JP3450129B2 - 移動ステージ - Google Patents
移動ステージInfo
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- JP3450129B2 JP3450129B2 JP21973296A JP21973296A JP3450129B2 JP 3450129 B2 JP3450129 B2 JP 3450129B2 JP 21973296 A JP21973296 A JP 21973296A JP 21973296 A JP21973296 A JP 21973296A JP 3450129 B2 JP3450129 B2 JP 3450129B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- arm
- spherical
- rod
- points
- Prior art date
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、被対象物を保持
したステージを、ステージ面上の複数ポイントにおいて
ステージ面と垂直な方向へ進退させて、被対象物が所定
の平面と平行となるようにステージ面の傾斜調整を行う
移動ステージに関する。
したステージを、ステージ面上の複数ポイントにおいて
ステージ面と垂直な方向へ進退させて、被対象物が所定
の平面と平行となるようにステージ面の傾斜調整を行う
移動ステージに関する。
【０００２】
【従来の技術】例えばプリント基板や液晶基板等の製造
工程では、感光剤を塗布した被対象物にフォトマスクを
介して露光を施し、前記被対象物上にフォトマスク上の
パターンを形成する露光装置が用いられる。このような
露光装置では、高い転写精度が求められるため、前記フ
ォトマスクと被対象物とのギャップを露光全面において
均一に調整する必要がある。このため従来の露光装置で
は、フォトマスクに対向して被対象物を載置するステー
ジを、ステージ面上の複数ポイントにおいて個々にステ
ージ面と垂直な方向に向かって位置調整をして、フォト
マスクと被対象物とのギャップが均一となるようにして
いる。
工程では、感光剤を塗布した被対象物にフォトマスクを
介して露光を施し、前記被対象物上にフォトマスク上の
パターンを形成する露光装置が用いられる。このような
露光装置では、高い転写精度が求められるため、前記フ
ォトマスクと被対象物とのギャップを露光全面において
均一に調整する必要がある。このため従来の露光装置で
は、フォトマスクに対向して被対象物を載置するステー
ジを、ステージ面上の複数ポイントにおいて個々にステ
ージ面と垂直な方向に向かって位置調整をして、フォト
マスクと被対象物とのギャップが均一となるようにして
いる。
【０００３】このような装置としては、前記ステージを
水平に配置し、このステージの下面をボールキャスター
により支持するとともに、前記ボールキャスターを上下
に駆動させてステージの傾斜調整を行う装置が知られて
いる。
水平に配置し、このステージの下面をボールキャスター
により支持するとともに、前記ボールキャスターを上下
に駆動させてステージの傾斜調整を行う装置が知られて
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来の技術では、
ステージがボールキャスター上に自重により支持される
構造であるため、例えばステージを垂直に配置すること
ができないという問題がある。
ステージがボールキャスター上に自重により支持される
構造であるため、例えばステージを垂直に配置すること
ができないという問題がある。
【０００５】ここで重力の替わりに、前記ステージを所
定の付勢手段にて付勢しながら垂直に配置することも考
えられるが、この場合ステージが大サイズになると重量
が増加し、不安定になるという問題も発生する。それゆ
えに本発明では、ステージを水平以外例えば垂直等に配
置しても安定して移動することができる移動ステージを
提供することを目的とする。
定の付勢手段にて付勢しながら垂直に配置することも考
えられるが、この場合ステージが大サイズになると重量
が増加し、不安定になるという問題も発生する。それゆ
えに本発明では、ステージを水平以外例えば垂直等に配
置しても安定して移動することができる移動ステージを
提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明では、そ
の表面に被対象物を保持するステージを、ステージ面上
