を提供し、オペレー
タの誤作業による不具合を解消し、カセット内へのウェ
ーハの装填状態に左右されることなく正しくウェーハ移
載動作が行われる様にしようとするものである。

［課題を解決する為の手Ｐｉ］ 本発明は、ウェーハが装填させるカセットを収納するカ
セット棚と、該カセット棚に対応して設けられ、カセッ
トを昇降可能に支持し該カセットをカセット棚に装入す
るカセットロータと、前記カセット棚のカセットロータ
対内面に設けられた反射式ウェーハセンサと、前記カセ
ットロータを駆動し該カセットロータに支持されたカセ
ットの位置と前記ウェーハセンサのつ工−ハ検知結果と
でカセット内のウェーハの装填状態を検知する制御装置
を具備したことを特徴とするものである。

［作　　用］ ウェーハを装填したカセットをカセットロータに支持さ
せ、該カセットロータでカセットをウェーハセンサに対
し、上昇又は下降させる。

ウェーハセンサはカセット上昇動時、下降動時にウェー
ハが通過することでウェーハの有無を検知し、各ウェー
ハの有無を検知した時のカセットの位置を求め、ウェー
ハの枚数を計数し、更にカセットへのウェーハ装填状態
を検知する。

［実　施　例〕 以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を説明する。

図中、１はカセットロータ、２はカセット棚、３はウェ
ーハ移載機、４はボート、５は制御装置を示す。

カセットロータ１のカセット受台６は昇降スクリューロ
ッド７に螺合し、昇降用モータ８による昇降スクリュー
ロッド７の回転で昇降する様になっている。

カセット棚２はカセットロータ１とウェーハ移載ｌ１３
との間に位置し、ウェーハ９が装填されたカセット１０
を多段に収納可能となっている。

又、ウェーハ移載機３はツイーザ１１が設けられた昇降
ブロック１２を有し、該昇降プロ・ｙり１２は上下用モ
ータ１３で駆動されるスクリューシャフト１４に螺合し
ている。尚、ウェーハ移載機３の旋回機構等については
省略しである。

制御装置５は主に、主制御部１５、モータ制御器１６．
１７、モータ駆動部１８．１９、ウェーハ計数部２０、
操作部２１から構成され、昇降用モータ８、上下用モー
タ１３を駆動制御すると共に後述するウェーハセンサ２
２からの信号を基にウェーハ９の計数を行う様になって
いる。

ウェーハセンサ２２は、前記カセット棚２のカセットロ
ータ１に対向する位置に且前記カセット１０が昇降した
際に、該カセット１０がウェーハセンサ２２を完全に通
過し得る位置に設けられている。

先ず、ウェーハ９の移載動作について略述する。

予めウェーハ９が装填されたカセット１０を前記カセッ
ト受台６に装着する。制御装置５．により、昇降用モー
タ８を駆動し、カセット受台６を上昇又は下降させ、カ
セット１０の上下全長に亘って前記ウェーハセンサ２２
を通過させウェーハ９の計数を行う。

ウェーハ９の計数が完了すると、カセットロータ１を動
作させ、カセット１０を前記カセット棚２の予定された
位置に装入する。

上記作動を繰返えし、予定数のカセット１０をカセット
棚２に装入する。

次に、制御装置５により前記ウェーハ移載機３を駆動し
、ツイーザ１１の上昇、旋回を行って、ツイーザ１１に
よるウェーハ９のチャック、ボート４への移載を行う。

以下、ウェーハ９の計数について説明する。

前記したウェーハセンサ２２は反射式超音波センサであ
り、第２図に示される様に圧電素子超音波発信部２３と
圧電素子超音波受信部２４及びパルス送信回路２５、パ
ルス受信回路２６から成り、前記ウェーハ計数部２０に
よりパルス送信回路２５を介して超音波発信部２３が駆
動され、ウェーハ９の周端面に向けて超音波が発せられ
、該周端面で反射された超音波は前記超音波受信部２４
で受信され、更にパルス受信回路２６で電気信号に変換
されて前記ウェーハ計数部２０へ入力される様になって
いる。該ウェーハ計数部２０では反射波の受信部の時間
、反射波の位相を調べることでウェーハの有無を判別し
、更にモータ制御器１６からの信号を基にカセット１０
内でのウェーハ９の位置を演算する。

而して、ウェーハ９の有無信号、演算したウェーハ９の
位置とで、カセット１０へ装填されたウェーハの枚数、
装填状態（歯抜けがあるか否か等の状態）を検知するこ
とができる。

カセット１０へ装填されたウェーハ９の枚数、装填状態
は主制御部１５へ入力され、主制御部１５は入力された
ウェーハ装填状態を基にして前記ウェーハ移８１１１３
を駆動し、効率よく且ボート４へ歯抜は状態が生じない
様に、更に所望の配列となる櫟にウェーハ９を移載する
。

尚、前記操作部２１は、作業者によって作動に必要な情
報が入力されると共に前記したウェーハの計数結果を表
示する。

尚、上記実施例ではウェーハセンサとして反射式超音波
センサを用いたが、反射式光センサを用いてもよいこと
言う迄もない。

［発明の効果］ 以上述べた如く本発明によれば、下記の優れた効果を発
揮する。

（ｉ）　　作業者がウェーハの数を数える必要がなく、
作業者の作業を軽減できると共に誤作業を防止できる。

（１１）ウェーハの未装填部分があるカセットも取扱え
る。

（ｉ）　　カセット内のウェーハの歯抜け、枚数がカセ
ット装着時に早期検出でき、警報、追加処理等対応が容
易となり、ウェーハ処理の迅速、処理精度の向上を図る
ことができる。

〜）ウェーハセンサは固定部に設けられるので、信頼性
と寿命が向上する。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の構成の概略を示すブロック図、第２図
はウェーハセンサの１例を示すブロック図である。 １はカセットロータ、２はカセット棚、５は制御装置、
９はウェーハ、１０はカセット、２２はウェーハセンサ
を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）ウェーハが装填されるカセットを収納するカセット
   棚と、該カセット棚に対応して設けられ、カセットを昇
   降可能に支持し該カセットをカセット棚に装入するカセ
   ットロータと、前記カセット棚のカセットロータ対向面
   に設けられた反射式ウェーハセンサと、前記カセットロ
   ータを駆動し該カセットロータに支持されたカセットの
   位置と前記ウェーハセンサのウェーハ検知結果とでカセ
   ット内のウェーハの装填状態を検知する制御装置を具備
   したことを特徴とするウェーハ枚数計数装置。