KR101215746B1 - 기판 이동 탑재 장치, 기판 이동 탑재 방법, 및 기억 매체 - Google Patents

기판 이동 탑재 장치, 기판 이동 탑재 방법, 및 기억 매체 Download PDF

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Abstract

기판 이동 탑재 장치(100)는 기판(W)을 유지하는 유지 아암(41a 내지 41e)과 반송 기체(5)를 갖는 기판 반송 수단(4)과, 수평한 광축(L)을 형성하는 광 센서(62)와, 반송 기체(5)를 승강시키는 승강 수단(52)과, 광축(L)에 대한 반송 기체(5)의 높이 위치를 검출하는 높이 위치 검출 수단(54)을 구비하고 있다. 제어부(7)의 판단 수단(72a)은 광 센서(62)로부터의 수광-비수광의 검출 결과와, 반송 기체(5)의 높이 위치에 기초하여, 유지 아암(41a 내지 41e)의 수평면에 대한 자세가 정상인지의 여부를 판단한다. 또한 제어부(7)는 판단 수단(72a)에 의해 유지 아암(41a 내지 41e)의 수평면에 대한 자세가 이상하다고 판단되었을 때에, 기판 반송 수단(4)을 정지시킨다.
기판, 유지 아암, 반송 기체, 반송 수단, 광축

Description

기판 이동 탑재 장치, 기판 이동 탑재 방법, 및 기억 매체 {SUBSTRATE CARRYING DEVICE, SUBSTRATE CARRYING METHOD, AND STORAGE MEDIUM}
본 특허 출원은, 2007년 3월 23일에 제출된 일본 출원인 특원2007-077530의 이익을 향수한다. 이들의 선출원에 있어서의 전체 개시 내용은, 인용함으로써 본 명세서의 일부가 된다.
본 발명은, 예를 들어 반도체 웨이퍼 등의 복수의 기판이 선반 형상으로 유지되는 유지구로부터 유지 아암에 의해 기판을 취출할 때, 이 유지 아암과 기판의 접촉을 확실하게 방지 가능한 기판 이동 탑재 장치, 기판 이동 탑재 방법, 및 이 기판 이동 탑재 방법에 사용되는 기억 매체에 관한 것이다.
반도체 제조 장치의 하나로서, 다수의 반도체 웨이퍼(이하 「웨이퍼」라고 함)에 대하여 일괄(배치)적으로 열처리를 행하는 열처리 장치가 있다. 이 열처리 장치는, 예를 들어 도16에 도시한 바와 같이 복수매의 웨이퍼(1)를 수납한 캐리어(10)가 외부에 대하여 반출입되는 반출입 영역(Sa)을 갖고, 자동 반송 로봇 또는 오퍼레이터에 의해, 상기 캐리어(10)가 상기 반출입 영역(Sa)으로 반입된다. 그리 고 이동 탑재 장치(11)에 의해, 상기 캐리어(10) 내의 웨이퍼(1)를 다수매의 웨이퍼(1)가 선반 형상으로 유지되는 웨이퍼 보트(12)로 이동 탑재하여, 당해 웨이퍼 보트(12)를 도시하지 않은 열처리노로 반입함으로써, 다수매의 웨이퍼(1)에 대하여 동시에 소정의 열처리가 행해진다.
상기 이동 탑재 장치(11)는, 승강 가능, 대략 연직축 방향으로 회전 가능, 또한 대략 수평 방향으로 이동 가능하게 구성된 베이스(14)와, 이 베이스(14)를 따라 진퇴 가능하게 구성된, 다수매, 예를 들어 5매의 웨이퍼(1)를 유지하기 위한 복수의 포크(13)를 구비하고 있으며, 예를 들어 5매의 포크(13)에 의해, 캐리어(10) 내와 웨이퍼 보트(12) 사이에서 5매의 웨이퍼(1)를 일괄적으로 반송하여, 이동 탑재하게 되어 있다. 이 때, 예를 들어 캐리어(10) 또는 웨이퍼 보트(12) 내에서, 웨이퍼(1)는 상하로 인접하는 웨이퍼끼리의 사이에 서로 소정 간격을 둔 상태로, 도시하지 않은 유지부에 의해 그 주연부가 유지되어 있다. 그리고 5매의 포크(13)의 각각을 캐리어(10) 또는 웨이퍼 보트(12)에 유지되어 있는 웨이퍼(1)의 하방측의 공간에 삽입한다. 이어서 각각의 포크(13)를 상승시키고, 상기 유지부로부터 웨이퍼(1)를 부상시켜 각각의 포크(13) 상에 웨이퍼(1)를 재치한다. 계속하여 포크(13)를 퇴행시킴으로써, 캐리어(10) 또는 웨이퍼 보트(12)로부터 웨이퍼(1)를 이동시킨다. 그 후에 이동 탑재 장치(11)에 의해 웨이퍼(1)가 이동 탑재처를 향하여 반송된다.
그런데 상기 포크(13)에 있어서는, 그 기단측이 나사 결합된 상태로 진퇴부(15)에 유지되어 있다. 그러나, 장기간에 걸쳐 포크(13)를 계속하여 사용하거 나, 상기 나사 결합의 조정 실패 등에 의해, 도17에 도시하는 위부터 4번째의 포크(13)와 같이, 포크(13)가 수평면에 대하여 평행해지지 않고, 포크(13)의 선단이 기준 위치로부터 상하 방향으로 기울어 버리거나, 포크(13) 자체에 휘어짐이 발생하여, 이 포크(13)의 선단이 기준 위치로부터 상하 방향으로 기울어 버리는 경우가 있다.
여기서 캐리어(10) 또는 웨이퍼 보트(12)에 재치된 웨이퍼(1)끼리의 사이의 거리는 약 6㎜ 내지 12㎜ 정도이다. 따라서, 이렇게 포크(13)의 선단이 상하 방향으로 기울면, 상기 캐리어(10) 또는 웨이퍼 보트(12)로부터 웨이퍼(1)를 수취할 때에, 웨이퍼(1)와 포크(13)가 접촉한다. 이에 의해 웨이퍼(1) 표면에 흠집이 형성 되거나, 포크(13)의 접촉에 의해 웨이퍼(1) 표면이 깎여 이에 의해 파티클이 발생할 우려가 있다.
이 때문에 웨이퍼(1)에 대하여, 표면의 흠집이나 파티클 부착의 유무 등의 표면 결함을 검사하는 것이 행해지고 있다. 그러나, 종래 이러한 웨이퍼(1)의 표면 결함을 검사하는 검사 장치는, 열처리노로부터 떨어진 영역에 설치되어 있다. 이 때문에, 웨이퍼(1)에 대하여 소정의 열처리를 행하고, 이 웨이퍼(1)를 캐리어(10) 내로 복귀시킨 후, 이 캐리어(10)를 검사 장치로 반송하여, 캐리어(10) 내에 포함되는 검사용의 웨이퍼에 대하여 소정의 검사를 행하고 있다.
이 검사 공정에서 웨이퍼(1) 표면에 흠집이나 파티클 부착 등의 결함이 발견 되었을 때에는, 이 시점에서 열처리 장치를 긴급 정지시킨다. 다음에 이 결함이 포크(13)가 상하 방향으로 기울어 포크(13)와 웨이퍼의 접촉에 기인한 것인지의 여 부를 확인하여, 그런 경우에는 포크(13)의 위치 조정이나 메인터넌스를 행한다.
그러나, 이와 같이 열처리 후에 웨이퍼(1)의 검사를 행할 경우, 표면 결함이 발견되었을 때에는, 열처리노에서는, 이미 검사된 웨이퍼(1)의 로트뿐만 아니라, 다음 로트의 웨이퍼에 대해서도 처리가 행해지고 있다. 이 때문에, 열처리 장치를 긴급하게 정지시켜, 포크(13)의 위치 조정이나 메인터넌스를 행했다고 해도, 그 이전에 처리가 행해진 다량의 웨이퍼에 표면 결함이 발생하여, 수율이 저하된다는 문제가 있다. 또한 열처리 장치를 긴급 정지시켜 포크(13)의 메인터넌스를 행하면，이 메인터넌스에 필요한 시간 동안은 장치를 가동시킬 수 없어, 장치 가동율이 저하되므로, 이 점도 생산성의 악화의 요인으로 되고 있다.
또 최근에는，1배치당 처리 매수를 늘려 처리 효율을 높이기 위해서, 웨이퍼 보트(12) 상의 웨이퍼의 배열 간격이 더 좁아지는 경향이 있다. 또한 웨이퍼가 점점더 대구경화되는 경향이 있다. 이에 수반하여, 포크(13)의 기단측부터 선단까지의 치수가 길어지고, 또한 포크(13)의 수평면에 대한 기울기가 커질 것이 우려되고 있으며 이러한 문제가 현재화되고 있다.
이 때문에 본 발명자들은, 캐리어(10)로부터 웨이퍼(1)를 수취하기 전에, 포크(13)의 상하 방향의 기울기를 검사하여, 사전에 위치 조정을 행함으로써, 포크(13)와 캐리어(10) 내의 웨이퍼(1)와의 접촉을 억제하여, 웨이퍼(1)의 표면 결함의 발생을 방지하는 것을 검토하고 있다. 여기서 포크의 상하 방향의 기울기를 검출하는 기술로서는, 일본 특허 공개 제2005-51171호 공보의 구성이 제안되어 있다.
이 일본 특허 공개 제2005-51171호 공보는, 로드 록 챔버의 하벽부에 광 센 서를 설치하여, 이 광 센서에 의해 웨이퍼 반송 로봇의 블레이드까지의 수직 방향의 거리를 계측하여, 상기 블레이드의 전방 기울기의 정도를 계측하는 기술을 제안하는 것이다. 그렇지만 이 일본 특허 공개 제2005-51171호 공보의 구성에서는, 광 센서의 광축은 수직 방향으로 형성되어 있으므로, 1매의 포크에 대해서만 측정할 수 있어, 예를 들어 5매의 포크를 일괄적으로 진퇴시키는 타입의 이동 탑재 장치에 있어서는, 모든 포크의 상하 방향의 기울기를 검사할 수는 없기 때문에, 본 발명의 과제를 해결할 수는 없다.
