JP7297074B2 - 検査装置の自己診断方法および検査装置 - Google Patents
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Description
まず、実施形態に係る接合システムの構成について図1および図2を参照して説明する。図1は、実施形態に係る接合システムの構成を示す模式図である。また、図2は、実施形態に係る第1基板および第2基板の接合前の状態を示す模式図である。
次に、接合装置41の構成について図3を参照して説明する。図3は、実施形態に係る接合装置41の構成を示す模式図である。
次に、検査装置の構成について図4および図5を参照して説明する。図4は、実施形態に係る検査装置の構成を示す模式図である。また、図5は、実施形態に係る検査装置の保持部の構成を示す模式図である。なお、図4は、検査装置を側方から見た模式図であり、図5は、検査装置の保持部を上方から見た模式図である。
次に、制御装置70の構成について図10を参照して説明する。図10は、実施形態に係る制御装置70の構成を示すブロック図である。なお、図10には、制御装置70が備える構成のうち、検査装置80に関連する構成を示している。
測定制御部71aは、重合基板Tの板面上に複数(たとえば、5~13点)の測定点を設定し、検査装置80に対し、各測定点において重合基板Tの測定を行わせる。
診断制御部71bは、検査装置80による光量チェックおよび光軸チェックの動作を制御する。
次に、接合システム1の具体的な動作について説明する。まず、接合装置41によって重合基板Tが形成されるまでの処理手順について図11を参照して説明する。図11は、接合システム1が実行する処理のうち、接合装置41によって重合基板Tが形成されるまでの処理の手順の一例を示すフローチャートである。図11に示す各種の処理は、制御装置70による制御に基づいて実行される。
W2 第2基板
T 重合基板
1 接合システム
2 搬入出ステーション
3 処理ステーション
4 検査ステーション
41 接合装置
70 制御装置
71 制御部
71a 測定制御部
71b 診断制御部
72 記憶部
72a 光量初期情報
80 検査装置
400 保持部
410 本体部
420 支持部材
460 吸引管
500 撮像ユニット
510 マクロ撮像部
520 マイクロ撮像部
600 照明ユニット
610 マクロ照明部
620 マイクロ照明部
700 診断部
710 取付部
720 減衰部材
Claims (7)
- 第1基板と第2基板とが接合された重合基板を検査する検査装置の自己診断方法であって、
前記重合基板の外周部を保持する保持部であって、光を減衰させる減衰部材を有する診断部が設けられた前記保持部を移動させることにより、前記保持部の上方および下方の一方に配置され、前記保持部に保持された前記重合基板に光を照射する照明部と、前記保持部の上方および下方の他方において前記照明部と対向する位置に配置され、前記保持部に保持された前記重合基板を撮像する撮像部との間に、前記減衰部材を配置する工程と、
前記配置する工程の後、前記照明部から設定光量にて光を照射する工程と、
前記照射する工程の後、前記照明部から照射されて前記減衰部材を透過した光を前記撮像部を用いて受光する工程と、
前記受光する工程の後、前記撮像部にて受光された光の受光量に基づいて、前記照明部から照射される光の光量の異常を判定する工程と
を含み、
前記減衰部材は、校正マークを有しており、
前記照射する工程の後、前記撮像部を用いて前記校正マークを撮像する工程と、
前記撮像する工程の後、前記撮像部によって撮像された前記校正マークに基づき、前記照明部の光軸の傾きを判定する工程と
をさらに含む、検査装置の自己診断方法。 - 前記光量の異常を判定する工程は、
前記照明部から前記設定光量にて照射され、前記減衰部材を透過して前記撮像部にて受光された光の受光量として予め記憶された初期受光量と、前記受光する工程において前記撮像部にて受光された光の受光量との差分を算出し、前記差分が光量閾値以上である場合に、前記照明部から照射される光の光量が異常であると判定する、請求項1に記載の検査装置の自己診断方法。 - 前記光量の異常を判定する工程において、前記照明部から照射される光の光量が異常であると判定した場合に、前記設定光量を変更する工程
をさらに含む、請求項1または2に記載の検査装置の自己診断方法。 - 第1基板と第2基板とが接合された重合基板を検査する検査装置であって、
前記重合基板の外周部を保持する保持部と、
前記保持部の上方および下方の一方に配置され、前記保持部に保持された前記重合基板に光を照射する照明部と、
前記保持部の上方および下方の他方において前記照明部と対向する位置に配置され、前記保持部に保持された前記重合基板を撮像する撮像部と、
前記保持部を移動させる移動機構と、
前記保持部に設けられ、前記照明部から照射される光を減衰させる減衰部材を有する診断部と
を備え、
前記減衰部材は、シリコンを含む、検査装置。 - 前記減衰部材は、
前記シリコンに積層されたガラスと、
前記ガラスに形成された校正マークと
を含む、請求項4に記載の検査装置。 - 第1基板と第2基板とが接合された重合基板を検査する検査装置であって、
前記重合基板の外周部を保持する保持部と、
前記保持部の上方および下方の一方に配置され、前記保持部に保持された前記重合基板に光を照射する照明部と、
前記保持部の上方および下方の他方において前記照明部と対向する位置に配置され、前記保持部に保持された前記重合基板を撮像する撮像部と、
前記保持部を移動させる移動機構と、
前記保持部に設けられ、前記照明部から照射される光を減衰させる減衰部材を有する診断部と
を備え、
前記保持部は、
前記重合基板よりも大径の開口を有する本体部と、
前記本体部に設けられ、前記開口の中心に向かって延在し、先端部において前記重合基板の外周部を支持する複数の支持部材と
を備え、
前記診断部は、
隣り合う2つの前記支持部材の間に配置される、検査装置。 - 前記診断部は、
前記保持部に設けられ、前記開口の中心に向かって延在する取付部と、
前記取付部の先端部に取り付けられた前記減衰部材と
を備え、
前記減衰部材は、
前記重合基板の板面に対して垂直な方向から前記検査装置を見た平面視において、前記重合基板から露出する位置に配置される、請求項6に記載の検査装置。
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