CN117480596A - 高度调整装置及制造装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的高度调整装置(30)具备：下侧部件(31)；上侧部件(32)；以及高度调整单元，包括第一球面滑动轴承(33a)、第二球面滑动轴承(33b)及第三球面滑动轴承(33c)、以及第一升降部(35)、第二升降部(35)及第三升降部(35)。高度调整装置通过驱动第一升降部、第二升降部以及第三升降部来调整上侧部件相对于下侧部件的高度。

Description

高度调整装置及制造装置
技术领域
本公开涉及高度调整装置及制造装置，特别是涉及调整装置主体的高度的高度调整装置及制造装置。
背景技术
以往公知有半导体制造装置等制造装置。例如日本特开2008-141158号公报中公开有这样的制造装置。
在上述日本特开2008-141158号公报中，公开有具备晶圆移送装置的半导体制造装置。该晶圆移送装置包括支承晶圆的晶圆支承部件。另外，在该晶圆移送装置的附近设置有收容多枚晶圆的盒、和晶圆检查用的检查装置。晶圆移送装置从盒取出晶圆后，朝向检查装置旋转并将晶圆放入检查装置内。然后，在检查装置中检查晶圆。
专利文献1：日本特开2008-141158号公报
这里，在上述日本特开2008-141158号公报中虽未明确记载，但在如上述日本特开2008-141158号公报所记载那样的半导体制造装置中，例如存在晶圆支承部件的高度从所希望的高度偏离的情况。该情况下，存在如下问题点：通过调整构成装置主体的另一部分的上侧部件相对于构成装置主体的一部分的下侧部件的高度来调整晶圆支承部件的高度，这很困难。上述问题点在除半导体制造装置以外的其他装置中也存在。
发明内容
本公开是为了解决上述那样的课题而完成的，本公开的一个目的是提供一种能够容易地调整构成装置主体的另一部分的上侧部件相对于构成装置主体的一部分的下侧部件的高度的高度调整装置及制造装置。
为了达成上述目的，本公开的第一方面的高度调整装置是设置于规定装置主体的高度调整装置，其中，具备：下侧部件，构成规定装置主体的一部分；上侧部件，构成规定装置主体的另一部分，并且设置为与下侧部件在高度方向上对置；以及高度调整单元，包括设置于下侧部件与上侧部件之间且从高度方向观察时配置于相互不同的部位的第一球面滑动轴承、第二球面滑动轴承及第三球面滑动轴承、以及与第一球面滑动轴承、第二球面滑动轴承及第三球面滑动轴承分别对应设置并调整上侧部件相对于下侧部件的高度的第一升降部、第二升降部及第三升降部，通过驱动第一升降部、第二升降部以及第三升降部来调整上侧部件相对于下侧部件的高度。
在本公开的第一方面的高度调整装置中，如上所述，设置高度调整单元，上述高度调整单元包括第一球面滑动轴承、第二球面滑动轴承及第三球面滑动轴承、以及与第一球面滑动轴承、第二球面滑动轴承及第三球面滑动轴承分别对应设置的第一升降部、第二升降部及第三升降部，通过驱动第一升降部、第二升降部以及第三升降部来调整上侧部件相对于下侧部件的高度。由此，能够使用第一球面滑动轴承、第二球面滑动轴承以及第三球面滑动轴承，以不使下侧部件及上侧部件相对于彼此变形的方式调整上侧部件相对于下侧部件的高度。其结果是，能够容易地调整构成规定装置主体的另一部分的上侧部件相对于构成规定装置主体的一部分的下侧部件的高度。另外，能够使用第一球面滑动轴承、第二球面滑动轴承以及第三球面滑动轴承，以不使下侧部件及上侧部件相对于彼此变形的方式调整上侧部件相对于下侧部件的倾斜。其结果是，能够容易地调整上侧部件相对于下侧部件的倾斜。
另外，为了达成上述目的，本公开的第二方面的制造装置具备：制造装置主体；和高度调整装置，设置于制造装置主体，高度调整装置包括：下侧部件，构成制造装置主体的一部分；上侧部件，构成制造装置主体的另一部分，并且设置为与下侧部件在高度方向上对置；第一球面滑动轴承、第二球面滑动轴承及第三球面滑动轴承，设置于下侧部件与上侧部件之间，且从高度方向观察时配置于相互不同的部位；以及第一升降部、第二升降部及第三升降部，与第一球面滑动轴承、第二球面滑动轴承及第三球面滑动轴承分别对应设置，并调整上侧部件相对于下侧部件的高度，高度调整装置通过驱动第一升降部、第二升降部以及第三升降部来调整上侧部件相对于下侧部件的高度。
在本公开的第二方面的制造装置中，如上所述，设置高度调整装置，上述高度调整装置包括第一球面滑动轴承、第二球面滑动轴承及第三球面滑动轴承、以及与第一球面滑动轴承、第二球面滑动轴承及第三球面滑动轴承分别对应设置的第一升降部、第二升降部及第三升降部，通过驱动第一升降部、第二升降部以及第三升降部来调整上侧部件相对于下侧部件的高度。由此，能够使用第一球面滑动轴承、第二球面滑动轴承以及第三球面滑动轴承，以不使下侧部件及上侧部件相对于彼此变形的方式调整上侧部件相对于下侧部件的高度。其结果是，能够容易地调整构成制造装置主体的另一部分的上侧部件相对于构成制造装置主体的一部分的下侧部件的高度。另外，能够使用第一球面滑动轴承、第二球面滑动轴承以及第三球面滑动轴承，以不使下侧部件及上侧部件相对于彼此变形的方式调整上侧部件相对于下侧部件的倾斜。其结果是，能够容易地调整上侧部件相对于下侧部件的倾斜。