한편, 일본 특허 공개 제2000-124290호 공보에는, 웨이퍼 카세트 내에서의 웨이퍼의 위치 어긋남을 반사형 포토 센서에 의해 검출하고, 이 검출값에 기초하여 로봇 핸드를 제어하여, 웨이퍼 카세트 내에서의 웨이퍼와 로봇 핸드와의 접촉을 방지하는 기술이 제안되어 있다. 그러나, 이 기술은 웨이퍼 카세트 내의 웨이퍼의 위치 어긋남을 문제로 하고 있으며, 캐리어로부터 웨이퍼를 수취하기 전에, 포크의 상하 방향의 기울기를 검사하여, 위치 조정을 행한다는 본 발명의 과제에는 주목하고 있지 않아, 본 발명의 과제를 해결할 수는 없다.
<특허 문헌1> 일본 특허 공개 제2005-51171호 공보
<특허 문헌2> 일본 특허 공개 제2000-124290호 공보
본 발명은 이러한 점을 고려하여 이루어진 것으로, 복수의 기판이 선반 형상으로 유지되는 유지구로부터 유지 아암에 의해 기판을 취출할 때에, 이 유지 아암 과 기판의 접촉을 방지할 수 있는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.
이를 위해, 본 발명은, 기판 처리 장치 내에 설치되어, 복수의 기판을 재치하는 기판 이동 탑재 장치에 있어서, 복수의 기판을 선반 형상으로 유지하는 유지구와, 상기 유지구로부터 상기 기판을 취출하는 기판 반송 수단이며, 상기 기판을 유지하는 동시에 진퇴축을 따라 진퇴 가능하게 설치된 대략 수평한 유지 아암과, 상기 유지 아암을 지지하는 반송 기체를 갖는 기판 반송 수단과, 수평한 광축을 형성하는 광 센서이며, 상기 광축은, 상기 광 센서가 상기 반송 기체에 대하여 상대적으로 승강 될 때 상기 유지 아암의 주측면을 가로 지르도록 위치하는, 광 센서와, 상기 반송 기체에 연결되어, 상기 반송 기체를 상기 광 센서에 대하여 상대적으로 승강시키는 승강 수단과, 상기 승강 수단에 접속되어 상기 광축에 대한 상기 반송 기체의 높이 위치를 검출하는 높이 위치 검출 수단과, 판단 수단을 갖는 제어부이며, 상기 판단 수단은, 상기 광 센서와 상기 높이 위치 검출 수단에 접속되어 상기 유지 아암이 상기 기판을 유지하고 있지 않은 상태에서, 상기 반송 기체를 상기 광 센서에 대하여 상대적으로 승강시킴으로써 취득한 상기 광 센서로부터의 수광-비수광의 검출 결과와, 상기 반송 기체의 높이 위치에 기초하여 상기 유지 아암의 수평면에 대한 자세가 정상인지의 여부를 판단하는, 제어부를 구비하고, 상기 제어부는, 판단 수단이 상기 유지 아암의 상기 수평면에 대한 자세가 이상하다고 판단했을 때에, 상기 유지구로부터 다음 기판의 취출을 행하기 전에 상기 기판 반송 수단을 정지시키는 것을 특징으로 한다.
상기 반송 기체에, 복수의 유지 아암이 서로 독립적으로, 또는 일괄적으로 진퇴할 수 있게 적층하여 설치되어 있어도 된다. 상기 승강 수단은 상기 복수의 유지 아암이 공통의 광 센서의 광축을 가로 지르도록 상기 반송 기체를 승강시키고, 상기 제어부의 상기 판단 수단은, 상기 복수의 유지 아암 각각에 대해서, 상기 자세가 정상인지의 여부를 판단하도록 구성하여도 된다.
상기 반송 기체에, 복수의 유지 아암이 서로 독립적으로 진퇴할 수 있게 적층하여 설치되고, 제어부는, 하나의 유지 아암의 상기 자세가 이상하다고 판단한 경우, 다른 유지 아암에 의해 상기 유지구로부터 상기 기판의 취출을 행하도록 상기 기판 반송 수단을 제어하도록 구성하여도 된다.
상기 제어부의 상기 판단 수단은, 상기 반송 기체의 높이 위치와, 상기 광 센서로부터의 수광-비수광의 검출 결과에 기초하여, 또한 진퇴축을 중심으로 한 상기 유지 아암의 자세가 정상인지의 여부를 판단하는 것이어도 된다. 또한 상기 광 센서는 거리 센서로 이루어지고, 상기 판단 수단은, 상기 반송 기체의 높이 위치와, 상기 거리 센서와 상기 유지 아암의 사이의 거리에 기초하여, 또한 상기 유지 아암의 좌우 방향의 자세가 정상인지의 여부를 판단하는 것이어도 된다.
본 발명의 기판 이동 탑재 방법은, 복수의 기판을 선반 형상으로 유지하는 유지구와, 상기 유지구로부터 상기 기판을 취출하는 기판 반송 수단이며, 상기 기판을 유지하는 동시에 진퇴축을 따라 진퇴 가능하게 설치된 대략 수평한 유지 아암과, 상기 유지 아암을 지지하는 반송 기체를 갖는 기판 반송 수단과, 수평한 광축을 형성하는 광 센서이며, 상기 광축은, 상기 광 센서가 상기 반송 기체에 대하여 상대적으로 승강될 때 상기 유지 아암의 주측면을 가로 지르도록 위치하는 광 센서를 갖는 기판 이동 탑재 장치를 이용하는 기판 이동 탑재 방법에 있어서, 상기 유지 아암이 상기 기판을 유지하고 있지 않은 상태에서, 상기 반송 기체를 상기 광 센서에 대하여 상대적으로 승강시켜, 상기 광축에 대한 상기 반송 기체의 높이 위치와, 상기 광 센서로부터의 수광-비수광의 검출 결과를 취득하는 공정과, 상기 광 센서로부터의 상기 수광-비수광의 검출 결과와 상기 반송 기체의 높이 위치에 기초하여, 상기 유지 아암의 수평면에 대한 자세가 정상인지의 여부를 판단하는 공정과, 상기 유지 아암의 상기 수평면에 대한 자세가 이상하다고 판단되었을 때에, 상기 유지구로부터 다음 기판의 취출을 행하기 전에 상기 반송 수단을 정지시키도록 제어하는 공정을 구비한 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명은, 상기 반송 기체의 높이 위치와, 상기 광 센서로부터의 상기 수광-비수광의 검출 결과에 기초하여, 진퇴축을 중심으로 한 상기 유지 아암의 자세가 정상인지의 여부를 판단하는 공정을 더 구비한 것이어도 된다. 또한 상기 광 센서는 거리 센서로 이루어지고, 상기 반송 기체의 높이 위치와, 상기 거리 센서와 상기 유지 아암의 사이의 거리에 기초하여, 상기 유지 아암의 좌우 방향의 자세가 정상인지의 여부를 판단하는 공정을 더 구비해도 된다.
본 발명의 기억 매체는, 복수의 기판을 선반 형상으로 유지하는 유지구와, 상기 유지구로부터 상기 기판을 취출하는 기판 반송 수단이며, 상기 기판을 유지하는 동시에 진퇴축을 따라 진퇴 가능하게 설치된 대략 수평한 유지 아암과, 상기 유지 아암을 지지하는 반송 기체를 갖는 기판 반송 수단과, 수평한 광축을 형성하는 광 센서이며, 상기 광축은, 상기 광 센서가 상기 반송 기체에 대하여 상대적으로 승강될 때 상기 유지 아암의 주측면을 가로 지르도록 위치하는 광 센서를 갖는 기판 이동 탑재 장치를 이용하는 기판 이동 탑재 방법에 사용되는, 컴퓨터 상에서 동작하는 컴퓨터 프로그램을 저장한 기억 매체이며, 상기기판 이동 탑재 방법은, 상기 유지 아암이 상기 기판을 유지하고 있지 않은 상태에서, 상기 반송 기체를 상기 광 센서에 대하여 상대적으로 승강시켜, 상기 광축에 대한 상기 반송 기체의 높이 위치와, 상기 광 센서로부터의 수광-비수광의 검출 결과를 취득하는 공정과, 상기 광 센서로부터의 상기 수광-비수광의 검출 결과와 상기 반송 기체의 높이 위치에 기초하여, 상기 유지 아암의 수평면에 대한 자세가 정상인지의 여부를 판단하는 공정과, 상기 유지 아암의 상기 수평면에 대한 자세가 이상하다고 판단되었을 때에, 상기 유지구로부터 다음 기판의 취출을 행하기 전에 상기 반송 수단을 정지시키도록 제어하는 공정을 구비한 것을 특징으로 한다.
이와 같이, 본 발명에 따르면, 복수의 기판이 선반 형상으로 유지되는 유지구로부터 유지 아암에 의해 기판을 취출하기 전에, 유지 아암의 수평면에 대한 전후의 자세가 정상인지의 여부를 검사하므로, 유지 아암과 기판이 접촉하는 것을 방지할 수 있다. 이에 의해 유지 아암과 기판의 접촉에 기인하는 기판의 표면 결함의 발생을 방지할 수 있으므로, 제품의 수율이 향상된다.
이하, 본 발명에 따른 기판 이동 탑재 장치를 종형 열처리 장치에 적용한 실 시 형태에 대하여 설명한다. 도1은 종형 열처리 장치의 개관을 도시하는 사시도이고, 도2 및 도3은 각각 종형 열처리 장치의 내부를 도시하는 종단 측면도 및 개략 수평 단면도이다.
