JP2004039841A

JP2004039841A - 半導体ウエハ搬送装置

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Publication number: JP2004039841A
Application number: JP2002194390A
Authority: JP
Inventors: Kazutaka Kanbara; 神原　一孝
Original assignee: NEC Kyushu Ltd
Current assignee: NEC Kyushu Ltd
Priority date: 2002-07-03
Filing date: 2002-07-03
Publication date: 2004-02-05
Anticipated expiration: 2022-07-03
Also published as: JP4010891B2

Abstract

【課題】キャリアからウエハを取り出す際に前もってアームの変形を検出し、アームの変形によるウエハ搬送トラブルやウエハへの傷を未然に防止する。
【解決手段】アームを上下方向に移動させるためのボールネジに同期するロータリエンコーダと、正常なアームをキャリアに挿入する際のアームの高さ位置を原点位置１７とし、この原点位置１７からアームを下降させてアームが検出点位置１８に達したことを検知する反射型光電センサ６とを備え、アームに変形がある場合、変形アーム２ａが下降を始めると同時にロータリエンコーダもパルス出力を開始し、反射型光電センサ６からの検知信号を受けた時点でのロータリエンコーダのパルス数（９００又は１１００パルス）をカウントし、このパルス数を正常なアームのパルス数（１０００パルス）と比較してアームの変形の有無を検出する。
【選択図】　　　図３

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造工程で使用する半導体ウエハ（以下、単にウエハという）のアーム式搬送装置に関するもので、特に、ウエハ移載用のアームの変形をウエハ搬送前に検知してウエハの搬送トラブルを未然に防止することができるようにしたウエハ搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体装置の製造工程において、前工程から次工程にウエハを搬送する際にはキャリアへのウエハの取り出しや収納が行なわれ、そのためにウエハ搬送装置（搬送ロボット）が使用されている。この搬送ロボットは、前工程のキャリアに収納されたウエハを１枚ずつ取り出し、次工程に送るための片持ち状のアームを備えている。通常、このアームは長方形状の薄板で形成され、前進後退、上昇下降、かつ回転可能に搬送ロボットに装備されている。
【０００３】
キャリアには複数枚のウエハが等ピッチで水平方向に収納されており、このピッチ間にアームを前進させて先端部を挿入し、アームをわずか上昇させてウエハを乗せ、アームを後退させてウエハをキャリアから取り出し、アームを回転させてウエハを次工程に搬送している。搬送後、アームは初期位置に戻り、キャリアを１ピッチ移動させ、次のウエハに対し同様のサイクル動作を行なう。
【０００４】
このアームは片持ち構造であるため、何らかの原因でアームに外力が加わったりあるいはネジの緩みなどがあったりすると、わずかの力であっても変形（傾き、曲がり、ねじれ、反り等）を生じ易く、特にアーム先端部では変形が拡大されてキャリアのウエハピッチ間にアームを挿入する時に、ウエハに傷をつけたり最悪の場合はウエハを破損してしまうという事態が発生していた。
【０００５】
この状態を図８及び図９を用いて説明すると、図８はキャリア内に収納されたウエハの１ピッチ間に正常なアーム（変形のないアーム）が挿入された状態を示す側面図で、アーム２は上ウエハ１０と下ウエハ１１との真中に挿入され、上下ウエハ１０、１１とアーム２の間隔はそれぞれ約１ｍｍのマージン１６を持たせている。図９（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ変形したアームが挿入された状態を示す側面図で、アーム２ａが下方（図Ａ）又は上方（図Ｂ）に約１ｍｍ曲がり変形しているために、下ウエハ１１又は上ウエハ１０に傷１２をつけた状態を示している。
