JP4799325B2 - 基板受け渡し装置,基板処理装置,基板受け渡し方法 - Google Patents
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Description
前記基板位置検出手段により検出された基板の位置に基づいて,その基板が所定の基準位置から位置ずれしているか否かを判断する工程と,前記判断工程において前記基板が位置ずれしていないと判断した場合は,前記上下駆動手段により前記支持ピンを下降させて前記載置台上に載置させる工程と,前記判断工程において前記基板が位置ずれしていると判断した場合は,前記支持ピンを前記水平駆動手段により水平方向に駆動させて前記基板の位置ずれを補正した上で,前記上下駆動手段により前記支持ピンを下降させて前記載置台上に載置させる工程とを有することを特徴とする基板受け渡し方法が提供される。
まず,本発明の実施形態にかかる基板受け渡し装置について図面を参照しながら説明する。図1は各装置の設置例を説明するための斜視図であり,図2は図1に示す各装置の側面を示す図である。本実施形態では,図示しない搬送アームと載置台112との間で基板例えば半導体ウエハ(以下,単に「ウエハ」とも称する)Wを受け渡しする基板受け渡し装置130についての実施形態について説明する。
ここで,基板位置検出手段を備える基板位置検出ユニットについて図1,図4を参照しながら説明する。図4は基板位置検出手段の構成を説明するための斜視図である。図4では,基板位置検出手段の構成を説明し易くするために,図1に示す取付台156や載置台112を省略している。
次に,上述した基板受け渡し装置によって行われるウエハの受け渡し処理の具体例について図面を参照しながら説明する。制御部200は記憶手段から読出した所定のプログラムに基づいて基板受け渡し装置130,基板位置検出ユニット150の各部を制御して受け渡し処理を実行する。図8は,搬送アーム上のウエハを受け取って載置台に載置させる際の受け渡し処理の具体例を示すフローチャートである。また,図9A〜図9Eは,ウエハの受け渡し処理における基板受け渡し装置130の動作例を説明するための作用説明図である。なお,図9A〜図9Eにおいて,CwはウエハWの中心を示し,Ctは上述した基準位置Wstのウエハの中心を示す。
次に,上記の基板受け渡し装置を適用可能な基板処理装置の一例を図面を参照しながら説明する。図11は本発明の実施形態にかかる基板処理装置の概略構成を示す断面図である。
プリアライメント処理室336は,例えばその処理室内に回転可能に配設された載置台338と載置台338上のウエハWの周縁部を光学的に検出する光学センサ339を備え,載置台338でウエハWを回転させて,ウエハWの周縁部に形成されるオリエンテーションフラットやノッチなどを光学センサ339で検出してウエハWの位置合せを行う。なお,洗浄処理室400の具体的構成例については後述する。
次に,基板処理装置300の動作について説明する。基板処理装置300は制御部500により所定のプログラムに基づいて稼働する。例えば搬送ロボット370によりカセット容器332A〜332Cのいずれかから搬出されたウエハWは,プリアライメント処理室336に搬入されて位置決め処理がなされる。位置決め処理されたウエハWは,プリアライメント処理室336から搬出されてロードロック室360Mまたは360N内へ搬入される。このとき,必要なすべてのプロセス処理が完了したウエハWがロードロック室360Mまたは360Nにあれば,そのウエハWを搬出して未処理のウエハWを搬入する。
ここで,洗浄処理室400の構成例について説明する。本実施形態にかかる洗浄処理室400は,回転自在に設けられた載置台112上にウエハWを載置してウエハWを回転させながら,ウエハWの端部に部分的に所定の光を照射して付着物を除去するように構成される。このため,ウエハWの水平方向の位置ずれがないように正確に載置台112上に載置させる必要あるので,このような洗浄処理室400に基板受け渡し装置130を適用する場合を例に挙げて説明する。
112 載置台
113A〜113C 貫通孔
114 支持軸
116 載置台
130 基板受け渡し装置
132A〜132C 支持ピン
134 基台
135 取付板
136 支持板
138 支持ピン駆動機構
138X X方向駆動手段
138Y Y方向駆動手段
138Z Z方向駆動手段
150 基板位置検出ユニット
152A〜152C 撮像手段
153A〜153C 測定視野
154A〜154C 照明用光源
156 取付台
157,158 ブラケット
200 制御部
300 基板処理装置
310 プロセス処理ユニット
320 搬送ユニット
330 搬送室
331A〜331C カセット台
332A〜332C カセット容器
333A〜333C ゲートバルブ
336 プリアライメント処理室
338 載置台
339 光学センサ
340A〜340F プロセス処理室
342 載置台
344A〜344F ゲートバルブ
350 共通搬送室
354M,354N ゲートバルブ
360M,360N ロードロック室
362M,362N ゲートバルブ
364M,364N 受渡台
370,380 搬送ロボット
373A,373B 搬送アーム
383A,383B 搬送アーム
384 案内レール
400 洗浄処理室
402 容器
404 搬入出口
410 洗浄手段
412 レーザユニット
414 オゾン発生器
500 制御部
W ウエハ