도1 내지 도3에 있어서, 종형 열처리 장치(200)는, 복수의 웨이퍼(W)(기판)를 수용하는 동시에, 이 복수의 웨이퍼(W)에 대하여 열처리를 실시하기 위한 장치이다. 또한 기판 이동 탑재 장치(100)는, 이러한 종형 열처리 장치(200)에 설치되어 있다. 도면 중 참조 부호 2는 종형 열처리 장치(200)의 외장체를 구성하는 하우징이며, 이 하우징(2) 내에는, 웨이퍼(W)를 수납한 캐리어(유지구)(C)를 종형 열처리 장치(200)로 반입, 반출하기 위한 반입 반출 영역(S1)과, 캐리어(C) 내의 웨이퍼(W)를 반송하여 후술하는 열처리노 내로 반입하기 위한 이동 탑재 영역인 로딩 에어리어(S2)가 형성되어 있다. 반입 반출 영역(S1)과 로딩 에어리어(S2)는 격벽(21)에 의해 구획되어 있어, 반입 반출 영역(S1)은 대기 분위기로 되고, 로딩 에어리어(S2)는 불활성 가스 분위기, 예를 들어 질소(N2) 가스 분위기 또는 청정 건조 기체(파티클 및 유기 성분이 적고, 노점 -60℃ 이하의 공기) 분위기로 되어 있다.
상기 반입 반출 영역(S1)은, 종형 열처리 장치(200)의 정면측으로부터 보아 전방에 위치하는 제1 영역(22)과, 깊이측에 위치하는 제2 영역(23)으로 이루어진다. 이 중 제1 영역(22)에는, 예를 들어 2개의 캐리어(C)를 재치하기 위한 제1 재치대(24)가 설치되어 있다. 캐리어(C)로서는, 기판인, 예를 들어 직경 300㎜의 웨이퍼(W)가 복수매, 예를 들어 25매 선반 형상으로 소정의 배열 간격을 두고 배열되 어 수납되고, 전방면의 도시하지 않은 취출구가 덮개에 의해 덮힌, 예를 들어 수지로 이루어지는 밀폐형의 것이 이용된다. 반입 반출 영역(S1)의 제2 영역(23)에는, 제2 재치대(25)가 배치되어 있다. 또한 제2 영역(23)의 상부측에는 캐리어(C)를 보관하는 캐리어 보관부(26)가 설치되는 동시에, 캐리어(C)를 제1 재치대(24)와 제2 재치대(25)와 캐리어 보관부(26) 사이에서 서로 반송하는 캐리어 반송 기구(27)가 설치되어 있다. 이 캐리어 반송 기구(27)는, 승강 가능하게 설치되는 동시에, 종형 열처리 장치(200)의 정면측에서 보아 좌우로 뻗은 가이드 레일을 갖는 승강부(27a)와, 상기 가이드 레일에 가이드되면서 좌우로 이동하는 이동부(27b)와, 이 이동부(27b)에 설치되어 캐리어(C)의 상면의 플랜지부(20)를 유지부(27d)에 의해 유지하여 캐리어(C)를 수평 방향으로 반송하는 아암(27c)을 갖고 있다.
상기 격벽(21)에는, 제2 재치대(25)에 재치된 캐리어(C)가 당해 격벽(21)에 접촉했을 때에, 캐리어(C) 내와 로딩 에어리어(S2)를 연통하는 개구부(20)가 형성되어 있다. 또한 격벽(21)에서의 로딩 에어리어(S2)측에는, 상기 개구부(20)를 개폐하는 도어(28)가 설치되는 동시에, 이 도어(28)를 닫은 상태 그대로 캐리어(C)의 덮개를 개폐하는 덮개 개폐 기구(29)가 설치되어 있다. 상기 도어(28)는 도시하지 않은 도어 개폐 기구를 갖고，이 도어 개폐 기구는, 캐리어(C)의 덮개가 열린 후, 덮개 개폐 기구(29)와 덮개를 모두 웨이퍼(W)의 이동 탑재의 방해가 되지 않도록, 예를 들어 상방측 또는 하방측으로 퇴피하도록 구성되어 있다. 또한 격벽(21)의 개구부(20)의 측부 테두리부측에는 불활성 가스 공급관(도시하지 않음), 개구부(20)의 하단측에는 배기로(도시하지 않음)가 각각 설치되어 있고, 이들에 의해 덮개가 열린 캐리어(C) 내로 불활성 가스, 예를 들어 질소 가스를 공급하여 내부의 공기로 치환하기 위한 가스 치환 수단이 구성되어 있다.
상기 로딩 에어리어(S2)에는, 하단이 로구(爐口)로서 개구되는 종형의 열처리노(31)가 설치되어 있다. 이 열처리노(31)의 하방측에는, 다수매의 웨이퍼(W)를 선반 형상으로 소정의 배열 간격(예를 들어 상하 방향으로 인접하는 상방측의 웨이퍼의 상면과 그 웨이퍼의 하방측의 웨이퍼의 상면의 거리가 8 내지 16㎜ 정도)으로 배열 유지하는 기판 유지구인 웨이퍼 보트(32)가 설치되어 있다. 이 웨이퍼 보트(32)는 캡(34) 상에 재치되어 있다. 캡(34)은 승강 기구(35)에 지지되어 있어, 이 승강 기구(35)에 의해 웨이퍼 보트(32)가 열처리노(31)에 대하여 반입 혹은 반출된다. 또한 웨이퍼 보트(32)와 격벽(21)의 개구부(20) 사이에는, 웨이퍼 반송 기구(기판 반송 수단)(4)가 설치되어 있다. 이 웨이퍼 반송 기구(4)에 의해 웨이퍼 보트(32)와 제2 재치대(25) 상의 캐리어(C) 사이에서 웨이퍼의 반송이 행해진다. 또한 로딩 에어리어(S2) 내이며 웨이퍼 반송 기구(4)가 액세스 가능한 위치, 본 실시 형태에서는 상기 개구부(20)의 하방측에, 검사 유닛(6)이 설치되어 있다.
계속하여 상기 웨이퍼 반송 기구(4) 및 검사 유닛(6)에 대하여 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 우선 웨이퍼 반송 기구(4)의 전체 구성에 대하여 도3 내지 도7에 기초하여 설명한다. 웨이퍼 반송 기구(4)는, 웨이퍼(W)를 유지하는 대략수평한 5매의 유지 아암[포크(41)(41a 내지 41e)]과, 포크(41a 내지 41e)를 진퇴 가능하게 지지하는 반송 기체(5)를 갖고 있다.
도5에 도시한 바와 같이 반송 기체(5)는 모터(M1)로 이루어지는 회전 기 구(51)에 연결되고, 이 회전 기구(51)는 승강 기구(52)에 연결되어 있다. 또한 승강 기구(52)는 캐리어(C)의 배열 방향을 따라 좌우로 뻗은 가이드 레일(53)에 연결되어 있다(도3 참조). 즉 반송 기체(5)는, 회전 기구(51)에 의해 연직축 방향으로 회전 가능, 승강 기구(52)에 의해 승강 가능, 및 가이드 레일(53)을 따라 좌우 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 또한 승강 기구(52)는, 승강축(52a)과, 승강축(52a)을 승강시키는 모터(M2)를 갖고 있다. 승강 기구(52)의 승강축(52a)은 모터(M2)의 회전에 의해 승강되어, 이에 의해 반송 기체(5)가 승강하게 되어 있다. 또한 모터(M2)는 인코더(54)에 접속되어 있다.
또한 포크(41)는, 예를 들어 각각 웨이퍼(W)를 유지하는, 제1 포크(41a), 제2 포크(41b), 제3 포크(41c), 제4 포크(41d), 및 제5 포크(41e)로 이루어져 있다. 각 포크(41a 내지 41e)는, 예를 들어 도7에 도시한 바와 같이 상방으로부터 보아 소정의 공간을 사이에 두고 진퇴 방향으로 뻗은 2개의 아암부(42a, 42b)를 갖고 있다. 각 포크(41a 내지 41e)는, 예를 들어 도6 및 도7에 도시한 바와 같이 아암부(42a, 42b)의 선단측의 2개소와 기단측의 2개소에 각각 형성된 단부(43a, 43b, 43c, 43d)를 갖고 있다. 각 포크(41a 내지 41e)의 단부(43a, 43b, 43c, 43d)에 웨이퍼(W)의 주연부를 재치함으로써, 웨이퍼(W)를 포크(41) 표면으로부터 약간 부상시킨 상태로 유지하도록 되어 있다. 다른 쪽 포크(41)의 기단부는, 유지 부재(44)를 개재하여 진퇴 기구(45)에 설치되어 있다.
이 진퇴 기구(45)에 대하여 도6을 참조하여 설명하면 도6에 도시하는 포크(41a 내지 41e)는, 예를 들어 제3 포크(41c)가 단독으로 반송 기체(5)를 따라 진 퇴 가능하게 구성되어 있다. 이 제3 포크(41c) 이외의 포크(41a, 41b, 41d, 41e)는 4개 동시에 진퇴하도록 구성되어 있다. 즉 상기 반송 기체(5)에는, 제3 포크(41c)를 전방측으로 이동시키기 위한 제1 진퇴 기구(45a)와, 제3 포크(41c) 이외의 4개의 포크(41a, 41b, 41d, 41e)를 4개 동시에 전방측으로 이동시키기 위한 제2 진퇴 기구(45b)가 각각 반송 기체(5)를 따라 전후 방향으로 진퇴 이동 가능하게 설치되어 있다.