根据本公开，如上所述，能够容易地调整构成装置主体的另一部分的上侧部件相对于构成装置主体的一部分的下侧部件的倾斜及高度。
附图说明
图1是表示一个实施方式的制造装置的整体结构的立体图。
图2是表示一个实施方式的高度调整装置的立体图。
图3是一个实施方式的高度调整装置的沿着高度方向的剖视图。
图4是表示一个实施方式的高度调整装置的升降部的一部分的立体图。
图5是表示一个实施方式的高度调整装置的蜗轮副的示意图。
图6是表示一个实施方式的高度调整装置的球面滑动轴承、外螺纹部件以及内螺纹部件的分解立体图。
图7是一个实施方式的高度调整装置的球面滑动轴承及其周边部分的沿着高度方向的剖视图，其中，(A)是表示调整机器人的倾斜之前的状态的剖视图，(B)是表示调整机器人的倾斜之后的状态的剖视图。
图8是一个实施方式的高度调整装置的沿着高度方向的剖视图，其中，(A)是表示调整机器人的高度之前的状态的剖视图，(B)是表示调整机器人的高度之后的状态的剖视图。
图9是表示一个实施方式的托板及传感器的立体图。
图10是从前端侧观察一个实施方式的托板而得到的图，其中，(A)是表示调整托板的倾斜之前的状态的剖视图，(B)是表示调整托板的倾斜之后的状态的剖视图。
图11是从前端侧观察一个实施方式的托板而得到的图，其中，(A)是表示调整托板间的间距之前的状态的剖视图，(B)是表示调整托板间的间距之后的状态的剖视图。
图12是表示第一变形例的制造装置的整体结构的立体图。
图13是表示第二变形例的制造装置的整体结构的立体图。
图14是表示第三变形例的制造装置的整体结构的立体图。
图15是表示第四变形例的球面滑动轴承的立体图。
具体实施方式
以下，基于附图对将本公开具体化的实施方式进行说明。
参照图1～图11，对一个实施方式的制造装置100的结构进行说明。
(制造装置的结构)
如图1所示，一个实施方式的制造装置100是用于制造半导体的装置。具体而言，制造装置100具备：机器人10，用于保持并输送作为晶圆的半导体基板S；和控制部20，控制机器人10的动作。机器人10构成制造装置主体100a。机器人10包括：基座体11，沿高度方向延伸；臂部12，安装于基座体11；以及手部13，安装于臂部12的前端。此外，制造装置主体100a是规定装置主体的一个例子。
臂部12使手部13移动。臂部12是水平多关节机器人臂。臂部12的基端与基座体11连接。另外，臂部12具有多个(两个)连杆部121。连杆部121能够以连杆部121的端部为旋转中心旋转。另外，连杆部121彼此由设置有伺服马达的关节连接。
手部13为了保持半导体基板S而设置。手部13具有下手131和上手132。下手131及上手132沿高度方向排列配置。下手131具有：板状的托板(日文：ブレード)131a，用于保持半导体基板S；和保持部件131b，保持托板131a的基端。上手132具有：板状的托板132a，用于保持半导体基板S；和保持部件132b，保持托板132a的基端。托板131a及131b具有前端侧分为两股的形状。托板131a及132a配置为在高度方向上相邻。此外，托板131a是第一机构部及第一托板的一个例子。另外，托板132a是第二机构部及第二托板的一个例子。
控制部20包括：控制电路，包括用于控制机器人10的动作的处理器等；和存储器，存储用于控制机器人10的动作的程序等。
另外，在本实施方式中，制造装置100还具备设置于制造装置主体100a的高度调整装置30。高度调整装置30设置于构成制造装置主体100a的机器人10。高度调整装置30设置于机器人10的臂部12与手部13之间。针对下手131的托板131a及上手132的托板132a，分别设置有高度调整装置30。高度调整装置30分别配置于下手131的保持部件131b及上手132的保持部件132b。此外，高度调整装置30是高度调整单元的一个例子。
(高度调整装置的结构)
如图2所示，高度调整装置30具备：板状的下侧部件31，设置于臂部12侧；和板状的上侧部件32，以与下侧部件31在高度方向上对置的方式设置于手部13侧。此外，下侧部件31是构成制造装置主体100a的一部分的部件。另外，上侧部件32是构成制造装置主体100a的另一部分的部件。高度调整装置30为了调整构成制造装置主体100a的另一部分的上侧部件32相对于构成制造装置主体100a的一部分的下侧部件31的高度及倾斜而设置。
高度调整装置30还具备设置于下侧部件31与上侧部件32之间且从高度方向观察时配置于相互不同的部位的三个球面滑动轴承33a、33b以及33c。此外，球面滑动轴承33a、33b以及33c分别是第一球面滑动轴承、第二球面滑动轴承以及第三球面滑动轴承的一个例子。
