TWI496233B - Substrate positioning device - Google Patents

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TWI496233B TW102107229A TW102107229A TWI496233B TW I496233 B TWI496233 B TW I496233B TW 102107229 A TW102107229 A TW 102107229A TW 102107229 A TW102107229 A TW 102107229A TW I496233 B TWI496233 B TW I496233B
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    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment

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Description

基板定位裝置
本發明涉及基板的定位技術，特別是有關於一種基板定位裝置。
一般而言，基板是指製造太陽能板或電路板所使用到的板狀物件，而基板在進行加工處理前，須先固定基板的所在位置，以防止基板在進行加工處理時發生位移而喪失加工精確度的現象，一般而言，生產暨製造基板的相關產業，已採取自動化機具來傳遞及定位基板，其定位基板的方式大都採用感測元件(sensor，例如是光感測器、微動開關等)加上驅動元件(例如馬達、氣壓缸等)的組合，利用感測元件檢知基板目前的位置，再經由驅動元件驅動暨調整基板至所需求的位置，然而此種方式必須搭配使用較複雜的控制電路，才能有效管制相關感測元件、驅動元件及基板之間的自動化操作精度，相對地也因此而容易增加自動化基板定位機具的設計暨產製成本。
因此，針對自動化基板定位機具而言，如何在維持基板所需的定位精度的前提之下，能免除亦或省略不必要的感測元件的配置，甚而簡化控制電路的配置與調校複雜度等，已成為本技術領域之中一項待以改善的重要課題。
有鑑於此，本發明之目的旨在提供一種機械式的基板定位裝置，在無需借助感測元件檢知基板位置的情況下，直接利用機械組件止檔暨定位基板。具體的說，本發明 基板定位裝置的技術手段，包括：一輸送器，形成有能夠逐一傳遞基板水平移動的一基準面；一端邊定位器，設置於輸送器之端邊且位於基準面之下，能夠由下往上伸出於基準面之上，止擋於基準面移動的基板；一側邊定位器，設置於輸送器之側邊且位於基準面之上，能夠朝基板方向靠位移動，並接觸而後導正已止擋於基準面的基板；以及一升降器，設置於輸送器內部且位於基準面之下，能夠透過由下往上的移動而抬舉基板脫離基準面。
其中，端邊定位器與側邊定位器分別具有多個對稱的導柱，端邊定位器經由導柱止擋於基準面移動的基板，而側邊定位器經由導柱接觸而後導正已止擋於基準面的基板。
在具體實施上：所述基準面是由呈面狀間隔分佈的多個滾輪構成。
所述端邊定位器包含一第一端邊定位器及一第二端邊定位器，所述於基準面上移動的基板是經由第一端邊定位器止擋，第二端邊定位器於基板受止擋之後，能夠由下往上伸出於基準面之上，並朝基板方向靠位移動而接觸及導正基板。
所述側邊定位器與基板於基準面上的位移方向是相互垂直。
所述側邊定位器包含一第一側邊定位器及一第二側邊定位器，分別設置於輸送器之相對二側，第一側邊定位器與第二側邊定位器能夠經由相對移動來接觸及導正基板於基準面上。
所述升降器設置有能夠固定基板的多個吸附器。
綜上所述，本發明的基板定位裝置是利用端邊定位器、側邊定位器及升降器等機械組件來以取代傳統使用感測元件加上驅動元件才能進行基板的定位，並避免需使用較複雜的控制電路，才能有效管制相關感測元件、驅動元件及基板之間的自動化操作精度，進而降低自動化基板定位機具的設計暨產製成本。
以上所述之方法與裝置之技術手段及其產生效能的具體實施細節，請參照下列實施例及圖式加以說明。
10‧‧‧基板
20‧‧‧輸送器
21‧‧‧基準面
22‧‧‧滾輪
23‧‧‧第一水平方向
24‧‧‧第二水平方向
25‧‧‧垂直方向
30‧‧‧端邊定位器
31‧‧‧第一端邊定位器
311‧‧‧第一端邊垂直驅動器
32‧‧‧第二端邊定位器
321‧‧‧第二端邊水平驅動器
322‧‧‧第二端邊垂直驅動器
33‧‧‧導柱
40‧‧‧側邊定位器
401‧‧‧側邊水平驅動器
41‧‧‧第一側邊定位器
42‧‧‧第二側邊定位器
43‧‧‧導柱
50‧‧‧升降器
501‧‧‧升降垂直驅動器
51‧‧‧吸附器
圖1是本發明基板定位裝置的配置示意圖。
圖2是圖1之A-A剖面示意圖。
圖3是圖1之B-B剖面示意圖。
圖4a及圖4b分別是本發明中第一端邊定位器的動作示意圖。
圖5a至圖5d分別是本發明中第二端邊定位器的動作示意圖。
圖6a及圖6b分別是本發明中側邊定位器的動作示意圖。
圖7a及圖7b分別是本發明中升降器的動作示意圖。
實施本發明之基板定位裝置的目的，是利用機械組件止檔暨定位基板，以取代傳統使用感測元件加上驅動元件的組合來定位基板。請合併參閱圖1、圖2及圖3，說明本發明之一實施例，是在提供一種基板定位裝置。其中，圖1揭示出本發明基板定位裝置的配置示意圖，圖2揭示出圖1之A-A剖面示意圖，圖3揭示出執行圖1之B-B剖面示意圖。其中：輸送器20上形成有一基準面21，而基準面21是由樞設於輸送器20呈面狀間隔分佈的多個滾輪22上構 成，基板10是經由基準面21於輸送器20內進行第一水平方向23的位移，在實施上，基板10是指製造太陽能板所使用到的玻璃板件。