の複数ポイントにおいてステージ面と垂直な方向へ進退
させて、被対象物が所定の平面と平行となるようにステ
ージ面の傾斜調整を行う移動ステージであって、前記ス
テージ面において２次元的に分布配置されたＮ個（Ｎは
３またはそれ以上の整数）ポイントを、各々独立してス
テージ面と垂直な方向へ進退させるＮ個のアーム及びア
ーム駆動手段と、前記ステージが前記垂直な方向へ移動
することを許容しつつ、前記ステージと前記Ｎ個のアー
ムのそれぞれとを、球面部を有するロッドと前記球面部
を保持する球面軸受けとの組合せを用いて遊離不能に結
合するＮ個の結合部とを備えることを特徴とする。
の表面に被対象物を保持するステージを、ステージ面上
の複数ポイントにおいてステージ面と垂直な方向へ進退
させて、被対象物が所定の平面と平行となるようにステ
ージ面の傾斜調整を行う移動ステージであって、前記ス
テージ面において２次元的に分布配置されたＮ個（Ｎは
３またはそれ以上の整数）ポイントを、各々独立してス
テージ面と垂直な方向へ進退させるＮ個のアーム及びア
ーム駆動手段と、前記ステージが前記垂直な方向へ移動
することを許容しつつ、前記ステージと前記Ｎ個のアー
ムのそれぞれとを、球面部を有するロッドと前記球面部
を保持する球面軸受けとの組合せを用いて遊離不能に結
合するＮ個の結合部とを備えることを特徴とする。
【０００７】好ましくは前記整数Ｎが３であり、そのよ
うにして構成された請求項２の発明では、その表面に被
対象物を保持するステージを、ステージ面上の複数ポイ
ントにおいてステージ面と垂直な方向へ進退させて、被
対象物が所定の平面と平行となるようにステージ面の傾
斜調整を行う移動ステージであって、前記ステージ面に
おいて三角形を構成するように配置された第１乃至第３
のポイントを、各々独立してステージ面と垂直な方向へ
進退させる第１乃至第３のアーム及びアーム駆動手段
と、前記ステージが前記垂直な方向へ移動することを許
容しつつ、前記ステージと前記第１乃至第３のアームの
それぞれとを、球面部を有するロッドと前記球面部を保
持する球面軸受けとの組合せを用いて遊離不能に結合す
る３つの結合部と、を備えることを特徴とする。
うにして構成された請求項２の発明では、その表面に被
対象物を保持するステージを、ステージ面上の複数ポイ
ントにおいてステージ面と垂直な方向へ進退させて、被
対象物が所定の平面と平行となるようにステージ面の傾
斜調整を行う移動ステージであって、前記ステージ面に
おいて三角形を構成するように配置された第１乃至第３
のポイントを、各々独立してステージ面と垂直な方向へ
進退させる第１乃至第３のアーム及びアーム駆動手段
と、前記ステージが前記垂直な方向へ移動することを許
容しつつ、前記ステージと前記第１乃至第３のアームの
それぞれとを、球面部を有するロッドと前記球面部を保
持する球面軸受けとの組合せを用いて遊離不能に結合す
る３つの結合部と、を備えることを特徴とする。
【０００８】また請求項３の発明では、請求項２の移動
ステージにおいて、前記３つの結合部が、前記第１のア
ームに対し前記ステージを回動自在に支持しつつ、第１
のアームとステージとを、球面部を有するロッドと前記
球面部を保持する球面軸受けとの組合せを用いて遊離不
能に結合する第１の結合部と、前記第２のアームに対し
前記ステージを回動自在に、かつ前記第１のポイントと
第２のポイントとを結ぶ直線方向にだけ平行移動自在に
支持しつつ、第２のアームとステージとを、球面部を有
するロッドと前記球面部を保持する球面軸受けとの組合
せを用いて遊離不能に結合する第２の結合部と、前記第
３のアームに対し前記ステージを回動自在に、かつステ
ージ面に平行な面内で２次元的に平行移動自在に支持し
つつ、第３のアームとステージとを、球面部を有するロ
ッドと前記球面部を保持する球面軸受けとの組合せを用
いて遊離不能に結合する第３の結合部と、からなること
を特徴とする。
ステージにおいて、前記３つの結合部が、前記第１のア
ームに対し前記ステージを回動自在に支持しつつ、第１
のアームとステージとを、球面部を有するロッドと前記
球面部を保持する球面軸受けとの組合せを用いて遊離不
能に結合する第１の結合部と、前記第２のアームに対し
前記ステージを回動自在に、かつ前記第１のポイントと
第２のポイントとを結ぶ直線方向にだけ平行移動自在に
支持しつつ、第２のアームとステージとを、球面部を有
するロッドと前記球面部を保持する球面軸受けとの組合
せを用いて遊離不能に結合する第２の結合部と、前記第