球面滑动轴承33c设置于在高度调整装置30的宽度方向上的中心从机器人10的基端侧朝向前端侧延伸的中心轴线L上的前端侧。球面滑动轴承33a及33b分别设置于比球面滑动轴承33c靠机器人10的基端侧的位置。另外，球面滑动轴承33a及33b分别配置为从高度方向观察时以中心轴线L为对称轴呈轴对称。此外，球面滑动轴承33a、33b以及33c配置于大致相同的高度位置。
如图3所示，球面滑动轴承33a具有内圈331及外圈332。球面滑动轴承33a的内圈331安装于下侧部件31，外圈332安装于上侧部件32。在内圈331与下侧部件31之间夹有中间部件34及升降部35。下侧部件31、升降部35以及中间部件34由贯通下侧部件31及升降部35并到达至中间部件34的螺栓36a及36b等相互固定。
此外，球面滑动轴承33b及33c具有与球面滑动轴承33a相同的构造，与球面滑动轴承33a同样地，内圈331安装于下侧部件31，外圈332安装于上侧部件32。因此，这里，不重复关于球面滑动轴承33b及33c的同样的说明。其中，高度调整装置30具备与球面滑动轴承33a、33b以及33c分别对应设置的三个升降部35。另外，与球面滑动轴承33a对应设置的升降部35、与球面滑动轴承33b对应设置的升降部35、以及与球面滑动轴承33c对应设置的升降部35分别是第一升降部、第二升降部以及第三升降部的一个例子。
如图3及图4所示，升降部35具有：马达单元351；外螺纹部件352，通过马达单元351的马达351a进行旋转驱动；以及作为移动部件的内螺纹部件353，通过外螺纹部件352旋转而沿高度方向移动。内螺纹部件353通过由马达351a进行旋转驱动，而能够沿高度方向移动。
如图4及图5所示，马达单元351具有：马达351a；编码器351b，用于检测马达351a的旋转位置；壳体351c，固定于马达351a；以及蜗轮副351d，配置于壳体351c内，用于减小由马达351a产生的动力并将其向外螺纹部件352及内螺纹部件353输出。蜗轮副351d设置为构成减速机构。
蜗轮副351d具备：棒状的蜗杆351e，由马达351a旋转驱动；和齿轮状的蜗轮351f，与蜗杆351e啮合。形成于蜗杆351e的外表面的螺纹槽的导程角形成得比较小。形成于蜗杆351e的外表面的螺纹槽的导程角形成得比较小，因此即使沿蜗杆351e的轴向施加了外力，由于该外力而使蜗杆351e旋转的成分也较小。因此，高度调整装置30能够得到不需要马达制动器的自锁机构。
外螺纹部件352固定于蜗轮副351d的蜗轮351f的中央，设置为沿高度方向延伸。外螺纹部件352与蜗轮351f一体地旋转。形成于外螺纹部件352的外表面的螺纹槽的导程角形成得比较小。形成于外螺纹部件352的外表面的螺纹槽的导程角也形成得比较小，因此通过该构造也能够与蜗杆351e同样地得到自锁机构。此外，内螺纹部件353与外螺纹部件352螺纹旋合，通过外螺纹部件352旋转而沿高度方向移动。
如图6所示，内螺纹部件353具有：圆筒状的轴部353a，其内壁形成有螺纹槽；和凸缘353b，设置于轴部353a的基端。在轴部353a的前端部分形成有圆环状的槽353c。
内螺纹部件353的轴部353a通过球面滑动轴承33a的内圈331的轴孔331a。当球面滑动轴承33a的内圈331的下端与凸缘353b的上表面抵接时，轴部353a的槽353c沿着内圈331的上端定位。该状态下，通过将圆弧状的止动件353d嵌入于槽353c，来将球面滑动轴承33a相对于内螺纹部件353固定。另外，使外螺纹部件352从内螺纹部件353的轴孔的凸缘353b侧螺纹旋合，将外螺纹部件352插入于内螺纹部件353。
通过如上所述，将升降部35安装于球面滑动轴承33a。此外，也将同样的升降部35安装于球面滑动轴承33b及33c。因此，这里不重复关于球面滑动轴承33b及33c的同样的说明。
如图7所示，安装有升降部35的球面滑动轴承33a插通于在上侧部件32设置的贯通孔321，外圈332的下表面的外缘部分载置于从贯通孔321的内壁的下端突出的突起部322。
另外，外圈332的上表面的外缘部分与盖部件323的下表面的中央部分(具体而言，盖部件323的下表面的轴孔的周边部分)抵接。盖部件323嵌合于在上侧部件32形成的凹部324。在凹部324，从高度方向观察时，在其中央部分设置有贯通孔321。
然后，盖部件323在嵌合于上侧部件32的凹部324的状态下，通过螺栓36c及36d等固定于凹部324。通过这样将盖部件323固定于上侧部件32的凹部324，而将球面滑动轴承33a在设置于上侧部件32的贯通孔321内定位。
在本实施方式中，高度调整装置30通过驱动三个升降部35来调整上侧部件32相对于下侧部件31的高度及倾斜。另外，高度调整装置30通过控制三个升降部35的驱动的控制部20的控制，调整上侧部件23相对于下侧部件31的高度、和上侧部件32相对于下侧部件31的倾斜。
