WO2023191448A1 - 기판 이송장치 및 기판 이송장치의 이상 판단방법 - Google Patents

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WO2023191448A1
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light source
interval
end effector
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현준진
송병규
민정기
고형식
배형환
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주식회사 유진테크
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    • H01L21/67781—Batch transfer of wafers

Definitions

  • the present invention relates to a substrate transfer device and a method for determining abnormalities in a substrate transfer device, and more specifically, to a substrate transfer device that detects abnormalities in a plurality of end-effectors and a method for determining abnormalities in the substrate transfer device. .
  • a plurality of devices suitable for each process characteristic are installed, and each of these different devices is equipped with substrate transfer devices for transferring substrates such as wafers.
  • a substrate transfer device in a semiconductor facility serves to transfer a substrate from a load-lock chamber to a substrate storage member (eg, FOUP, carrier, etc.) or from a substrate storage member to a load-lock chamber.
  • a substrate storage member eg, FOUP, carrier, etc.
  • a batch type substrate processing device a plurality of substrates are loaded in multiple stages on a substrate boat in a load lock chamber, and then a substrate processing process is performed on the plurality of substrates.
  • the substrate transfer device has two or more end-effectors, and allows two or more substrates to be taken out from the substrate storage member and loaded on the substrate boat at the same time. You can.
  • abnormalities such as sagging of the plurality of end effectors may occur, and if the distance between the plurality of end effectors changes depending on the abnormality of the plurality of end effectors, scratches may occur as the substrate enters the substrate boat or substrate storage member. Damage such as scratches may occur, or major accidents such as pushing the board boat over may occur.
  • Patent Document 1 Korean Patent Publication No. 10-2020-0130058
  • the present invention provides a substrate transfer device that detects abnormalities in a plurality of end-effectors, such as deflection of the end-effector, and prevents substrate transfer failure, and a method for determining abnormalities in the substrate transfer device.
  • a substrate transfer device includes a plurality of end effectors extending in a first direction and arranged in multiple stages in a second direction intersecting the first direction to each support a substrate; a gap adjuster that adjusts the gap between the plurality of end effectors; and an abnormality detection unit that detects abnormalities in the plurality of end effectors, wherein the plurality of end effectors include: a reference end effector whose position is fixed; And it may include a variable end effector whose distance from the reference end effector is adjusted based on the reference end effector.
  • the abnormality detection unit may include a light emitting unit and a light receiving unit, and the light emitting unit may include a plurality of light sources provided in numbers corresponding to the plurality of end effectors.
  • the plurality of light sources may be respectively fixed at different positions in the second direction.
  • the plurality of light sources include: a first light source corresponding to the reference end effector; and a second light source provided at a different position from the first light source in the second direction.
  • the second light source is comprised of a plurality, and the distance between the first light source and the second light source that are adjacent to each other may be different from the distance between the second light source and the second light source that are adjacent to each other.
  • the distance between the first light source and the second light source adjacent to each other may be greater than the minimum distance between the plurality of end effectors and may be smaller than the distance between the second light source and the second light source adjacent to each other.
  • the abnormality detection unit includes a light quantity measurement unit that measures the amount of light received by the light receiving unit; And it may further include an abnormality determination unit that determines an abnormality of the plurality of end effectors based on the measured amount of light.
  • the abnormality detection unit may further include a judgment standard storage unit that stores the amount of light received by the light receiving unit according to the interval between the plurality of end effectors.
  • variable end effector may be composed of a plurality of variable end effectors, and the plurality of variable end effectors may be symmetrical about the reference end effector.
  • a method for determining an abnormality in a substrate transfer device adjusts the distance between a plurality of end effectors including a reference end effector and a variable end effector and adjusts the amount of light received from the light emitting unit of the abnormality detecting unit to the light receiving unit of the abnormality detecting unit.
  • the stored light quantity in the second interval may be different from the stored light quantity in the first interval.
  • the second measuring process may be performed when the difference between the stored light quantity in the first interval and the light quantity measured in the first measuring process is within an allowable error range.
  • a process of measuring the amount of light received by the light receiver while setting the interval of the plurality of end effectors to an interval other than the first interval and the second interval and comparing it with the stored amount of light at intervals other than the above; It can be included.