Claims (14)
- 基板を搬送する搬送アームと前記基板を載置する載置台との間で基板の受け渡しを行う基板受け渡し装置であって,
前記載置台の支持軸周りに離間して配設され,前記基板をその下面で支持する複数の支持ピンと,
前記支持ピンが取り付けられる基台と,
前記支持ピンを前記基台を介して上下駆動させて,前記基板の上げ下ろしを行う上下駆動手段と,
前記支持ピンを前記基台を介して水平駆動させて,前記基板の水平方向の位置を調整する水平駆動手段と,
を備えることを特徴とする基板受け渡し装置。 - 前記載置台の近傍に,前記支持ピンで支持した前記基板の水平方向の位置を検出する基板位置検出手段を配設したことを特徴とする請求項1に記載の基板受け渡し装置。
- 前記基板は,円板状の半導体ウエハであり,
前記基板位置検出手段は,前記基板の周縁部の少なくとも2箇所以上の位置を検出することを特徴とする請求項2に記載の基板受け渡し装置。 - 前記上下駆動手段により前記支持ピンを上昇させて前記搬送アームから前記基板を受け取ると,前記支持ピンで前記基板を支持した状態で,前記基板位置検出手段により前記基板の水平方向の位置を検出して,前記基板が位置ずれしていれば前記水平駆動手段により前記支持ピンを水平方向に駆動させて前記基板の位置ずれを補正した上で,前記上下駆動手段により前記支持ピンを下降させて前記基板を前記載置台上に載置させる受け渡し処理を行う制御部を設けたことを特徴とする請求項2に記載の基板受け渡し装置。
- 前記搬送アームから前記基板を受け取る際,前記支持ピンを上昇させた状態で,前記搬送アームを下降させて前記基板を受け取ることを特徴とする請求項4に記載の基板受け渡し装置。
- 前記複数の支持ピンを前記載置台の支持軸周りに前記載置台の径よりも内側に離間して配設し,前記載置台に形成された貫通孔を通して前記載置台の基板載置面から前記各支持ピンの先端が突没可能にしたことを特徴とする請求項1に記載の基板受け渡し装置。
- 前記載置台は,前記支持軸周りに回転自在に構成し,
前記載置台を回転させるときには,前記支持ピンの先端が前記載置台の底面よりも下側になるように前記支持ピンを下降させることを特徴とする請求項6に記載の基板受け渡し装置。 - 前記複数の支持ピンを前記載置台の支持軸周りに前記載置台の径よりも外側に離間して配設したことを特徴とする請求項1に記載の基板受け渡し装置。
- 処理室内に配設された載置台上に基板を載置して所定の処理を行う基板処理装置であって,
前記処理室内に前記基板を搬出入する搬送アームと前記載置台との間で基板の受け渡しを行う基板受け渡し装置を前記載置台近傍に配置し,
前記基板受け渡し装置は,前記載置台の支持軸周りに離間して配設され,前記基板をその下面で支持する複数の支持ピンと,前記支持ピンが取り付けられる基台と,前記支持ピンを前記基台を介して上下駆動させて,前記基板の上げ下ろしを行う上下駆動手段と,前記支持ピンを前記基台を介して水平駆動させて,前記基板の水平方向の位置を調整する水平駆動手段と,
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 基板に所定の処理を施す複数の処理室を備え,前記基板を搬送アームで各処理室を順番に搬送しながら基板に連続して処理を行う基板処理装置であって,
前記処理室の少なくとも1つは,他の処理室でプロセス処理を行った基板を搬送して後処理を行う後処理室とし,
前記後処理室は,その内部に設けられた載置台と前記搬送アームとの間で基板の受け渡しを行う基板受け渡し装置を備え,
前記基板受け渡し装置は,前記基板をその下面で支持する複数の支持ピンと,前記支持ピンが取り付けられる基台と,前記支持ピンを前記基台を介して上下駆動させて,前記基板の上げ下ろしを行う上下駆動手段と,前記支持ピンを前記基台を介して水平駆動させて,前記基板の水平方向の位置を調整する水平駆動手段とを備えることを特徴とする基板処理装置。 - 前記後処理室は,前記基板の周縁部に付着した付着物を除去する洗浄処理室であり,
前記基板受け渡し装置の複数の支持ピンを,前記載置台の支持軸周りに前記載置台の径よりも内側に離間して配設し,前記載置台に形成された貫通孔を通して前記載置台の基板載置面から前記支持ピンの先端が突没可能にしたことを特徴とする請求項10に記載の基板処理装置。 - 基板を搬送する搬送アームと前記基板を載置する載置台との間で基板の受け渡しを行う基板受け渡し装置による受け渡し方法であって,
前記基板受け渡し装置は,前記載置台の支持軸周りに離間して配設され,前記基板をその下面で支持する複数の支持ピンと,前記支持ピンが取り付けられる基台と,前記支持ピンを前記基台を介して上下駆動させる上下駆動手段と,前記支持ピンを前記基台を介して水平駆動させる水平駆動手段と,前記基板の水平方向の位置を検出する基板位置検出手段とを備え,
前記上下駆動手段により前記支持ピンを上昇させて,前記搬送アームから前記基板を受け取る工程と,
受け取った前記基板を前記支持ピンで支持したまま,前記基板位置検出手段により基板の位置を検出する工程と,
前記基板位置検出手段により検出された基板の位置に基づいて,その基板が所定の基準位置から位置ずれしているか否かを判断する工程と,
前記判断工程において前記基板が位置ずれしていないと判断した場合は,前記上下駆動手段により前記支持ピンを下降させて前記載置台上に載置させる工程と,
