JPH08272453A - Ｉｃテストハンドラの基準位置ズレ自動検出機構 - Google Patents
Ｉｃテストハンドラの基準位置ズレ自動検出機構Info
- Publication number
- JPH08272453A JPH08272453A JP9452595A JP9452595A JPH08272453A JP H08272453 A JPH08272453 A JP H08272453A JP 9452595 A JP9452595 A JP 9452595A JP 9452595 A JP9452595 A JP 9452595A JP H08272453 A JPH08272453 A JP H08272453A
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- Japan
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ハンドラでＩＣデバイスをハンドリングする
際に各駆動軸上で所定の手順を経て決めた基準位置にズ
レが発生したとき自動的に検出してアラームが出せる基
準位置ズレ自動検出機構を提供する。 【構成】 エンコーダ５が付いているモータ６、ボール
ネジ７及びモータ６にボールネジ７に接続するカップリ
ング８からなる駆動軸と、エンコーダ５やモータ６を制
御したり、検出データを記憶するＲＡＭや動作を制御す
るＣＰＵからなる制御部９と、上記駆動軸上を移動する
ものをセンシングするリミットセンサＡ１及びリミット
センサＢ２と、で構成された機構。
際に各駆動軸上で所定の手順を経て決めた基準位置にズ
レが発生したとき自動的に検出してアラームが出せる基
準位置ズレ自動検出機構を提供する。 【構成】 エンコーダ５が付いているモータ６、ボール
ネジ７及びモータ６にボールネジ７に接続するカップリ
ング８からなる駆動軸と、エンコーダ５やモータ６を制
御したり、検出データを記憶するＲＡＭや動作を制御す
るＣＰＵからなる制御部９と、上記駆動軸上を移動する
ものをセンシングするリミットセンサＡ１及びリミット
センサＢ２と、で構成された機構。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣテストハンドラに
使用する駆動軸上の基準位置ズレ自動検出機構に関す
る。
使用する駆動軸上の基準位置ズレ自動検出機構に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣデバイスの電気的特性をテストする
のに用いられるＩＣテスタにおいて、ＩＣデバイスを所
定の位置にハンドリングするのはハンドラによって行
う。従って、ハンドラには可能な限り正確に所定の位置
にＩＣデバイスをハンドリングすること、即ち搬入又は
搬出することが求められる。また、所定の位置にハンド
リングするのには、縦軸をＸ軸とし横軸をＹ軸として、
エンコーダ付きパルスモータ及びサーボモータを使用す
る駆動軸を持ったＸ−Ｙテーブルと、垂直軸をＺ軸とし
た吸着ヘッドとを組み合わせた機構のもので行うのが通
常である。
のに用いられるＩＣテスタにおいて、ＩＣデバイスを所
定の位置にハンドリングするのはハンドラによって行
う。従って、ハンドラには可能な限り正確に所定の位置
にＩＣデバイスをハンドリングすること、即ち搬入又は
搬出することが求められる。また、所定の位置にハンド
リングするのには、縦軸をＸ軸とし横軸をＹ軸として、
エンコーダ付きパルスモータ及びサーボモータを使用す
る駆動軸を持ったＸ−Ｙテーブルと、垂直軸をＺ軸とし
た吸着ヘッドとを組み合わせた機構のもので行うのが通
常である。
【０００３】その為に、正確に位置決めを行うのには、
数多く用いられる各駆動軸上を移動させる吸着ヘッドの
移動量をどのようにして正確に制御することができる機
構とするか、ということにかかってくる。また、ハンド
リングは無限といってもいい程繰り返して行われなけれ
ばならないのであり、どの時点での移動量も常に正確で
あることがその都度繰り返し求められているわけであ
る。
数多く用いられる各駆動軸上を移動させる吸着ヘッドの
移動量をどのようにして正確に制御することができる機
構とするか、ということにかかってくる。また、ハンド
リングは無限といってもいい程繰り返して行われなけれ
ばならないのであり、どの時点での移動量も常に正確で
あることがその都度繰り返し求められているわけであ
る。
【０００４】そこで、所定の位置決めを行うためには基
準点となる基準位置を設ける。そして、それは所定の手
順によって決定され、その基準位置を原点にして移動量
が決められ各方向への動作シーケンスに従った動作が行
われる。図２に従来技術によって基準位置を決める機構
と手順とを示した。
準点となる基準位置を設ける。そして、それは所定の手
