JPH11330204A - ウエハ平行度測定器 - Google Patents
ウエハ平行度測定器Info
- Publication number
- JPH11330204A JPH11330204A JP13855298A JP13855298A JPH11330204A JP H11330204 A JPH11330204 A JP H11330204A JP 13855298 A JP13855298 A JP 13855298A JP 13855298 A JP13855298 A JP 13855298A JP H11330204 A JPH11330204 A JP H11330204A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- parallelism
- cassette
- measurement
- cassette table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウエハ搬送ロボットのアーム先端に保持され
たウエハの、カセットテーブルに対する平行度を短時間
で正確に測定し、平行度の調整を簡易化する。 【解決手段】 ウエハ平行度測定器の位置決め及び固定
手段をカセットステージ１７の溝にはめ込み固定し、基
準定板１に測定用のウエハ２１を裏面側を上向きにして
載置する。各センサ２ａ〜２ｄからの発振がウエハ２１
に当たっていることを確認後、トグルスイッチ５をチェ
ック側から測定側に倒し、一括０補正を行う。次に、測
定用のウエハ２１を裏面側を上向きにブレード１５に載
置し、ウエハ平行度測定器内に進入させ、上記センサ２
ａ〜２ｄによりウエハ２１までの距離を測定する。測定
結果が表示された表示部３を見ながら、カセットテーブ
ル１７に３箇所設けられた平行度調整ネジ１９をドライ
バー２２で調整し、各センサの測定値の誤差がプラスマ
イナス０. ０５ｍｍ以内になるまで調整を行う。
たウエハの、カセットテーブルに対する平行度を短時間
で正確に測定し、平行度の調整を簡易化する。 【解決手段】 ウエハ平行度測定器の位置決め及び固定
手段をカセットステージ１７の溝にはめ込み固定し、基
準定板１に測定用のウエハ２１を裏面側を上向きにして
載置する。各センサ２ａ〜２ｄからの発振がウエハ２１
に当たっていることを確認後、トグルスイッチ５をチェ
ック側から測定側に倒し、一括０補正を行う。次に、測
定用のウエハ２１を裏面側を上向きにブレード１５に載
置し、ウエハ平行度測定器内に進入させ、上記センサ２
ａ〜２ｄによりウエハ２１までの距離を測定する。測定
結果が表示された表示部３を見ながら、カセットテーブ
ル１７に３箇所設けられた平行度調整ネジ１９をドライ
バー２２で調整し、各センサの測定値の誤差がプラスマ
イナス０. ０５ｍｍ以内になるまで調整を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、搬送ロボットのア
ーム先端に保持されたウエハの平行度、特にウエハを収
納するカセットが載置されたカセットステージに対する
平行度を測定するためのウエハ平行度測定器に関するも
のである。
ーム先端に保持されたウエハの平行度、特にウエハを収
納するカセットが載置されたカセットステージに対する
平行度を測定するためのウエハ平行度測定器に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】図５は、ウエハ搬送ロボットを備えた、
例えばウエハ表面に酸化膜を形成する半導体製造装置の
構成を示す平面図及び側面図である。図において、１１
はウエハ２１表面に処理を施す処理部、１２はウエハ搬
送ロボット、１３はウエハ搬送ロボット１２の駆動部で
あるモータであり、先端にウエハ２１の保持部であるブ
レード１５を有するアーム１４は、前後方向の伸縮及び
水平旋回が可能となっている。また、１６はウエハ２１
を収納するカセット２０が載置されるカセットテーブル
１７を備えたローダ／アンローダ部であり、カセットテ
ーブル１７は、駆動部であるモータ１８により上下方向
に移動可能である。なお、カセット２０は、その底面を
カセットテーブル１７に設けられた溝にはめ込むことに
より、カセットテーブル１７に位置決め、固定されてい
る。
例えばウエハ表面に酸化膜を形成する半導体製造装置の
構成を示す平面図及び側面図である。図において、１１
はウエハ２１表面に処理を施す処理部、１２はウエハ搬
送ロボット、１３はウエハ搬送ロボット１２の駆動部で
あるモータであり、先端にウエハ２１の保持部であるブ
レード１５を有するアーム１４は、前後方向の伸縮及び
水平旋回が可能となっている。また、１６はウエハ２１
を収納するカセット２０が載置されるカセットテーブル
１７を備えたローダ／アンローダ部であり、カセットテ
ーブル１７は、駆動部であるモータ１８により上下方向
に移動可能である。なお、カセット２０は、その底面を