前記判断工程において前記基板が位置ずれしていると判断した場合は,前記支持ピンを前記水平駆動手段により水平方向に駆動させて前記基板の位置ずれを補正した上で,前記上下駆動手段により前記支持ピンを下降させて前記載置台上に載置させる工程と,
を有することを特徴とする基板受け渡し方法。 - 前記搬送アームから前記基板を受け取る工程では,前記支持ピンを上昇させた状態で,前記搬送アームを下降させて前記基板を受け取ることを特徴とする請求項12に記載の基板受け渡し方法。
- 前記基板の位置を検出する工程は,前記基板位置検出手段で基板を検出できない場合には,前記支持ピンを水平方向に駆動させることによって,前記基板を前記基板位置検出手段で検出できるまで移動させることを特徴とする請求項12に記載の基板受け渡し方法。
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CN105097627B (zh) * | 2014-04-15 | 2018-09-18 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 晶片校准装置以及半导体加工设备 |
TWI619145B (zh) | 2015-04-30 | 2018-03-21 | 佳能股份有限公司 | 壓印裝置,基板運送裝置,壓印方法以及製造物件的方法 |
US9405287B1 (en) * | 2015-07-22 | 2016-08-02 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for optical calibration of wafer placement by a robot |
WO2017037785A1 (ja) * | 2015-08-28 | 2017-03-09 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 |
JP6432742B2 (ja) * | 2015-09-30 | 2018-12-05 | 信越半導体株式会社 | エピタキシャル成長装置及びエピタキシャルウェーハの製造方法 |
CN105824200B (zh) * | 2016-05-31 | 2017-08-29 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种基板支撑结构及曝光机 |
JP6797063B2 (ja) * | 2017-04-14 | 2020-12-09 | 東京エレクトロン株式会社 | ピン制御方法及び基板処理装置 |
JP6783185B2 (ja) * | 2017-05-15 | 2020-11-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査装置 |
CN110832633B (zh) * | 2017-06-30 | 2023-06-02 | 东芝三菱电机产业系统株式会社 | 基板定位装置及基板定位方法 |
KR102164067B1 (ko) * | 2017-09-29 | 2020-10-12 | 시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
TWI681492B (zh) * | 2018-02-14 | 2020-01-01 | 萬潤科技股份有限公司 | 載台及使用載台之晶圓量測方法及裝置 |
TWI805795B (zh) * | 2018-07-20 | 2023-06-21 | 美商應用材料股份有限公司 | 基板定位設備與方法 |
DE102018007307A1 (de) * | 2018-09-17 | 2020-03-19 | Vat Holding Ag | Stifthubvorrichtung |
JP7219879B2 (ja) * | 2018-12-17 | 2023-02-09 | 株式会社東京精密 | 補助方法及び補助装置 |
CN109686684B (zh) * | 2018-12-27 | 2020-08-28 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种硅晶圆的加工方法、控制装置及外延反应设备 |
JP7290988B2 (ja) * | 2019-04-26 | 2023-06-14 | キヤノントッキ株式会社 | アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、成膜方法および電子デバイスの製造方法 |
US20200411348A1 (en) * | 2019-06-28 | 2020-12-31 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Substrate transfer apparatus |
CN110246788B (zh) * | 2019-06-28 | 2020-05-19 | 英特尔半导体(大连)有限公司 | 用于在晶圆沉积薄膜的设备 |
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KR102412374B1 (ko) * | 2019-11-22 | 2022-06-23 | 정성욱 | 복수의 비전 카메라를 이용한 웨이퍼 검사 장치 및 복수의 비전 카메라를 이용한 웨이퍼 검사 방법 |
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