【０００６】
そこで従来は、アームの変形によるウエハ傷やウエハ搬送トラブルを未然に防止するために、例えば、特許第２９９６４９１号公報に示されているように、ウエハ搬送面と平行に基準面を設定し、この基準面からアームまでの距離を光学的に検出し、変形が検出された場合には搬送ロボットを直ちに停止させるようにした手段が採用されている。
【０００７】
この従来の光学的検出手段について図を用いて説明すると、図１０はアームを側面方向から見た説明図、図１１はアームを先端方向から見た説明図である。図１０、図１１に示すように、アーム２がキャリア７に挿入される手前でかつアーム２の下方に、同一機能の２個の反射型光電センサ６ａ、６ｂを横に並べると同時に縦方向に少しずらして設置している。この反射型光電センサ６ａ、６ｂは、赤外線発光ダイオードなどの小スポット限定反射型の光電センサであって、出射面より例えば８ｍｍ前後の距離にある検出範囲内に反射面が来た場合には感知してＯＦＦ（又はＯＮ）となるセンサスイッチで、検出範囲外ではＯＮ（又はＯＦＦ）となる。
【０００８】
すなわち、図１１に示すように、下方にずらして設置した反射型光電センサ６ａの検出範囲をａ〜ｂ間とし、上方にずらして設置した反射型光電センサ６ｂの検出範囲をｃ〜ｄ間とすると、この２個の反射型光電センサの検出範囲が重なったｃ〜ｂ間が新たな検出範囲となる。そして、この上限位置ｂと下限位置ｃの許容範囲内にアーム２が納まれば、アーム２は変形のない正常な状態にあると判断し、はみ出した場合は変形があると判断している。これにより、反射型光電センサ１個で検出するよりも検出範囲を狭くできるので、アーム変形の検出精度を上げることが可能となっている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来技術では、アームの変形を検出するために反射型光電センサを２個使用し、それぞれの検出範囲をずらすことによって許容範囲を設定しているが、この方法は、検出範囲を狭めることによってアームの変形の検出精度を上げることは可能であっても、個々の反射型光電センサの位置調整が困難であり、例えば、０．０１ｍｍ単位にまで精度を上げて位置調整を行なうことは不可能に近い。そのため、アームの変形が許容範囲から外れた場合にのみＯＮかＯＦＦかで異常を検出するデジタル方式に頼らざるを得ず、実際にアームに変形があっても許容範囲内に入っていれば検出されないため変形なしと判断され、変形が発生し始めていることを見過ごしてしまう結果になる。
【００１０】
また、従来は、アームが側面方向から見て図９（Ａ）のように下方向または図９（Ｂ）のように上方向に曲がり変形していても、許容範囲内ならば検出可能であったが、図１２（Ａ）に示すように、アーム２を先端方向から見てα方向に傾いて変形している場合には、許容範囲ｂ〜ｃ間から外れていても反射型光電センサ６ａの検出範囲ａ〜ｂ内、又は６ｂの検出範囲ｃ〜ｄ内であれば異常とは判断されないことになり、ウエハへダメージを与えてしまうことになる。したがって、図１２（Ｂ）に示すように、反対のα方向に傾いて変形している場合のみ、アーム２は許容範囲ｂ〜ｃ間から外れるため検出が可能となる。
【００１１】
本発明は、アームの変形の検出精度を向上させることによって上記問題点を解決し、アームの変形によるウエハ搬送トラブルやウエハへの傷を未然に防止できる半導体ウエハ搬送装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、複数枚のウエハを等ピッチ間隔で水平に収納したキャリアの前記ウエハ間にアームを挿入し、キャリアからウエハを１枚ずつアームに乗せて取り出し次工程に搬送する半導体ウエハ搬送装置において、前進後退、上昇下降、回転可能なアームを有する搬送ロボットと、アームを上下方向に移動させるためのボールネジに同期するロータリエンコーダと、正常なアームをキャリアに挿入する際のアーム高さ位置を原点位置とし、この原点位置からアームを下降させてアームが検出点位置に達したことを検知する反射型光電センサとを備え、アームが下降を始めると同時にロータリエンコーダもパルス出力を開始し、反射型光電センサからの信号を受けた時点でのロータリエンコーダのパルス数をカウントし、このパルス数を正常なアームのパルス数と比較してアームの変形の有無を検出するようにしている。