高度调整装置30通过控制部20的控制来驱动三个升降部35中的至少一个，从而调整上侧部件32相对于下侧部件31的倾斜。
高度调整装置30通过控制部20的控制来驱动三个升降部35全部，从而调整上侧部件32相对于下侧部件31的高度。例如，高度调整装置30通过等距离驱动三个升降部35全部，来调整上侧部件32相对于下侧部件31的高度。另外，高度调整装置30通过使驱动距离相互不同地驱动三个升降部35，来调整上侧部件32相对于下侧部件31的倾斜并调整高度。
(机器人的倾斜的调整)
接下来，参照图7，对使用高度调整装置30来调整机器人10的倾斜的形态的一个例子进行说明。以下对于如下情况进行说明：在图3中，托板131a的与上侧部件32的左侧部分对应的一侧部分比托板131a的与上侧部件32的右侧对应的另一侧部分低，通过高度调整装置30调整由此产生的上侧部件32相对于下侧部件31的倾斜。
首先，从图7的(A)所示的状态，通过马达351a经由蜗轮副351d使外螺纹部件352旋转驱动。
若通过马达351a使外螺纹部件352旋转驱动，则外螺纹部件352自身的高度位置虽然不变，但与外螺纹部件352螺纹旋合的内螺纹部件353沿高度方向移动。在图7的(B)中，示出通过外螺纹部件352右旋转而将内螺纹部件353向上方送出的情形(换言之，内螺纹部件353沿高度方向移动的情形)。
若内螺纹部件353向上方移动，则通过止动件353d固定于内螺纹部件353的球面滑动轴承33a的内圈331也一体地向上方移动。此时，球面滑动轴承33b及33c的高度位置不变，因此球面滑动轴承33a的外圈332在内圈331的接触面上滑动，并相对于与高度方向正交的平面倾斜。
如上所述，若球面滑动轴承33a的外圈332相对于与高度方向正交的平面倾斜，则对于固定于外圈332的上侧部件32，也相对于与高度方向正交的平面倾斜。此时，球面滑动轴承33b及33c的外圈332也在内圈331的接触面上滑动，并相对于与高度方向正交的平面倾斜。
这里，下侧部件31安装于保持部件131b，上侧部件32安装于托板131a。因此，通过如上所述，上侧部件32相对于与高度方向正交的平面倾斜，而能够调整托板131a相对于保持部件131b的倾斜。
这里，考虑如下情况：在高度调整装置30未设置球面滑动轴承33a、33b以及33c，而通过从高度方向观察时配置于相互不同的部位的两个升降部35来调整上侧部件32相对于下侧部件31的倾斜。在这样的情况下，若通过操作两个升降部35中的一者来使上侧部件32相对于下侧部件31倾斜，则上侧部件32变形。另外，内螺纹部件353欲与上侧部件32一体地倾斜，所以外螺纹部件352在内螺纹部件353的内部会变得无法旋转。
另一方面，对于本实施方式的高度调整装置30而言，如上所述，若球面滑动轴承33a由升降部35调整高度位置，则球面滑动轴承33b及33c的外圈332相对于与高度方向正交的平面倾斜。由此，上侧部件32不会变形，并且，外螺纹部件352不会在内螺纹部件353的内部变得无法旋转，能够使上侧部件32相对于下侧部件31倾斜。其结果是，本实施方式的高度调整装置30能够可靠地调整构成制造装置主体100a的另一部分的上侧部件32相对于构成制造装置主体100a的一部分的下侧部件31的倾斜。
此外，在上文中，对通过升降部35调整球面滑动轴承33a的高度位置来调整上侧部件32相对于下侧部件31的倾斜的情况进行了说明，根据需要，也可以通过升降部35调整球面滑动轴承33b及33c的高度位置来调整上侧部件32相对于下侧部件31的倾斜。
另外，在上文中，对通过调整上侧部件32相对于下侧部件31的倾斜从而调整托板131a的倾斜的情况进行了说明，与托板131a同样地，托板132a的倾斜也能够调整。
(机器人的高度的调整)
接下来，参照图8，对使用高度调整装置30来调整机器人10的高度的形态的一个例子进行说明。此外，以下对如下情况进行说明：通过同时等距离驱动高度调整装置30的三个升降部35全部，调整为上侧部件32相对于下侧部件31的高度变高。
首先，从图8的(A)所示的状态起，在三个升降部35中，通过马达351a经由蜗轮副351d使外螺纹部件352旋转驱动。若在三个升降部35中通过马达351a使外螺纹部件352旋转驱动，则在三个升降部35中与外螺纹部件352螺纹旋合的内螺纹部件353沿高度方向移动。在图8的(B)中，通过在三个升降部35中外螺纹部件352右旋转，而在三个升降部35中内将螺纹部件353等距离向上方送出。
若在三个升降部35中内螺纹部件353向上方移动，则通过止动件353d固定于内螺纹部件353的三个球面滑动轴承33a、33b以及33c也一体地向上方移动。另外，安装有三个球面滑动轴承33a、33b以及33c的上侧部件32维持倾斜不变地向上方移动。由此，调整上侧部件32相对于下侧部件31的高度。另外，如上所述，下侧部件31安装于保持部件131b，上侧部件32安装于托板131a，所以通过上侧部件32向高度方向移动，而可以调整托板131a相对于保持部件131b的高度。