제2 진퇴 기구(45b)에 있어서는, 반송 기체(5)의 길이 방향의 일단측과 타단측에, 진퇴 이동 구동부인 도시하지 않은 스테핑 모터에 의해 구동되는 구동 풀리(46)와, 이 구동 풀리(46)에 연동하는 종동 풀리(47)가 각각 배치되어 있다. 이들 구동 풀리(46)와 종동 풀리(47)에 타이밍 벨트(48)가 감겨져 있고, 이 타이밍 벨트(48)에 상기 제2 진퇴 기구(45b)의 하단측이 접속되어 있다. 또한 반송 기체(5)의 상면에는 제2 진퇴 기구(45b)의 이동을 허용하는 슬릿(도시하지 않음)이 형성되어 있다. 제1 진퇴 기구(45a)도 제2 진퇴 기구(45b)와 마찬가지로 구성되어 있다. 이렇게 하여 웨이퍼 반송 기구(4)는, 제1 진퇴 기구(45a)의 단독 동작에 의해 1매의 웨이퍼(W)를 반송하는 매엽 반송과, 제1 및 제2 진퇴 기구(45a, 45b)의 공동에 의해 복수매, 예를 들어 5매의 웨이퍼(W)를 동시에 반송하는 일괄 반송의 양 쪽을 행할 수 있도록 구성되어 있다.
계속하여 검사 유닛(6)에 대하여 설명한다. 이 검사 유닛(6)은 포크(41a 내지 41e)의 수평면에 대한 전후의 자세가 정상인지의 여부를 검사하는 것이다. 또한 상기 자세가 정상인지의 여부에 대해서는, 포크(41a 내지 41e)의 선단이 상하 방향으로 기울어 있는지의 여부를 검사함으로써 판단하고 있다. 상기 검사 유닛(6)은, 포크(41a 내지 41e)가 액세스할 수 있는 위치, 이 예에서는 제2 재치대(25)의 하방측에, 포크(41a 내지 41e)가 액세스하는 면이 로딩 에어리어(S2) 내로 개구되도록 설치되어 있다.
이 검사 유닛(6)은, 전방면에 개구부(60)가 형성된 하우징(61)과, 이 하우징(61) 내에 설치된 광 센서(62)를 갖고 있다. 이 중 하우징(61)은, 개구부(60)를 통하여 포크(41a 내지 41e)의 선단을 하우징(61) 내의 검사 위치까지 일괄적으로 삽입할 수 있고, 또한 그 위치로부터 포크(41a 내지 41e)를 일괄적으로 승강할 수 있을 정도의 크기를 갖고 있다.
또한 광 센서(62)는, 예를 들어 투과형 광 센서로 이루어지고, 수평한 광축(L)을 형성하도록 하우징(61) 내에 설치되어 있다. 즉 광 센서(62)는 하우징(61)의 한 쪽의 측벽부에 설치된 발광부(63)와, 이 발광부(63)의 광축(L) 상에, 이 발광부(63)와 대향하도록 설치된 수광부(64)로 구성되어 있다. 또한 웨이퍼 반송 기구(4)의 반송 기체(5)와 광 센서(62)는 상대적으로 승강 가능하게 구성되어 있다. 즉 광 센서(62)의 광축(L)은, 광 센서(62)가 반송 기체(5)에 대하여 상대적으로 승강될 때, 포크(41a 내지 41e)의 주측면을 가로 지르도록 위치하고 있다. 또한 상기 승강 기구(52)가 승강 수단에 상당하고, 상기 인코더(54)가 상기 광축(L)에 대한 반송 기체(5)의 높이 위치를 검출하는 높이 위치 검출 수단에 상당한다. 또한 상기 광축(L)에 대한 반송 기체(5)의 높이 위치 정보가 인코더(54)를 통하여 제어부(7)에 출력되도록 되어 있다. 여기서 상기 검사 위치란, 예를 들어 포 크(41a 내지 41e)의 선단부터 40㎜[도7의 거리(A1)] 정도까지의 부분이 하우징(61) 내로 삽입되는 위치를 의미한다.
이 때, 하우징(61)의 크기 및 광 센서(62)의 설치 위치는, 예를 들어 도6에 도시한 바와 같이 포크(41a 내지 41e)가 상기 검사 위치까지 삽입되었을 때에, 광 센서(62)의 광축(L)이 최상단의 포크(41a)의 바로 상방측에 위치하는 동시에, 이 위치로부터 포크(41a 내지 41e)가 상승했을 때에, 최하단의 포크(41e)가 광 센서(62)의 광축(L)의 바로 상방측에 위치하도록 설정된다. 이 때 상기 광축(L)은, 예를 들어 포크(41a 내지 41e)의 선단으로부터 5 내지 10㎜[도7의 거리(A2)] 정도에 위치하는 것이 바람직하다. 여기서 상기 거리(A1)와 거리(A2)는 A1>A2이면 자유롭게 설정할 수 있지만, 이 예에서는 포크(41a 내지 41e)에 재치된 웨이퍼(W)의 단부(43a, 43b) 근방의 측면에 대하여 상기 광축(L)이 위치하도록 상기 거리(A2)가 설정되어 있다.
상기 광 센서(62)로서는, 예를 들어 파이버 센서가 이용되고, 이 파이버 센서를 이용함으로써, 투광 각도를 2 내지 3도로 설정할 수 있으므로, 정밀도높은 검출을 행할 수 있다. 또한 광 센서(62)의 수광-비수광의 검출 결과는 후술하는 제어부(7)에 출력되도록 되어 있다.
계속하여 상기 기판 이동 탑재 장치(100)에 설치되는 제어부(7)에 대하여 도5를 참조하여 설명한다. 이 제어부(7)는, 예를 들어 컴퓨터로 이루어지고, 프로그램, 메모리, CPU(71)로 이루어지는 데이터 처리부를 구비하고 있다. 상기 프로그램에는 제어부(7)로부터 기판 이동 탑재 장치(100)의 각 부에 제어 신호를 보내어, 후술하는 반송 순서를 진행시키도록 명령(각 스텝)이 내장되어 있다. 또한 상기 컴퓨터의 화면은 표시 수단(81)을 이루는 것이며, 이 표시 수단(81)에 의해 소정의 기판 처리나 검사 처리의 선택이나, 각 처리에서의 파라미터의 입력 조작을 행할 수 있도록 구성되는 동시에, 후술하는 검사 결과가 표시되도록 되어 있다. 이 프로그램은, 컴퓨터 기억 매체, 예를 들어 플렉시블 디스크, 컴팩트 디스크, 하드 디스크, MO(광 자기 디스크) 등의 기억부에 저장되어 제어부(7)에 인스톨된다.
또한 제어부(7)에는, 웨이퍼 반송 기구(4)의 포크(41a 내지 41e)의 수평면에 대한 전후의 자세를 검사하기 위한 검사 프로그램(72)과, 기준 데이터 기억부(73)와, 취득 데이터 기억부(74)가 더 포함되어 있다. 또한 제어부(7)는, 포크(41a 내지 41e)의 승강 기구(52), 인코더(54), 광 센서(62), 컴퓨터의 표시 수단(81), 및 알람 발생 수단(82)에도 접속되어 이들에 대하여 소정의 제어 신호를 보내도록 구성되어 있다.
상기 기준 데이터 기억부(73)는 기준 테이블(T1 내지 Tn)을 저장하는 수단이다. 이 기준 테이블(T1 내지 Tn)은, 포크(41a 내지 41e)의 수평면에 대한 전후의 자세가 정상일 때의, 반송 기체(5)의 높이 위치 데이터와, 그 때의 광 센서(62)로부터의 광축(L)을 차단할지의 여부의 수광-비수광의 데이터(검출 결과)를 대응시킨 것이다. 포크(41a 내지 41e)는 각각의 상하 방향의 배열 간격을 바꿀 수 있도록 구성되어 있으므로, 상기 기준 데이터 기억부(73)에는, 이 배열 간격에 따른 복수의 기준 테이블 외에, 후술하는 다른 방법에 의한 검사에 이용되는 기준 테이블이 준비되어, 저장된다.
여기서 광 센서(62)로부터의 수광-비수광의 데이터는, 수광일 때에는 「1(ON)」, 비수광일 때에는 「O(OFF)」으로 취득된다. 또한 상기 기준 테이블(T1 내지 Tn)은, 포크(41a 내지 41e)의 수평면에 대한 전후의 자세가 정상인 웨이퍼 반송 기구(4)를 이용하여, 모든 포크(41a 내지 41e)가 상기 광축(L)을 가로 지르도록 반송 기체(5)를 상기 광축(L)에 대하여 승강시켜, 이 때의 반송 기체(5)의 높이 위치를 인코더(54)의 펄스값으로서 얻는 동시에, 광 센서(62)의 수광-비수광의 검출 결과를 얻어, 이들을 대응한 펄스 패턴을 취득함으로써 작성된다. 또한 취득 데이터 기억부(74)란, 검사 대상의 웨이퍼 반송 기구(4)의 반송 기체(5)를 상기 광축(L)에 대하여 승강시켰을 때에, 반송 기체(5)의 높이 위치와 광 센서(62)로부터의 수광-비수광의 데이터를 취득하여, 저장하는 수단이다.
상기 검사 프로그램(72)은, 검사 시에 웨이퍼 반송 기구(4)의 구동을 제어하는 수단(72b)과, 포크(41a 내지 41e)의 상기 자세가 정상인지의 여부를 판단하는 판단 수단(72a)을 갖고 있다. 이 중 판단 수단(72a)이란, 상기 기준 데이터 기억부(73)에 저장된 기준 테이블(T1 내지 Tn)과, 상기 취득 데이터 기억부(74)에 저장 된 취득 데이터를 비교하여, 포크(41a 내지 41e)의 자세가 정상인지의 여부를 판단하는 수단이다. 그리고 제어부(7)는 포크(41a 내지 41e)의 자세가 정상일 때에는, 웨이퍼 반송 장치로 캐리어(C)로부터의 다음 웨이퍼(W)의 취출의 개시 지령을 출력하는 한편, 이상이 발견되었을 때에는, 웨이퍼 반송 기구(4)로 캐리어(C)로부터의 다음 웨이퍼(W)의 취출의 정지 지령과, 소정의 알람 표시 지령을 출력한다. 여기서 알람 표시란, 본 예에서는 알람 발생 수단(82), 예를 들어 램프의 점등, 알람 음의 발생, 혹은 표시 수단(81)으로의 알람 표시를 말한다.