順によって決定され、その基準位置を原点にして移動量
が決められ各方向への動作シーケンスに従った動作が行
われる。図２に従来技術によって基準位置を決める機構
と手順とを示した。
【０００５】図２に示すように、（１）リミットセンサ
Ａ１を検出するまで、基準位置方向３に連続移動１２さ
せる。 （２）リミットセンサＡ１が検出できなくなるまで、１
ステップずつ確認しながら基準位置方向３と逆の方向へ
移動させる。 （３）エンコーダ５のＺ相１１、即ち起点位置となる１
パルスが検出されるまで１ステップずつ基準位置方向３
と逆の方向へ移動させる。 （４）エンコーダ５のＺ相１１を検出したらその位置を
基準位置に決定して、そこから所定の移動量を移動させ
るための動作を行う。
Ａ１を検出するまで、基準位置方向３に連続移動１２さ
せる。 （２）リミットセンサＡ１が検出できなくなるまで、１
ステップずつ確認しながら基準位置方向３と逆の方向へ
移動させる。 （３）エンコーダ５のＺ相１１、即ち起点位置となる１
パルスが検出されるまで１ステップずつ基準位置方向３
と逆の方向へ移動させる。 （４）エンコーダ５のＺ相１１を検出したらその位置を
基準位置に決定して、そこから所定の移動量を移動させ
るための動作を行う。
【０００６】ところが、従来技術による基準位置決めの
機構では、何らかの原因で基準位置とした点がずれて変
わってしまうことが生ずる。しかも、その変わってしま
ったことを認知できないまま動作を続けていると、移動
量が次第に変化を続けて大きく変わり遂には所定位置に
配置されたテストトレイ内の収納部である凹部の縁にＩ
Ｃデバイスが当たるようになり、それを無理に吸着ヘッ
ドが押し込むことになり、ＩＣデバイスを破損してしま
うばかりでなく、吸着ヘッドも故障させハンドラの各所
に歪みを生じさせてしまうという問題点を有していた。
機構では、何らかの原因で基準位置とした点がずれて変
わってしまうことが生ずる。しかも、その変わってしま
ったことを認知できないまま動作を続けていると、移動
量が次第に変化を続けて大きく変わり遂には所定位置に
配置されたテストトレイ内の収納部である凹部の縁にＩ
Ｃデバイスが当たるようになり、それを無理に吸着ヘッ
ドが押し込むことになり、ＩＣデバイスを破損してしま
うばかりでなく、吸着ヘッドも故障させハンドラの各所
に歪みを生じさせてしまうという問題点を有していた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、ハンドラでＩＣデバイスをハンドリングす
るのに際して各駆動軸上において、所定の手順を経て決
めた基準位置のズレが発生してしまったときには、直ち
に認識することができて、位置ズレしたことを示すアラ
ームを出すことで、オペレータに異常状態を通知し、直
ちに異常発生に対処できる機構を実現することである。
する課題は、ハンドラでＩＣデバイスをハンドリングす
るのに際して各駆動軸上において、所定の手順を経て決
めた基準位置のズレが発生してしまったときには、直ち
に認識することができて、位置ズレしたことを示すアラ
ームを出すことで、オペレータに異常状態を通知し、直
ちに異常発生に対処できる機構を実現することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明においては、
（１）先ず従来技術による決定手順に加えて、カウント
開始の位置センサであるリミットセンサＡ１が検出でき
なくなったポイントから、１ステップずつ移動量をカウ
ントしながら移動させて、エンコーダのＺ相、つまりエ
ンコーダの基準ポイントである１パルスが発生するポイ
ントを検出するまで移動させ、（２）Ｚ相を検出したな
らば、そのポイントを基準位置と決定するが、同時にそ
こまでのリミットセンサＡからの移動量を、制御部に設
けたＣＰＵによってＲＡＭなどのメモリに記憶し、デー
タとして保存しておき、
（１）先ず従来技術による決定手順に加えて、カウント
開始の位置センサであるリミットセンサＡ１が検出でき
なくなったポイントから、１ステップずつ移動量をカウ
ントしながら移動させて、エンコーダのＺ相、つまりエ
ンコーダの基準ポイントである１パルスが発生するポイ
ントを検出するまで移動させ、（２）Ｚ相を検出したな
らば、そのポイントを基準位置と決定するが、同時にそ
こまでのリミットセンサＡからの移動量を、制御部に設
けたＣＰＵによってＲＡＭなどのメモリに記憶し、デー
タとして保存しておき、
【０００９】（３）次に、所定の移動を繰り返すための
動作命令をスタートさせる動作の度毎に基準位置を確認
するための基準位置確認モードに切り換える。（４）そ
して上記（１）によってＺ相を検出し、さらに上記
（２）によって制御部に記憶させ保存した移動量のデー
タと、実際に所定の位置へハンドリングするための動作
の度毎に検出したデータとが、一致しているかどうかを
