JP2020015139A - 工作機械及びワーク取付台の傾き調整方法 - Google Patents

工作機械及びワーク取付台の傾き調整方法 Download PDF

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Abstract

【課題】容易に且つ迅速にワークの傾きを調整すること。【解決手段】工作機械(100)は、基台(1)と、基台(1)の上方に設けられたワーク取付台(6)と、ワーク取付台(6)を基台(1)に向けて押し付けるクランパ(8)と、ワーク取付台(6)と基台(1)との間の少なくとも3箇所に設けられ、クランパ(8)の押し付け力に抗して基台(1)に対してワーク取付台(6)を持ち上げる、複数のジャッキ(7)と、ワークの基準面の目標傾きと、ワーク取付台(6)に取り付けられたワークの基準面の実際の傾きと、に基づいて、ワークの基準面の傾きを目標傾きに調整するように、複数のジャッキ(7)の上昇量を制御する制御装置と、を具備する。【選択図】図2

Description

本願は、工作機械及びワーク取付台の傾き調整方法に関する。
従来、工作機械においてワークの傾きを調整するための様々な構成が知られている(例えば、特許文献1参照)。特許文献1は、ワークの傾きを調整するための機構を備える横形のNC工作機械を開示している。この工作機械では、テーブルが、鉛直なY軸周り(B軸方向)に回転可能である。また、テーブル上には、水平なX軸周り(A軸方向)に回転可能なチルトイケールが取り付けられている。このような構成によれば、ワークの傾きが、上記のA軸方向の回転及びB軸方向の回転によって調整可能である。
特開2004−66438号公報
しかしながら、特許文献1の工作機械では、水平なZ軸周り(C軸方向)にワークの傾きを調整できない。したがって、所望されるワークの姿勢によっては、ワークの傾きの調整が複雑になり時間がかかる可能性がある。また、C軸方向の回転送り機構を追加に設けることは、例えば大型のワークを扱う工作機械では、大規模な構造が必要とされ得る。
本発明は、上記のような課題を解決しつつ、容易に且つ迅速にワークの傾きを調整することができる工作機械、及びワーク取付台の傾き調整方法を提供することを目的とする。
本開示の一態様は、X,Y及びZ軸機械座標系において、取り付けられたワークの基準面の傾きを調整可能な工作機械であって、基台と、基台の上方に設けられたワーク取付台と、ワーク取付台を基台に向けて押し付けるクランパと、ワーク取付台と基台との間の少なくとも3箇所に設けられ、クランパの押し付け力に抗して基台に対してワーク取付台を持ち上げる、複数のジャッキと、ワークの基準面の目標傾きと、ワーク取付台に取り付けられたワークの基準面の実際の傾きと、に基づいて、ワークの基準面の傾きを目標傾きに調整するように、複数のジャッキの上昇量を制御する制御装置と、を具備する、工作機械である。
本開示の一態様に係る工作機械では、ワーク取付台に取り付けられたワークの基準面(例えば、上面)の実際の傾き及びワークの基準面の目標傾きに基づいて、ワークの基準面の傾きが目標傾きに調整されるように、少なくとも3箇所に設けられた複数のジャッキの上昇量が制御装置によって制御される。平面の傾きは3点の座標によって決められることができるため、少なくとも3箇所に設けられたジャッキの上昇量を制御装置によって制御することによって、実質的に2つの水平な軸周りでの傾きを同時に自動で調整することができる。したがって、容易に且つ迅速にワークの傾きを調整することができる。
工作機械は、ワーク取付台に取り付けられたワークの基準面上の複数の点について、X,Y及びZ軸座標値を測定するワーク測定装置を更に備えてもよく、制御装置は、ワーク測定装置から入力された複数の点のX,Y及びZ軸座標値に基づいて、ワーク取付台に取り付けられたワークの基準面の実際の傾きを算出してもよい。この場合、ワークの基準面の実際の傾きが自動で測定される。したがって、より容易にワークの傾きを調整することができる。
複数のジャッキの各々は、モータと、モータによって回転させられるねじ軸と、ねじ軸によって並進させられる第1のくさび部材であって、当該第1のくさび部材の並進方向に対して傾斜した第1の摺動面を含む第1のくさび部材と、ワーク取付台に固定された第2のくさび部材であって、第1の摺動面と摺動可能に接触する第2の摺動面を含み、第1のくさび部材によって上昇又は下降させられる第2のくさび部材と、を有してもよい。この場合、ジャッキは簡易な構成を有することができる。
ワーク取付台が、鉛直な第1の軸線周りにワークを旋回させる旋回台を有してもよい。この場合、ワークの基準面の傾き調整に加えて、水平な送り軸に対するワークの平行度を調整することができる。
ワーク取付台が、ワークが取り付けられるパレットを、取り外し可能に固定するための固定装置を有してもよい。パレットが使用される工作機械では、パレットの寸法公差等によって、ワークの基準面の傾きがパレット毎に変化する可能性がある。したがって、容易に且つ迅速にワークの傾きを調整することができるという効果がより重要になり得る。
工作機械は、複数の変位センサであって、各々が、複数のジャッキのうちの1つに関連付けられて基台及びワーク取付台の少なくとも一方に取り付けられ、当該取り付け位置における基台に対するワーク取付台の位置を検出する、複数の変位センサを更に備えてもよい。この場合、フィードバック制御によって、各ジャッキの上昇量を制御することができる。
本開示の他の態様は、X,Y及びZ軸機械座標系において、工作機械のワーク取付台の傾きを調整するための方法であって、工作機械は、基台と、基台の上方に設けられたワーク取付台と、ワーク取付台を基台に向けて押し付けるクランパと、ワーク取付台と基台との間の少なくとも3箇所に設けられ、クランパの押し付け力に抗して基台に対してワーク取付台を持ち上げる複数のジャッキと、を具備し、当該方法は、ワーク取付台にワークを取り付ける工程と、クランパによって、ワーク取付台を基台に向けて押し付ける工程と、ワーク取付台に取り付けられたワークの基準面の実際の傾きを求める工程と、ワークの基準面の目標傾きと、ワーク取付台に取り付けられたワークの基準面の実際の傾きとに基づいて、ワークの基準面の傾きを目標傾きに調整するように、ジャッキによって、クランパの押し付け力に抗して基台に対してワーク取付台を持ち上げる工程と、を備える、ワーク取付台の傾き調整方法である。
本開示の一態様に係るワーク取付台の傾き調整方法では、少なくとも3箇所に設けられたジャッキの上昇量を制御することによって、実質的に2つの水平な軸周りでの傾きを同時に調整することができる。したがって、容易に且つ迅速にワークの傾きを調整することができる。