이어서 이러한 종형 열처리 장치(200)에 있어서의 웨이퍼(W)의 흐름에 관하여 설명하면 우선 클린룸의 천장부를 따라 이동하는 도시하지 않은 자동 반송 로봇에 의해 캐리어(C)가 제1 재치대(24)에 재치된다. 계속하여 캐리어 반송 기구(27)에 의해 상기 캐리어(C)가 제2 재치대(25)로 반송되고, 이 캐리어(C)는 도시하지 않은 기구에 의해 격벽(21)의 개구부(20)에 기밀하게 접촉된다. 또한 캐리어(C)는 일단 캐리어 보관부(26)에 수납된 후, 제2 재치대(25)로 반송되는 경우도 있다.
이 후 덮개 개폐 기구(29)에 의해 캐리어(C)로부터 덮개가 떼어지고, 계속하여 도시하지 않은 가스 공급관으로부터 불활성 가스, 예를 들어 질소 가스가 캐리어(C) 내를 향하여 뿜어 나오게 되어, 캐리어(C) 내 및 캐리어(C)와 도어(28) 사이의 공간이 질소 가스에 의해 치환된다. 그 후에 도어(28), 덮개 개폐 기구(29) 및 덮개 부재가, 예를 들어 상승하여 개구부(20)로부터 퇴피하여, 캐리어(C) 내와 로딩 에어리어(S2)가 연통된 상태로 된다. 다음에 웨이퍼 반송 기구(4)는, 캐리어(C) 내의 웨이퍼(W)를 순차적으로 취출하여 웨이퍼 보트(32)로 이동 탑재한다. 캐리어(C) 내의 웨이퍼(W)가 비게 되면, 상술한 바와 역동작으로 캐리어(C)의 덮개가 닫혀, 제2 재치대(25)가 후퇴하여 캐리어(C)가 격벽(21)으로부터 멀어진다. 캐리어(C)는, 캐리어 반송 기구(27)에 의해 캐리어 보관부(26)로 반송되어 일시적으로 보관된다. 한편 웨이퍼 보트(32)에 소정 매수의 웨이퍼(W)가 탑재되면, 웨이퍼 보트(32)는 열처리노(31)로 반입되어, 웨이퍼(W)에 대하여 열처리, 예를 들면 CVD, 어닐 처리, 산화 처리 등이 행해진다. 열처리가 종료되면, 상술한 바와 역동작으 로 웨이퍼(W)가 캐리어(C) 내로 복귀된다.
계속하여 웨이퍼 반송 기구(4)의 검사 공정에 대하여 도8 내지 도10을 참조하여 설명한다. 이 검사 공정은, 장치의 기동 시, 로트 처리가 없는 동안의 시간대[예를 들어 웨이퍼 보트(32)의 쿨링 처리를 행하고 있는 동안], 또는 캐리어(C)가 재치대(24)에 재치되고, 덮개가 떼어져, 캐리어(C) 내 및 캐리어(C)와 도어(28) 사이의 공간이 질소 가스에 의해 치환되는 처리 동안 등에 실시된다. 또한 캐리어(C) 또는 웨이퍼 보트(32)로부터 웨이퍼(W)를 취출할 때마다 실시하여도 되고, 설정된 매수의 웨이퍼(W)를 취출할 때마다, 혹은 소정 시간마다 실시하도록 하여도 된다.
이 검사 공정에 있어서는, 우선 예를 들어 컴퓨터의 표시 수단(81)을 이용하여 소정의 기준 테이블(T1)이 선택된다. 그리고 도9a에 도시한 바와 같이 5매의 포크(41a 내지 41e)를 하우징(61)의 개구부(60)에 대향시켜, 이들 5매의 포크(41a 내지 41e)의 선단을 상기 검사 유닛(6)의 검사 위치까지 일괄적으로 삽입시킨다(스텝 S1). 이어서 반송 기체(5)를, 후술하는 제1 높이 위치(Z1)로 이동시켜, 다음에 이 위치로부터 도9b, 도9c에 도시한 바와 같이 후술하는 제10 높이 위치(Z10)까지 상승시킨다. 제어부(7)는, 이 때의 광 센서(62)로부터의 수광-비수광의 데이터를 취득한다. 그리고 제어부(7)는, 각 높이 위치(Z1 내지 Z10)에 있어서의 광 센서(62)의 데이터를 취득할 때마다, 기준 테이블(T1)의 데이터와 비교하여, 이들 데이터의 일치-불일치를 판단한다(스텝 S2, 스텝 S3).
여기서 상기 제1 높이 위치(Z1) 내지 제10 높이 위치(Z10)에 대하여 설명하 면 각각 기준 테이블(T1)에 있어서, 제1 높이 위치(Z1)는 제1 포크(41a)의 주측면이 상기 광축(L)을 가로 지르는 높이, 제2 높이 위치(Z2)는 제1 포크(41a)와 제2 포크(41b) 사이에 광 센서(62)의 광축(L)이 위치하는 높이, 제3 높이 위치(Z3)는 제2 포크(41b)의 주측면이 상기 광축(L)을 가로 지르는 높이, 제4 높이 위치(Z4)는 제2 포크(41b)와 제3 포크(41c) 사이에 상기 광축(L)이 위치하는 높이, 제5 높이 위치(Z5)는 제3 포크(41c)의 주측면이 상기 광축(L)을 가로 지르는 높이, 제6 높이 위치(Z6)는 제3 포크(41c)와 제4 포크(41d)의 사이에 상기 광축(L)이 위치하는 높이, 제7 높이 위치(Z7)는 제4 포크(41d)의 주측면이 상기 광축(L)을 가로 지르는 높이, 제8 높이 위치(Z8)는 제4 포크(41d)와 제5 포크(41e) 사이에 상기 광축(L)이 위치하는 높이, 제9 높이 위치(Z9)는 제5 포크(41e)의 주측면이 상기 광축(L)을 가로 지르는 높이, 제10 높이 위치(Z10)는 제5 포크(41e)의 하방측에 상기 광축(L)이 위치하는 높이이다. 이들은 미리 기준 테이블(T1) 작성 시에 인코더(54)의 펄스값으로서 취득된다. 그리고 검사 시에는, 인코더(54)의 펄스값에 의해, 반송 기체(5)의 광축(L)에 대한 높이 위치가 결정되므로, 반송 기체(5)가 상기 높이 위치(Z1 내지 Z10)에 있을 때의 광 센서(62)의 데이터가 취득된다.
그리고 제어부(7)의 판단 수단(72a)이 취득 데이터와 기준 테이블(T1)의 데이터를 비교한 결과, 도10a에 도시한 바와 같이 모든 데이터가 상기 기준 테이블(T1)의 신호 패턴과 일치할 때에는, 제어부(7)의 판단 수단(72a)은 포크(41a 내지 41e)의 상기 자세를 정상이라고 판단하여, 캐리어(C)로부터의 다음 웨이퍼(W)의 취출을 개시하도록, 웨이퍼 반송 기구(4)로 지령을 출력한다(스텝 S4). 한편, 도 10b에 도시한 바와 같이 취득 데이터와 기준 테이블(T1)의 데이터가 하나라도 일치하지 않을 때에는, 제어부(7)의 판단 수단(72a)은 포크(41a 내지 41e)의 상기 자세에 이상이 있다고 판단한다. 즉 도10b에 도시하는 예는, 예를 들어 제4 포크(41d)의 선단이 하방향으로 기울어 있는 경우를 나타내고 있다. 이 경우에는, 예를 들어 상기 제7 높이 위치(Z7)에서는 제4 포크(41d)가 존재하지 않으므로, 광 센서(62)의 데이터는 수광(1)이 되는 한편, 상기 제8 높이 위치(Z8)에서는 하방측으로 늘어진 제4 포크(41d)에 의해 상기 광축(L)이 차단되므로 광 센서(62)의 데이터는 비수광(0)이 된다. 이 때문에 결과적으로 검사 시의 취득 데이터는, 도10b에 도시한 바와 같이 기준 테이블(T1)의 데이터와는 상이해진다. 또한 판단 수단(72a)에 의한 취득 데이터와 기준 테이블(T1)의 데이터의 비교는, 광 센서(62)로부터의 데이터를 취득할 때마다 행하여도 되고, 모든 데이터를 취득한 후에 행하도록 해도 된다.
이와 같이 포크(41a 내지 41e)의 상기 자세에 이상이 있다고 판단되었을 때에는, 제어부(7)는 컴퓨터의 표시 수단(81) 및 알람 발생 수단(82)으로 알람 표시를 행하도록 지령을 출력한다(스텝 S5). 또한 이와 함께, 제어부(7)는 캐리어(C)로부터 다음 웨이퍼(W)를 취출하기 전에, 포크(41a 내지 41e)를 검사 유닛(6)으로부터 반출하여 정지하도록, 웨이퍼 반송 기구(4)로 지령을 출력한다(스텝 S6). 다음에 작업자는, 포크(41a 내지 41e)가 각각 수평면에 대하여 평행해지도록 조정이나 메인터넌스를 행한다. 그 후에 캐리어(C)의 다음 웨이퍼(W)의 취출이 개시되어, 이미 상술한 바와 마찬가지로, 캐리어(C) 내의 웨이퍼(W)를 순차적으로 취출하 여 웨이퍼 보트(32)로 이동 탑재하는 작업이 행해진다.