３のアームに対し前記ステージを回動自在に、かつステ
ージ面に平行な面内で２次元的に平行移動自在に支持し
つつ、第３のアームとステージとを、球面部を有するロ
ッドと前記球面部を保持する球面軸受けとの組合せを用
いて遊離不能に結合する第３の結合部と、からなること
を特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１は本発明の実施の形態の一つ
である移動ステージの平面図（より詳しくはステージ表
面側からステージを透過して見た図）、図２は図１のア
方向から見た断面図である。なお各図は見やすいように
一部図示が省略されている。
である移動ステージの平面図（より詳しくはステージ表
面側からステージを透過して見た図）、図２は図１のア
方向から見た断面図である。なお各図は見やすいように
一部図示が省略されている。
【００１０】図において、１は被対象物Ｂを保持するス
テージであり、被対象物Ｂは図示しない吸引装置により
ステージ１の表面に保持される。符号ａ及びｍは、前記
ステージ１をステージ面と垂直な方向（図２のＺ方向）
へ進退させるためのアームとアーム駆動手段である。こ
のアームａ及びアーム駆動手段ｍは、この実施の形態で
は３組設けられており、各々第１のアームをａ１、第１
のアーム駆動手段をｍ１、第２のアームをａ２、第２の
アーム駆動手段をｍ２、第３のアームをａ３、第３のア
ーム駆動手段をｍ３と区分する。
テージであり、被対象物Ｂは図示しない吸引装置により
ステージ１の表面に保持される。符号ａ及びｍは、前記
ステージ１をステージ面と垂直な方向（図２のＺ方向）
へ進退させるためのアームとアーム駆動手段である。こ
のアームａ及びアーム駆動手段ｍは、この実施の形態で
は３組設けられており、各々第１のアームをａ１、第１
のアーム駆動手段をｍ１、第２のアームをａ２、第２の
アーム駆動手段をｍ２、第３のアームをａ３、第３のア
ーム駆動手段をｍ３と区分する。
【００１１】各アームａ１乃至ａ３は、基台２に固設さ
れたガイドベアリング３に嵌合されて図２のＺ方向に摺
動可能なアーム本体４からなる。なおガイドベアリング
３はアーム本体４の回転を規制している。各アーム駆動
手段ｍは、前記基台２に固設されたモータ５と、このモ
ータ５により回転する送りネジ６とからなる。送りネジ
６にはナット７が螺合されており、このナット７は前記
アーム本体４に接合されている。従って、前記モータ５
の回転にともなうナット７の移動により前記アームが図
のＺ方向に進退移動する。なお各アームａ１乃至ａ３及
びアーム駆動手段ｍ１乃至ｍ３の配置される位置は、図
１に示すようにステージ１に垂直な方向から見て三角形
を構成する頂点の位置に配置され、好ましくは正三角形
の配置が良い。
れたガイドベアリング３に嵌合されて図２のＺ方向に摺
動可能なアーム本体４からなる。なおガイドベアリング
３はアーム本体４の回転を規制している。各アーム駆動
手段ｍは、前記基台２に固設されたモータ５と、このモ
ータ５により回転する送りネジ６とからなる。送りネジ
６にはナット７が螺合されており、このナット７は前記
アーム本体４に接合されている。従って、前記モータ５
の回転にともなうナット７の移動により前記アームが図
のＺ方向に進退移動する。なお各アームａ１乃至ａ３及
びアーム駆動手段ｍ１乃至ｍ３の配置される位置は、図
１に示すようにステージ１に垂直な方向から見て三角形
を構成する頂点の位置に配置され、好ましくは正三角形
の配置が良い。
【００１２】次に、符号ｋは前記ステージ１と前記アー
ムａ１乃至ａ３とを結合する結合部である。この結合部
ｋは、前記アームａ１乃至ａ３に対応して、各々第１の
結合部ｋ１、第２の結合部ｋ２、第３の結合部ｋ３の３
つからなる。なお各結合部ｋ１乃至ｋ３の結合するステ
ージ１の部位を、図１に示すように各々第１乃至第３の
ポイントｐ１乃至ｐ３とする。
ムａ１乃至ａ３とを結合する結合部である。この結合部
ｋは、前記アームａ１乃至ａ３に対応して、各々第１の
結合部ｋ１、第２の結合部ｋ２、第３の結合部ｋ３の３
つからなる。なお各結合部ｋ１乃至ｋ３の結合するステ
ージ１の部位を、図１に示すように各々第１乃至第３の
ポイントｐ１乃至ｐ３とする。
【００１３】第１の結合部ｋ１は、第１のアームａ１に
固設された球面軸受け８（図２）と、この球面軸受けに
支持される球面部９を有するロッドｒ１とからなり、ロ
ッドｒ１の一端は前記ステージ１に接合されている。こ
こでロッドｒ１の球面部９は球面軸受け８に対し回動可
能かつ遊離不能な状態で保持される。従ってステージ１