基台に対してワーク取付台を持ち上げる工程では、ジャッキの1回の上昇量について上限値が設けられていてもよい。ワークの基準面の実際の傾きが目標傾きと大きく異なるときには、傾きを1回のジャッキの上昇で目標傾きに調整させようとすると、あるジャッキに浮きが発生する可能性がある。ジャッキに浮きが発生した場合、ジャッキが正しく上昇しない可能性がある。したがって、ジャッキの1回の上昇量について上限値を設け、且つ、ジャッキの上昇を複数回繰り返すことによって、ジャッキに浮きが発生することを防止することができる。
ワーク取付台の傾き調整方法は、複数のジャッキを初期位置に戻す工程であって、複数のジャッキを初期位置よりも上方の所定の高さに移動させることと、複数のジャッキを所定の高さから初期位置まで下降させることと、を含む工程を更に備えてもよい。例えば、あるジャッキが初期位置からほとんど上昇させられなかった場合、このジャッキを初期位置に戻そうとしても、ジャッキのバックラッシュ等の要因に起因して、ジャッキが初期位置に正しく戻らない可能性がある。したがって、先ず、複数のジャッキを初期位置よりも上方の所定の高さに移動させ、続いて、複数のジャッキを当該位置から初期位置に下降させることで、複数のジャッキを初期位置に正しく戻すことができる。
本開示の一態様によれば、容易に且つ迅速にワークの傾きを調整することができる。
実施形態に係る工作機械を示す概略斜視図である。 ベッドに取り付けられたワーク取付台を示す概略斜視図である。 図2のH部を示す概略側面図である。 実施形態に係る工作機械を示す概略ブロック図である。 実施形態に係る工作機械の動作の一部を示すフローチャートである。 実施形態に係る工作機械の動作の残りを示す図5に続くフローチャートである。 ジャッキが4つの場合の、傾き調整前後のワークの基準面を示す概略図である。 図5中のサブルーチンの一部を示すフローチャートである。 図7中の上昇量L2が上昇量L4以下である場合の図8に続くサブルーチンの残りを示すフローチャートである。 図7中の上昇量L2が上昇量L4より大きい場合の図8に続くサブルーチンの残りを示すフローチャートである。
以下、添付図面を参照して、実施形態に係る工作機械及びワーク取付台の傾き調整方法を説明する。同様な又は対応する要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。理解を容易にするために、図の縮尺は変更されている場合がある。
図1は、実施形態に係る工作機械100を示す概略斜視図である。工作機械100は、例えば、大型の門形マシニングセンタであることができ、大型のワークを加工することができる。工作機械100は、他の種類の工作機械であってもよい。工作機械100は、例えば、工場の床面等である基礎F上に設置される。工作機械100は、ベッド(本開示において、基台とも称され得る)1と、一対のコラム2と、クロスレール3と、サドル5と、主軸頭4と、ワーク取付台6(図2参照)と、を備えている。主軸頭4内には、軸線Osを中心にして回転する主軸が設けられている。なお、図1では、簡潔さのために、ワーク取付台6は、省略されていることに留意されたい。
図2は、ベッド1に取り付けられたワーク取付台6を示す概略斜視図である。工作機械100では、ワーク取付台6に取り付けられたワーク(不図示)の基準面の傾きを調整することができる。ワークの基準面は、ワークの任意の面(例えば、上面)であることができる。ワークの基準面の傾きの目標値は、例えば加工の態様等、様々な要因に応じて様々な値に設定されることができる。図1を参照して、例えば、ワークの基準面の傾きの目標値は、主軸の軸線Osに対して垂直であってもよい。また、例えば、正面フライスのヒールによってワークを加工する場合には、ワークの基準面の傾きの目標値を、主軸の軸線Osに対して任意の角度(例えば、89°)に設定することができる。
座標系に関して、本実施形態では、工作機械100は立形マシニングセンタであり、主軸は、鉛直な軸線Os周りに回転する。本実施形態に係る工作機械100の機械座標系では、軸線Osに沿った方向が、Z軸方向(上下方向とも称され得る)である。また、この機械座標系では、水平方向のうち、一対のコラム2が配列されている方向が、Y軸方向(左右方向とも称され得る)である。さらに、この機械座標系では、水平方向のうち、Y軸方向と垂直な方向(又は、主軸頭4がクロスレール3に対して取り付けられている方向)が、X軸方向(前後方向とも称され得る)である。クロスレール3を基準にして、主軸頭4が在る側が前側であり、その反対の側が後側である。
ベッド1及び一対のコラム2の各々は、複数のレベリングブロックLBを介して基礎F上に設置されている。一対のコラム2は、Y軸方向に沿ってベッド1を挟んでベッド1の両側に配置されている。ベッド1及び一対のコラム2の各々は、複数のレベリングブロックLBの高さを調整することによって所望の姿勢及び高さに保持されることができる。レベリングブロックLBの調整は、例えば、工作機械100の設置時、及び/又は、定期点検時に実施される。
クロスレール3は、一対のコラム2の上面に跨っている。クロスレール3は、モータに連結されたボールねじを有する送り装置Dxによって、コラム2上をX軸方向に沿って駆動される。送り装置Dxは、X座標値を測定するためのスケールを含むことができる。コラム2とクロスレール3との間には、クロスレール3の移動を案内するガイドが配置される。クロスレール3によるX軸方向の送りは、NC装置によって制御される。
サドル5は、クロスレール3に取り付けられている。サドル5は、モータに連結されたボールねじを有する送り装置Dyによって、クロスレール3上をY軸方向に沿って駆動される。クロスレール3とサドル5との間には、サドル5の移動を案内するガイドが配置される。サドル5は、前面に主軸頭4を支持している。主軸頭4は、モータに連結されたボールねじを有する送り装置Dzによって、サドル5上をZ軸方向に沿って駆動される。サドル5と主軸頭4との間には、主軸頭4の移動を案内するガイドが配置される。送り装置Dy及び送り装置Dzは、それぞれ、Y座標値及びZ軸座標値を測定するためのスケールを含むことができる。サドル5によるY軸方向の送り及び主軸頭4によるZ軸方向の送りは、NC装置によって制御される。主軸は、鉛直な軸線Os周りに回転する。