이러한 장치에서는, 캐리어(C)로부터 웨이퍼 반송 기구(4)에 의해 웨이퍼(W)를 취출하기 전에, 포크(41a 내지 41e)의 상기 자세가 정상인지의 여부에 대하여 검사가 행해진다. 이상하다고 판단되었을 때에는, 웨이퍼 반송 기구(4)에 의한 캐리어(C)로부터의 웨이퍼(W)의 취출을 행하지 않고, 포크(41a 내지 41e)의 조정을 행한 후, 캐리어(C)로부터의 웨이퍼(W)의 취출이 행하여진다. 이 때문에, 캐리어(C)로부터 웨이퍼(W)를 취출할 때에, 포크(41a 내지 41e)와 웨이퍼(W)가 접촉하는 것을 방지할 수 있으므로, 이 접촉에 의한 웨이퍼(W)의 흠집의 발생이나, 파티클의 발생을 방지할 수 있어, 제품의 수율이 저하되는 것이 억제된다. 웨이퍼(W)는, 지극히 작은 흠집이나 파티클이 부착되기만 해도 제품으로서 출하할 수 없기 때문에, 포크(41a 내지 41e)와 웨이퍼(W)의 접촉을 방지하는 것은, 수율의 저하를 억제하기 위하여 유효하다.
또한 포크(41a 내지 41e)의 검사 공정은, 이미 상술한 바와 같이 캐리어(C) 내의 불활성 가스의 치환 처리 등과 병행되어 행해지므로, 별개로 포크(41a 내지 41e)의 검사 시간을 마련할 필요가 없어, 생산성의 저하를 억제할 수 있다. 또한 만약 포크(41a 내지 41e)의 상기 자세에 이상이 발견되었다고 해도, 다음 웨이퍼(W)를 캐리어(C)로부터 취출하기 전에 포크(41a 내지 41e)의 조정이 행해지므로, 종래와 같이 웨이퍼(W)의 처리를 행하고 있는 동안에 장치를 긴급 정지시키는 사태가 발생하지 않는다. 이 때문에 장치 가동율이 저하될 우려가 없어, 이 점에서도 생산성의 악화를 억제할 수 있다.
또한 복수의 포크(41a 내지 41e)에 대하여 상기 자세가 정상인지의 여부의 검사는, 공통의 광 센서(62)를 이용하여, 반송 기체(5)를 광축(L)에 대하여 상대적으로 승강시킴으로써, 각각의 포크(41a 내지 41e)에 대하여 광 센서(62)로부터의 데이터를 취득하고, 이렇게 하여 각각의 포크(41a 내지 41e)의 자세가 정상인지의 여부를 판단하고 있으므로, 검사에 필요한 작업이 용이하고, 또한 단시간에 정밀도 높게 검사를 행할 수 있다.
이와 같이, 공통의 광 센서(62)를 이용하여, 로딩 에어리어(S2)를 개방하는 일 없이 복수매의 포크(41a 내지 41e)에 대하여 검사를 행할 수 있으므로, 검사에 필요한 비용이 저감된다. 또한 포크(41a 내지 41e)를 광 센서(62)에 대하여 상대적으로 승강시켜 검사를 행하고 있으므로, 검사 작업에 필요한 스페이스의 점유 면적이 작아, 공간 절약화를 도모할 수 있다.
여기서 포크(41a 내지 41e)의 상기 자세가 정상인지의 여부의 검사는, 상기 자세에 이상이 인정되는 포크(41a 내지 41e)를 작업자가 조정한 후에 다시 행해져도 된다. 이 경우에는 조정 후의 포크(41a 내지 41e)의 수평도를 자동적으로 확인할 수 있으므로, 포크(41a 내지 41e)의 조정 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.
이상에서 본 발명은, 도11에 도시한 바와 같이 광 센서로서 반사형 광 센서(65)를 이용할 수 있고, 이 경우에는, 포크(41a 내지 41e)를 하우징(61) 내의 상기 검사 위치까지 삽입했을 때에, 발광부(66)로부터의 광이 포크(41a 내지 41e)의 주측면에 의해 반사되어, 그 반사광의 광축(L) 상에 수광부(67)가 위치하도록, 발광부(66)와 수광부(67)가 각각 배치된다.
계속하여 본 발명의 다른 실시 형태로서, 투과형 광 센서(62)나 반사형 광 센서(65)를 이용하여, 진퇴축을 중심으로 한 포크(41a 내지 41e)의 자세가 정상인지의 여부를 더 판단할 경우에 대하여 설명한다. 상기 진퇴축을 중심으로 한 포크의 자세에 이상이 있는 경우란, 도12a, 도12b에 도시한 바와 같이, 예를 들어 포크(41)가 상기 진퇴축(B)을 중심으로 회전하고 있는 경우를 말한다.
이 검사에서는, 예를 들어 포크(41a 내지 41e)를 검사 유닛(6)의 상기 검사 위치까지 삽입한다. 다음에 예를 들어 반송 기체(5)를, 제1 포크(41a)가 상기 광축(L)의 하방측에 위치하는 높이로부터, 제5 포크(41e)가 광 센서(62)의 광축(L)의 상방측에 위치하는 높이까지 상승시키면서, 이 때의 광 센서(62)의 데이터를, 반송 기체(5)의 상기 광축(L)에 대한 높이 위치와 대응시켜서 소정의 타이밍으로 연속하여 취득한다. 이렇게 하여 포크(41a 내지 41e)를 광 센서(62)에 대하여 상대적으로 승강시켰을 때에, 각 포크(41a 내지 41e)가 상기 광축(L)을 차단할 때의 포크(41a 내지 41e)의 두께(높이량)를, 예를 들어 인코더(54)의 펄스수를 카운트함으로써 취득한다.
예를 들어 도13을 이용하여, 진퇴축(B)을 중심으로 제1 포크(41a)가 기울어 있는 경우를 예로 들어 구체적으로 설명하면 포크(41a)가 기울어 있으면 상기 광축(L)을 차단할 때의 두께(높이량)가 커진다. 그리고 제어부(7)에, 포크(41a 내지 41e)의 상기 자세가 정상일 때의, 광 센서(62)의 데이터와 포크(41a 내지 41e)의 높이 위치 데이터를 대응시킨 기준 테이블(T2)을 저장해 두는 동시에, 이 기준 테이블(T2)의 데이터와, 검사 시에 취득한 데이터(83)와 비교하여, 각 포크(41a 내지 41e)의 두께가 적정한지의 여부를 판단하는 수단을 마련하고, 상기 진퇴축(B)을 중심으로 한 기울기의 유무에 대하여 판단한다.
이 때 제어부(7)는, 예를 들어 취득한 데이터(83)의 포크(41a 내지 41e)의 높이량과, 기준 테이블(T2)의 데이터의 포크(41a 내지 41e)의 높이량의 오차가 소정의 범위 내이면, 포크(41a 내지 41e)의 상기 자세가 정상이라고 판단하여, 웨이퍼 반송 기구(4)에 의한 캐리어(C)로부터의 웨이퍼(W)의 취출을 개시한다. 한편, 이것을 초과하면 이상이 있다고 간주하여, 제어부(7)는 웨이퍼 반송 기구(4)에 의한 캐리어(C)로부터의 웨이퍼(W)의 취출을 정지하도록 웨이퍼 반송 기구(4)를 제어한다. 그 후에 작업자가 포크(41a 내지 41e)의 조정 작업을 행한다.
또한 본 발명에서는, 이미 상술한 바와 같이, 포크(41a 내지 41e)를 광 센서(62)에 대하여 상대적으로 승강시켰을 때에, 인코더(54)의 펄스수를 카운트함으로써, 상하로 인접하는 포크(41a 내지 41e) 끼리의 간격에 관해서도 데이터를 취득할 수 있다. 이로 인해 이 포크(41a 내지 41e) 끼리의 간격의 데이터를 계속적으로 취득하여, 소정의 타이밍으로 상기 데이터를 감시함으로써, 포크(41a 내지 41e)의 상태나 자세의 경시 변화의 경향을 확인할 수 있다. 또한 이 데이터를 축적함으로써, 포크(41a 내지 41e)를 어느 정도 계속하여 사용했을 때에, 포크(41a 내지 41e)의 상기 자세가 정상의 범위를 초과할지에 대하여 예측할 수 있어, 포크(41a 내지 41e)의 자세에 이상이 발생하기 전에, 소정의 타이밍에서 포크(41a 내지 41e)의 메인터넌스를 행할 수 있다.
또한 다른 실시 형태로서, 광 센서로서 거리 센서(68)를 이용하여, 포크(41a 내지 41e)의 수평면에 대한 전후의 자세가 정상인지의 여부를 검사할 경우에 대하여 설명한다. 이 예에서는, 예를 들어 도14a에 도시한 바와 같이 하우징(61)의 측벽에 수평한 광축(L)을 형성하는 거리 센서(68)가 설치되어 있다. 이 거리 센서(68)는, 거리 센서(68)와 포크(41a 내지 41e)의 주측면의 사이의 거리를 측정하는 것이다. 이 경우, 거리 센서(68)를 하우징(61)의 한 측벽에 설치하고, 포크(41a 내지 41e)의 편측에 있어서, 거리 센서(68)와 포크(41a 내지 41e)의 주측면 사이를 측정하도록 하여도 된다. 혹은, 거리 센서(68)를 하우징(61)의 양 측벽에 각각 설치하고, 포크(41a 내지 41e)의 양측에서 거리 센서(68)와 포크(41a 내지 41e)의 주측면 사이를 측정하도록 하여도 된다.
이 실시 형태에서는, 도14b에 도시한 바와 같이 미리 상기 자세가 정상인 때의 포크(41a 내지 41e)에 대해서, 반송 기체(5)가 상기 제1 높이 위치(Z1) 내지 제10 높이 위치(Z10)에 있을 때의 거리 센서(68)의 거리 데이터를 취득하여, 거리 센서(68)의 광축(L)에 대한 반송 기체(5)의 높이 위치 데이터와, 거리 센서(68)의 거리 데이터를 대응시킨 기준 테이블(T3)을 작성하여, 제어부(7)에 저장해 둔다. 그리고 제어부(7)는, 이 기준 테이블(T3)의 데이터와, 검사 시에 소정의 검사 높이 위치에서 취득한 거리 데이터를 비교하여, 상기 각 포크(41a 내지 41e)에 대하여 상기 자세가 정상인지의 여부를 판단하는 수단을 갖는다.