  • the light emitting unit includes a plurality of light sources provided in numbers corresponding to the plurality of end effectors, and the first interval and the second interval may be determined depending on the positions of the plurality of light sources.
  • Light emitted from a first light source corresponding to the reference end-effector among the plurality of light sources may be at least partially blocked by the reference end-effector in a normal state.
  • the plurality of light sources further include a second light source provided at a different position from the first light source, and one or more of the variable end effectors may be positioned between the first light source and the second light source that are adjacent to each other.
  • the interval between the plurality of end effectors is adjusted by driving a motor, and the method may further include storing motor encoder values of the first interval and the second interval.
  • variable end effector may be composed of a plurality of variable end effectors, and the plurality of variable end effectors may be symmetrical about the reference end effector.
  • the substrate transfer device detects abnormalities such as sagging of a plurality of end-effectors through an abnormality detection unit, so that abnormalities in the end-effectors can be detected before transferring the substrate, and the end-effector Damage to the substrate and/or falling of the substrate boat due to poor transport can be prevented in advance.
  • the abnormality detection unit includes a light emitting unit and a light receiving unit, and the light emitting unit includes a plurality of light sources provided in numbers corresponding to the plurality of end effectors, sagging can be effectively detected for each of the plurality of end effectors.
  • the plurality of light sources includes a first light source corresponding to the reference end effector and a second light source (in the second direction) provided at a different position from the first light source, and the first light source and the second light source (in the second direction) ) can be respectively fixed in different positions.
  • the first light source irradiates light (for example, straight light) to the reference end effector in a steady state
  • the variable end effector irradiates light from the second light source according to the spacing adjustment of the plurality of end effectors through the spacing adjuster.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a substrate transfer device according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 2 is a schematic cross-sectional view illustrating an abnormality detection unit according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 3 is a conceptual diagram illustrating abnormality detection of a plurality of end effectors according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 4 is a flowchart showing a method for determining abnormalities in a substrate transfer device according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a substrate transfer device according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a schematic cross-sectional view illustrating an abnormality detection unit according to an embodiment of the present invention.
  • the substrate transfer device 100 extends in a first direction 11 and has a second direction 12 that intersects the first direction 11.
  • a plurality of end effectors 110 arranged in multiple stages to each support the substrate 10;
  • a gap adjuster 120 that adjusts the gap between the plurality of end effectors 110;
  • abnormality detection units 130 and 140 that detect abnormalities in the plurality of end effectors 110.
  • a plurality of end-effectors (110) may extend in the first direction (11) and are arranged (or stacked) in the second direction (12) intersecting the first direction (11) to form a multi-stage structure. This can be done, and the substrate 10 can be supported at each stage (i.e., each of the plurality of end effectors). That is, two or more substrates 10 corresponding to the number of end effectors 110 can be transferred at once.
  • the first direction 11 may be horizontal, forward or backward, or left and right
  • the second direction 12 may be perpendicular to the first direction 11 and may be vertical (or up and down). .
  • the plurality of end effectors 110 include a plurality of fingers arranged (or arranged) side by side in the first direction 11 and in a third direction that intersects both the first direction 11 and the second direction 12. It may have a fork shape including a finger, and may support the substrate 10 by contacting the lower surface of the substrate 10.
  • the third direction may be a direction that intersects the first direction 11 among the horizontal directions, and if the first direction 11 is the front-to-back direction, it may be the left-right direction, and the first direction 11 In the case of left and right directions, it may be forward and backward directions.
  • the plurality of end effectors 110 are quartz, aluminum oxide (Al 2 O 3 ), aluminum nitride (AlN), silicon carbide (SiC), titanium dioxide (TiO 2 ), silicon dioxide (SiO 2 ), etc. It may be made of ceramic material.
  • the substrate 10 may be a wafer, but is not particularly limited thereto, and may be a glass substrate, etc.
  • the plurality of end effectors 110 may be connected to each other on one side in the first direction 11 by the end effector hand 115, and each of the plurality of end effectors 110 may be fixed (or maintained) in a horizontal state.
  • the end effector hand 115 may be made of a different material from the plurality of end effectors 110, and may be made of a metal such as aluminum (Al), but is not particularly limited thereto.