図2を参照して、ベッド1の上方には、ワーク取付台6が設けられている。ワーク取付台6は、ワーク(不図示)を支持する。本実施形態では、ワークはパレットP上に取り付けられ、ワーク取付台6はパレットPを支持する。他の実施形態では、ワーク取付台6に直接的にワークが取り付けられてもよい。本実施形態では、ワーク取付台6は、平面視において略長方形状を有している。他の実施形態では、ワーク取付台6は、平面視において異なる形状(例えば、正方形状、他の多角形状、円形状、又は、楕円形状)を有していてもよい。
ワーク取付台6とベッド1との間には、少なくとも3箇所(本実施形態では、4箇所)に、ジャッキ7が設けられている。本実施形態では、ジャッキ7は、平面視において、ワーク取付台6の略四隅に設けられている。各ジャッキ7に対して、クランパ8と、X軸方向ガイドGxと、Y軸方向ガイドGyとが、ベッド1上に設けられている。
図3は、図2のH部を示す概略側面図である。なお、図3では、簡潔さのために、X軸方向ガイドGx及びY軸方向ガイドGyは省略されていることに留意されたい。クランパ8は、ワーク取付台6をベッド1に向けて押し付ける。クランパ8は、ベッド1上に固定されたベース81と、ベース81上に固定された支柱82と、支柱82を中心にして上下方向に揺動可能な棒状の押し付け部材83と、押し付け部材83の一方の端部に連結され押し付け部材83を上下に駆動する油圧シリンダ84と、を有している。押し付け部材83の他方の端部が、ワーク取付台6に設けられた段部6aをベッド1に向けて押し付ける。油圧シリンダ84は、制御装置20(図4参照、詳しくは後述)によって制御されることができる。
図3を参照して、ジャッキ7は、クランパ8の押し付け力に抗して、ベッド1に対してワーク取付台6を持ち上げる。本実施形態では、ジャッキ7は、ブラケット71と、モータ72と、ねじ軸73と、第1のくさび部材74と、第2のくさび部材75と、を有している。
ブラケット71は、ベッド1上に固定されている。ブラケット71は、モータ72を支持している。モータ72は、様々な種類のモータであることができ、例えば、パルスモータであることができる。モータ72は、制御装置20によって制御されることができる。ねじ軸73は、モータ72に連結されており、モータ72によって回転させられる。ねじ軸73は、雄ネジ部を含んでいる。本実施形態では、ねじ軸73の軸線は、X軸方向に沿って配置されている。他の実施形態では、ねじ軸73の軸線は、例えば、Y軸方向に沿って配置されていてもよく、X軸方向(若しくはY軸方向)に対して所定の角度を成す方向に沿って配置されてもよく、又は、他の水平方向に沿って配置されてもよい。
第1のくさび部材74は、ねじ軸73によってねじ軸73の軸線に沿って並進させられる。第1のくさび部材74は、ブラケット71(又はベッド1)上をX軸方向に沿って並進させられる。第1のくさび部材74は、ねじ軸73の雄ネジ部と係合する雌ねじ部74aを含んでいる。また、第1のくさび部材74は、並進面74bと、第1の摺動面74cと、を含んでいる。並進面74bは、第1のくさび部材74の並進方向(ねじ軸73の軸線に沿った方向)と平行であり、ブラケット71(又はベッド1)上を摺動する。第1の摺動面74cは、第1のくさび部材74の並進方向(ねじ軸73の軸線に沿った方向)に対して傾斜している。
第2のくさび部材75は、ワーク取付台6に固定されており、第1のくさび部材74の並進によって上昇又は下降させられる。第2のくさび部材75は、固定面75aと、第2の摺動面75bと、を含んでいる。固定面75aは、例えば水平面に沿っており、ワーク取付台6に設けられた段部6bに固定されている。第2の摺動面75bは、第1のくさび部材74の第1の摺動面74cと摺動可能に接触する。具体的には、第2の摺動面75bは、第1のくさび部材74がブラケット71(又はベッド1)上に配置され、且つ、第2のくさび部材75がワーク取付台6に取り付けられた状態で、第1の摺動面74cと平行であるように構成されている。
以上のような構成を有するジャッキ7では、例えば、第1の摺動面74c(及び第2の摺動面75b)のねじ軸73の軸線に対する角度、及び、ねじ軸73のピッチ等の因子に基づいて、制御装置20によってモータ72の回転数を制御することによって、ベッド1に対する第2のくさび部材75の上昇量(すなわち、ジャッキ7の上昇量)を制御することが可能である。
図2を参照して、X軸方向ガイドGx及びY軸方向ガイドGyは、それぞれ、X軸方向及びY軸方向からワーク取付台6の側面に接触するように構成されている。X軸方向ガイドGx及びY軸方向ガイドGyの各々は、例えば、ベッド1上に固定される基部材G1と、当該基部材G1に固定されワーク取付台6の側面に接触する接触部材G2と、を含むことができる。接触部材G2は、例えば、優れた摺動性を有する材料(例えば、PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)等のフッ素樹脂)を含むことができる。上記のような構成を有するX軸方向ガイドGx及びY軸方向ガイドGyは、ワーク取付台6の上昇又は下降を案内することができる。
図3を参照して、各ジャッキ7に対して、変位センサ76と、レベルスイッチ77と、が設けられている。変位センサ76及びレベルスイッチ77の各々は、対応するジャッキ7に関連付けられて(例えば、対応するジャッキ7に隣接して)、ベッド1及びワーク取付台6の少なくとも一方に取り付けられることができる。変位センサ76は、取り付け位置におけるベッド1に対するワーク取付台6の初期位置(例えば、最下位置)からの上昇量を検出することができる。この上昇量は、対応するジャッキ7の初期位置からの上昇量として扱われることができる。変位センサ76は、様々な種類のセンサ(例えば、渦電流式変位センサ、静電容量式変位センサ、又は、接触式位置検出器等)であることができる。
レベルスイッチ77は、取り付け位置においてワーク取付台6がベッド1に対して初期位置(例えば、最下位置)にあることを検出することができる。別の観点からは、レベルスイッチ77は、対応するジャッキ7が初期位置にあることを検出することができる。レベルスイッチ77は、様々な種類のセンサ(例えば、リミットスイッチ、光電スイッチ等)であることができる。
以上のような変位センサ76によって、各ジャッキ7の実際の上昇量を測定することが可能である。また、変位センサ76によって、例えば、ワークの加工が終了してパレットPを交換するときに、ワーク取付台6が初期位置に戻っていることを検出することができる。パレットPが使用される工作機械100では、ワーク取付台6が初期位置に戻っていない場合、次のパレットPをワーク取付台6に搬送できない可能性がある。変位センサ76によって、このような不都合を防止することができる。同様に、レベルスイッチ77によって、ワーク取付台6が初期位置に戻ったことを検出することができるため、上記のような不都合を防止することができる。