は、前記第１のアームａ１に対し回動自在かつ遊離不能
に支持されることになる。
固設された球面軸受け８（図２）と、この球面軸受けに
支持される球面部９を有するロッドｒ１とからなり、ロ
ッドｒ１の一端は前記ステージ１に接合されている。こ
こでロッドｒ１の球面部９は球面軸受け８に対し回動可
能かつ遊離不能な状態で保持される。従ってステージ１
は、前記第１のアームａ１に対し回動自在かつ遊離不能
に支持されることになる。
【００１４】第２の結合部ｋ２は、第１の結合部ｋ１と
同様に、第２のアームａ２に対しロッドｒ２（図示しな
い）が回動自在な状態で保持されている。さらに第２の
結合部ｋ２では、ロッドｒ２の一端に直動ガイド１０
（図１）が固設されている。この直動ガイド１０は、レ
ール部１１と、このレール部１１を直線的にスライド可
能かつ遊離不能に支持するガイド部１２とから構成され
ている。そして前記ロッドｒ２は前記ガイド部１２に対
して直交する方向（図１の紙面裏側に向かって垂直な方
向）に固設されており、一方前記レール部１１は前記ロ
ッドｒ２と反する側（図１の紙面表側）で前記ステージ
１に固設されている。なお直動ガイド１０は、レール部
１１の長手方向が第１のポイントｐ１と第２のポイント
ｐ２とを結ぶ直線方向（図１のイ方向）と一致するよう
に配置されている。従って、前記ステージ１は第２のア
ームａ２に対して、前記ロッドｒ２の球面軸受け部によ
って回動自在かつ遊離不能に支持されるとともに、前記
直動ガイド１０によって前記直線イ方向に平行移動自在
かつ遊離不能に支持されることになる。
同様に、第２のアームａ２に対しロッドｒ２（図示しな
い）が回動自在な状態で保持されている。さらに第２の
結合部ｋ２では、ロッドｒ２の一端に直動ガイド１０
（図１）が固設されている。この直動ガイド１０は、レ
ール部１１と、このレール部１１を直線的にスライド可
能かつ遊離不能に支持するガイド部１２とから構成され
ている。そして前記ロッドｒ２は前記ガイド部１２に対
して直交する方向（図１の紙面裏側に向かって垂直な方
向）に固設されており、一方前記レール部１１は前記ロ
ッドｒ２と反する側（図１の紙面表側）で前記ステージ
１に固設されている。なお直動ガイド１０は、レール部
１１の長手方向が第１のポイントｐ１と第２のポイント
ｐ２とを結ぶ直線方向（図１のイ方向）と一致するよう
に配置されている。従って、前記ステージ１は第２のア
ームａ２に対して、前記ロッドｒ２の球面軸受け部によ
って回動自在かつ遊離不能に支持されるとともに、前記
直動ガイド１０によって前記直線イ方向に平行移動自在
かつ遊離不能に支持されることになる。
【００１５】第３の結合部ｋ３は、第１の結合部ｋ１と
同様に、第３のアームａ３に対しロッドｒ３（図２）が
回動自在な状態で保持されている。さらに第３の結合部
ｋ３では、ロッドｒ３の一端にクロス直交ガイド１３が
固設されている。このクロス直交ガイド１３は、第１の
レール部１４と、第２のレール部１５と、第１及び第２
のレール部１４及び１５を互いに直交する方向に独立し
てスライド可能かつ遊離不能に支持するガイド部１６と
から構成されている。すなわち前記第１のレール部１４
と第２のレール部１５とはステージ１面と平行な面内で
互いに直交する方向に独立してスライド可能な状態に配
置されている。
同様に、第３のアームａ３に対しロッドｒ３（図２）が
回動自在な状態で保持されている。さらに第３の結合部
ｋ３では、ロッドｒ３の一端にクロス直交ガイド１３が
固設されている。このクロス直交ガイド１３は、第１の
レール部１４と、第２のレール部１５と、第１及び第２
のレール部１４及び１５を互いに直交する方向に独立し
てスライド可能かつ遊離不能に支持するガイド部１６と
から構成されている。すなわち前記第１のレール部１４
と第２のレール部１５とはステージ１面と平行な面内で
互いに直交する方向に独立してスライド可能な状態に配
置されている。
【００１６】このクロス直交ガイド１３は、前記第２の
レール部１５に対し前記ロッドｒ３が直交する方向に固
設されており、一方前記第１のレール部１４は前記ロッ
ドｒ３と反する側で前記ステージ１に固設されている。
レール部１５に対し前記ロッドｒ３が直交する方向に固
設されており、一方前記第１のレール部１４は前記ロッ
ドｒ３と反する側で前記ステージ１に固設されている。
【００１７】従って、前記ステージ１は第３のアームａ
３に対し、前記ロッドｒ３の球面軸受け部によって回動
自在かつ遊離不能に支持されるとともに、前記クロス直