確認させ、一致していない場合には動作をストップし
て、基準位置ズレが発生したことをアラームによってオ
ペレータに知らせ、オペレータが直ちに対応できる構成
とした。
動作命令をスタートさせる動作の度毎に基準位置を確認
するための基準位置確認モードに切り換える。（４）そ
して上記（１）によってＺ相を検出し、さらに上記
（２）によって制御部に記憶させ保存した移動量のデー
タと、実際に所定の位置へハンドリングするための動作
の度毎に検出したデータとが、一致しているかどうかを
確認させ、一致していない場合には動作をストップし
て、基準位置ズレが発生したことをアラームによってオ
ペレータに知らせ、オペレータが直ちに対応できる構成
とした。
【００１０】
【作用】従来技術においては、基準位置を所定の手順に
よって設定したものは、理論的にはその後も繰り返しコ
ントロールされていくもの、ということを前提としてい
た。ところが、実際には何らかの原因で基準位置ズレが
発生してしまい結果的にはハンドラとしての不具合を発
生してしまっていた。そこで、本発明においては、より
高い繰り返し精度を保つことができるようにするため
に、基準位置ズレが例えば１ステップ分だけでも発生し
たら、それを感知しハンドラを停止してアラームが出せ
る制御部を設けることで、オペレータに直ちに対応させ
ることを可能とした。
よって設定したものは、理論的にはその後も繰り返しコ
ントロールされていくもの、ということを前提としてい
た。ところが、実際には何らかの原因で基準位置ズレが
発生してしまい結果的にはハンドラとしての不具合を発
生してしまっていた。そこで、本発明においては、より
高い繰り返し精度を保つことができるようにするため
に、基準位置ズレが例えば１ステップ分だけでも発生し
たら、それを感知しハンドラを停止してアラームが出せ
る制御部を設けることで、オペレータに直ちに対応させ
ることを可能とした。
【００１１】
【実施例】図１は、本発明の実施例のＩＣテストハンド
ラの基準位置ズレ自動検出機構を示す概念図である。図
１には、本発明のＩＣテストハンドラの基準位置ズレを
自動検出する機構の構成とその動作シーケンスのタイム
チャートを示した。
ラの基準位置ズレ自動検出機構を示す概念図である。図
１には、本発明のＩＣテストハンドラの基準位置ズレを
自動検出する機構の構成とその動作シーケンスのタイム
チャートを示した。
【００１２】図１に示すように、本発明によるＩＣテス
トハンドラの基準位置ズレ自動検出機構は、エンコーダ
５が付いているモータ６、ボールネジ７及びモータ６を
ボールネジ７に接続するカップリング８からなる駆動軸
と、エンコーダ５、モータ６を制御したり、検出データ
をメモリするＲＡＭや動作を制御するＣＰＵからなる制
御部９と、上記駆動軸上を移動するものをセンシングす
るリミットセンサＡ１、リミットセンサＢ２とで構成さ
れる。尚リミットセンサＡ１は、移動量を１ステップず
つカウントする際に起点となるカウント開始位置を決め
るセンサであり、またリミットセンサＢ２は上記駆動軸
上の移動方向４での移動量の限界とする位置を検出する
センサである。
トハンドラの基準位置ズレ自動検出機構は、エンコーダ
５が付いているモータ６、ボールネジ７及びモータ６を
ボールネジ７に接続するカップリング８からなる駆動軸
と、エンコーダ５、モータ６を制御したり、検出データ
をメモリするＲＡＭや動作を制御するＣＰＵからなる制
御部９と、上記駆動軸上を移動するものをセンシングす
るリミットセンサＡ１、リミットセンサＢ２とで構成さ
れる。尚リミットセンサＡ１は、移動量を１ステップず
つカウントする際に起点となるカウント開始位置を決め
るセンサであり、またリミットセンサＢ２は上記駆動軸
上の移動方向４での移動量の限界とする位置を検出する
センサである。
【００１３】また図１に示したように本発明の機構によ
る操作シーケンスのタイムチャートはなっている。即
ち、 （１）当初は基準位置決定モードとして、（Ａ）リミッ
トセンサＡ１を検出するまで基準位置方向３に連続移動
１２させる。（Ｂ）リミットセンサＡ１が検出できなく
なるまで１ステップずつ確認しながら基準位置方向３と
逆の方向にステップ移動Ａ１３させる。（Ｃ）リミット
センサＡ１が検出できなくなったポイントから移動量を
カウント１５しながら１ステップずつエンコーダ５のＺ
相１１を検出するまでステップ移動Ｂ１４させる。
（Ｄ）Ｚ相１１を検出したならば、そのポイントを基準
位置と決定し、リミットセンサＡ１からの移動量をデー
タとして制御部９のメモリに保存する。
る操作シーケンスのタイムチャートはなっている。即
ち、 （１）当初は基準位置決定モードとして、（Ａ）リミッ
トセンサＡ１を検出するまで基準位置方向３に連続移動
１２させる。（Ｂ）リミットセンサＡ１が検出できなく
なるまで１ステップずつ確認しながら基準位置方向３と