ワーク取付台6は、鉛直方向(Z軸方向)に沿った軸線(第1の軸線)Oc周りにワークを旋回させる旋回台61を有する。旋回台61は、例えば、クロスローラベアリングによって支持されており、例えばモータを含む送り装置Dc(図2参照)によって回転させられる。図3を参照して、旋回台61による回転送り方向は、C軸方向として定義されることができる。旋回台61によるC軸方向の送りは、NC装置によって制御される。
ワーク取付台6は、ワークが取り付けられるパレットPを、取り外し可能に固定するための固定装置63を有する。固定装置63は、例えば、パレットPの底面に設けられたプルスタッドPaを把持して引っ張るためのコレットチャック63aと、パレットPの底面に設けられた凹部を有する雌部材Pbに係合して位置決めするための凸状の雄部材63bと、を含むことができる。固定装置63は、他の機構(例えば、パレット交換のときに、パレットPをリフト又はダウンするためのリフタ)を更に含んでもよい。
図4は、実施形態に係る工作機械100を示す概略ブロック図である。工作機械100は、上記の送り装置Dx,Dy、Dz,Dcと、NC装置10と、制御装置20と、操作装置30と、パレットチェンジャ40と、ワーク測定装置50と、上記の変位センサ76と、上記のクランパ8と、上記のジャッキ7と、記憶装置60と、を備えており、これらの構成要素は、例えばバス等の配線によって又は無線で相互に通信可能に接続されている。既に説明された構成要素については重複する説明を省略する。
NC装置10は、加工プログラムに基づいて、送り装置Dx,Dy、Dz,Dcの動作を制御する。NC装置10は、工作機械100の任意の構成要素(例えば、ベッド1又はコラム2等)に付属することができ、例えば、工作機械100の任意の構成要素の周辺に配置されてもよく、又は、工作機械100の任意の構成要素に取り付けられてもよい。NC装置10は、加工プログラムを保存するための記憶部(不図示)、及び、加工プログラムを実行するための1つ又は複数のCPU(Central Processing Unit)等のプロセッサ(不図示)を含むことができる。
制御装置20は、工作機械100の様々な構成要素を制御する。制御装置20は、工作機械100の任意の構成要素に付属することができ、例えば、工作機械100の任意の構成要素(例えば、ベッド1又はコラム2等)の周辺に配置されてもよく、又は、工作機械100の任意の構成要素に取り付けられてもよい。制御装置20は、例えば、1つ又は複数のCPU等のプロセッサを含むことができる。制御装置20は、ROM(read only memory)及びRAM(random access memory)等のその他の構成要素を更に含んでもよい。
操作装置30は、ユーザーに対して情報を示すように構成された表示部と、ユーザーからの入力を受け付けるように構成された入力部と、を含むことができる。操作装置30は、例えば、タッチパネルを含むことができる。また、操作装置30は、液晶ディスプレイ等の表示装置、並びに、キーボード及び/又はマウス等の入力装置を含んでもよい。ユーザーは、操作装置30に対して、様々な指令を入力することができる。
パレットチェンジャ40は、ワーク取付台6に対してパレットPを搬送し、ワーク取付台6上のパレットPと次のパレットPとを交換する。
ワーク測定装置50は、ワーク取付台6に取り付けられたワーク上の点について、X,Y及びZ軸座標値を測定することが可能である。図1を参照して、ワーク測定装置50は、例えば、主軸に取り付けられたタッチプローブTPと、送り装置Dx,Dy、Dzの各々が有するスケールと、を含むことができる。ワーク測定装置50では、送り装置Dx,Dy、Dzによって主軸に取り付けられたタッチプローブTPを移動させ、タッチプローブTPがワークと接触したときのスケールのX軸座標値,Y軸座標値及びZ軸座標値が測定される。
図4を参照して、記憶装置60は、例えば、1つ又は複数のハードディスクドライブ等を含むことができる。記憶装置60は、制御装置20で実行される様々なプログラムを記憶することができる。例えば、記憶装置60は、ワーク測定プログラム60aと、平行度調整プログラム60bと、傾き調整プログラム60cと、ジャッキリセットプログラム60dと、を記憶している。記憶装置60は、他のプログラム及び他の情報を記憶してもよい。
ワーク測定プログラム60aは、(1)ワーク取付台6に取り付けられたワークの基準面の傾き、及び、(2)X軸又はY軸に対するワークの平行度、を測定するために使用される。
ワークの基準面の傾きを測定するためにワーク測定プログラム60aを実行する場合、制御装置20は、ワークの基準面上の複数の点について、X軸座標、Y軸座標、及び、Z軸座標を測定するように、ワーク測定装置50に対して指令を送る。ワークの基準面上の複数の点は、例えば、ある第1の点、第1の点からX軸方向に所定の距離だけ離間した第2の点、及び、第1の点からY軸方向に所定の距離だけ離間した第3の点であることができる。制御装置20は、X軸方向に離間した第1の点及び第2の点の座標値から、X軸方向における基準面の傾きを算出することができる。また、制御装置20は、Y軸方向に離間した第1の点及び第3の点の座標値から、Y軸方向における基準面の傾きを算出することができる。
X軸に対するワークの平行度を測定するためにワーク測定プログラム60aを実行する場合、制御装置20は、X軸方向に沿ったワークの側面上の複数の点について、X軸座標、Y軸座標、及び、Z軸座標を測定するように、ワーク測定装置50に対して指令を送る。ワークの側面上の複数の点は、例えば、ある第1の点、及び、第1の点からX軸方向に所定の距離だけ離間した第2の点であることができる。第1の点及び第2の点の座標値から、X軸に対するワークの平行度(傾き)を算出することができる。同様に、Y軸に対するワークの平行度を測定する場合には、Y軸方向に沿ったワークの側面上の複数の点(Y方向に所定の距離だけ離間した2つの点)についてX軸座標、Y軸座標、及び、Z軸座標を測定することで、Y軸に対するワークの平行度(傾き)を算出することができる。