【００１３】
また、本発明は、アームの変形の有無を、アームをキャリアのウエハ間に挿入する前に毎回検査し、アームの変形が検出された場合はウエハ搬送動作を停止させるようにし、また、アームの変形が上向き又は下向きの曲り変形である場合に検出可能とするとともに、アームを原点位置においてわずか回転させ、アームの左右両端部におけるパルス数をそれぞれカウントし、このパルス数の差によりアームの傾き変形も検出可能としている。
【００１４】
また、本発明は、反射型光電センサを前進するアームの下方でかつキャリアの手前に設置し、前進するアームをキャリアの直前で一旦停止させてアームの変形検出動作を行なうようにしている。
【００１５】
また、本発明は、複数枚のウエハを等ピッチ間隔で水平に収納したキャリアの前記ウエハ間にアームを挿入し、キャリアからウエハを１枚ずつアームに乗せて取り出し次工程に搬送する半導体ウエハ搬送装置において、前進後退のみ可能なアームを有する搬送ロボットと、反射型光電センサを上下方向に移動させるためのボールネジに同期するロータリエンコーダと、正常なアームをキャリアに挿入する際の反射型光電センサの高さ位置を原点位置とし、この原点位置から反射型光電センサを上昇させて反射型光電センサがアーム検出点位置に達したことを検知し、反射型光電センサが上昇を始めると同時にロータリエンコーダもパルス出力を開始し、反射型光電センサからの検知信号を受けた時点でのロータリエンコーダのパルス数をカウントし、このパルス数を正常なアームのパルス数と比較してアームの変形の有無を検出するようにしている。
【００１６】
また、本発明は、反射型光電センサを前進するアームの下方でかつキャリアの手前に上昇下降可能に設置し、前進するアームをキャリアの直前で一旦停止させてアームの変形検出動作を行なうようにしている。
【００１７】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態を示すウエハ搬送装置の構成図である。図１に示すように、本発明のウエハ搬送装置は、水平方向（Ｘ方向）に前進後退動作が可能でかつ垂直方向（Ｚ方向）に上昇下降動作が可能でかつθ方向に回転可能なアーム２と、このアーム２を上下動作させるパルスモータ５及びボールネジ３と、このボールネジ３と同期回転するロータリエンコーダ４とからなる（Ｘ−Ｚ−θ）軸を有する搬送ロボット１を備えている。
【００１８】
さらに、この搬送ロボット１を動作させてアーム２を前進させたときに、前進したアーム２の下方に設置されてアーム２に出射光を当てて検知する反射型光電センサ６と、反射型光電センサ６からの検知信号が入力された時のパルス数をロータリエンコーダ４でカウントし、このロータリエンコーダ４からの信号に基づいてアーム２の変形の有無を判定し、搬送ロボット１の動作を制御する制御部１５とから構成されている。また、ウエハ８を一定ピッチで収納したキャリア７がキャリアステージ９上に置かれ、アーム２は変形無しと判定された場合に前進して上下のウエハ間に挿入され、上昇して上側のウエハ８を載せ、後退してウエハ８をキャリア７から取り出すようになっている。
【００１９】
このように構成されている本発明のウエハ搬送装置において、アームの変形をウエハ搬送前に検出し、ウエハ搬送トラブルやウエハ面へのダメージを未然に防止することができる機能について、図面を参照して説明する。
【００２０】
図２は正常なアーム（変形の無いアーム）の検出動作を説明する側面図である。図に示すように、アーム２が前進してキャリアの手前に設置された反射型光電センサ６の上に来たところで停止する。このときのアーム２の高さ位置をアームの原点位置１７とし、同時にロータリエンコーダ上でもアーム原点位置に対応して原点位置（初期値）を定める。そして、ウエハを１枚搬送するごとにアームは原点位置に戻り、キャリアを１ピッチ移動させて次のウエハに対し同様のサイクル動作を行なう。
【００２１】
次いで、反射型光電センサ６の上に来たアーム２は、ボールネジの回転により下降を開始し、反射型光電センサ６から所定の距離にアーム２が来た時に、反射型光電センサ６のスイッチ機能が作動してアーム２の位置を検出する。ここでは、例えば反射型光電センサ６の端面より８ｍｍのところで動作するセンサを使用し、この位置を検出点位置１８とする。一方、アーム２の下降開始と同時にロータリエンコーダも初期値からのパルスをカウントし始め、反射型光電センサ６がアーム２を検出したときのパルス数でアームの位置を検出することができる。ここでは、例えば１０００パルスとなった時にアームが検出点位置１８に達したものとすれば、このパルス数が正常なアームであることを示している。