カセットテーブル１７に設けられた溝にはめ込むことに
より、カセットテーブル１７に位置決め、固定されてい
る。
【０００３】次に、ウエハ搬送ロボット１２の動作を説
明する。ウエハ搬送ロボット１２のアーム１４先端に設
けられたブレード１５は、まず、ローダ／アンローダ部
１６に設置された、処理前のウエハ２１が収納されたカ
セット２０の例えば最下段のウエハ２１の裏面側に進入
し、このウエハ２１を保持後、アーム１４が収縮、水平
旋回し、処理部１１前にて停止する。続いてアーム１４
の伸延により処理部１１内に上記ウエハ２１を載置し、
所定の処理を行う。さらに、同様の動作により、処理後
のウエハ２１を処理部１１から取り出し、ローダ／アン
ローダ部１６内に設置されたカセット２１の所定の位置
に収納する。
明する。ウエハ搬送ロボット１２のアーム１４先端に設
けられたブレード１５は、まず、ローダ／アンローダ部
１６に設置された、処理前のウエハ２１が収納されたカ
セット２０の例えば最下段のウエハ２１の裏面側に進入
し、このウエハ２１を保持後、アーム１４が収縮、水平
旋回し、処理部１１前にて停止する。続いてアーム１４
の伸延により処理部１１内に上記ウエハ２１を載置し、
所定の処理を行う。さらに、同様の動作により、処理後
のウエハ２１を処理部１１から取り出し、ローダ／アン
ローダ部１６内に設置されたカセット２１の所定の位置
に収納する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のようなウエハ搬
送ロボット１２によるウエハ搬送では、ウエハ２１を保
持するブレード１５がカセット２０の溝すなわちカセッ
トテーブル１７に対して平行に進入及び後退等の移動を
行うことが重要である。従来のウエハ平行度調整方法
は、図６に示すように、ブレード１５に保持されたウエ
ハ２１とカセット２０の溝の状態を目視で確認し、カセ
ットテーブル１７の３箇所に設けられた平行度調整ネジ
１９をドライバー２２で調整することにより、平行度の
調整を行っていた。しかしながら、図７に示すように、
ブレード１５に保持されたウエハ２１がカセット２０の
溝に進入する場合、ウエハ２１に対して左右の隙間は約
２ｍｍ、上下の隙間は約０．６ｍｍと非常に微小である
ため、これらを目視により正確に確認、調整することは
容易ではなく、多大な時間を要していた。さらに、ブレ
ード１５に保持されたウエハ２１とカセットステージ１
７の平行度の調整が十分でない場合、カセット２０の溝
の上下左右の微小な隙間を確保することができず、ウエ
ハ２１の出し入れの際にカセット２０に接触しながら移
動することになり、カセット２０とウエハ２１の擦れに
よって発塵するという問題があった。
送ロボット１２によるウエハ搬送では、ウエハ２１を保
持するブレード１５がカセット２０の溝すなわちカセッ
トテーブル１７に対して平行に進入及び後退等の移動を
行うことが重要である。従来のウエハ平行度調整方法
は、図６に示すように、ブレード１５に保持されたウエ
ハ２１とカセット２０の溝の状態を目視で確認し、カセ
ットテーブル１７の３箇所に設けられた平行度調整ネジ
１９をドライバー２２で調整することにより、平行度の
調整を行っていた。しかしながら、図７に示すように、
ブレード１５に保持されたウエハ２１がカセット２０の
溝に進入する場合、ウエハ２１に対して左右の隙間は約
２ｍｍ、上下の隙間は約０．６ｍｍと非常に微小である
ため、これらを目視により正確に確認、調整することは
容易ではなく、多大な時間を要していた。さらに、ブレ
ード１５に保持されたウエハ２１とカセットステージ１
７の平行度の調整が十分でない場合、カセット２０の溝
の上下左右の微小な隙間を確保することができず、ウエ
ハ２１の出し入れの際にカセット２０に接触しながら移
動することになり、カセット２０とウエハ２１の擦れに
よって発塵するという問題があった。
【０００５】これに対して、従来は、例えば特開昭６２
−４５０３８号公報に示すように、ウエハを吸着、搬送
するフィンガ及びアーム側に半導体レーザセンサを設
け、カセット内のウエハの有無及び位置を確認すること
により、フィンガとウエハの衝突等の誤動作を防止する
方法が広く用いられているが、このようなタイプの従来
のセンサでは、搬送時のウエハの平行度を測定、調整す
ることはできなかった。また、ウエハ搬送ロボット本体
に上記のような従来のセンサに加え、平行度調整用のセ
ンサを設けることは、ロボットの機構を複雑にし、コス
トがかかるため、従来のウエハ搬送ロボットの機構を変
えずに、ウエハの平行度の測定及び調整を容易に行うこ
とが望まれていた。
−４５０３８号公報に示すように、ウエハを吸着、搬送
するフィンガ及びアーム側に半導体レーザセンサを設
け、カセット内のウエハの有無及び位置を確認すること
により、フィンガとウエハの衝突等の誤動作を防止する
方法が広く用いられているが、このようなタイプの従来
のセンサでは、搬送時のウエハの平行度を測定、調整す