此外，在图8中，示出了在上侧部件32相对于与高度方向正交的平面平行的状态下调整上侧部件32相对于下侧部件31的高度的例子，但也可以在如图7所示的例子那样调整了上侧部件32相对于下侧部件31的倾斜的状态下，调整上侧部件32相对于下侧部件31的高度。该情况下，在上侧部件32相对于与高度方向正交的平面倾斜的状态下，一边维持上侧部件32的相对于与高度方向正交的平面的倾斜，一边调整上侧部件32相对于下侧部件31的高度。该情况下，也能够以上侧部件32不会变形且外螺纹部件352不会在内螺纹部件353的内部变得无法旋转的方式，调整上侧部件32相对于下侧部件31的高度。
此外，在上文中，对通过调整上侧部件32相对于下侧部件31的倾斜来调整托板131a的高度的情况进行了说明，与托板131a同样地，托板132a的高度也能够调整。
(托板间的间距的调整)
另外，在本实施方式中，如图9～图11所示，高度调整装置30通过调整托板131a及托板132a中的至少一者的高度来调整托板131a与托板132a之间的间距P。具体而言，高度调整装置30(制造装置100)还具备检测托板131a与托板132a之间的距离的传感器131c及131d。高度调整装置30基于由传感器131c及131d检测到的托板131a与托板132a之间的距离，调整托板131a及托板132a中的至少一者的高度，从而调整托板131a与托板132a之间的间距P。此外，传感器131c及131d分别是第一传感器及第二传感器的一个例子。
另外，在本实施方式中，传感器131c设置于托板131a的前端侧。另外，传感器131d设置于托板131a的基端侧。高度调整装置30基于由传感器131c及131d检测到的托板131a与托板132a之间的距离，调整托板131a与托板132a之间的间距P，并且调整托板132a相对于托板131a的倾斜。此外，传感器131c及131d是可检测距离的激光位移仪等光学式传感器。
如图9所示，在两股形状的托板131a的第一前端及第二前端分别设置有传感器131c。即，传感器131c设置有两个。托板131a的第一前端的传感器131c检测托板131a的第一前端与托板132a的第一前端之间的高度方向上的距离D1，并向控制部20输出。另外，托板131a的第二前端的传感器131c检测托板131a的第二前端与托板132a的第二前端之间的高度方向上的距离D2，并向控制部20输出。
传感器131d在托板131a的基端的中央设置有一个。传感器131d检测托板131a的基端与托板132a的基端之间的高度方向上的距离D3，并向控制部20输出。
如图10所示，控制部20基于由传感器131c及131d检测到的距离D1、D2以及D3，以调整托板132a相对于托板131a的倾斜的方式，控制两个高度调整装置30中的至少一者的动作。具体而言，控制部20基于距离D1、D2以及D3，以托板131a和托板132a变为大致平行的方式，控制两个高度调整装置30中的至少一者的动作。即，控制部20以距离D1、D2以及D3变为大致相等的方式，控制两个高度调整装置30中的至少一者的动作。
例如，从图10的(A)所示的状态起，控制部20通过对托板132a设置的高度调整装置30来调整托板132a的倾斜。由此，如图10的(B)所示，托板131a和托板132a变得大致平行。此外，也可以通过对托板131a设置的高度调整装置30来调整托板131a的倾斜，也可以通过两个高度调整装置30来调整托板131a及132a两者的倾斜。
如图11所示，控制部20基于由传感器131c及131d检测到的距离D1、D2以及D3，以调整托板131a与托板132a之间的间距P的方式，控制两个高度调整装置30中的至少一者的动作。即，控制部20以距离D1、D2以及D3变为与目标的间距P大致相等的方式，控制两个高度调整装置30中的至少一者的动作。
例如，从图11的(A)所示的状态起，控制部20通过对托板132a设置的高度调整装置30来调整托板132a的高度。由此，如图11的(B)所示，托板131a与托板132a之间的间距P变更为目标的间距P。此外，也可以通过对托板131a设置的高度调整装置30来调整托板131a的高度，也可以通过两个高度调整装置30来调整托板131a及132a两者的高度。
(本实施方式的效果)
在本实施方式中，能够得到如下的效果。
