JP2020009820A - 産業用ロボット - Google Patents
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Abstract
Description
図1から図3は、本発明の実施形態を説明するための産業用ロボットの一例を示す。産業用ロボット1(以下、「ロボット1」とする。)は、搬送対象物である半導体ウエハ2(以下、「ウエハ2」とする。)を搬送するためのロボットである。ロボット1は、例えば、複数のウエハ2が所定のピッチで積層されて収納されるカセット(図示省略)から複数のウエハ2を同時に搬出する。そして、ロボット1は、複数のウエハ2が所定のピッチで積層されて収納される半導体製造システムの加熱炉(図示省略)の中へカセットから搬出した複数のウエハ2を搬入する。また、ロボット1は、加熱炉から複数のウエハ2を同時に搬出して、搬出した複数のウエハ2をカセットの中へ搬入する。
図4及び図5は、検出部20の構成を示す。検出部20は、アーム支持部7が昇降機構8によって降下される際に、アーム支持部7の底面11の下方に存在する障害物を検出する。検出部20は、アーム支持部7に対して昇降方向Zに移動可能な可動体21と、可動体21の昇降方向の変位を検出するセンサ22とを有する。
2 半導体ウエハ(搬送対象物)
3 ウエハ搭載機構
4 第1アーム
5 センシング用ハンド
6 第2アーム
7 アーム支持部
8 昇降機構
9 第1支持部
10 第2支持部
11 アーム支持部の底面
20 検出部
21 可動体
22 センサ
23 可動体の第1端部
24 軸
25 吊下げ部
26 係合孔
27 ガイド板
28 係合ピン
29 可動体の第2端部
30 アーム支持部の側面
31 ヒンジレバー
32 センサ係合部
X 第1方向
Y 第2方向
Z 昇降方向
Claims (5)
- 搬送対象物を保持するハンドと、
前記ハンドを水平面内で移動させるアームと、
前記アームを支持するアーム支持部と、
前記アーム支持部を昇降させる昇降機構と、
前記アーム支持部の底面の下方に存在する障害物を検出する検出部と、
を備え、
前記検出部は、
前記アーム支持部の前記底面に沿って且つ前記底面との間に間隔をあけて配置され、前記アーム支持部に対して前記アーム支持部の昇降方向に移動可能な板状の可動体と、
前記可動体の前記昇降方向の変位を検出するセンサと、
を有する産業用ロボット。 - 請求項1記載の産業用ロボットであって、
前記可動体は、前記アーム支持部の前記底面の全体を覆っている産業用ロボット。 - 請求項1又は2記載の産業用ロボットであって、
前記センサは、接触式センサである産業用ロボット。 - 請求項3記載の産業用ロボットであって、
前記アーム支持部の前記底面に平行且つ互いに垂直な方向を第1方向及び第2方向として、
前記可動体の前記第1方向の一方の第1端部は、前記第2方向に延びる軸まわりに回動可能に、前記アーム支持部によって支持されており、
前記センサは、前記可動体の前記第1端部と反対側の第2端部との間の中間部位の変位を検出する産業用ロボット。 - 請求項4記載の産業用ロボットであって、
前記センサは、前記第2方向と交差する前記アーム支持部の一方の側面に設けられており、
前記可動体は、前記中間部位から前記アーム支持部の前記側面に沿って前記昇降方向に前記センサまで延びるセンサ係合部を有する産業用ロボット。
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