逆の方向にステップ移動Ａ１３させる。（Ｃ）リミット
センサＡ１が検出できなくなったポイントから移動量を
カウント１５しながら１ステップずつエンコーダ５のＺ
相１１を検出するまでステップ移動Ｂ１４させる。
（Ｄ）Ｚ相１１を検出したならば、そのポイントを基準
位置と決定し、リミットセンサＡ１からの移動量をデー
タとして制御部９のメモリに保存する。
【００１４】（２）次に、所定の移動を繰り返すための
動作命令をスタートさせるためには、基準位置確認モー
ドに切り換えるが、上記記載の（Ａ）〜（Ｃ）は同じ動
作で行わせ、次に、（Ｅ）Ｚ相１１を検出するまでを１
ステップずつカウント１５して得た移動量のデータと、
上記記載の（１）の基準位置決定モードでのデータとが
一致しているか比較させる。比較確認の結果一致してい
なければ、その時点で動作をストップして基準位置ズレ
発生のアラームを発しオペレータに通知するものとし
た。
動作命令をスタートさせるためには、基準位置確認モー
ドに切り換えるが、上記記載の（Ａ）〜（Ｃ）は同じ動
作で行わせ、次に、（Ｅ）Ｚ相１１を検出するまでを１
ステップずつカウント１５して得た移動量のデータと、
上記記載の（１）の基準位置決定モードでのデータとが
一致しているか比較させる。比較確認の結果一致してい
なければ、その時点で動作をストップして基準位置ズレ
発生のアラームを発しオペレータに通知するものとし
た。
【００１５】（３）本発明による基準位置ズレ自動検出
機構とその手順とはＩＣテストハンドラ以外の駆動軸と
して用いることは極めて有用である。
機構とその手順とはＩＣテストハンドラ以外の駆動軸と
して用いることは極めて有用である。
【００１６】上記実施例では、駆動機構としてボールネ
ジ７による場合での説明であったが、所望によりこの代
わりにタイミングベルト及びワイヤーによる駆動機構を
用いても良く、同様にして実施可能である。
ジ７による場合での説明であったが、所望によりこの代
わりにタイミングベルト及びワイヤーによる駆動機構を
用いても良く、同様にして実施可能である。
【００１７】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。 （１）何らかの原因で基準位置ズレが発生しても、オペ
レータが認知できないまま動作させていると遂にはズレ
が積み重なって、Ｘ−Ｙ両軸の座標点で決められた移動
方向と移動量は、正しい所定の位置とはかけ離れ、Ｚ軸
の下降動作で無理な力を加えることで、被測定対象物で
あるＩＣデバイスを壊すことがなくなった。 （２）さらにＩＣデバイスのみならずハンドラの一部を
壊すこともなくなったので、稼働率が格段に向上した。 （３）基準位置ズレが発生したら直ちにハンドラをスト
ップしてアラームを出しオペレータに知らせて対応させ
るので、原因を追求して根本対策が取れるようになっ
た。 （４）従ってオペレータの負担が減ったので、多数台持
ち運転が楽になりさらには無人化運転も可能となった。
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。 （１）何らかの原因で基準位置ズレが発生しても、オペ
レータが認知できないまま動作させていると遂にはズレ
が積み重なって、Ｘ−Ｙ両軸の座標点で決められた移動
方向と移動量は、正しい所定の位置とはかけ離れ、Ｚ軸
の下降動作で無理な力を加えることで、被測定対象物で
あるＩＣデバイスを壊すことがなくなった。 （２）さらにＩＣデバイスのみならずハンドラの一部を
壊すこともなくなったので、稼働率が格段に向上した。 （３）基準位置ズレが発生したら直ちにハンドラをスト
ップしてアラームを出しオペレータに知らせて対応させ
るので、原因を追求して根本対策が取れるようになっ
た。 （４）従ってオペレータの負担が減ったので、多数台持
ち運転が楽になりさらには無人化運転も可能となった。
【図１】本発明の実施例の機構を示す概念図である。
【図２】従来技術によって基準位置を決める機構を示す
概念図である。
概念図である。
１ リミットセンサＡ ２ リミットセンサＢ ３ 基準位置方向 ４ 移動方向 ５ エンコーダ ６ モータ ７ ボールネジ ８ カップリング ９ 制御部 １１ Ｚ相 １２ 連続移動 １３ ステップ移動Ａ １４ ステップ移動Ｂ １５ カウント
Claims (3)
- 【請求項１】 エンコーダ（５）付きのモータ（６）に
よ一軸駆動手段と、 エンコーダ（５）やモータ（６）を制御し、検出データ
を記憶するＲＡＭや動作を制御するＣＰＵからなる制御
部（９）と、 上記駆動上を移動するものをセンシングするリミットセ
ンサＡ（１）及びリミットセンサＢ（２）と、 を具備することを特徴とするＩＣテストハンドラの基準
位置ズレ自動検出機構。 - 【請求項２】 当初は基準位置決定モードに設定し、リ
ミットセンサＡ（１）を検出するまで基準設定位置方向