在本实施方式中，如上所述，设置高度调整装置30，高度调整装置30包括球面滑动轴承33a、球面滑动轴承33b及球面滑动轴承33c、以及与球面滑动轴承33a、球面滑动轴承33b及球面滑动轴承33c分别对应设置的三个升降部35，通过驱动三个升降部35来调整上侧部件32相对于下侧部件31的高度。由此，能够使用球面滑动轴承33a、球面滑动轴承33b以及球面滑动轴承33c，以不使下侧部件31及上侧部件32相对于彼此变形的方式调整上侧部件32相对于下侧部件31的高度。其结果是，能够容易地调整构成制造装置主体100a的另一部分的上侧部件32相对于构成制造装置主体100a的一部分的下侧部件31的高度。另外，能够使用球面滑动轴承33a、球面滑动轴承33b以及球面滑动轴承33c，以不使下侧部件31及上侧部件32相对于彼此变形的方式调整上侧部件32相对于下侧部件31的倾斜。其结果是，能够容易地调整上侧部件32相对于下侧部件31的倾斜。
另外，在本实施方式中，如上所述，制造装置主体100a具有：托板131a；和托板132a，与托板131a在高度方向上相邻。另外，针对托板131a及托板132a，分别设置有高度调整装置30。由此，能够在托板131a及托板132a分别调整上侧部件32相对于下侧部件31的高度及倾斜。其结果是，与仅对托板131a及托板132a中的任意一者设置有高度调整装置30的情况相比，能够使高度及倾斜的调整的自由度提升。
另外，在本实施方式中，如上所述，通过高度调整装置30来调整托板131a及托板132a中的至少一者的高度，从而调整托板131a与托板132a之间的间距P。由此，能够有效地利用高度调整装置30来进行托板131a与托板132a之间的间距P的调整。其结果是，能够抑制部件件数的增加并调整托板131a与托板132a之间的间距P。
另外，在本实施方式中，如上所述，高度调整装置30(制造装置100)还具备检测托板131a与托板132a之间的距离的传感器131c及131d。高度调整装置30基于由传感器131c及131d检测到的托板131a与托板132a之间的距离，调整托板131a及托板132a中的至少一者的高度，从而调整托板131a与托板132a之间的间距P。由此，能够基于由传感器131c及131d检测到的托板131a与托板132a之间的距离，准确地调整托板131a与托板132a之间的间距P。
另外，在本实施方式中，如上所述，制造装置主体100a包括用于保持并输送半导体基板S的机器人10。另外，机器人10具有用于保持半导体基板S的托板131a及托板132a。由此，能够在托板131a及托板132a分别调整上侧部件32相对于下侧部件31的高度及倾斜。其结果是，能够在具备托板131a及托板132a的半导体制造工序用的机器人10中，使高度及倾斜的调整的自由度提高。
另外，在本实施方式中，如上所述，制造装置100具备控制三个升降部35的驱动的控制部20。另外，高度调整装置30通过控制三个升降部35的驱动的控制部20的控制，来调整上侧部件32相对于下侧部件31的高度、和上侧部件32相对于下侧部件31的倾斜。由此，能够通过控制部20的控制，使用高度调整装置30来自动地进行上侧部件32相对于下侧部件31的高度的调整、和上侧部件32相对于下侧部件31的倾斜的调整。其结果是，与作业者使用高度调整装置30来手动地进行上侧部件32相对于下侧部件31的倾斜的调整、和上侧部件32相对于下侧部件31的高度的调整的情况不同，能够省去作业者的麻烦。
另外，在本实施方式中，如上所述，传感器131c及131d包括：传感器131c，设置于托板131a的前端侧；和传感器131d，设置于托板131a的基端侧。另外，高度调整装置30基于由传感器131c及传感器131d检测到的托板131a与托板132a之间的距离，调整托板131a与托板132a之间的间距P，并且调整托板132a相对于托板131a的倾斜。由此，能够基于由传感器131c及传感器131d检测到的托板131a与托板132a之间的距离，调整托板131a与托板132a之间的间距P、和托板132a相对于托板131a的倾斜这两者。其结果是，能够通过使托板131a及托板132a相互大致平行来使彼此的倾斜一致，并且调整托板131a与托板132a之间的间距P。
(变形例)
此外，此次公开的实施方式应被认为在所有方面均是例示，而不是限制性的。本公开的范围由权利要求书示出而不是上述的实施方式的说明，并且包含与权利要求书等同的含义及范围内的全部变更(变形例)。
例如，在上述实施方式中，示出了高度调整装置设置于用于制造半导体的制造装置的例子，但本公开并不局限于此。例如，高度调整装置也可以设置于用于制造除半导体以外的产品的制造装置(工业用机器人等)。另外，高度调整装置也可以设置于除制造装置以外的装置。例如，高度调整装置也可以设置于无人输送车(AGV：Automatic GuidedVehicle)、手术台以及医疗用床等。
在设置于无人输送车的情况下，高度调整装置能够根据无人输送车的行驶状况，使无人输送车的车体倾斜、升高无人输送车的车体。
另外，在设置于手术台或医疗用床的情况下，高度调整装置能够在人上下手术台或医疗用床时，降低手术台或医疗用床的高度、恢复已降低的高度。另外，高度调整装置能够使手术台或医疗用床倾斜。