ることはできなかった。また、ウエハ搬送ロボット本体
に上記のような従来のセンサに加え、平行度調整用のセ
ンサを設けることは、ロボットの機構を複雑にし、コス
トがかかるため、従来のウエハ搬送ロボットの機構を変
えずに、ウエハの平行度の測定及び調整を容易に行うこ
とが望まれていた。
【０００６】本発明は、上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、ウエハ搬送ロボットのアーム先
端に保持されたウエハの、カセットテーブルに対する平
行度を短時間で正確に測定することが可能なウエハ平行
度測定器を提供し、ウエハ平行度の調整を簡易化するこ
とを目的とする。
ためになされたもので、ウエハ搬送ロボットのアーム先
端に保持されたウエハの、カセットテーブルに対する平
行度を短時間で正確に測定することが可能なウエハ平行
度測定器を提供し、ウエハ平行度の調整を簡易化するこ
とを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明に係わるウエハ平
行度測定器は、ウエハをアーム先端に保持し、カセット
−カセット間またはカセット−装置間を移動させる際
の、カセットが載置されたカセットテーブルに対するウ
エハの平行度を測定するウエハ平行度測定器であって、
カセットテーブルとの位置決め及び固定手段と、カセッ
トテーブルに対して平行に設置された基準定板と、基準
定板と平行な面に複数個設置され、アーム先端に保持さ
れたウエハまでの距離を測定するセンサと、センサの測
定結果を表示する表示部を備えたものである。また、セ
ンサは、レーザセンサを用いるものである。また、セン
サは、ウエハ周縁部に対応する位置に３〜４個設置され
ているものである。
行度測定器は、ウエハをアーム先端に保持し、カセット
−カセット間またはカセット−装置間を移動させる際
の、カセットが載置されたカセットテーブルに対するウ
エハの平行度を測定するウエハ平行度測定器であって、
カセットテーブルとの位置決め及び固定手段と、カセッ
トテーブルに対して平行に設置された基準定板と、基準
定板と平行な面に複数個設置され、アーム先端に保持さ
れたウエハまでの距離を測定するセンサと、センサの測
定結果を表示する表示部を備えたものである。また、セ
ンサは、レーザセンサを用いるものである。また、セン
サは、ウエハ周縁部に対応する位置に３〜４個設置され
ているものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】実施の形態１．以下に、本発明の
実施の形態を図について説明する。図１は、本発明の実
施の形態１であるウエハ平行度測定器を示す概略図であ
る。本実施の形態によるウエハ平行度測定器は、ウエハ
をウエハ搬送ロボットのアーム先端に保持し、カセット
−カセット間またはカセット−装置間を移動させる際
の、カセットが載置されたカセットテーブルに対するウ
エハの平行度を測定するものであり、図において、１は
カセットテーブル１７に対して平行に設置された基準定
板、２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄは、基準定板１と平行な面
に複数個設置され、アーム先端に保持されたウエハまで
の距離を測定するレーザセンサ等のセンサであり、本実
施の形態では、ウエハ周縁部に対応する位置に４個設置
されている。３はセンサ２ａ〜２ｄの測定結果を表示す
る表示部であり、４は電源スイッチ、５はトグルスイッ
チである。また、１９はカセットテーブル１７に３箇所
設けられた平行度調整ネジである。なお、ウエハ平行度
測定器本体の底面には、カセットテーブル１７との位置
決め及び固定手段（図示せず）が設けられている。
実施の形態を図について説明する。図１は、本発明の実
施の形態１であるウエハ平行度測定器を示す概略図であ
る。本実施の形態によるウエハ平行度測定器は、ウエハ
をウエハ搬送ロボットのアーム先端に保持し、カセット
−カセット間またはカセット−装置間を移動させる際
の、カセットが載置されたカセットテーブルに対するウ
エハの平行度を測定するものであり、図において、１は
カセットテーブル１７に対して平行に設置された基準定
板、２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄは、基準定板１と平行な面
に複数個設置され、アーム先端に保持されたウエハまで
の距離を測定するレーザセンサ等のセンサであり、本実
施の形態では、ウエハ周縁部に対応する位置に４個設置
されている。３はセンサ２ａ〜２ｄの測定結果を表示す
る表示部であり、４は電源スイッチ、５はトグルスイッ
チである。また、１９はカセットテーブル１７に３箇所
設けられた平行度調整ネジである。なお、ウエハ平行度
測定器本体の底面には、カセットテーブル１７との位置
決め及び固定手段（図示せず）が設けられている。
【０００９】次に、本実施の形態によるウエハ平行度測
定器を用いて、ブレード１５に保持されたウエハ２１の