  • Al aluminum
  • the spacing adjusting unit 120 may be connected to a plurality of end effectors 110 and may adjust the spacing of the plurality of end effectors 110.
  • the spacing adjuster 120 may adjust the spacing of the plurality of end effectors 110 in the second direction 12.
  • the spacing adjusting unit 120 may be connected to the end effector hand 115 and connected to a plurality of end effectors 110, and may adjust the spacing between the plurality of end effectors 110 through the end effector hand 115. It can be adjusted. At this time, when there are three or more end effectors 110, the spacing(s) between two adjacent end effectors 110 may all be the same.
  • the stacking interval of the substrate 10 of the substrate boat (not shown) may vary, and the stacking interval may vary through the spacing adjuster 120. Two or more substrates 10 can be stably loaded at the same time in response to various substrate boats (not shown) having different substrate 10 loading intervals.
  • the storage interval of the substrate 10 in a substrate storage member such as a FOUP (Front Opening Unified Pod) or carrier may be different from the loading interval of the substrate 10 in a substrate boat (not shown).
  • the spacing adjusting unit 120 the spacing of the plurality of end effectors 110 is adjusted to match the accommodating spacing of the substrate 10 of the substrate storing member (not shown), so that two or more substrates (not shown) can be stored from the substrate storing member (not shown). 10) can be taken out all at once.
  • two or more substrates 10 taken out from the substrate storage member (not shown) are placed in the substrate boat at the same time. It can be loaded at (not shown).
  • the spacing of the plurality of end effectors 110 is adjusted through the spacing adjusting unit 120 to match the stacking spacing of the substrate 10 of the substrate boat (not shown), so that the processed substrate 10 is placed in the substrate boat (not shown). Two or more can be removed from the city).
  • the processed substrate 10 can be stored in the substrate storage member (not shown) by adjusting the spacing of the plurality of end effectors 110 to match the storage spacing of the substrate 10 in the substrate storage member (not shown). there is.
  • the spacing adjusting unit 120 by adjusting the spacing of the plurality of end effectors 110 through the spacing adjusting unit 120, it is possible to respond to various substrate boats (not shown) with different stacking intervals for the substrate 10, and the substrate storage member ( Even if the storage interval of the substrate 10 (not shown) and the loading interval of the substrate 10 of the substrate boat (not shown) are different, response may be possible.
  • the abnormality detection units 130 and 140 may detect abnormalities in the plurality of end effectors 110, such as sagging of the plurality of end effectors 110.
  • the abnormality detection units 130 and 140 can detect sagging of the plurality of end effectors 110 and check (or determine) abnormalities in the plurality of end effectors 110, such as poor transport.
  • the end effector 110 When the end effector 110 is tilted due to sagging, the substrate 10 slips, or even when the substrate 10 is placed on a substrate boat (not shown), a protrusion protrudes from the inner surface of the substrate boat (not shown).
  • the substrate 10 may collide with a partition plate, substrate support tip, etc., causing damage such as scratches. Additionally, in the worst case, the sagging (or tilted) end effector 110 pushes the substrate boat (not shown) and causes it to fall, which may cause a major accident.
  • the substrate transfer device 100 of the present invention can detect abnormalities such as sagging of the plurality of end effectors 110 before transferring the substrate 10 through the abnormality detection units 130 and 140. Accordingly, by detecting abnormalities in the plurality of end effectors 110, damage to the substrate 10 and/or falling of the substrate boat (not shown) can be prevented in advance.
  • the plurality of end effectors 110 include a reference end effector 111 whose position is fixed; And it may include a variable end effector 112 whose distance from the reference end effector 111 is adjusted based on the reference end effector 111 .
  • the position of the reference end effector 111 may be fixed, and the position of the second direction 12 may be fixed. That is, the reference end effector 111 may not move in the second direction 12, and the variable end effector 112 may move in the second direction 12 with respect to the fixed reference end effector 111 to create a plurality of The spacing of the end effectors 110 may change.
  • the distance of the variable end effector 112 from the reference end effector 111 may be adjusted based on the reference end effector 111, and the variable end effector 112 may be moved in a second direction based on the reference end effector 111. By moving to 12), the distance between the reference end effector 111 and the variable end effector 112 can be changed, and the spacing between the plurality of end effectors 110 can be adjusted.