【００２２】
次に、アームに曲り変形があった場合の検出動作について、図３（Ａ）、（Ｂ）の側面図を用いて説明する。なお、前記図２と同じ内容の説明は省略する。図３（Ａ）のように、変形アーム２ａは先端部が下に曲がった状態で原点位置１７にある。この変形アーム２ａをボールネジの回転により降下させると、先端部が下方に曲がっているため正常なアームに比べ短い時間で検出点位置１８に到達する。このとき、反射型光電センサ６からの信号によりロータリエンコーダも、例えば９００パルスをカウントしたとすれば、正常なアームの１０００パルスと比較してアーム２ａが下方に曲がり変形していることが分かる。同様に、図３（Ｂ）のように、アーム２ａの先端部が上に曲がった状態の時は、正常なアームに比べ長い時間で検出点位置１８に到達する。このとき、例えばロータリエンコーダが１１００パルスをカウントしたとすれば、アーム２ａが上方に曲がり変形していることが分かる。
【００２３】
次に、アームに傾き変形があった場合の検出動作について、図４及び図５を用いて説明する。図４は正常なアーム２を先端方向から見た正面図で、アーム２の両端部をそれぞれ検出点位置１８とした場合の説明図である。図４（Ａ）はアーム２を回転させてアーム２の左端部１３が反射型光電センサ６の上に来た場合を示し、図４（Ｂ）は同じくアーム２の右端部１４が反射型光電センサ６の上に来た場合を示している。ここで、Ｌはアーム２上の両検出点位置間の距離であり、反射型光電センサ６と検出点位置１８との間隔は例えば８ｍｍとする。
【００２４】
また、図５は、図４で示したアーム２がα方向に傾き変形した場合の正面図で、図５（Ａ）に示すように、アーム２の左端部１３の検出点位置１８は水平位置より下がっているため原点位置１７から例えば９８０パルスの位置で検出され、アーム２の右端部１４の検出点位置１８は、図５（Ｂ）に示すように、水平位置より上がっているため例えば１０２０パルスの位置で検出され、これらの数値からアーム２のα方向の傾きも捉えることができる。
【００２５】
上記したアームの変形を検出する機能は、次のような動作原理に基づいている。すなわち、反射型光電センサの出力（例えば、センサ端面より８ｍｍの位置にアームが来たら検出する）と搬送ロボット自体の持つロータリエンコーダの出力とを毎回比較し、初期値（例えば、原点位置からセンサ出力までを１０００パルスとする）からの変化を認識することでアームの変形を捉える。ここで、ロータリエンコーダの１パルスに相当するアームの移動量は、ロータリエンコーダの分解能（パルス／回転）とＺ軸であるボールネジのリードによって決まっているため、原点位置からのパルス数が分かれば換算することによってｍｍ／パルスの値が判る。それにより、あらかじめ定められたアーム変形量の規格値に対しその値が大きくなれば、搬送装置はアームの異常を認識し、ウエハ搬送動作に移行することはなく、搬送トラブルを未然に防止できる。
【００２６】
次に、本発明の動作について説明する。まず、図１に示すように、ウエハ搬送装置は搬送ロボット１を動作させ、キャリアステージ９上にセットされたキャリア７内にあるウエハ８を、アーム２の前進、上昇、後退、回転によって次工程へ搬送する。アーム２が正常な場合は、図８に示したように上ウエハ１０と下ウエハ１１の真中に挿入され、上下ウエハ１０、１１とアーム２とのマージン１６は上下それぞれ約１ｍｍとなるようにウエハ間ピッチを設定している。
【００２７】
本発明は、ウエハ搬送前に毎回アーム２の変形（曲がり、傾きなど）を検査し、変形量が規格値（例えば、０．２ｍｍ）を超えている場合にはウエハ搬送を行なわない。そのシーケンスは、アーム２が反射型光電センサ６上まで伸びた後、原点位置１７からセンサの検出点位置１８までの移動量をロータリエンコーダ４のパルス数を数えることで認識する。
【００２８】