上記のように、本実施形態では、ワークの基準面の実際の傾き及びワークの実際の平行度は、ワーク測定装置50及びワーク測定プログラム60aを用いて算出される。しかしながら、他の実施形態では、これらの値は、ユーザーによって算出され、操作装置30から入力されてもよい。例えば、ユーザーは、主軸の端面に変位計(例えば、ダイヤルゲージ)を固定手段(例えば、磁石)で取り付けることができ、主軸を手動で操作させることによって、上記のようなワーク上の点のX軸座標値、Y軸座標値及びZ軸座標値を測定することができる。この場合、複数の点の座標値は、ある点の座標値に対する相対値であることができる。ユーザーは、測定された座標値に基づいて、ワークの基準面の実際の傾き、及び、ワークの実際の平行度を算出することができる。また、例えば、ユーザーは、水準器によって、X軸方向及びY軸方向におけるワークの基準面の傾きを算出することができる。ユーザーは、算出された傾き及び平行度を操作装置30によって入力することができる。
平行度調整プログラム60bは、X軸又はY軸に対するワークの平行度を目標の平行度(例えば、X軸又はY軸に対して0°)に調整するために使用される。目標の平行度は、例えば、ユーザーによって操作装置30から入力されてもよく、又は、ワーク若しくは加工の種類に関連付けられて記憶装置60に記憶されていてもよい。平行度調整プログラム60bを実行する場合、制御装置20は、ワークの実際の平行度及び目標の平行度に基づいて、旋回台61の必要なC軸方向の回転角度を算出する。回転角度は、例えば、ワークの実際の平行度と目標の平行度との間の差分として算出されることができる。制御装置20は、算出された回転角度をNC装置10に送り、NC装置10は、送り装置Dcを駆動する。
傾き調整プログラム60cは、ワークの基準面の傾きを目標傾き(例えば、軸線Osに対して垂直)に調整するために使用される。目標傾きは、例えば、ユーザーによって操作装置30から入力されてもよく、又は、ワーク若しくは加工の種類に関連付けられて記憶装置60に記憶されていてもよい。傾き調整プログラム60cを実行する場合、制御装置20は、ワークの基準面の実際の傾き及び目標傾きに基づいて、各ジャッキ7の必要な上昇量を算出する。上昇量は、例えば、以下のステップに従って算出されることができる。先ず、X軸方向におけるジャッキ7間の距離Lx(例えば、1m40cm)、Y軸方向におけるジャッキ7間の距離Ly(例えば、1m20cm)、及び、ワークの基準面の実際の傾き(X軸方向の傾き及びY軸方向の傾き)に基づいて、ジャッキ7の位置に対応する基準面上の複数の点について、現在の高さが算出される。上記の数値は単なる例示であり、他の実施形態では距離Lx,Lyは他の値であり得ることに留意されたい。算出される現在の高さは、機械座標系における絶対値であってもよく、又は、ある点を基準にした相対的な値であってもよい。ジャッキ7間の距離Lx及びLyは、例えば、第2のくさび部材75間の距離であることができる。距離Lx及びLyは、例えば、ユーザーによって操作装置30から入力されてもよく、又は、記憶装置60に記憶されていてもよい。
算出された現在の高さに基づいて、複数の点の中から最も高い点が選択される。続いて、最も高い点を動かない基準点とし、ワークの基準面の目標傾きに基づいて、残りの点の目標の高さが決定される。続いて、残りの点について、目標の高さと現在の高さとの間の差分として、上昇量が算出される。つまり、この場合、最も高い点に対応するジャッキ7は傾き調整プログラム60cにおいて上昇されない。制御装置20は、算出された上昇量に対応する回転数だけ各ジャッキ7のモータ72を駆動する。
ジャッキリセットプログラム60dは、全てのジャッキ7を初期位置に戻すために使用される。全てのジャッキ7は、例えば、ワークの加工が終了してパレットPを交換する度に、初期位置に戻されることができる。ジャッキリセットプログラム60dを実行する場合、制御装置20は、各ジャッキ7について、現在の位置から、初期位置よりも上方の所定の高さまでの距離を計算する。各ジャッキ7の現在の位置は、変位センサ76によって測定されることができる。「所定の高さ」は、毎回安定して初期位置に戻るために最適な高さを算出又は実験で求めておく(例えば、初期位置から0.3mm)。上記の数値は単なる例示であり、他の実施形態では所定の高さは他の値であり得ることに留意されたい。所定の高さは、例えば、ユーザーによって操作装置30から入力されてもよく、又は、記憶装置60に記憶されていてもよい。制御装置20は、各ジャッキ7を算出された距離だけ上昇又は下降させるように、各ジャッキ7のモータ72を駆動させ、これによって、全てのジャッキ7が所定の高さに移動される。上記の傾き調整プログラム60cにおいてジャッキ7が初期位置から大きく上昇された場合、ジャッキリセットプログラム60dにおいてジャッキ7は所定の高さまで下降され得る。対照的に、傾き調整プログラム60cにおいてジャッキ7が初期位置から上昇されていない又はわずかに上昇された場合、ジャッキリセットプログラム60dにおいてジャッキ7は所定の高さまで上昇され得る。続いて、制御装置20は、各ジャッキ7を所定の高さから初期位置まで毎回同じ順序で下降させるように、各ジャッキ7のモータ72を駆動させ、これによって、全てのジャッキ7が初期位置に戻される。
次に、工作機械100の動作について説明する。図5は、実施形態に係る工作機械100の動作の一部を示すフローチャートである。
この動作では、先ず、制御装置20は、パレットチェンジャ40に対して、ワーク取付台6上のパレットPを次のパレットPに交換するように指令を送る(ステップS100)。続いて、制御装置20は、上記のワーク測定プログラム60aを実行して、X軸又はY軸に対するワークの平行度を測定する(ステップS102)。続いて、制御装置20は、上記の平行度調整プログラム60bを実行して、旋回台61をC軸方向に回転させることによって平行度を目標の平行度に調整する(ステップS104)。
続いて、制御装置20は、上記のワーク測定プログラム60aを実行して、ワークの基準面の傾きを測定し(ステップS106)、ワークの基準面の実際の傾きを取得する(ステップS108)。続いて、制御装置20は、ワークの基準面の目標傾きを、操作装置30を通してユーザーから(又は記憶装置60から)取得する(ステップS110)。続いて、制御装置20は、ワークの基準面の実際の傾きと、目標傾きと、に基づいて、各ジャッキ7の上昇量を算出する(ステップS112)。続いて、制御装置20は、ジャッキ7の数が3台であるか又は4台以上であるか、を判定する(ステップS114)。ジャッキ7の数は、ユーザーによって操作装置30から入力されてもよいし、又は、記憶装置60に記憶されていてもよい。
ステップS114においてジャッキ7の数が3台である場合、制御装置20は、算出された上昇量を各ジャッキ7に指令し(算出された上昇量に対応する回転数を各ジャッキ7のモータ72に指令し)(ステップS116)、各ジャッキ7に関連付けられた変位センサ76の検出値が指令された上昇量になるまで複数のジャッキを同時に駆動する(ステップS118)。続いて、制御装置20は、上記のワーク測定プログラム60aを再度実行して、ワークの基準面の調整後の傾きを測定する(ステップS122)。