另外，在上述实施方式中，示出了高度调整装置设置于臂部与手部之间的例子，但本公开并不局限于此。例如，如图12所示的第一变形例那样，高度调整装置30a也可以设置于基座体11与臂部12的基端之间。该情况下，能够容易地调整臂部12相对于基座体11的高度及倾斜。此外，高度调整装置30a的构造和上述实施方式的高度调整装置30的构造相同。
另外，例如，如图13所示的第二变形例那样，高度调整装置30b也可以设置于地面与基座体11之间。该情况下，能够容易地调整基座体11相对于地面的高度及倾斜。此外，高度调整装置30b的构造和上述实施方式的高度调整装置30的构造相同。另外，在第一变形例及第二变形例中，在通过高度调整装置30a或30b能够调整的高度量充分大的情况下，也可以除高度调整装置30a或30b以外不设置沿高度方向移动的移动机构。
另外，在上述实施方式中，示出了高度调整装置设置于用于保持并输送半导体基板的机器人的例子，但本公开并不局限于此。例如，如图14所示的第三变形例那样，在机器人10的附近设置有作为用于将多枚半导体基板S沿高度方向层叠并收容的制造装置的收容装置200。另外，收容装置200例如是能够以封闭的状态收容多枚半导体基板S的前开式晶圆传送盒(FOUP：Front Opening Unified Pod)。收容装置200具备收容装置主体200a。在第三变形例中，高度调整装置30c设置于地面与收容装置主体200a之间。该情况下，能够容易地调整收容装置200相对于地面的高度及倾斜。此外，高度调整装置30c的构造和上述实施方式的高度调整装置30的构造相同。另外，收容装置200是制造装置的一个例子。另外，收容装置主体200a是制造装置主体及规定装置主体的一个例子。
另外，在上述实施方式中，示出了机器人的手部具备上手和下手这两个手的例子，但本公开并不局限于此。例如，机器人的手部也可以仅具备一个手。
另外，在上述实施方式中，示出了机器人的手部具备两个托板的例子，但本公开并不局限于此。例如，机器人的手部也可以具备一个或三个以上的托板。
另外，在上述实施方式中，示出了高度调整装置具备三个球面滑动轴承及升降部的例子，但本公开并不局限于此。例如，高度调整装置也可以具备四个以上的球面滑动轴承及升降部。
另外，在上述实施方式中，示出了如下例子：球面滑动轴承的内圈安装于下侧部件，外圈安装于上侧部件，并且在内圈与下侧部件之间夹有升降部，但本公开并不局限于此。例如，球面滑动轴承也可以外圈安装于下侧部件，内圈安装于上侧部件。即，球面滑动轴承只要内圈及外圈中的任意一者安装于下侧部件，内圈及外圈中的另一者安装于上侧部件即可。另外，例如，也可以在球面滑动轴承，在外圈与上侧部件之间夹有升降部。只要在球面滑动轴承，在内圈及外圈中的任意一者与下侧部件之间、以及内圈及外圈中的另一者与上侧部件之间这两个位置中的至少任意一个位置夹有升降部即可。
另外，在上述实施方式中，示出了球面滑动轴承使用盖部件安装于上侧部件的例子，但本公开并不局限于此。例如，如图15所示的第四变形例那样，球面滑动轴承33d也可以具有作为设置于外圈332的固定部的凸缘部332a。该情况下，球面滑动轴承33d通过螺栓固定凸缘部332a，从而安装于上侧部件32。
另外，在上述实施方式中，示出了三个球面滑动轴承配置于大致相同的高度位置的例子，但本公开并不局限于此。例如，也可以三个球面滑动轴承配置于相互不同的高度位置。另外，也可以三个球面滑动轴承中的两个配置于大致相同的高度位置，而剩余的一个配置于不同的高度位置。
另外，在上述实施方式中，示出了升降部具备用于旋转驱动外螺纹部件的马达的例子，但本公开并不局限于此。例如，升降部也可以具备用于手动地旋转驱动外螺纹部件的操作部。
另外，在上述实施方式中，示出了在马达与外螺纹部件之间设置有蜗轮副(减速机构)的例子，但本公开并不局限于此。例如，也可以在马达与外螺纹部件之间设置除蜗轮副以外的减速机构。另外，马达和外螺纹部件也可以直接连接。
另外，在上述实施方式中，示出了第一机构部及第二机构部是设置于用于保持并输送半导体基板的机器人的托板的例子，但本公开并不局限于此。例如，第一机构部及第二机构部也可以是设置于用于保持并收容半导体基板的收容装置的基板保持部。
另外，在上述实施方式中，示出了仅在两个托板中的一者设置有传感器的例子，但本公开并不局限于此。例如也可以在两个托板都设置传感器。另外，当仅设置于两个托板中的一者的情况下，传感器设置于两个托板中的哪一个都可以。
另外，在上述实施方式中，示出了在托板的前端侧及基端侧分别设置有传感器的例子，但本公开并不局限于此。例如，传感器也可以仅设置于托板的前端侧，也可以仅设置于基端侧。
附图标记说明
10…机器人；20…控制部；30…高度调整装置(高度调整单元)；31…下侧部件；32…上侧部件；33a…球面滑动轴承(第一球面滑动轴承)；33b…球面滑动轴承(第二球面滑动轴承)；33c…球面滑动轴承(第三球面滑动轴承)；35…升降部(第一升降部、第二升降部、第三升降部)；100a…制造装置主体(规定装置主体)；100…制造装置；131a…托板(第一机构部、第一托板)；131b…托板(第二机构部、第二托板)；131c…传感器(第一传感器)；131d…传感器(第二传感器)；200…收容装置(制造装置)；200a…收容装置主体(规定装置主体、制造装置主体)；P…间距；S…半导体基板。