カセットステージ１７に対する平行度を測定及び調整す
る方法を図２、図３を用いて説明する。まず、ウエハ平
行度測定器底面の位置決め及び固定手段（図示せず）を
カセットステージ１７の溝にはめ込み固定する。続い
て、図２(a) に示すように、基準定板１に測定用のウエ
ハ２１を裏面側を上向きにして載置する。各センサ２ａ
〜２ｄからの発振がウエハ２１に当たっていることを確
認後、表示部３に設けられたトグルスイッチ５をチェッ
ク側から測定側に倒し、一括０補正を行う（図２(b)
）。次に、図３(a) に示すように、測定用のウエハ２
１を裏面側を上向きにしてカセット搬送ロボットのアー
ム先端に設けられたブレード１５に載置する。続いてブ
レード１５をウエハ平行度測定器内に進入させ、各セン
サ２ａ〜２ｄによりウエハ２１までの距離を測定する。
この測定結果が表示された表示部３（図３(b) ）を見な
がら、カセットテーブル１７に３箇所設けられた平行度
調整ネジ１９をドライバー２２で調整し、各センサの測
定値の誤差がプラスマイナス０. ０５ｍｍ以内になるま
で調整を行う。
定器を用いて、ブレード１５に保持されたウエハ２１の
カセットステージ１７に対する平行度を測定及び調整す
る方法を図２、図３を用いて説明する。まず、ウエハ平
行度測定器底面の位置決め及び固定手段（図示せず）を
カセットステージ１７の溝にはめ込み固定する。続い
て、図２(a) に示すように、基準定板１に測定用のウエ
ハ２１を裏面側を上向きにして載置する。各センサ２ａ
〜２ｄからの発振がウエハ２１に当たっていることを確
認後、表示部３に設けられたトグルスイッチ５をチェッ
ク側から測定側に倒し、一括０補正を行う（図２(b)
）。次に、図３(a) に示すように、測定用のウエハ２
１を裏面側を上向きにしてカセット搬送ロボットのアー
ム先端に設けられたブレード１５に載置する。続いてブ
レード１５をウエハ平行度測定器内に進入させ、各セン
サ２ａ〜２ｄによりウエハ２１までの距離を測定する。
この測定結果が表示された表示部３（図３(b) ）を見な
がら、カセットテーブル１７に３箇所設けられた平行度
調整ネジ１９をドライバー２２で調整し、各センサの測
定値の誤差がプラスマイナス０. ０５ｍｍ以内になるま
で調整を行う。
【００１０】以上のように、本実施の形態におけるウエ
ハ平行度測定器によれば、ブレード１５に保持されたウ
エハ２１までの距離を測定するセンサ２ａ〜２ｄの測定
結果を見ながら、カセットテーブル１７に３箇所設けら
れた平行度調整ネジ１９を調整するようにしたので、従
来の目視による調整に比べ、ウエハ平行度を短時間で正
確に測定することが可能となり、ウエハ平行度の調整が
簡易化される。なお、本実施の形態では、４個のセンサ
をウエハ周縁部に対応する位置に設置したが、センサの
数は３個でも良く、特に限定するものではない。また、
本実施の形態では、３箇所に平行度調整ネジ１９が設け
られたカセットステージ１７の平行度を調整する例を示
したが、本実施の形態によるウエハ平行度測定器は、異
なるタイプのカセットテーブルにも適用できる。
ハ平行度測定器によれば、ブレード１５に保持されたウ
エハ２１までの距離を測定するセンサ２ａ〜２ｄの測定
結果を見ながら、カセットテーブル１７に３箇所設けら
れた平行度調整ネジ１９を調整するようにしたので、従
来の目視による調整に比べ、ウエハ平行度を短時間で正
確に測定することが可能となり、ウエハ平行度の調整が
簡易化される。なお、本実施の形態では、４個のセンサ
をウエハ周縁部に対応する位置に設置したが、センサの
数は３個でも良く、特に限定するものではない。また、
本実施の形態では、３箇所に平行度調整ネジ１９が設け
られたカセットステージ１７の平行度を調整する例を示
したが、本実施の形態によるウエハ平行度測定器は、異
なるタイプのカセットテーブルにも適用できる。
【００１１】実施の形態２．上記実施の形態１では、ブ
レード１５に保持されたウエハ２１がウエハ平行度測定
器内に進入した状態での、カセットテーブル１７に対す
るウエハ２１の平行度の測定を行ったが、本実施の形態
では、同様のウエハ平行度測定器を用いて、ウエハ２１
を保持したブレード１５が直進する際の平行度（ブレー
ド直進度）の測定を行うものである。
レード１５に保持されたウエハ２１がウエハ平行度測定
器内に進入した状態での、カセットテーブル１７に対す
るウエハ２１の平行度の測定を行ったが、本実施の形態
では、同様のウエハ平行度測定器を用いて、ウエハ２１
を保持したブレード１５が直進する際の平行度（ブレー
ド直進度）の測定を行うものである。
【００１２】本実施の形態によるブレード直進度測定方
法を図４を用いて説明する。なお、図中、同一、相当部
分には同一符号を付し説明を省略する。まず、測定用の
ウエハ２１を裏面側を上向きにしてカセット搬送ロボッ
トのアーム先端に設けられたブレード１５に載置する。
続いてブレード１５をジョグ動作でウエハ平行度測定器