（３）に連続移動（１２）させて、 次にリミットセンサＡ（１）が検出できなくなるまで１
ステップずつ確認しながら基準位置方向（３）と逆の方
向にステップ移動Ａ（１３）させて、 リミットセンサＡ（１）が検出できなくなったポイント
から移動量をカウント（１５）しながら１ステップずつ
エンコーダ（５）のＺ相（１１）を検出するまでステッ
プ移動Ｂ（１４）させて、 Ｚ相（１１）を検出したならばそのポイントを基準位置
と決定し、リミットセンサＡ（１）からの移動量をデー
タとして制御部（９）のメモリに保存し、 次いで所定の移動を繰り返すための動作命令をスタート
させるためには基準位置確認モードに切り換えて、 上記記載のＺ相（１１）を検出して、そのポイントを基
準位置として決定し、リミットセンサＡ（１）からの移
動量をデータとしてメモリに記憶した後はＺ相（１１）
を検出するまでを１ステップずつカウント（１５）して
得た移動量のデータと上記記載の基準位置決定モードで
のデータとが一致しているかどうかを比較し、 一致していなければ、その時点で動作をストップして基
準位置ズレ発生のアラームを発しオペレータに通知する
手順としたことを特徴とするＩＣテストハンドラの基準
位置ズレ自動検出機構。 - 【請求項３】 一軸駆動手段は、ボールネジ（７）、タ
イミングベルト、あるいはワイヤーによる駆動機構とし
た請求項１記載のＩＣテストハンドラの基準位置ズレ自
動検出機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9452595A JPH08272453A (ja) | 1995-03-28 | 1995-03-28 | Ｉｃテストハンドラの基準位置ズレ自動検出機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9452595A JPH08272453A (ja) | 1995-03-28 | 1995-03-28 | Ｉｃテストハンドラの基準位置ズレ自動検出機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08272453A true JPH08272453A (ja) | 1996-10-18 |
Family
ID=14112753
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9452595A Withdrawn JPH08272453A (ja) | 1995-03-28 | 1995-03-28 | Ｉｃテストハンドラの基準位置ズレ自動検出機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08272453A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100451586B1 (ko) * | 2002-03-13 | 2004-10-08 | 미래산업 주식회사 | 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 이송장치의 작업 높이인식장치 및 이를 이용한 작업 높이 인식방법 |
| JP2009291922A (ja) * | 2008-06-09 | 2009-12-17 | Shinmaywa Industries Ltd | 往復移動装置の位置ずれ検出装置およびそれを備えたカッター装置 |
-
1995
- 1995-03-28 JP JP9452595A patent/JPH08272453A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100451586B1 (ko) * | 2002-03-13 | 2004-10-08 | 미래산업 주식회사 | 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 이송장치의 작업 높이인식장치 및 이를 이용한 작업 높이 인식방법 |
| US6870360B2 (en) | 2002-03-13 | 2005-03-22 | Mirae Corporation | Apparatus for recognizing working height of device transfer system in semiconductor device test handler and method thereof |
| JP2009291922A (ja) * | 2008-06-09 | 2009-12-17 | Shinmaywa Industries Ltd | 往復移動装置の位置ずれ検出装置およびそれを備えたカッター装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020604 |