  • the substrate transfer device 100 transfers the substrate 10 by detecting abnormalities in the plurality of end effectors 110, such as sagging of the plurality of end effectors 110, through the abnormality detection units 130 and 140. It is possible to identify abnormalities in the plurality of end effectors 110 before the operation, and to prevent damage to the substrate 10 and/or the falling of the substrate boat (not shown) due to poor transport of the plurality of end effectors 110 in advance. You can.
  • the abnormality detection units 130 and 140 may include a light emitting unit 130 and a light receiving unit 140.
  • the light emitting unit 130 and the light receiving unit 140 may be disposed opposite to each other and may be disposed in the third direction intersecting the first direction 11 in which the end effector 110 extends, and may be disposed in the third direction intersecting the first direction 11 in which the end effector 110 extends.
  • at least one end effector 110 may be positioned between the light emitting unit 130 and the light receiving unit 140.
  • the light emitting unit 130 radiates light (e.g., straight light) toward the light receiving unit 140
  • a plurality of light sources may be generated depending on the light reception state (or whether or not the light is received) of the light 31 in the light receiving unit 140. It is possible to determine whether there is a sagging abnormality of the end effector 110.
  • the light emitting unit 130 and the light receiving unit 140 are located at the same height (or the same position in the second direction) and can transmit and receive horizontal light (i.e., the straight light).
  • the light 31 may be straight light or a through-beam such as a laser beam or infrared ray (IR).
  • the abnormality detection units 130 and 140 can detect the sagging of the plurality of end effectors 110 through the light emitting unit 130 and the light receiving unit 140 using optical sensing. For example, in a normal state, the light 31 is received by the light receiving unit 140, but the light 31 is obscured by the sagging end effector 110, and the light 31 is not received by the light receiving unit 140. The deflection of the end effector 110 can be detected in a non-detection method at all times. Conversely, in the normal state, the light 31 is blocked by the end effector 110, which is detected by the light 31, and is not received by the light receiving unit 140. Then, the end effector 110 sags and the light receiving unit 140 is detected. It is also possible to detect the deflection of the end effector 110 through a constant detection method for the end effector 110 through which the light 31 is received.
  • abnormalities in the plurality of end effectors 110 can be effectively detected by detecting the sagging of the end effectors 110 using a light sensing method through the light emitting unit 130 and the light receiving unit 140.
  • the light emitting unit 130 may include a plurality of light sources 131 provided in numbers corresponding to the plurality of end effectors 110 .
  • the plurality of light sources 131 may be provided in numbers corresponding to the plurality of end effectors 110, and may be provided in the same number as the plurality of end effectors 110, with one corresponding to each of the plurality of end effectors 110. It may be provided, but is not particularly limited thereto.
  • At least one light source 131 may be provided to correspond to each of the plurality of end effectors 110.
  • a light source 131 may be provided in correspondence with each of the plurality of end effectors 110, or one light source 131 may be provided in correspondence with the reference end effector 111, and the variable end effector 112 may be provided with a light source 131.
  • One or more (eg, two) light sources 131 may be provided correspondingly.
  • the largest number of light sources 131 may be provided corresponding to the variable end effector 112 furthest from the reference end effector 111.
  • the plurality of light sources 131 may emit (or irradiate) light 31, may irradiate the straight light, and may be optical fibers, lasers, etc.
  • the light receiving unit 140 may have a number of light-receiving surfaces corresponding to (for example, the same number) as the plurality of light sources 131, and the light irradiated from the plurality of light sources 131 on one light-receiving surface 31 )(s) can also be received.
  • the abnormality detection units 130 and 140 detect the sagging of the end effector 110 in the constant non-detection method using the plurality of light sources 131, thereby determining the abnormality of the gap between the plurality of end effectors 110. .
  • the abnormality detection units 130 and 140 may determine an abnormality in the distance between the plurality of end effectors 110 by detecting the sagging of the end effector 110 using the constant detection method using the plurality of light sources 131.
  • the gap between the plurality of end effectors 110 is abnormal by detecting the deflection of each of the plurality of end effectors 110. Accordingly, the gap between the plurality of end effectors 110 may cause damage to the substrate 10 due to poor spacing between the end effectors 110.