ステップS114においてジャッキの数が4台以上である場合、制御装置20は、サブルーチンである分割リフト動作(詳しくは後述)を実行する(ステップS120)。続いて、制御装置20は、上記のワーク測定プログラム60aを再度実行して、ワークの基準面の調整後の傾きを測定する(ステップS122)。
図6は、実施形態に係る工作機械100の動作の残りを示す図5に続くフローチャートである。続いて、制御装置20は、ステップS122で測定されたワークの基準面の調整後の傾きと、目標傾きと、の間の差分が、許容値以下であるか否かを判定する(ステップS124)。許容値は、例えば、ユーザーによって操作装置30から入力されてもよく、又は、記憶装置60に記憶されていてもよい。ステップS124において差分が許容値よりも大きい場合、制御装置20は、上記のステップS112〜ステップS122を再び実行する。ステップS112〜ステップS122の再実行には、最大繰り返し数が設定されていてもよい。
ステップS124において差分が許容値以下である場合、制御装置20は、ワークの加工を開始するように工作機械100の構成要素に指令を送信し(ステップS126)、加工を終了する(ステップS128)。続いて、制御装置20は、上記のジャッキリセットプログラム60dを実行して、各ジャッキ7を所定の高さまで移動させ(ステップS130)、続いて、各ジャッキを初期位置まで下降させる(ステップS132)。続いて、制御装置20は、各ジャッキ7が初期位置に戻ったか否かを判定する(ステップS134)。ステップS134は、例えば、各変位センサ76の検出値が初期位置(例えば、ゼロ)を示しているか否かを判断することによって実行できる。また、ステップS134は、例えば、レベルスイッチ77が、対応するジャッキ7が初期位置にあることを検出しているか否かを判断することによって実行できる。
ステップS134において、各ジャッキ7が初期位置に戻っていない場合、制御装置20は、上記のステップS130〜ステップS132を再び実行する。ステップS130〜ステップS132の再実行には、最大繰り返し数が設定されていてもよい。ステップS134において、各ジャッキ7が初期位置に戻っている場合、制御装置20は、パレットチェンジャ40に対して、ワーク取付台6上のパレットPを次のパレットPに交換するように指令を送り(ステップS136)、一連の動作は終了する。ステップS130を省略して、いきなり各ジャッキを初期位置まで下降すると、ジャッキ7のヒステリシス特性によって初期位置まで戻らないことがある。しかし、各ジャッキ7を所定高さまで移動後に、毎回同じ順序で下降させると、初期位置へ戻った時の誤差が小さくなる。
次に、上記のサブルーチン(分割リフト動作)について詳細に説明する。
図7は、ジャッキが4つの場合の、傾き調整前後のワークの基準面Rを示す概略図である。図7は、傾き調整前のワークの基準面R0と、傾き調整後の基準面R1と、を示している。点P1〜P4は、それぞれ、基準面R上において、4つのジャッキ7の位置(X軸座標値及びY軸座標値)に対応して位置付けられている。この例では、傾き調整後の基準面R1は、主軸の軸線Osに対して垂直になるように調整される。したがって、点P1〜P4は、傾き調整後には同じ高さに位置する。
上記の傾き調整プログラム60cに関連して説明されたように、ワーク取付台6の傾きを調整するときには、最も高い点P1のジャッキ7を固定して、他の点P2,P3,P4のジャッキ7を同時に上昇させることで、基準面Rの傾きを調整することができる。上記のように、この例では、傾き調整後の基準面R1は主軸の軸線Osに対して垂直になるように調整されるため、各ジャッキ7の上昇量L2,L3,L4は、それぞれ、傾き調整前の点P2,P3,P4の高さと、点P1の高さと、の間の差分として算出されることができる。なお、基準面Rは傾き調整前後で平面に維持されるため、点P3が最も低い本実施形態では、関係L3−L4=L2が成立することに留意されたい。
本実施形態のように4つのジャッキ7が使用され、且つ、実際の傾きが目標傾きと大きく異なるとき(すなわち、最も大きい上昇量L3が大き過ぎるとき)には、傾きを1回のジャッキ7の上昇で目標傾きに調整させようとすると、点P2又はP4のジャッキ7の第2のくさび部材75が、第1のくさび部材74から浮く可能性がある。第2のくさび部材75が第1のくさび部材74から浮いた場合、ジャッキ7が正しく上昇しない可能性がある。したがって、各ジャッキ7の1回の上昇量について上限値Lmaxを設け、且つ、ジャッキ7の上昇を複数回繰り返すことによって、ジャッキ7の浮きを防止することができる。なお、ジャッキ7に浮きが生じた場合、ジャッキ7が上昇していても、対応する変位センサ76は一定の検出値を示すことに留意されたい。したがって、変位センサ76によって、ジャッキ7に浮きが生じたか否かを監視することができる。
上限値Lmaxは、ワーク取付台6の剛性に依存し、点P1を固定し点P3のジャッキ7を上昇させたときに、他の点P2又はP4のジャッキ7に浮きが生じさせない最大の上昇量(例えば、0.5mm)として、実験又は解析によって決定可能である。上記の数値は単なる例示であり、他の実施形態では上限値Lmaxは他の数値であり得ることに留意されたい。ワーク取付台6が高い剛性を有し捩じれ難い場合、上限値Lmaxは小さい。対照的に、ワーク取付台6が低い剛性を有し捩じれ易い場合、上限値Lmaxは大きい。
図8は、図5中のサブルーチンの一部を示すフローチャートである。このサブルーチンでは、先ず、制御装置20は、分割数nをn=1に設定する(ステップS200)。続いて、最も大きい上昇量L3に関して、制御装置20は、L3/nが上限値Lmax以下であるか否かを判定する(ステップS202)。ステップS202においてL3/nが上限値Lmaxよりも大きい場合、制御装置20は、分割数nをn=n+1に設定し(ステップS204)、再度ステップS202を繰り返す。
ステップS202においてL3/nが上限値Lmax以下である場合、制御装置20は、繰り返し数iをi=1に設定する(ステップS206)。続いて、制御装置20は、点P2のジャッキ7の上昇量L2が、点P4のジャッキ7の上昇量L4以下であるか否かを判定する(ステップS208)。