즉 포크(41a 내지 41e)의 자세가 정상이면, 기준 테이블(T3)의 거리 데이터와 취득 데이터는 동일하게 된다. 따라서, 예를 들어 취득 데이터와 기준 테이블(T3)의 거리 데이터의 오차가 소정 범위 내이면, 제어부(7)는, 포크(41a 내지 41e)의 자세가 정상이라고 간주하여, 웨이퍼 반송 기구(4)에 의한 캐리어(C)로부터의 웨이퍼(W)의 취출을 개시시킨다. 한편, 오차가 소정 범위를 초과하면 포크(41a 내지 41e)의 자세에 이상이 있다고 간주하여, 제어부(7)는 웨이퍼 반송 기구(4)에 의한 캐리어(C)로부터의 웨이퍼(W)의 취출을 정지하도록 웨이퍼 반송 기구(4)를 제어한다. 그 후에 작업자가 포크(41a 내지 41e)의 조정 작업을 행한다.
이 경우, 각 포크(41a 내지 41e)가 상기 광축(L)을 가로 지를 때의 거리 데이터에 비하여, 상하로 인접하는 포크(41a 내지 41e)끼리의 사이에 상기 광축(L)이 위치할 때의 거리 데이터는 커진다. 따라서, 미리 설정된 기준값에 대하여 취득된 거리 데이터가 작으면 수광(「1(ON)」), 상기 기준값에 대하여 취득된 거리 데이터가 크면 비수광(「0(OFF)」)으로 하여, 거리 센서(68)로부터의 데이터를 수광-비수광의 데이터로서 취득하도록 하여도 된다.
또한 상술한 거리 센서(68)를 이용하여, 포크(41a 내지 41e)의 수평면에 대한 좌우 방향의 자세가 정상인지의 여부에 대하여 판단하도록 하여도 된다. 이 경우에는, 예를 들어 제어부(7)에, 도14b에 도시하는 상기 기준 테이블(T3)의 데이터와, 검사 시에 취득한 거리 데이터를 비교하는 수단을 마련한다. 이 수단은, 예를 들어 제1 높이 위치(Z1)의 취득 데이터가 기준 테이블(T3)의 거리 데이터보다도 클 때에는, 도14a에 일점쇄선으로 나타나 있는 바와 같이 제1 포크(41a)가 좌방향으로 기울어 있다고 판단한다. 이렇게 하여 포크(41a 내지 41e)의 좌우 방향의 기울기를 검사하여, 기울어 있지 않을 때에는, 제어부(7)는 포크(41a 내지 41e)의 자세가 정상이라고 간주하여, 웨이퍼 반송 기구(4)에 의한 캐리어(C)로부터의 웨이퍼(W)의 취출을 개시시킨다. 기울어 있을 때에는 포크(41a 내지 41e)의 자세에 이상이 보인다고 간주하여, 제어부(7)는 웨이퍼 반송 기구(4)에 의한 캐리어(C)로부터의 웨이퍼(W)의 취출을 정지하도록 웨이퍼 반송 기구(4)를 제어한다. 그 후에 작업자가 포크(41a 내지 41e)의 조정 작업을 행한다.
계속하여 상기 포크(41a 내지 41e)의 상하 방향의 기울기를 검사할 때의 검사 높이 위치의 최적의 위치 결정 방법에 대하여 설명한다. 우선 도15a에 도시한 바와 같이 반송 기체(5)를, 제1 포크(41a)가 상기 광축(L)을 가로 지르는 높이로부터, 제5 포크(41e)가 상기 광축(L)의 상방측에 위치하는 높이까지 상승시켜, 이 때의 상기 광축(L)에 대한 반송 기체(5)의 높이 위치 데이터를 인코더(54)의 펄스값으로서 취득하면서, 동시에 광 센서(62)에 의해 각 포크(41a 내지 41e)의 수광-비수광의 데이터를 취득하고, 이들 상기 높이 위치 데이터와 광 센서(62)의 데이터를 서로 대응시켜 데이터1로서 취득한다.
계속하여 도15b에 도시한 바와 같이 반송 기체(5)를, 제5 포크(41e)가 상기 광축(L)을 가로 지르는 높이로부터, 제1 포크(41a)가 상기 광축(L)의 하방측에 위치하는 높이까지 하강시켜, 데이터1과 마찬가지로, 높이 위치 데이터와 광 센서(62)의 데이터를 대응시켜 데이터2로서 취득한다.
여기서 도15c에서는, 제1 포크(41a)를 예로 들어 데이터1과 데이터2를 도시하고 있다. 광 센서(62)의 데이터는, 「0」일 때는 제1 포크(41a)가 상기 광축(L)을 가로 지를 때이며, 「1」일 때는 상기 광축(L)이 인접하는 제2 포크(41b) 사이에 위치할 때이다. 이 때문에 상기 제1 높이 위치(Z1)는 「0」일 때의 제1 데이터 의 높이 위치의 평균값(x1)과 제2 데이터의 높이 위치의 평균값(x2)을 구하여, 이들 (x1, x2)의 평균값을, 정상적인 자세의 제1 포크(41a)가 상기 광축(L)을 가로 지르는 제1 높이 위치(Z1)로 설정하는 것이 바람직하다.
또한 상기 제2 높이 위치(Z2)는, 「1」일 때의 제1 데이터의 높이 위치의 평균값(x3)과 제2 데이터의 높이 위치의 평균값(x4)을 구하여, 이들 x3, x4의 평균값을, 모두 정상적인 자세의 제1 포크(41a)와 제2 포크(41b) 사이에 광축(L)이 위치하는 제2 높이 위치(Z2)로 설정하는 것이 바람직하다.
이렇게 하여 결정하면, 반송 기체(5)를 광축(L)의 상방측으로부터 하강시켜 각 포크(41a 내지 41e)에 대하여 검사를 행하는 경우에도, 광축(L)의 하방측으로부터 상승시켜 각 포크(41a 내지 41e)에 대하여 검사를 행하는 경우에도, 각 포크(41a 내지 41e)가 상기 광축(L)을 가로 지르는 높이 위치와, 상하로 인접하는 포크(41a 내지 41e)끼리의 사이에 광축(L)이 위치하는 높이 위치를 확실하게 정밀도 높게 자동적으로 결정할 수 있다. 따라서 검사 시의 높이 위치를 작업자가 목시로 결정할 경우에 비하여, 결정 작업에 필요한 노동력이 대폭 경감되는 동시에, 검사 높이 위치의 변동의 발생이 억제된다.
또한 본 발명은, 1매씩 서로 독립적으로 구동할 수 있게 구성되는 복수의 포크를 갖는 웨이퍼 반송 기구(4)에도 적용할 수 있다. 이 경우, 예를 들어 포크(41a 내지 41e)의 수평면에 대한 전후의 자세가 정상인지의 여부의 검사 공정은, 포크(41a 내지 41e)를 1매씩 검사 유닛(6)에 삽입하여 행하도록 하여도 되고, 복수매의 포크(41a 내지 41e)를 일괄적으로 검사 유닛(6)에 삽입하여 행하도록 해도 된 다.
이 경우, 제어부(7)는, 복수매의 포크(41a 내지 41e) 중 1매의 포크(41a)에 이상이 있다고 판단한 경우에는, 당해 포크(41a)는 사용하지 않고, 남은 정상적인 포크(41b 내지 41e)만을 사용하도록 웨이퍼 반송 기구(4)를 제어해도 된다. 이 경우, 웨이퍼 반송 기구(4)는, 정상적인 포크(41b 내지 41e)만을 사용하여 캐리어(C)에 남아 있는 웨이퍼(W)를 모두 웨이퍼 보트(32)로 이동 탑재시키고나서 장치를 정지 시켜도 된다. 그 후에 작업자가 포크(41a)의 조정 작업을 행하도록 해도 된다.
또한 본 발명에서는, 복수의 종형 열처리 장치(200)를 구비하여, 이들 장치를 호스트 컴퓨터에 의해 관리할 경우이며, 로트 처리가 없는 동안의 시간대를 이용하여 포크(41a 내지 41e)의 자세가 정상인지의 여부에 대하여 검사해도 된다. 이 경우, 실로트에 대하여 처리를 행하기 전에, 포크(41a 내지 41e)의 자세의 이상을 검지한 경우에는, 이 취지를 호스트 컴퓨터에 통지한다. 그리고 호스트 컴퓨터에 의해, 포크(41a 내지 41e)의 이상이 검지된 장치로 처리를 행할 예정인 로트를 다른 장치로 분배하도록 제어하여, 공장의 자동 생산 라인의 효율화를 도모하도록 하여도 된다.
또한 본 발명에서는, 진퇴 기구(45)의 진퇴축의 수평면에 대한 전후의 자세에 관해서도 검사할 수 있다. 이 경우에는, 예를 들어 포크(41a 내지 41e)의 진퇴 방향의 2개소의 위치, 예를 들어 선단 근방의 위치와 기단측 근방의 위치에 있어서, 광 센서(62)에 의한 수광-비수광의 데이터를 취득한다. 이들 취득 데이터와 반송 기체(5)의 높이 위치에 기초하여, 상기 진퇴축의 상하 방향의 기울기의 유무 가 판단된다. 즉 상기 2 개소의 위치의 광 센서(62)로부터의 데이터가 상이하면, 상기 진퇴축이 상하 방향으로 기울어 있다고 판단되어, 상기 자세에 이상이 있는 경우라고 판단된다.
