CN104022061A - 基板定位装置 - Google Patents

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CN104022061A CN201310080270.3A CN201310080270A CN104022061A CN 104022061 A CN104022061 A CN 104022061A CN 201310080270 A CN201310080270 A CN 201310080270A CN 104022061 A CN104022061 A CN 104022061A
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王渊民
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Abstract

一种基板定位装置,包括能够逐一传递基板水平移动的基准面,首先端边定位器止挡于基准面移动的基板,接着侧边定位器经由接触而后导正已止挡于基准面的基板,最后升降器通过由下往上的移动而抬举基板脱离基准面。通过机械组件来止档暨定位基板,以免除或省略感测元件的配置。

Description

基板定位装置
技术领域
本发明涉及基板的定位技术,特别是有关于一种基板定位装置。
背景技术
一般而言,基板是指制造太阳能板或电路板所使用到的板状物件,而基板在进行加工处理前,须先固定基板的所在位置,以防止基板在进行加工处理时发生位移而丧失加工精确度的现象,一般而言,生产暨制造基板的相关产业,已采取自动化机具来传递及定位基板,其定位基板的方式大都采用感测元件(sensor,例如是光感测器、微动开关等)加上驱动元件(例如马达、气压缸等)的组合,利用感测元件检知基板目前的位置,再经由驱动元件驱动暨调整基板至所需求的位置,然而此种方式必须搭配使用较复杂的控制电路,才能有效管制相关感测元件、驱动元件及基板之间的自动化操作精度,相对地也因此而容易增加自动化基板定位机具的设计暨产制成本。
因此,针对自动化基板定位机具而言,如何在维持基板所需的定位精度的前提的下,能免除亦或省略不必要的感测元件的配置,甚而简化控制电路的配置与调校复杂度等,已成为本技术领域的中一项待以改善的重要课题。
发明内容
有鉴于此,本发明的目的旨在提供一种机械式的基板定位装置,在无需借助感测元件检知基板位置的情况下,直接利用机械组件止档暨定位基板。具体的说,本发明基板定位装置的技术手段,包括:
一输送器,形成有能够逐一传递基板水平移动的一基准面;
一端边定位器,设置于输送器的端边且位于基准面下,能够由下往上伸出于基准面上,止挡于基准面移动的基板;
一侧边定位器,设置于输送器的侧边且位于基准面上,能够朝基板方向靠位移动,并接触而后导正已止挡于基准面的基板;以及
一升降器,设置于输送器内部且位于基准面下,能够通过由下往上的移动而抬举基板脱离基准面。
其中,端边定位器与侧边定位器分别具有多个对称的导柱,端边定位器经由导柱止挡于基准面移动的基板,而侧边定位器经由导柱接触而后导正已止挡于基准面的基板。
所述的基板定位装置,其中,所述基准面由在一平面上间隔分布的多个滚轮构成。
所述的基板定位装置,其中,所述端边定位器包含一第一端边定位器及一第二端边定位器,所述于基准面上移动的基板是经由第一端边定位器止挡,第二端边定位器于基板受止挡后,能够由下往上伸出于基准面上,并朝基板方向靠位移动而接触及导正基板。
所述的基板定位装置,其中,所述侧边定位器与基板于基准面上的位移方向相互垂直。
所述的基板定位装置,其中,所述侧边定位器包含一第一侧边定位器及一第二侧边定位器,分别设置于输送器的相对两侧,第一侧边定位器与第二侧边定位器能够经由相对移动来接触及导正基板于基准面上。
所述的基板定位装置,其中,所述升降器设置有能够固定基板的多个吸附器。
综上所述,本发明的基板定位装置是利用端边定位器、侧边定位器及升降器等机械组件来以取代传统使用感测元件加上驱动元件才能进行基板的定位,并避免需使用较复杂的控制电路,才能有效管制相关感测元件、驱动元件及基板之间的自动化操作精度,进而降低自动化基板定位机具的设计暨产制成本。
以上所述的方法与装置的技术手段及其产生效能的具体实施细节,请参照下列实施例及附图加以说明。
附图说明
图1是本发明基板定位装置的配置示意图;
图2是图1的A-A剖面示意图;
图3是图1的B-B剖面示意图;
图4a及图4b分别是本发明中第一端边定位器的动作示意图;
图5a至图5d分别是本发明中第二端边定位器的动作示意图;
图6a及图6b分别是本发明中侧边定位器的动作示意图;
图7a及图7b分别是本发明中升降器的动作示意图。
附图标记说明:10-基板;20-输送器;21-基准面;22-滚轮;23-第一水平方向;24-第二水平方向;25-垂直方向;30-端边定位器;31-第一端边定位器;311第一端边垂直驱动器;32-第二端边定位器;321第二端边水平驱动器;322第二端边垂直驱动器;33-导柱;40-侧边定位器;401-侧边水平驱动器;41-第一侧边定位器;42-第二侧边定位器;43-导柱;50-升降器;501-升降垂直驱动器;51-吸附器。
具体实施方式