図9は、図7中の上昇量L2が上昇量L4以下である場合の図8に続くサブルーチンの残りを示すフローチャートである。ステップS208において上昇量L2が上昇量L4以下である場合、制御装置20は、点P2,P3,P4のジャッキ7を、それぞれ上昇量L2/nだけ上昇させる(ステップS300)。続いて、制御装置20は、点P3,P4のジャッキ7を、それぞれ上昇量(L4−L2)/nだけ上昇させる(ステップS302)。続いて、制御装置20は、点P3のジャッキ7を上昇量(L3−L4)/nだけ上昇させる(ステップS304)。
上記のステップS300〜ステップS304によって、点P2のジャッキ7が上昇量L2/nだけ上昇され、点P4のジャッキ7が上昇量L2/n+(L4−L2)/n=L4/nだけ上昇され、点P3のジャッキ7が上昇量L2/n+(L4−L2)/n+(L3−L4)/n=L3/nだけ上昇される。すなわち、点P2,P3,P4のジャッキ7が、それぞれ、最終的な上昇量L2,L3,L4のn分割分だけ、上昇される。したがって、ステップS300〜S304をn回繰り返すことによって、点P2,P3,P4のジャッキ7が、それぞれ、最終的な上昇量L2,L3,L4だけ上昇される。この場合、ステップS300〜ステップS304の各繰り返しにおいて、点P3のジャッキ7の上昇量L3/nが、上記のステップS202で判定されたように、上限値Lmax以下である。したがって、ステップS300〜ステップS304の各繰り返しにおいて、他の点P2又はP4のジャッキ7に浮きが生じることを確実に防止することができる。
続いて、制御装置20は、繰り返し数iがi=nであるか否かを判定する(ステップS306)。ステップS306において繰り返し数iがi=nでない場合、制御装置20は、繰り返し数iをi=i+1に設定し(ステップS308)、上記のステップS300〜S306を再び実行する。ステップS306において繰り返し数iがi=nである場合、制御装置20は、サブルーチンを終了する。
図10は、図7中の上昇量L2が上昇量L4より大きい場合の図8に続くサブルーチンの残りを示すフローチャートである。ステップS208において上昇量L2が上昇量L4より大きい場合、制御装置20は、点P2,P3,P4のジャッキ7を、それぞれ上昇量L4/nだけ上昇させる(ステップS400)。続いて、制御装置20は、点P2,P3のジャッキ7を、それぞれ上昇量(L2−L4)/nだけ上昇させる(ステップS402)。続いて、制御装置20は、点P3のジャッキ7を上昇量(L3−L2)/nだけ上昇させる(ステップS404)。
上記のステップS400〜ステップS404によって、点P4のジャッキ7が上昇量L4/nだけ上昇され、点P2のジャッキ7が上昇量L4/n+(L2−L4)/n=L2/nだけ上昇され、点P3のジャッキ7が上昇量L4/n+(L2−L4)/n+(L3−L2)/n=L3/nだけ上昇される。すなわち、点P2,P3,P4のジャッキ7が、それぞれ、最終的な上昇量L2,L3,L4のn分割分だけ、上昇される。したがって、ステップS400〜S404をn回繰り返すことによって、点P2,P3,P4のジャッキ7が、それぞれ、最終的な上昇量L2,L3,L4だけ上昇される。この場合、ステップS400〜ステップS404の各繰り返しにおいて、点P3のジャッキ7の上昇量L3/nが、上記のステップS202で判定されたように、上限値Lmax以下である。したがって、ステップS400〜ステップS404の各繰り返しにおいて、他の点P2又はP4のジャッキ7に浮きが生じることを確実に防止することができる。
続いて、制御装置20は、繰り返し数iがi=nであるか否かを判定する(ステップS406)。ステップS406において繰り返し数iがi=nでない場合、制御装置20は、繰り返し数iをi=i+1に設定し(ステップS408)、上記のステップS400〜S406を再び実行する。ステップS406において繰り返し数iがi=nである場合、制御装置20は、サブルーチンを終了する。
以上のような実施形態に係る工作機械100では、ワーク取付台6に取り付けられたワークの基準面の実際の傾き、及び、ワークの基準面の目標傾きに基づいて、ワークの基準面の傾きが目標傾きに調整されるように、少なくとも3箇所に設けられた複数のジャッキ7の上昇量が制御装置20によって制御される。平面の傾きは3点の座標によって決められることができるため、少なくとも3箇所に設けられたジャッキ7の上昇量を制御することによって、実質的に2つの水平な軸X,Y周りでの傾きを同時に自動的に調整することができる。したがって、容易に且つ迅速にワークの傾きを調整することができる。
また、工作機械100は、ワーク取付台6に取り付けられたワークの基準面上の複数の点について、X,Y及びZ軸座標値を測定するワーク測定装置50を更に備えており、制御装置20は、ワーク測定装置50から入力された複数の点のX,Y及びZ軸座標値に基づいて、ワーク取付台6に取り付けられたワークの基準面の実際の傾きを算出する。したがって、ワークの基準面の実際の傾きが自動で測定される。よって、より容易にワークの傾きを調整することができる。
また、工作機械100では、複数のジャッキ7の各々は、モータ72と、モータ72によって回転させられるねじ軸73と、ねじ軸73によって並進させられる第1のくさび部材74であって、当該第1のくさび部材74の並進方向に対して傾斜した第1の摺動面74cを含む第1のくさび部材74と、ワーク取付台6に固定された第2のくさび部材75であって、第1の摺動面74cと摺動可能に接触する第2の摺動面75bを含み、第1のくさび部材74によって上昇又は下降させられる第2のくさび部材75と、を有する。したがって、ジャッキ7は簡易な構成を有することができる。
また、工作機械100では、ワーク取付台6が、鉛直な第1の軸線Oc周りにワークを旋回させる旋回台61を有している。したがって、ワークの基準面の傾き調整に加えて、水平な送り軸X又はYに対するワークの平行度を調整することができる。
また、工作機械100では、ワーク取付台6が、ワークが取り付けられるパレットPを、取り外し可能に固定するための固定装置63を有している。パレットPが使用される工作機械100では、パレットPの寸法公差等によって、ワークの基準面の傾きがパレットP毎に変化する可能性がある。したがって、容易に且つ迅速にワークの傾きを調整することができるという効果がより重要になる。
また、工作機械100は、複数の変位センサ76であって、各々が、複数のジャッキ7のうちの1つに関連付けられてベッド1及びワーク取付台6の少なくとも一方に取り付けられ、当該取り付け位置におけるベッド1に対するワーク取付台6の位置を検出する、複数の変位センサ76を更に備えている。したがって、フィードバック制御によって、各ジャッキ7の上昇量を制御することができる。