交ガイド１３によって前記ステージ面に平行な面内で２
次元的に平行移動自在かつ遊離不能に支持されることに
なる。
３に対し、前記ロッドｒ３の球面軸受け部によって回動
自在かつ遊離不能に支持されるとともに、前記クロス直
交ガイド１３によって前記ステージ面に平行な面内で２
次元的に平行移動自在かつ遊離不能に支持されることに
なる。
【００１８】上記移動ステージでは、アームａ１乃至ａ
３の進退量によりステージ１は、図２のように傾き角θ
をもって傾斜し、各ポイントｐ１乃至ｐ３間の作用点距
離が変化する。しかしながら、この実施の形態による結
合部の構成では、第１のポイントｐ１を中心として、第
２及び第３のポイントｐ２、ｐ３が位置移動するため各
ポイントはステージ１の進退方向以外には移動しない。
３の進退量によりステージ１は、図２のように傾き角θ
をもって傾斜し、各ポイントｐ１乃至ｐ３間の作用点距
離が変化する。しかしながら、この実施の形態による結
合部の構成では、第１のポイントｐ１を中心として、第
２及び第３のポイントｐ２、ｐ３が位置移動するため各
ポイントはステージ１の進退方向以外には移動しない。
【００１９】図２には、露光装置に適用する場合の、移
動ステージとフォトマスクとの配置を示している。図に
おいて、ステージ１の前面にはフォトマスクＭを保持す
るためのマスク枠２０が設けられている。この露光装置
ではフォトマスクＭを通して、ステージ１に保持された
被対象物Ｂに露光が行われる。この露光に先だって、フ
ォトマスクＭと被対象物Ｂとの間のギャップ調整が行わ
れる。すなわち前記移動ステージを支持する各アームａ
１乃至ａ３を図２のＺ方向に進退させて移動ステージの
傾斜を調整し、図示しないギャップ検出センサーによっ
て前記ギャップ量を検出しながら、前記被対象物Ｂ上の
複数点においてフォトマスクＭと被対象物Ｂとのギャッ
プが均一となるようにする。
動ステージとフォトマスクとの配置を示している。図に
おいて、ステージ１の前面にはフォトマスクＭを保持す
るためのマスク枠２０が設けられている。この露光装置
ではフォトマスクＭを通して、ステージ１に保持された
被対象物Ｂに露光が行われる。この露光に先だって、フ
ォトマスクＭと被対象物Ｂとの間のギャップ調整が行わ
れる。すなわち前記移動ステージを支持する各アームａ
１乃至ａ３を図２のＺ方向に進退させて移動ステージの
傾斜を調整し、図示しないギャップ検出センサーによっ
て前記ギャップ量を検出しながら、前記被対象物Ｂ上の
複数点においてフォトマスクＭと被対象物Ｂとのギャッ
プが均一となるようにする。
【００２０】〔他の実施の形態〕
（１）上記実施の形態では、第３の結合部ｋ３に、２つ
の直交するレールを持つクロス直交ガイド１３を用いた
が、ステージ１と平行な面内で２次元的に平行移動自在
かつ遊離不能に支持することができれば、他の手段を用
いてもよい。
の直交するレールを持つクロス直交ガイド１３を用いた
が、ステージ１と平行な面内で２次元的に平行移動自在
かつ遊離不能に支持することができれば、他の手段を用
いてもよい。
【００２１】（２）３つのポイントの三角形配置は正三
角形であることが好ましい。それはステージを安定して
支持しやすいことや、各駆動部の駆動精度につき同程度
のものをに使用できることなどによる。ただし、正三角
形以外であってもこの発明の基本的効果には影響はな
い。
角形であることが好ましい。それはステージを安定して
支持しやすいことや、各駆動部の駆動精度につき同程度
のものをに使用できることなどによる。ただし、正三角
形以外であってもこの発明の基本的効果には影響はな
い。
【００２２】（３）上記実施の形態では、ステージ１を
３つのポイントで支持しているが、この支持箇所は２次
元的に分布配置させた３つ以上のポイントであってもよ
い。
３つのポイントで支持しているが、この支持箇所は２次
元的に分布配置させた３つ以上のポイントであってもよ
い。
【００２３】これは、一般に平面の位置および方位を一
義的に決定するには、同一直線上にない３またはそれ以
上のポイントで支持位置を特定すればよいことから導き
出される結果である。３以上のポイントの場合には、そ
のうちの少なくとも３点（第１〜第３ポイント）は三角
形状に分布させる必要があるが、残りのポイントは任意
の位置でよい。好ましくは正Ｎ三角形（正多角形）の頂
点に配置する。
義的に決定するには、同一直線上にない３またはそれ以
上のポイントで支持位置を特定すればよいことから導き
出される結果である。３以上のポイントの場合には、そ