すなわち、図２に示すように、アーム２が正常な場合は、毎回同じパルス数（１０００パルス）の時に反射型光電センサ６はアーム２を検出する。ロータリエンコーダによる分解能が０．０１ｍｍ／パルスとすると、原点位置１７から反射型光電センサ６の検出点位置１８までの距離は、１０００パルス×０．０１ｍｍ／パルス＝１０ｍｍということになる。
【００２９】
また、図３（Ａ）に示すように、アーム２が何らかの影響で変形した場合、原点位置１７から９００パルスの位置で反射型光電センサ６はアーム２を検出する。よって、原点位置１７から反射型光電センサ６の検出点位置１８までの距離は、９００パルス×０．０１ｍｍ／パルス＝９ｍｍとなり、正常なアームに比べアーム２は１ｍｍ下方に曲がり変形していることが判る。同様に、図３（Ｂ）に示すように、パルス数が１１００パルスを検出した場合は、アーム２は１ｍｍ上方に曲がり変形していることがわかる。また、図５に示すように、アーム２を回転させ、その検出点位置１８をアームの両端部で行なうと、アーム２に傾きがある場合、原点位置１７からのパルス数が左端部１３で９８０パルス、右端部１４で１０２０パルスと変化が現れ、その傾きが判る。この場合は、（１０２０−９８０）パルス×０．０１ｍｍ／パルス＝０．４ｍｍとなり、高さ０．４ｍｍのα方向の傾きがあることが判る。
【００３０】
次に、本発明における他の実施の形態について、図６の構成図を用いて説明する。先に述べた実施の形態では、反射型光電センサ６を固定しアーム２を前進後退（Ｘ方向）、上昇下降（Ｚ方向）、回転（θ方向）させる構成であったが、本実施の形態では、図６に示すように、アーム２はＸ方向に前進後退のみとし、反射型光電センサ６の方を上昇下降（Ｚ方向）、回転（θ方向）させる構成としている。このように、アーム２の動きを単純化したことによってＸ軸のみの搬送ロボット２１は機構の簡略化が可能となる。一方、反射型光電センサ６を有するユニット２３において、反射型光電センサ６はパルスモータ１９によって回転するボールネジ３に連動して上昇下降し、パルスモータ１９には同期回転するロータリエンコーダ４が接続されている。また、反射型光電センサ６を回転させる回転駆動源２０が設けられている。この回転駆動源２０は、図４に示したように、アーム２の両端部を測定する際にアーム２を距離Ｌだけ回転させるためのものなので、シリンダやソレノイドでもよい。また、表示器２２を設けることによって測定値を表示することができ、規格を超えればアラームを発し異常を知らせる。
【００３１】
この反射型光電センサ６によって、アーム２の変形を検出する動作について図７を用いて説明する。図７はアーム２が正常な場合の側面図である。まず、アーム２が反射型光電センサ６の上に来た時、反射型光電センサ６は原点位置１７にあり、ロータリエンコーダの初期値と一致している。次いで、反射型光電センサ６を上昇させ、アーム２から約８ｍｍの検出点位置１８に来た時にロータリエンコーダが１０００パルスをカウントしたとすれば、この時点でアーム２は正常と判断する。また、図示していないが、アーム２が曲がり変形、傾き変形している場合でも、図７と同様の動作原理でアーム２の異常を検出できる。
【００３２】
【発明の効果】
従来は２個の反射型光電センサを用いて上限下限を設定し、この許容範囲内であればアームに変形があっても異常なしと判断していたが、本発明は１個の反射型光電センサとロータリエンコーダを組み合わせることによって、分解能にもよるが０．０１ｍｍ単位の精度でアームの変形量を検出することも可能である。
【００３３】
また、従来はアームを先端側から見て左右に傾いている場合は一方向の傾き変形しか検出できなかったが、本発明は両端部を測定することによっていずれの方向の傾き変形も検出できる。
【００３４】
このように、本発明によれば、アームの変形によるウエハ搬送トラブルやウエハへの傷を未然に防止できるとともに、変形量の経時変化を捉えることによってアーム変形の予知診断も可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明における一実施の形態を示すウエハ搬送装置の構成図である。
【図２】本発明の一実施の形態において、正常なアームの検出動作を説明する側面図である。
【図３】本発明の一実施の形態において、曲がり変形があるアームの検出動作を説明する側面図で、図（Ａ）は下に曲がった場合、図（Ｂ）は上に曲がった場合を示す。
【図４】本発明の一実施の形態において、アームの両端部の変形検出動作を説明する正面図である。