实施本发明的基板定位装置的目的,是利用机械组件止档暨定位基板,以取代传统使用感测元件加上驱动元件的组合来定位基板。请合并参阅图1、图2及图3,说明本发明的一实施例,是在提供一种基板定位装置。其中,图1揭示出本发明基板定位装置的配置示意图,图2揭示出图1的A-A剖面示意图,图3揭示出执行图1的B-B剖面示意图。其中:
输送器20上形成有一基准面21,而基准面21是由枢设于输送器20在一平面上间隔分布的多个滚轮22上构成,基板10是经由基准面21于输送器20内进行第一水平方向23的位移,在实施上,基板10是指制造太阳能板所使用到的玻璃板件。
端边定位器30设置于输送器20的端边且位于基准面21下,能够由下往上伸出于基准面21上,端边定位器30具有多个对称的导柱33,而端边定位器30是经由导柱33来止挡于基准面21进行第一水平方向23移动的基板10,在实施上,端边是指基板10于输送器20内进行第一水平方向23移动时位于基板10移动路径的前后两端,而端边与第一水平方向23相互垂直。
侧边定位器40设置于输送器20的侧边且位于基准面21上,侧边定位器40能经由侧边水平驱动器401的带动而以第二水平方向24朝基板10方向进行位移,在本发明中所指的第一水平方向23与第二水平方向24相互垂直,侧边定位器40具有多个对称的导柱43,而侧边定位器40能经由导柱43来接触而后导正已止挡于基准面21的基板10,在实施上,侧边是指基板10于输送器20内进行第一水平方向23移动时位于基板10移动路径的左右两侧,而侧边与第一水平方向23相互平行。
升降器50设置于输送器20内部且位于基准面21下,升降器50能经由升降垂直驱动器501的带动而以垂直方向25由下往上的移动而抬举基板10脱离基准面21,且升降器50上设置有多个吸附器51,升降器50能经由吸附器51的吸持来固定基板10,避免基板10在接受升降器50垂直移动的过程中发生水平移位而造成加工失败。
更进一步的说,所述端边定位器30包含一第一端边定位器31及一第二端边定位器32,所述于基准面21上进行第一水平方向23移动的基板10是经由第一端边定位器31的导柱33来止挡其移动,第二端边定位器32于基板10受到止挡而停止移动后,第二端边定位器32的导柱33能够由下往上伸出于基准面21的上,并朝基板10方向靠位移动而接触及导正基板10。
所述侧边定位器40包含一第一侧边定位器41及一第二侧边定位器42,分别设置于输送器20的相对两侧,第一侧边定位器41与第二侧边定位器42能够经由导柱43进行第二水平方向24的相对移动来接触及导正基板10于基准面21上。
通过上述构件的组成,当基板10于输送器20内沿基准面21作第一水平方向23位移时(如图4a所示),第一端边定位器31经由第一端边垂直驱动器311的带动而以垂直方向25由基准面21下方伸出至基准面21上方,而伸出至基准面21上方的第一端边定位器31是经由导柱33来挡下于基准面21上进行位移的基板(如图4b所示);当基板10于基准面21受到第一端边定位器31的止挡而停止位移时,第二端边定位器32先经由第二端边水平驱动器321的带动而由第一水平方向23进行远离基板10的位移(如图5a所示),接者,第二端边定位器32经由第二端边垂直驱动器322的带动而以垂直方向25由基准面21下方伸出至基准面21上方(如图5b所示),然后,第二端边定位器32再经由第二端边水平驱动器321的带动而朝基板10作第一水平方向23位移(如图5c所示),最后,第二端边定位器32经由导柱33与第一端边定位器31的导柱33使基板10定位于基准面21上(如图5d所示);接下来,设置于输送器20两侧且位于基准面21的上的第一侧边定位器41与第二侧边定位器42分别由第二水平方向24朝基板10进行位移(如图6a所示),而第一侧边定位器41与第二侧边定位器42是分别经由导柱43接触而后导正基板10于基准面21的第二水平方向24的位置(如图6b所示);当基板10于基准面21的第一水平方向23与第二水平方向24的位置定位完成后,位于基准面的下的升降器50经由升降垂直驱动器501的带动而以垂直方向25由基准面21下方朝基准面21上方位移(如图7a所示),升降器50先利用吸附器51来吸持基板10,再利用升降器50由下向上的位移而抬举基板10来脱离基准面21(如图7b所示)。
综上所述,本发明的基板定位装置是先经由端边定位器30来调整基板10于基准面21的第一水平方向23的位置,接着经由侧边定位器40来调整基板10于基准面21的第二水平方向24的位置,最后经由升降器50抬举基板10脱离基准面21以接受加工机具的加工处理,通过机械组件来止档暨定位基板,以取代传统需使用感测元件加上驱动元件的组合,以简化基板定位装置的构造,进而达到降低基板定位装置的建构成本。
本发明于上述实施例中以「上」、「下」表述构成元件的配置位置,其是以读者眼睛正视图纸中所呈现的附图方向为依据。其「上」者,表示位在附图中所说明的相对组件的「上方」,其「下」者,表示位在附图中所说明的相对组件的「下方」。
以上实施例仅为表达了本发明的较佳实施方式,但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是,对于本发明所属技术领域中具有通常知识者而言,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出多个变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。因此,本发明应以权利要求书中限定的权利要求内容为准。