또한 본 발명은, 유지 아암이 1매인 기판 반송 수단에 대해서도 적용할 수 있다. 또한 복수매의 유지 아암을 구비한 기판 반송 수단에 대해서는, 유지 아암과 동일한 수의 광 센서를 이용하여, 동시에 복수매의 유지 아암에 대하여 수평면에 대한 전후의 자세의 검사를 행하도록 하여도 된다. 혹은, 복수개의 광 센서를 이용하여 복수매의 유지 아암 내의 몇 매에 대하여 동시에 상기 자세의 검사를 행하도록 하여도 된다.
또한 본 발명은, 캐리어(C)가 높이 방향으로 2단으로 설치되는 구성의 장치에도 적용할 수 있고, 이 경우에는 각 캐리어(C)마다, 이들 캐리어(C)의 근방에 검사 유닛을 형성해도 된다. 또한 본 발명의 유지구는, 캐리어(C) 뿐만 아니라 웨이퍼 보트(32)도 포함되고, 웨이퍼 보트(32)의 근방에 검사 유닛을 설치하도록 하여도 된다.
또한 상술한 실시 형태에서는 반도체 웨이퍼를 이동 탑재하는 장치에 대하여 설명했지만, FPD(플랫 패널 디스플레이)나 마스크 등에 사용되는 글래스 기판을 이동 탑재하는 장치에 관해서도 본 발명은 적용 가능하다.
도1은 본 발명에 따른 기판 이동 탑재 장치의 한 실시예의 전체 구성을 도시하는 사시도.
도2는 상기 기판 이동 탑재 장치를 도시하는 수직 단면도.
도3은 상기 기판 이동 탑재 장치를 도시하는 수평 단면도(도2의 Ⅲ-Ⅲ선을 따라 본 도면).
도4는 상기 기판 이동 탑재 장치의 웨이퍼 반송 기구, 캐리어 및 검사 유닛을 도시하는 개략 사시도.
도5는 상기 웨이퍼 반송 기구와 제어부를 도시하는 구성도.
도6은 상기 웨이퍼 반송 기구와 검사 유닛을 도시하는 수직 단면도.
도7은 상기 웨이퍼 반송 기구와 검사 유닛을 도시하는 평면도(도6의 Ⅶ-Ⅶ선을 따라 본 도면.
도8은 상기 웨이퍼 반송 기구의 검사 공정을 설명하기 위한 흐름도.
도9a 내지 도9c는 상기 웨이퍼 반송 기구의 검사 공정을 설명하기 위한 공정도.
도10a 내지 도10b는 상기 웨이퍼 반송 기구의 검사 공정을 설명하기 위한 공정도.
도11은 광 센서의 다른 예를 도시하는 평면도.
도12a 내지 도12b는 각각 진퇴축을 중심으로 한 상기 웨이퍼 반송 기구의 기울기를 설명하기 위한 평면도와 정면도.
도13은 진퇴축을 중심으로 한 상기 웨이퍼 반송 기구의 기울기의 검사 공정을 설명하기 위한 설명도.
도14a 내지 도14b는 상기 웨이퍼 반송 기구의 좌우 방향의 기울기의 검사 공정을 설명하기 위한 설명도.
도15a 내지 도15c는 상기 웨이퍼 반송 기구의 검사 높이 위치의 결정 방법의 일례를 도시하는 설명도.
도16은 종래의 이동 탑재 장치의 포크를 도시하는 측면도.
도17은 종래의 이동 탑재 장치의 포크를 도시하는 측면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
C : 캐리어
L : 광축
4 : 기판 반송 수단
5 : 반송 기체
51 : 회전 기구
52 : 승강 기구
53 : 가이드 레일
62 : 광 센서

Claims (10)

  1. 반송 기체에 수평한 유지 아암을 진퇴 가능하게 설치하여 구성한 기판 반송 수단을 이용하여 복수의 기판이 선반 형상으로 유지되는 유지구로부터 기판을 취출하는 기판 이동 탑재 장치에 있어서,
    상기 유지 아암의 진퇴 방향과 교차하는 수평한 광축을 형성하고, 상기 반송 기체가 승강할 때 유지 아암의 주(周)단부면이 상기 광축을 가로지르는 위치에 설치되는 광 센서와,
    상기 반송 기체를 상기 광 센서에 대해 승강시키는 승강 수단과,
    상기 광축에 대한 상기 반송 기체의 높이 위치를 검출하는 높이 위치 검출 수단과,
    상기 유지 아암이 기판을 유지하고 있지 않은 상태에서, 반송 기체를 광 센서에 대해 승강시킴으로써 취득한 상기 광 센서로부터의 수광-비수광 검출 결과와, 상기 반송 기체의 높이 위치에 기초하여, 상기 유지 아암의 수평면에 대한 전후의 자세가 정상인지 여부를 판단하는 수단과,
    상기 유지 아암이 기판을 유지하고 있지 않은 상태에서, 반송 기체를 광 센서에 대해 승강시킴으로써, 상기 광 센서로부터의 수광-비수광의 검출 결과와 상기 반송 기체의 높이 위치를 대응시켜 연속하여 취득한 취득 데이터를 기억하는 기억부와,
    진퇴축을 중심으로 한 상기 유지 아암의 자세가 정상이고, 또한 유지 아암이 기판을 유지하고 있지 않은 상태에서, 상기 반송 기체를 광 센서에 대해 승강시키는 것에 의해 미리 구한, 유지 아암이 상기 광축을 차단하고 있는 사이의 승강량과, 상기 취득 데이터에 있어서의 유지 아암이 상기 광축을 차단하고 있는 사이의 승강량에 기초하여, 진퇴축을 중심으로 한 상기 유지 아암의 자세가 정상인지 여부를 판단하는 수단과,
    이러한 유지 아암의 자세를 판단하는 수단에 의해, 유지 아암의 자세가 이상이라고 판단되었을 때에, 상기 유지구로부터 다음 기판의 취출을 행하기 전에 상기 기판 반송 수단을 정지시키도록 제어하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는, 기판 이동 탑재 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 반송 기체에는, 각각의 기판을 유지하기 위해 수평한 복수의 유지 아암이 서로 독립적으로, 또는 일괄적으로 진퇴할 수 있게 적층하여 설치되어 있는 것을 특징으로 하는, 기판 이동 탑재 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 유지 아암이 공통의 광 센서의 광축을 가로지르도록 상기 반송 기체를 승강시키고, 상기 유지 아암의 수평면에 대한 전후의 자세가 정상인지 여부를 판단하는 수단 및 진퇴축을 중심으로 한 상기 유지 아암의 자세가 정상인지 여부를 판단하는 수단은, 상기 복수의 유지 아암의 각각에 대해, 상기 자세가 정상인지 여부를 판단하는 것을 특징으로 하는, 기판 이동 탑재 장치.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 반송 기체에, 각각의 기판을 유지하기 위해 수평인 복수의 유지 아암이 서로 독립적으로 적층하여 설치된 기판 반송 수단에 있어서, 하나의 유지 아암의 상기 자세가 이상이라고 판단되었을 때, 다른 유지 아암에 의해 상기 유지구로부터 다음의 기판의 취출을 행하도록 상기 기판 반송 수단을 제어하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는, 기판 이동 탑재 장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 반송 기체에 수평한 유지 아암을 진퇴 가능하게 설치하여 구성한 기판 반송 수단을 이용하여, 복수의 기판이 선반 형상으로 유지되는 유지구로부터 기판을 취출하는 기판 이동 탑재 방법에 있어서,
    상기 기판 반송 수단에 의해 상기 유지구로부터 다음의 기판을 취출하기 전에, 상기 유지 아암이 기판을 유지하고 있지 않은 상태에서, 상기 반송 기체를, 유지 아암의 진퇴 방향과 교차하는 수평한 광축을 갖는 광 센서에 대해 승강시켜, 상기 광축에 대한 상기 반송 기체의 높이 위치와, 상기 광 센서로부터의 수광-비수광의 검출 결과를 취득하는 공정과,
    상기 취득한 상기 광 센서의 검출 결과와 상기 반송 기체의 높이 위치에 기초하여, 상기 유지 아암의 수평면에 대한 전후의 자세가 정상인지 여부를 판단하는 공정과,
    상기 유지 아암이 기판을 유지하고 있지 않은 상태에서, 반송 기체를 광 센서에 대해 승강시킴으로써, 상기 광 센서로부터의 수광-비수광의 검출 결과와 상기 반송 기체의 높이 위치를 대응시켜 연속하여 취득한 취득 데이터를 취득하는 공정과,
    진퇴축을 중심으로 한 상기 유지 아암의 자세가 정상이고, 또한 유지 아암이 기판을 유지하고 있지 않은 상태에서, 상기 반송 기체를 광 센서에 대해 승강시키는 것에 의해 미리 구한, 유지 아암이 상기 광축을 차단하고 있는 사이의 승강량과, 상기 취득 데이터에 있어서의 유지 아암이 상기 광축을 차단하고 있는 사이의 승강량에 기초하여, 진퇴축을 중심으로 한 상기 유지 아암의 자세가 정상인지 여부를 판단하는 공정과,
    상기 유지 아암의 자세가 이상이라고 판단되었을 때, 상기 유지구로부터 다음의 기판의 취출을 행하기 전에 상기 기판 반송 수단을 정지시키도록 제어하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판 이동 탑재 방법.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 반송 기체에 수평한 유지 아암을 진퇴 가능하게 설치하여 구성한 기판 반송 수단을 이용하여, 복수의 기판이 선반 형상으로 유지되는 유지구로부터 기판을 취출하는 기판 이동 탑재 장치에 사용되고, 컴퓨터 상에서 동작하는 컴퓨터 프로그램을 저장한 기억 매체이며,
    상기 컴퓨터 프로그램은, 제7항에 기재된 기판 이동 탑재 방법을 실시하도록 스텝이 구성되어 있는 것을 특징으로 하는, 기억 매체.
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