JP2017152597A - ウェーハ搬送装置用治具、及びウェーハ搬送装置 - Google Patents
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Abstract
Description
102・・・開閉機構
103・・・走行方向
201・・・基板搬送ロボット
202・・・ウェーハカセット
203・・・ファンフィルタユニット
205・・・昇降方向
206・・・水平方向
301・・・ミニエンシステム制御部
302・・・プリアライメント装置
401・・・治具箱
402・・・治具制御部
403・・・接続ケーブル
404・・・変位計
405・・・位置決め用穴
501・・・エンドエフェクタ
801,802,803,804,805,806,807・・・レーザ
1201・・・走行動作
1202・・・昇降動作
1203・・・水平動作
1204・・・旋回動作
1301・・・水平方向の傾き
1401・・・走行方向の傾き
1402・・・昇降方向の傾き
1701・・・基板
1704・・・エンドエフェクタの持上げ高さ
1705・・・基板を水平になる位置まで持上げた距離
1706・・・移設時のずれによる傾き
1707・・・機械公差の傾き
1801・・・上昇動作
1802・・・下降動作
Claims (6)
- ウェーハを搬送するウェーハ搬送装置に設けられた搬送用ロボットによって、ウェーハが取り出される箱状の収納容器と同じ、前記ウェーハ搬送装置の搭載位置に、搭載可能なウェーハ搬送装置用冶具であって、
当該ウェーハ搬送装置用治具内に挿入される前記搬送用ロボットのエンドエフェクタの位置を検出するエンドエフェクタ位置検出素子と、当該エンドエフェクタ検出素子によって得られたエンドエフェクタ位置情報に基づいて、前記エンドエフェクタの傾きに関する情報を算出、或いは予め記憶されたエンドエフェクタ位置情報と、前記検出されたエンドエフェクタ位置情報を比較する演算装置を備えたことを特徴とするウェーハ搬送装置用治具。 - 請求項1において、
前記演算装置は、前記ウェーハ搬送装置用治具内に設けられた複数の前記エンドエフェクタ検出素子の出力に基づいて、前記エンドエフェクタの傾きを算出することを特徴とするウェーハ搬送装置用治具。 - 請求項3において、
前記演算装置は、前記複数のエンドエフェクタ検出素子の出力の差分情報に基づいて、前記傾きを算出することを特徴とするウェーハ搬送装置用治具。 - 請求項1において、
前記演算装置は、予め記憶された前記エンドエフェクタの位置情報と、前記エンドエフェクタ位置検出素子によって得られたエンドエフェクタ位置情報とを比較することを特徴とするウェーハ搬送装置用治具。 - ウェーハを搬送するエンドエフェクタを備えた搬送ロボットと、当該搬送ロボットによって搬送されるウェーハを収容する収納容器の搭載が可能であって、且つ当該収納容器の蓋部を開閉する機構を有する開閉機構と、前記搬送ロボットを駆動する駆動機構を備えたウェーハ搬送装置において、
前記エンドエフェクタの位置情報に応じて、前記エンドエフェクタの挿入位置を演算する演算装置を備えたことを特徴とするウェーハ搬送装置。 - 請求項5において、
前記演算装置は、前記エンドエフェクタの位置情報に基づいて、前記エンドエフェクタと、前記収納容器内に収納されたウェーハとの衝突を回避するエンドエフェクタの挿入位置を演算することを特徴とするウェーハ搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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