内に進入させる。この時、まずウエハ２１の先端部でセ
ンサ２ａの０補正を行い、その後、小刻みに、例えばウ
エハの先端部から１／４、ウエハ中央部、３／４、後端
の４箇所をセンサ２ａで測定する。このように測定した
結果、ウエハ先端部（基準）に対してその他のデータが
プラスの場合、ブレード１５の先端側が後端側よりも高
く、上向きに進入していることがわかる。また、マイナ
スの場合、ブレード１５の先端側が後端側よりも低く、
下向きに進入していることがわかる。本実施の形態によ
る測定結果をもとに、ウエハ搬送ロボットのアーム及び
ブレード１５の直進度の調整を行うことが可能である。
法を図４を用いて説明する。なお、図中、同一、相当部
分には同一符号を付し説明を省略する。まず、測定用の
ウエハ２１を裏面側を上向きにしてカセット搬送ロボッ
トのアーム先端に設けられたブレード１５に載置する。
続いてブレード１５をジョグ動作でウエハ平行度測定器
内に進入させる。この時、まずウエハ２１の先端部でセ
ンサ２ａの０補正を行い、その後、小刻みに、例えばウ
エハの先端部から１／４、ウエハ中央部、３／４、後端
の４箇所をセンサ２ａで測定する。このように測定した
結果、ウエハ先端部（基準）に対してその他のデータが
プラスの場合、ブレード１５の先端側が後端側よりも高
く、上向きに進入していることがわかる。また、マイナ
スの場合、ブレード１５の先端側が後端側よりも低く、
下向きに進入していることがわかる。本実施の形態によ
る測定結果をもとに、ウエハ搬送ロボットのアーム及び
ブレード１５の直進度の調整を行うことが可能である。
【００１３】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、複数個
のセンサを備えたウエハ平行度測定器により、アーム先
端に保持されたウエハまでの距離を測定し、この測定結
果をもとにカセットテーブルの平行度を調整するように
したので、ウエハとカセットテーブルの平行度を短時間
で正確に測定及び調整することが可能となった。
のセンサを備えたウエハ平行度測定器により、アーム先
端に保持されたウエハまでの距離を測定し、この測定結
果をもとにカセットテーブルの平行度を調整するように
したので、ウエハとカセットテーブルの平行度を短時間
で正確に測定及び調整することが可能となった。
【図１】 本発明の実施の形態１であるウエハ平行度測
定器を示す概略図である。
定器を示す概略図である。
【図２】 本発明の実施の形態１であるウエハ平行度測
定器による平行度の測定及び調整方法を示す概略図であ
る。
定器による平行度の測定及び調整方法を示す概略図であ
る。
【図３】 本発明の実施の形態１であるウエハ平行度測
定器による平行度の測定及び調整方法を示す概略図であ
る。
定器による平行度の測定及び調整方法を示す概略図であ
る。
【図４】 本発明の実施の形態２であるウエハ平行度測
定器によるブレード直進度測定方法を示す概略図であ
る。
定器によるブレード直進度測定方法を示す概略図であ
る。
【図５】 ウエハ搬送ロボットを備えた半導体製造装置
の構成例を示す平面図及び側面図である
の構成例を示す平面図及び側面図である
【図６】 従来のウエハ平行度調整方法を示す概略図で
ある。
ある。
【図７】 ブレードに保持されたウエハに対するカセッ
トの隙間を示す断面図である。
トの隙間を示す断面図である。
１ 基準定板、２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ センサ、３
表示部、４ 電源スイッチ、５ トグルスイッチ、１１
処理部、１２ ウエハ搬送ロボット、１３ モータ、
１４ アーム、１５ ブレード、１６ ローダ／アンロ
ーダ部、１７ カセットテーブル、１８ モータ、１９
平行度調整ネジ、２０ カセット、２１ ウエハ、２
２ ドライバー。
表示部、４ 電源スイッチ、５ トグルスイッチ、１１
処理部、１２ ウエハ搬送ロボット、１３ モータ、
１４ アーム、１５ ブレード、１６ ローダ／アンロ
ーダ部、１７ カセットテーブル、１８ モータ、１９
平行度調整ネジ、２０ カセット、２１ ウエハ、２
２ ドライバー。
Claims (3)
- 【請求項１】 ウエハをアーム先端に保持し、カセット
−カセット間またはカセット−装置間を移動させる際
の、上記カセットが載置されたカセットテーブルに対す
る上記ウエハの平行度を測定するウエハ平行度測定器で
あって、上記カセットテーブルとの位置決め及び固定手
段、上記カセットテーブルに対して平行に設置された基
準定板、上記基準定板と平行な面に複数個設置され、上
記アーム先端に保持されたウエハまでの距離を測定する
センサ、上記センサの測定結果を表示する表示部を備え
たことを特徴とするウエハ平行度測定器。 - 【請求項２】 センサは、レーザセンサであることを特
徴とする請求項１記載のウエハ平行度測定器。 - 【請求項３】 センサは、ウエハ周縁部に対応する位置
に３〜４個設置されていることを特徴とする請求項１ま