端邊定位器30是設置於輸送器20之端邊且位於基準面21之下，能夠由下往上伸出於基準面21之上，端邊定位器30具有多個對稱的導柱33，而端邊定位器30是經由導柱33來止擋於基準面21進行第一水平方向23移動的基板10，在實施上，端邊是指基板10於輸送器20內進行第一水平方向23移動時位於基板10移動路徑的前後兩端，而端邊與第一水平方向23是相互垂直。
側邊定位器40是設置於輸送器20之側邊且位於基準面21之上，側邊定位器40能經由側邊水平驅動器401的帶動而以第二水平方向24朝基板10方向進行位移，在本發明中所指的第一水平方向23與第二水平方向24是相互垂直，側邊定位器40具有多個對稱的導柱43，而側邊定位器40能經由導柱43來接觸而後導正已止擋於基準面21的基板10，在實施上，側邊是指基板10於輸送器20內進行第一水平方向23移動時位於基板10移動路徑的左右兩側，而側邊與第一水平方向23是相互平行。
升降器50設置於輸送器20內部且位於基準面21之下，升降器50能經由升降垂直驅動器501的帶動而以垂直方向25由下往上的移動而抬舉基板10脫離基準面21，且升降器50上設置有多個吸附器51，升降器50能經由吸附器51的吸持來固定基板10，避免基板10在接受升降器50垂直移動的過程中發生水平移位而造成加工失敗。
更進一步的說，所述端邊定位器30包含一第一端邊定位器31及一第二端邊定位器32，所述於基準面21上進行第一水平方向23移動的基板10是經由第一端邊定位器31的導柱33來止擋其移動，第二端邊定位器32於基板10 受到止擋而停止移動之後，第二端邊定位器32的導柱33能夠由下往上伸出於基準面21之上，並朝基板10方向靠位移動而接觸及導正基板10。
所述側邊定位器40包含一第一側邊定位器41及一第二側邊定位器42，分別設置於輸送器20之相對二側，第一側邊定位器41與第二側邊定位器42能夠經由導柱43進行第二水平方向24的相對移動來接觸及導正基板10於基準面21上。
透過上述構件之組成，當基板10於輸送器20內沿基準面21作第一水平方向23位移時(如圖4a所示)，第一端邊定位器31經由第一端邊垂直驅動器311的帶動而以垂直方向25由基準面21下方伸出至基準面21上方，而伸出至基準面21上方的第一端邊定位器31是經由導柱33來擋下於基準面21上進行位移的基板(如圖4b所示)；當基板10於基準面21受到第一端邊定位器31的止擋而停止位移時，第二端邊定位器32先經由第二端邊水平驅動器321的帶動而由第一水平方向23進行遠離基板10的位移(如圖5a所示)，接者，第二端邊定位器32經由第二端邊垂直驅動器322的帶動而以垂直方向25由基準面21下方伸出至基準面21上方(如圖5b所示)，然後，第二端邊定位器32再經由第二端邊水平驅動器321的帶動而朝基板10作第一水平方向23位移(如圖5c所示)，最後，第二端邊定位器32經由導柱33與第一端邊定位器31的導柱33使基板10定位於基準面21上(如圖5d所示)；接下來，設置於輸送器20二側且位於基準面21之上的第一側邊定位器41與第二側邊定位器42分別由第二水平方向24朝基板10進行位移(如圖6a所示)，而第一側邊定位器41與第二側邊定位器42是分別經由導柱43接觸而後導正基板10於基準面21之第二水平方向24的位置(如圖6b所示)；當基板10於基準面21之第一水平方向23與第二水平方向24的 位置定位完成後，位於基準面之下的升降器50經由升降垂直驅動器501的帶動而以垂直方向25由基準面21下方朝基準面21上方位移(如圖7a所示)，升降器50先利用吸附器51來吸持基板10，再利用升降器50由下向上的位移而抬舉基板10來脫離基準面21(如圖7b所示)。
綜上所述，本發明的基板定位裝置是先經由端邊定位器30來調整基板10於基準面21之第一水平方向23的位置，接著經由側邊定位器40來調整基板10於基準面21之第二水平方向24的位置，最後經由升降器50抬舉基板10脫離基準面21以接受加工機具的加工處理，藉由機械組件來止檔暨定位基板，以取代傳統需使用感測元件加上驅動元件的組合，以簡化基板定位裝置的構造，進而達到降低基板定位裝置的建構成本。
本發明於上述實施例中以「上」、「下」表述構成元件的配置位置，其係以讀者眼睛正視圖紙中所呈現的圖式方向為依據。其「上」者，表示位在圖式中所說明的相對組件的「上方」，其「下」者，表示位在圖式中所說明的相對組件的「下方」。
以上實施例僅為表達了本發明的較佳實施方式，但並不能因此而理解為對本發明專利範圍的限制。應當指出的是，對於本發明所屬技術領域中具有通常知識者而言，在不脫離本發明構思的前提下，還可以做出複數變形和改進，這些都屬於本發明的保護範圍。因此，本發明應以申請專利範圍中限定的請求項內容為準。
20‧‧‧輸送器
22‧‧‧滾輪
23‧‧‧第一水平方向
24‧‧‧第二水平方向
30‧‧‧端邊定位器
31‧‧‧第一端邊定位器
32‧‧‧第二端邊定位器
33‧‧‧導柱
40‧‧‧側邊定位器
401‧‧‧側邊水平驅動器
41‧‧‧第一側邊定位器
42‧‧‧第二側邊定位器
43‧‧‧導柱
50‧‧‧升降器
51‧‧‧吸附器