  • the light emitting unit 130 includes a plurality of light sources 131 provided in numbers corresponding to the plurality of end effectors 110, thereby effectively detecting sagging (or abnormality) for each of the plurality of end effectors 110. It is possible to prevent damage to the substrate 10 and/or the substrate boat (not shown) from falling due to poor spacing between the plurality of end effectors 110 .
  • the plurality of light sources 131 may be respectively fixed at different positions in the second direction 12.
  • the positions of the plurality of light sources 131 are adjusted according to the spacing of the plurality of end effectors 110. (131) The deflection of each of the plurality of end effectors 110 corresponding to each other is detected. In this case, a separate configuration such as a position adjustment unit for adjusting the positions of the plurality of light sources 131 is required.
  • the position of each of the plurality of light sources 131 in the second direction 12 is appropriately determined to determine the plurality of light sources (131). It is possible to effectively detect the deflection of the plurality of end effectors 110 without adjusting the positions of the plurality of light sources 131 while fixing the 131 at different positions in the second direction 12, and the deflection of the plurality of end effectors 110 ) Each deflection can be detected. Accordingly, a separate component such as the position adjustment unit may not be necessary, and the deflection of each of the plurality of end effectors 110 may be effectively sensed without a separate component such as the position adjustment unit.
  • the position of each of the plurality of light sources 131 in the second direction 12 can be appropriately determined according to the number of the plurality of end effectors 110, and the gap(s) between the two adjacent light sources 131 (all ) may be the same, or at least one of the distances between the two adjacent light sources 131 may be different.
  • the plurality of light sources 131 include a first light source 131a corresponding to the reference end effector 111; and a second light source 131b provided in a different position from the first light source 131a in the second direction 12.
  • the first light source 131a may be provided in correspondence with the reference end effector 111 and may detect sagging (or abnormality) of the reference end effector 111.
  • the first light source 131a may be fixed at the same position (or height) in the second direction 12 as the reference end effector 111, and the light 31 emitted from the first light source 131a is in a normal state. It may be at least partially blocked (or obscured) by the reference end effector 111.
  • the position of the first light source 131a in the first direction 11 and/or the position in the third direction may be different from the reference end effector 111.
  • the second light source 131b may be provided (or fixed) at a different position from the first light source 131a in the second direction 12, and the position of the first light source 131a and the second direction 12 (or height) may be different, and abnormalities (or sagging) of the variable end effector 112 may be detected.
  • the light 31 emitted from the second light source 131b moves above (or above) or below (or below) the variable end effector 112 according to the change in position (or movement) of the variable end effector 112.
  • the light may pass through and be received by the light receiving unit 140, or may be at least partially blocked (or obscured) by the variable end effector 112.
  • the light 31 emitted from the second light source 131b located adjacent to the top (or bottom) of the first light source 131a is the minimum distance between the plurality of end effectors 110 (or those adjacent to each other). It may pass to the top (or bottom) of the variable end effector 112 located adjacent to the top (or bottom) of the reference end effector 111 (minimum distance between the reference end effector and the variable end effector). And the light 31 emitted from the second light source 131b located adjacent to the top (or bottom) of the first light source 131a is the maximum distance between the plurality of end effectors 110 (or the reference end effector adjacent to each other).
  • variable end effector 112 located adjacent to the upper part (or lower part) of the reference end effector 111.
  • the light 31 emitted from the second light source 131b located adjacent to the top (or bottom) of the first light source 131a is between the minimum and maximum intervals of the plurality of end effectors 110.
  • the minimum spacing between the plurality of end effectors 110 may be the minimum spacing that can be adjusted by the spacing adjusting unit 120, and the plurality of ends when each end effector hand 115 is in contact with each other and overlapped. This may be the spacing of the effector 110. Meanwhile, the minimum spacing between the plurality of end effectors 110 is greater than the thickness of the substrate 10 so that the (multiple) substrates 10 can be supported (in multiple stages) between the plurality of end effectors 110. It may be possible. And the maximum spacing between the plurality of end effectors 110 may be the maximum spacing that can be adjusted by the spacing adjuster 120.
  • the maximum spacing between the plurality of end effectors 110 may be smaller than the height of the substrate storage member (not shown) and/or the substrate boat (not shown), and the (each) variable end effector 112 Is the distance at which the adjacent reference end effector 111 and the variable end effector 112 can be spaced apart from each other without blocking the light 31 emitted from the non-corresponding (or non-corresponding) second light source 131b. You can.