たは請求項２に記載のウエハ平行度測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13855298A JPH11330204A (ja) | 1998-05-20 | 1998-05-20 | ウエハ平行度測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13855298A JPH11330204A (ja) | 1998-05-20 | 1998-05-20 | ウエハ平行度測定器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11330204A true JPH11330204A (ja) | 1999-11-30 |
Family
ID=15224820
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13855298A Pending JPH11330204A (ja) | 1998-05-20 | 1998-05-20 | ウエハ平行度測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11330204A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005098934A1 (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-20 | Tokyo Electron Limited | 半導体処理装置及び方法 |
| KR100523644B1 (ko) * | 2003-07-31 | 2005-10-24 | 동부아남반도체 주식회사 | 웨이퍼 이송로봇의 레벨 조절용 지그 |
| KR101192787B1 (ko) * | 2005-10-04 | 2012-10-18 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치용 스토커 및 이의 암 티칭 방법 |
| JP2013531379A (ja) * | 2010-06-29 | 2013-08-01 | セントロターム・サーマル・ソルーションズ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンデイトゲゼルシヤフト | ウェハ搬送ロボットを較正する装置および方法 |
| CN105762093A (zh) * | 2014-12-16 | 2016-07-13 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 工艺腔室及判断托盘上的晶片位置是否异常的方法 |
| JP2017152597A (ja) * | 2016-02-26 | 2017-08-31 | 株式会社日立ハイテクマニファクチャ＆サービス | ウェーハ搬送装置用治具、及びウェーハ搬送装置 |
| DE102018129866A1 (de) | 2017-12-05 | 2019-06-06 | Mitutoyo Corporation | Messstation und Messverfahren |
-
1998
- 1998-05-20 JP JP13855298A patent/JPH11330204A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100523644B1 (ko) * | 2003-07-31 | 2005-10-24 | 동부아남반도체 주식회사 | 웨이퍼 이송로봇의 레벨 조절용 지그 |
| WO2005098934A1 (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-20 | Tokyo Electron Limited | 半導体処理装置及び方法 |
| CN100414680C (zh) * | 2004-03-30 | 2008-08-27 | 东京毅力科创株式会社 | 半导体处理装置和方法 |
| US7572742B2 (en) | 2004-03-30 | 2009-08-11 | Tokyo Electron Limited | Equipment and method for processing semiconductor |
| KR101192787B1 (ko) * | 2005-10-04 | 2012-10-18 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치용 스토커 및 이의 암 티칭 방법 |
| JP2013531379A (ja) * | 2010-06-29 | 2013-08-01 | セントロターム・サーマル・ソルーションズ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンデイトゲゼルシヤフト | ウェハ搬送ロボットを較正する装置および方法 |