Claims (6)

1.一种基板定位装置,其特征在于,包括:
一输送器,形成有能够逐一传递基板水平移动的一基准面;
一端边定位器,设置于输送器的端边且位于基准面下,能够由下往上伸出于基准面上,止挡于基准面移动的基板;
一侧边定位器,设置于输送器的侧边且位于基准面上,能够朝基板方向靠位移动,并接触而后导正已止挡于基准面的基板;以及
一升降器,设置于输送器内部且位于基准面下,能够通过由下往上的移动而抬举基板脱离基准面。
其中,端边定位器与侧边定位器分别具有多个对称的导柱,端边定位器经由导柱止挡于基准面移动的基板,而侧边定位器经由导柱接触而后导正已止挡于基准面的基板。
2.如权利要求1所述的基板定位装置,其特征在于,所述基准面由在一平面上间隔分布的多个滚轮构成。
3.如权利要求1所述的基板定位装置,其特征在于,所述端边定位器包含一第一端边定位器及一第二端边定位器,所述于基准面上移动的基板是经由第一端边定位器止挡,第二端边定位器于基板受止挡后,能够由下往上伸出于基准面上,并朝基板方向靠位移动而接触及导正基板。
4.如权利要求1所述的基板定位装置,其特征在于,所述侧边定位器与基板于基准面上的位移方向相互垂直。
5.如权利要求1或4所述的基板定位装置,其特征在于,所述侧边定位器包含一第一侧边定位器及一第二侧边定位器,分别设置于输送器的相对两侧,第一侧边定位器与第二侧边定位器能够经由相对移动来接触及导正基板于基准面上。
6.如权利要求1所述的基板定位装置,其特征在于,所述升降器设置有能够固定基板的多个吸附器。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106516740A (zh) * 2016-10-27 2017-03-22 信义玻璃(天津)有限公司 一种自调节双边自动磨边系统
CN111294476A (zh) * 2018-12-10 2020-06-16 捷普电子(广州)有限公司 扫描机及自动导正模块

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6733056B2 (ja) * 2017-06-30 2020-07-29 東芝三菱電機産業システム株式会社 基板位置決め装置及び基板位置決め方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020054962A (ko) * 2000-12-28 2002-07-08 전형구 탄탈 측정장치
CN101018723A (zh) * 2005-05-17 2007-08-15 平田机工株式会社 基板输出输入装置以及基板输出输入方法
CN101677078A (zh) * 2008-09-19 2010-03-24 富士迈半导体精密工业(上海)有限公司 基板定位装置
CN102456602A (zh) * 2010-10-28 2012-05-16 奥林巴斯株式会社 检查装置和基板的定位方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6517303B1 (en) * 1998-05-20 2003-02-11 Applied Komatsu Technology, Inc. Substrate transfer shuttle
KR100914363B1 (ko) * 2001-07-15 2009-08-28 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 처리 시스템
US20040245856A1 (en) * 2003-06-09 2004-12-09 Shoei-Lai Chen Electrical switching device for preventing error pushing
TWI447840B (zh) * 2004-11-15 2014-08-01 尼康股份有限公司 基板搬運裝置、基板搬運方法以及曝光裝置
JP4313824B2 (ja) * 2007-03-23 2009-08-12 東京エレクトロン株式会社 基板移載装置及び基板移載方法並びに記憶媒体

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020054962A (ko) * 2000-12-28 2002-07-08 전형구 탄탈 측정장치
CN101018723A (zh) * 2005-05-17 2007-08-15 平田机工株式会社 基板输出输入装置以及基板输出输入方法
CN101677078A (zh) * 2008-09-19 2010-03-24 富士迈半导体精密工业(上海)有限公司 基板定位装置
CN102456602A (zh) * 2010-10-28 2012-05-16 奥林巴斯株式会社 检查装置和基板的定位方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106516740A (zh) * 2016-10-27 2017-03-22 信义玻璃(天津)有限公司 一种自调节双边自动磨边系统
CN111294476A (zh) * 2018-12-10 2020-06-16 捷普电子(广州)有限公司 扫描机及自动导正模块

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