【図５】本発明の一実施の形態において、傾き変形があるアームの検出動作を説明する正面図で、図（Ａ）は左端部を検出する場合、図（Ｂ）は右端部を検出する場合を示す。
【図６】本発明における他の実施の形態を示すウエハ搬送装置の構成図である。
【図７】本発明の他の実施形態において、正常なアームの検出動作を説明する側面図である。
【図８】ウエハ間に正常なアームが挿入された時の側面図である。
【図９】ウエハ間に変形があるアームが挿入された時の側面図である。
【図１０】従来の光電センサを用いたアームの検出手段を説明する側面図である。
【図１１】従来の光電センサを用いたアームの検出手段を説明する正面図である。
【図１２】従来の傾き変形があるアームの検出動作を説明する正面図で、図（Ａ）は検出不可能な場合、図（Ｂ）は可能な場合を示す。
【符号の説明】
１　　（Ｘ−Ｚ−θ）軸を有する搬送ロボット
２　　アーム
２ａ　　変形アーム
３　　ボールネジ
４　　ロータリエンコーダ
５　　パルスモータ
６、６ａ、６ｂ　　反射型光電センサ
７　　キャリア
８　　ウエハ
９　　キャリアステージ
１０　　上ウエハ
１１　　下ウエハ
１２　　傷
１３　　左端部
１４　　右端部
１５　　制御部
１６　　マージン
１７　　原点位置
１８　　検出点位置
１９　　パルスモータ
２０　　回転駆動源
２１　　Ｘ軸のみの搬送ロボット
２２　　表示器
２３　　ユニット

Claims

複数枚の半導体ウエハを等ピッチ間隔で水平に収納したキャリアの前記半導体ウエハ間にアームを挿入し、キャリアから半導体ウエハを１枚ずつアームに乗せて取り出し次工程に搬送する半導体ウエハ搬送装置において、前進後退、上昇下降、回転可能なアームを有する搬送ロボットと、アームを上下方向に移動させるためのボールネジに同期するロータリエンコーダと、正常なアームをキャリアに挿入する際のアームの高さ位置を原点位置とし、この原点位置からアームを下降させてアームが検出点位置に達したことを検知する反射型光電センサとを備え、アームが下降を始めると同時にロータリエンコーダもパルス出力を開始し、反射型光電センサからの検知信号を受けた時点でのロータリエンコーダのパルス数をカウントし、このパルス数を正常なアームのパルス数と比較してアームの変形の有無を検出することを特徴とする半導体ウエハ搬送装置。
前記アームの変形の有無を、アームをキャリアの半導体ウエハ間に挿入する前に毎回検査し、アームの変形が検出された場合は半導体ウエハ搬送動作を停止させることを特徴とする請求項１記載の半導体ウエハ搬送装置。
前記アームの変形が上向き又は下向きの曲り変形である場合に検出可能としたことを特徴とする請求項１記載の半導体ウエハ搬送装置。
前記アームを原点位置においてわずか回転させ、アームの左右両端部におけるパルス数をそれぞれカウントし、このパルス数の差によりアームの傾き変形を検出可能としたことを特徴とする請求項１記載の半導体ウエハ搬送装置。
前記反射型光電センサを前進するアームの下方でかつキャリアの手前に設置し、前進するアームをキャリアの直前で一旦停止させてアームの変形検出動作を行なうことを特徴とする請求項１記載の半導体ウエハ搬送装置。
複数枚の半導体ウエハを等ピッチ間隔で水平に収納したキャリアの前記半導体ウエハ間にアームを挿入し、キャリアから半導体ウエハを１枚ずつアームに乗せて取り出し次工程に搬送する半導体ウエハ搬送装置において、前進後退のみ可能なアームを有する搬送ロボットと、反射型光電センサを上下方向に移動させるためのボールネジに同期するロータリエンコーダと、正常なアームをキャリアに挿入する際の反射型光電センサの高さ位置を原点位置とし、この原点位置から反射型光電センサを上昇させて反射型光電センサがアーム検出点位置に達したことを検知し、反射型光電センサが上昇を始めると同時にロータリエンコーダもパルス出力を開始し、反射型光電センサからの検知信号を受けた時点でのロータリエンコーダのパルス数をカウントし、このパルス数を正常なアームのパルス数と比較してアームの変形の有無を検出することを特徴とする半導体ウエハ搬送装置。
前記反射型光電センサを前進するアームの下方でかつキャリアの手前に上昇下降可能に設置し、アームの前進をキャリアの直前で一旦停止させてアームの変形検出動作を行なうことを特徴とする請求項６記載の半導体ウエハ搬送装置。