のうちの少なくとも３点（第１〜第３ポイント）は三角
形状に分布させる必要があるが、残りのポイントは任意
の位置でよい。好ましくは正Ｎ三角形（正多角形）の頂
点に配置する。
【００２４】３以上のポイントの場合には、そのうちの
３つのポイントには図１および図２のような回動または
移動自由度を持たせ、残りのポイントには第３の結合部
ｋ３と同様に２次元的に任意の方向に移動可能な自由度
を持たせることによって、所要の拘束条件と調整自由度
とを得ることができる。
３つのポイントには図１および図２のような回動または
移動自由度を持たせ、残りのポイントには第３の結合部
ｋ３と同様に２次元的に任意の方向に移動可能な自由度
を持たせることによって、所要の拘束条件と調整自由度
とを得ることができる。
【００２５】
【発明の効果】この発明の請求項１によれば、ステージ
を各アームに対し、球面部を有するロッドと前記球面部
を保持する球面軸受けとの組合せを用いて遊離不能に支
持しているため、ステージを垂直や斜め方向等に配置す
ることができる。
を各アームに対し、球面部を有するロッドと前記球面部
を保持する球面軸受けとの組合せを用いて遊離不能に支
持しているため、ステージを垂直や斜め方向等に配置す
ることができる。
【００２６】この発明の請求項２によれば、請求項１の
発明の最小限のポイント数（Ｎ＝３）によって、ステー
ジを各アームに対し、球面部を有するロッドと前記球面
部を保持する球面軸受けとの組合せを用いて遊離不能に
支持しているため、請求項１における効果を達成可能で
ある。
発明の最小限のポイント数（Ｎ＝３）によって、ステー
ジを各アームに対し、球面部を有するロッドと前記球面
部を保持する球面軸受けとの組合せを用いて遊離不能に
支持しているため、請求項１における効果を達成可能で
ある。
【００２７】また請求項３によれば、請求項２の効果に
加えさらに、前記ステージが傾斜しても、前記ステージ
がステージ面と同じ平面内で２次元的に平行移動及び回
転しないように拘束することができる。
加えさらに、前記ステージが傾斜しても、前記ステージ
がステージ面と同じ平面内で２次元的に平行移動及び回
転しないように拘束することができる。
【図１】この発明の一実施の形態である移動ステージの
平面図である。
平面図である。
【図２】この発明の一実施の形態である移動ステージの
断面図である。
断面図である。
１ ステージ
ａ１〜ａ３ 第１乃至第３のアーム
ｍ１〜ｍ３ 第１乃至第３のアーム駆動手段
ｋ１〜ｋ３ 第１乃至第３の結合部
ｐ１〜ｐ３ 第１乃至第３のポイント
Ｂ 被対象物
Ｍ フォトマスク
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平２−75993（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−204107（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−267823（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−74096（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−86377（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−264413（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−288209（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/027
G03F 7/20
G03F 9/00
G12B 5/00
H01L 21/68
Claims (3)
- 【請求項１】その表面に被対象物を保持するステージ
を、ステージ面上の複数ポイントにおいてステージ面と
垂直な方向へ進退させて、被対象物が所定の平面と平行
となるようにステージ面の傾斜調整を行う移動ステージ
であって、 前記ステージ面において２次元的に分布配置されたＮ個
（Ｎは３またはそれ以上の整数）ポイントを、各々独立
してステージ面と垂直な方向へ進退させるＮ個のアーム
及びアーム駆動手段と、 前記ステージが前記垂直な方向へ移動することを許容し
つつ、前記ステージと前記Ｎ個のアームのそれぞれと
を、球面部を有するロッドと前記球面部を保持する球面
軸受けとの組合せを用いて遊離不能に結合するＮ個の結