Claims (12)

1.一种高度调整装置，设置于规定装置主体，其特征在于，具备：
下侧部件，构成所述规定装置主体的一部分；
上侧部件，构成所述规定装置主体的另一部分，并且设置为与所述下侧部件在高度方向上对置；以及
高度调整单元，包括设置于所述下侧部件与所述上侧部件之间且从高度方向观察时配置于相互不同的部位的第一球面滑动轴承、第二球面滑动轴承及第三球面滑动轴承、以及与所述第一球面滑动轴承、所述第二球面滑动轴承及所述第三球面滑动轴承分别对应设置并调整所述上侧部件相对于所述下侧部件的高度的第一升降部、第二升降部及第三升降部，
通过驱动所述第一升降部、所述第二升降部以及所述第三升降部来调整所述上侧部件相对于所述下侧部件的高度。
2.根据权利要求1所述的高度调整装置，其特征在于，
所述规定装置主体具有：第一机构部；和第二机构部，与所述第一机构部在高度方向上相邻，
针对所述第一机构部及所述第二机构部，分别设置有所述高度调整单元。
3.根据权利要求2所述的高度调整装置，其特征在于，
通过所述高度调整单元来调整所述第一机构部及所述第二机构部中的至少一者的高度，从而调整所述第一机构部与所述第二机构部之间的间距。
4.根据权利要求3所述的高度调整装置，其特征在于，
还具备传感器，所述传感器检测所述第一机构部与所述第二机构部之间的距离，
基于由所述传感器检测到的所述第一机构部与所述第二机构部之间的距离，调整所述第一机构部及所述第二机构部中的至少一者的高度，从而调整所述第一机构部与所述第二机构部之间的间距。
5.根据权利要求2所述的高度调整装置，其特征在于，
所述规定装置主体包括用于保持并输送半导体基板的机器人，
所述机器人具有用于保持所述半导体基板的、作为所述第一机构部的第一托板及作为所述第二机构部的第二托板。
6.根据权利要求1所述的高度调整装置，其特征在于，
所述高度调整单元通过控制部的控制来调整所述上侧部件相对于所述下侧部件的高度、和所述上侧部件相对于所述下侧部件的倾斜，所述控制部控制所述第一升降部、所述第二升降部以及所述第三升降部的驱动。
7.一种制造装置，其特征在于，具备：
制造装置主体；和
高度调整装置，设置于所述制造装置主体，
所述高度调整装置包括：
下侧部件，构成所述制造装置主体的一部分；
上侧部件，构成所述制造装置主体的另一部分，并且设置为与所述下侧部件在高度方向上对置；
第一球面滑动轴承、第二球面滑动轴承及第三球面滑动轴承，设置于所述下侧部件与所述上侧部件之间，且从高度方向观察时配置于相互不同的部位；以及
第一升降部、第二升降部及第三升降部，与所述第一球面滑动轴承、所述第二球面滑动轴承及所述第三球面滑动轴承分别对应设置，并调整所述上侧部件相对于所述下侧部件的高度，
所述高度调整装置通过驱动所述第一升降部、所述第二升降部以及所述第三升降部来调整所述上侧部件相对于所述下侧部件的高度。
8.根据权利要求7所述的制造装置，其特征在于，
所述制造装置主体包括用于保持并输送半导体基板的机器人，
所述机器人具有用于保持所述半导体基板的第一托板及第二托板，
针对所述第一托板及所述第二托板，分别设置有所述高度调整装置。
9.根据权利要求8所述的制造装置，其特征在于，
所述高度调整装置通过调整所述第一托板及所述第二托板中的至少一者的高度来调整所述第一托板与所述第二托板之间的间距。
10.根据权利要求9所述的制造装置，其特征在于，
还具备传感器，所述传感器检测所述第一托板与所述第二托板之间的距离，
所述高度调整装置基于由所述传感器检测到的所述第一托板与所述第二托板之间的距离，调整所述第一托板及所述第二托板中的至少一者的高度，从而调整所述第一托板与所述第二托板之间的间距。
11.根据权利要求10所述的制造装置，其特征在于，
所述传感器包括第一传感器及第二传感器，所述第一传感器及第二传感器分别设置于所述第一托板及所述第二托板中的至少一者的前端侧及基端侧，
所述高度调整装置基于由所述第一传感器检测到的所述第一托板与所述第二托板之间的距离、和由所述第二传感器检测到的所述第一托板与所述第二托板之间的距离，调整所述第一托板与所述第二托板之间的间距，并调整所述第二托板相对于所述第一托板的倾斜。
12.根据权利要求7所述的制造装置，其特征在于，
还具备控制部，所述控制部控制所述第一升降部、所述第二升降部以及所述第三升降部的驱动，
所述高度调整装置通过所述控制部的控制来调整所述上侧部件相对于所述下侧部件的高度、和所述上侧部件相对于所述下侧部件的倾斜。
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