また、本開示の他の態様は、X,Y及びZ軸機械座標系において、工作機械100のワーク取付台6の傾きを調整するための方法であって、ワーク取付台6にワークを取り付ける工程と、クランパ8によって、ワーク取付台6をベッド1に向けて押し付ける工程と、ワーク取付台6に取り付けられたワークの基準面の実際の傾きを求める工程と、ワークの基準面の目標傾きと、ワーク取付台6に取り付けられたワークの基準面の実際の傾きとに基づいて、ワークの基準面の傾きを目標傾きに調整するように、ジャッキ7によって、クランパ8の押し付け力に抗してベッド1に対してワーク取付台6を持ち上げる工程と、を備える、方法である。この方法では、少なくとも3箇所に設けられたジャッキ7の上昇量を制御することによって、実質的に2つの水平な軸X及びY周りでの傾きを同時に調整することができる。したがって、容易に且つ迅速にワークの傾きを調整することができる。
また、本開示の方法では、ベッド1に対してワーク取付台6を持ち上げる工程において、ジャッキ7の1回の上昇量について上限値Lmaxが設けられている。したがって、ジャッキ7に浮きが生じることを防止することができる。
また、実施形態に係る方法は、複数のジャッキ7を初期位置に戻す工程であって、複数のジャッキ7を初期位置よりも上方の所定の高さに移動させることと、複数のジャッキ7を所定の高さから初期位置まで下降させることと、を含む工程を更に備えている。したがって、複数のジャッキ7を初期位置に正しく戻すことができる。
工作機械及びワーク取付台の傾き調整方法の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されない。当業者であれば、上記の実施形態の様々な変形が可能であることを理解するだろう。また、当業者であれば、1つの実施形態に含まれる特徴は、矛盾が生じない限り、他の実施形態に組み込むことができる、又は、他の実施形態に含まれる特徴と交換可能であることを理解するだろう。
1 ベッド(基台)
6 ワーク取付台
7 ジャッキ
8 クランパ
20 制御装置
50 ワーク測定装置
61 旋回台
63 固定装置
72 モータ
73 ねじ軸
74 第1のくさび部材
74c 第1の摺動面
75 第2のくさび部材
75b 第2の摺動面
76 変位センサ
100 工作機械
Oc 第1の軸線
P パレット
R,R0,R1 ワークの基準面

Claims (9)

  1. X,Y及びZ軸機械座標系において、取り付けられたワークの基準面の傾きを調整可能な工作機械であって、
    基台と、
    前記基台の上方に設けられたワーク取付台と、
    前記ワーク取付台を前記基台に向けて押し付けるクランパと、
    前記ワーク取付台と前記基台との間の少なくとも3箇所に設けられ、前記クランパの押し付け力に抗して前記基台に対して前記ワーク取付台を持ち上げる、複数のジャッキと、
    前記ワークの前記基準面の目標傾きと、前記ワーク取付台に取り付けられた前記ワークの前記基準面の実際の傾きと、に基づいて、前記ワークの前記基準面の傾きを前記目標傾きに調整するように、前記複数のジャッキの上昇量を制御する制御装置と、
    を具備することを特徴とした工作機械。
  2. 前記ワーク取付台に取り付けられた前記ワークの前記基準面上の複数の点について、X,Y及びZ軸座標値を測定するワーク測定装置を更に備え、
    前記制御装置は、前記ワーク測定装置から入力された前記複数の点のX,Y及びZ軸座標値に基づいて、前記ワーク取付台に取り付けられた前記ワークの前記基準面の前記実際の傾きを算出する、請求項1に記載の工作機械。
  3. 前記複数のジャッキの各々は、
    モータと、
    前記モータによって回転させられるねじ軸と、
    前記ねじ軸によって並進させられる第1のくさび部材であって、当該第1のくさび部材の並進方向に対して傾斜した第1の摺動面を含む第1のくさび部材と、
    前記ワーク取付台に固定された第2のくさび部材であって、前記第1の摺動面と摺動可能に接触する第2の摺動面を含み、前記第1のくさび部材によって上昇又は下降させられる第2のくさび部材と、
    を有する、請求項1に記載の工作機械。
  4. 前記ワーク取付台が、鉛直な第1の軸線周りに前記ワークを旋回させる旋回台を有する、請求項1に記載の工作機械。
  5. 前記ワーク取付台が、前記ワークが取り付けられるパレットを、取り外し可能に固定するための固定装置を有する、請求項1に記載の工作機械。
  6. 複数の変位センサであって、各々が、前記複数のジャッキのうちの1つに関連付けられて前記基台及び前記ワーク取付台の少なくとも一方に取り付けられ、当該取り付け位置における前記基台に対する前記ワーク取付台の位置を検出する、複数の変位センサを更に備える、請求項1に記載の工作機械。
  7. X,Y及びZ軸機械座標系において、工作機械のワーク取付台の傾きを調整するための方法であって、
    前記工作機械は、
    基台と、
    前記基台の上方に設けられた前記ワーク取付台と、
    前記ワーク取付台を前記基台に向けて押し付けるクランパと、
    前記ワーク取付台と前記基台との間の少なくとも3箇所に設けられ、前記クランパの押し付け力に抗して前記基台に対して前記ワーク取付台を持ち上げる複数のジャッキと、
    を具備し、
    当該方法は、
    前記ワーク取付台にワークを取り付ける工程と、
    前記クランパによって、前記ワーク取付台を前記基台に向けて押し付ける工程と、
    前記ワーク取付台に取り付けられた前記ワークの基準面の実際の傾きを求める工程と、
    前記ワークの前記基準面の目標傾きと、前記ワーク取付台に取り付けられた前記ワークの前記基準面の実際の傾きとに基づいて、前記ワークの前記基準面の傾きを前記目標傾きに調整するように、前記ジャッキによって、前記クランパの押し付け力に抗して前記基台に対して前記ワーク取付台を持ち上げる工程と、
    を備えることを特徴とした、ワーク取付台の傾き調整方法。
  8. 前記基台に対して前記ワーク取付台を持ち上げる工程では、ジャッキの1回の上昇量について上限値が設けられている、請求項7に記載のワーク取付台の傾き調整方法。
  9. 前記複数のジャッキを初期位置に戻す工程であって、前記複数のジャッキを前記初期位置よりも上方の所定の高さに移動させることと、前記複数のジャッキを前記所定の高さから前記初期位置まで下降させることと、を含む工程を更に備える、請求項7に記載のワーク取付台の傾き調整方法。
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