合部と、を備えることを特徴とする移動ステージ。 - 【請求項２】その表面に被対象物を保持するステージ
を、ステージ面上の複数ポイントにおいてステージ面と
垂直な方向へ進退させて、被対象物が所定の平面と平行
となるようにステージ面の傾斜調整を行う移動ステージ
であって、 前記ステージ面において三角形を構成するように配置さ
れた第１乃至第３のポイントを、各々独立してステージ
面と垂直な方向へ進退させる第１乃至第３のアーム及び
アーム駆動手段と、 前記ステージが前記垂直な方向へ移動することを許容し
つつ、前記ステージと前記第１乃至第３のアームのそれ
ぞれとを、球面部を有するロッドと前記球面部を保持す
る球面軸受けとの組合せを用いて遊離不能に結合する３
つの結合部と、を備えることを特徴とする移動ステー
ジ。 - 【請求項３】請求項２の移動ステージにおいて、 前記３つの結合部が、 前記第１のアームに対し前記ステージを回動自在に支持
しつつ、第１のアームとステージとを、球面部を有する
ロッドと前記球面部を保持する球面軸受けとの組合せを
用いて遊離不能に結合する第１の結合部と、 前記第２のアームに対し前記ステージを回動自在に、か
つ前記第１のポイントと第２のポイントとを結ぶ直線方
向にだけ平行移動自在に支持しつつ、第２のアームとス
テージとを、球面部を有するロッドと前記球面部を保持
する球面軸受けとの組合せを用いて遊離不能に結合する
第２の結合部と、 前記第３のアームに対し前記ステージを回動自在に、か
つステージ面に平行な面内で２次元的に平行移動自在に
支持しつつ、第３のアームとステージとを、球面部を有
するロッドと前記球面部を保持する球面軸受けとの組合
せを用いて遊離不能に結合する第３の結合部と、からな
ることを特徴とする移動ステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21973296A JP3450129B2 (ja) | 1996-08-21 | 1996-08-21 | 移動ステージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21973296A JP3450129B2 (ja) | 1996-08-21 | 1996-08-21 | 移動ステージ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1064786A JPH1064786A (ja) | 1998-03-06 |
| JP3450129B2 true JP3450129B2 (ja) | 2003-09-22 |
Family
ID=16740119
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21973296A Expired - Fee Related JP3450129B2 (ja) | 1996-08-21 | 1996-08-21 | 移動ステージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3450129B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4556030B2 (ja) * | 2000-03-28 | 2010-10-06 | 独立行政法人 宇宙航空研究開発機構 | 角度調節装置 |
| KR102033906B1 (ko) * | 2018-02-12 | 2019-11-08 | 주식회사 파인솔루션 | 기판 척의 틸팅 승하강 장치 |
| JP7299808B2 (ja) * | 2019-09-19 | 2023-06-28 | 川崎重工業株式会社 | 傾き調整装置、及びそれを備えるロボット |
| WO2022196832A1 (ja) * | 2021-03-18 | 2022-09-22 | 川崎重工業株式会社 | ロボット装置、傾き調整装置 |
| JP2022190368A (ja) * | 2021-06-14 | 2022-12-26 | 川崎重工業株式会社 | 高さ調整装置および製造装置 |
-
1996
- 1996-08-21 JP JP21973296A patent/JP3450129B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1064786A (ja) | 1998-03-06 |
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