| CN105762093A (zh) * | 2014-12-16 | 2016-07-13 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 工艺腔室及判断托盘上的晶片位置是否异常的方法 |
| JP2017152597A (ja) * | 2016-02-26 | 2017-08-31 | 株式会社日立ハイテクマニファクチャ＆サービス | ウェーハ搬送装置用治具、及びウェーハ搬送装置 |
| DE102018129866A1 (de) | 2017-12-05 | 2019-06-06 | Mitutoyo Corporation | Messstation und Messverfahren |
| CN109931898A (zh) * | 2017-12-05 | 2019-06-25 | 株式会社三丰 | 测量系统和测量方法 |
| US10960536B2 (en) | 2017-12-05 | 2021-03-30 | Mitutoyo Corporation | Measurement station and measurement method |
| CN109931898B (zh) * | 2017-12-05 | 2022-05-24 | 株式会社三丰 | 测量系统和测量方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8016541B2 (en) | Substrate handling system for aligning and orienting substrates during a transfer operation | |
| US10482587B2 (en) | Apparatus having transfer control based on imaged image | |
| US6459947B1 (en) | Apparatus using positional data detected in a non-contact manner to transfer a substantially rectangular substrate from a first position to a second position | |
| US8788087B2 (en) | Robot and instruction method thereof | |
| EP2324968A1 (en) | Robot and its teaching method | |
| JPH07231018A (ja) | プローブ装置 | |
| CN107768242B (zh) | 被加工物的切削方法 | |
| JP2009194346A (ja) | 単軸駆動アライナー | |
| US8386064B2 (en) | Control device and control method | |
| CN113161273A (zh) | 位置偏离检测方法及装置、位置异常判定及搬送控制方法 | |
| JPH11330204A (ja) | ウエハ平行度測定器 | |
| JP4395873B2 (ja) | 薄板状物の変位量検出方法及び変位量修正方法 | |
| JP4226241B2 (ja) | ウエハの位置決め方法、位置決め装置並びに処理システム | |
| JP4468159B2 (ja) | 基板処理装置及びその搬送位置合わせ方法 | |
| JP2005539385A (ja) | 基板エンドエフェクタ | |
| JP2002057196A (ja) | プローブ方法及びプローブ装置 | |
| JPH0737941A (ja) | プローブ装置 | |
| JP2547212Y2 (ja) | 基板用測定装置 | |
| JP2869003B2 (ja) | 薄板の表面粗さ測定装置及び積層状態検出装置 | |
| JP2006010466A (ja) | 板材の平坦度測定方法および装置 | |
| TWI810429B (zh) | 切割裝置的原點位置登錄方法 | |
| JP2001297999A (ja) | 切削装置 | |
| US20240109197A1 (en) | Transfer system and transfer method | |
| US6705020B2 (en) | Method of and apparatus for use in orienting an object at a reference angle | |
| US20220310436A1 (en) | Substrate Processing Apparatus, Teaching Information Generation Method, Teaching Set, and Substrate Jig |