Claims (6)

  1. 一種基板定位裝置，包括：一輸送器，形成有能夠逐一傳遞基板水平移動的一基準面；一端邊定位器，設置於輸送器之端邊且位於基準面之下，能夠由下往上伸出於基準面之上，止擋於基準面移動的基板；一側邊定位器，設置於輸送器之側邊且位於基準面之上，能夠朝基板方向靠位移動，並接觸而後導正已止擋於基準面的基板；以及一升降器，設置於輸送器內部且位於基準面之下，能夠透過由下往上的移動而抬舉基板脫離基準面。其中，端邊定位器與側邊定位器分別具有多個對稱的導柱，端邊定位器經由導柱止擋於基準面移動的基板，而側邊定位器經由導柱接觸而後導正已止擋於基準面的基板。
  2. 如申請專利範圍第1項所述基板定位裝置，其中所述基準面是由呈面狀間隔分佈的多個滾輪構成。
  3. 如申請專利範圍第1項所述基板定位裝置，其中所述端邊定位器包含一第一端邊定位器及一第二端邊定位器，所述於基準面上移動的基板是經由第一端邊定位器止擋，第二端邊定位器於基板受止擋之後，能夠由下往上伸出於基準面之上，並朝基板方向靠位移動而接觸及導正基板。
  4. 如申請專利範圍第1項所述基板定位裝置，其中所述側邊定位器與基板於基準面上的位移方向是相互垂直。
  5. 如申請專利範圍第1或4項所述基板定位裝置，其中所述側邊定位器包含一第一側邊定位器及一第二側邊定位器，分別設置於輸送器之相對二側，第一側邊定位器與第二側邊定位器能夠經由相對移動來接觸及導正基板於基準面上。
  6. 如申請專利範圍第1項所述基板定位裝置，其中所述 升降器設置有能夠固定基板的多個吸附器。
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