  • the second light source 131b may be composed of a plurality, and two or more may be provided to effectively detect the deflection (or abnormality) of the variable end effector 112, and the variable end effector 112 may be provided in plurality.
  • a plurality of them may be provided corresponding to the number of variable end effectors 112 (or depending on the number). Through this, it is possible to effectively detect the deflection (or abnormality) of the variable end effector 112 corresponding to each second light source 131b.
  • each variable end effector 112 can be detected through the (plurality of) second light sources 131b provided in response to each variable end effector 112, and the first light source 112 It is possible to effectively detect the deflection (or abnormality) of the plurality of end effectors 110 together with the reference end effector 111 through (131a).
  • at least one second light source 131b may be provided in correspondence with each variable end effector 112, and the number of second light sources 131b provided in correspondence with each variable end effector 112 may be determined by the variable end effector 112. It may vary depending on the effector 112 (eg, depending on the position of the variable end effector).
  • the distance between the first light source 131a and the second light source 131b adjacent to each other may be different from the distance between the second light source 131b and the second light source 131b adjacent to each other.
  • the plurality of light sources 131 are arranged at equal intervals (that is, when the distance between the first light source and the second light source adjacent to each other and the distance between the adjacent second light source and the second light source are the same)
  • the plurality of end effectors 110 are always separated. Anomalies in (110) must be detected.
  • the spacing adjusting unit 120 After the spacing of the plurality of end effectors 110 is adjusted by the spacing adjusting unit 120 to be different from the regular interval, it is difficult to accurately (or precisely) adjust the spacing of the plurality of end effectors 110 to the regular interval. , whenever the spacing of the plurality of end effectors 110 is adjusted to the regular interval, a slight (or minute) error may occur in the regular interval.
  • the distance between the first light source 131a and the second light source 131b adjacent to each other may be different from the distance between the second light source 131b and the second light source 131b adjacent to each other.
  • abnormalities in the plurality of end effectors 110 can be determined at two or more (or multiple) intervals, and accordingly, even a slight deflection of the end effectors 110 is detected to detect abnormalities in the plurality of end effectors 110. This can be determined, and the accuracy of determining abnormalities in the plurality of end effectors 110 can be improved.
  • the reference end effector 111 e.g., an interval of the plurality of end effectors 111.
  • the spacing of the plurality of end effectors 110 is increased or decreased, and the light receiving unit ( 140), the amount of light received can be (secondarily) measured.
  • the variable end effector 112 is covered by the variable end effector 112 at least at the light receiving unit 140.
  • each variable end effector 112 blocks the light 31 emitted from the corresponding second light source 131b according to the distance (in the second direction) from the reference end effector 111 (i.e. The spacing between the plurality of end effectors may vary.
  • the light receiving unit 140 receives light at a plurality of intervals at which all variable end effectors 112 can block the light 31 emitted from the corresponding second light source 131b at least once. The amount of light can be measured. Through this, when it is determined that the plurality of end effectors 110 are abnormal, it is possible to know which of the plurality of end effectors 110 has sagging (or abnormality).
  • the interval between the plurality of end effectors 110 is increased from the interval where only the light 31 emitted from the first light source 131a is obscured by the reference end effector 111.
  • the distance between the first and second light sources 131a and 131b adjacent to each other may be greater than or equal to the minimum distance between the plurality of end effectors 110, and the distance between the first and second light sources 131a and 131b adjacent to each other may be greater than or equal to the minimum distance between the plurality of end effectors 110. It may be smaller than the distance of .
  • variable end effector 112 adjacent to the end effector 111 cannot block the light emitted from the second light source 131b adjacent to the first light source 131a. That is, when the distance between the first light source 131a and the second light source 131b adjacent to each other is smaller than the minimum distance between the plurality of end effectors 110, the variable end effector 112 adjacent to the reference end effector 111 Accurate (or precise) abnormality detection (or Sag detection) becomes impossible.
  • the second light source 131b adjacent to the first light source 131a at a distance smaller than the minimum spacing of the plurality of end effectors 110 is the variable end effector 112 adjacent to the reference end effector 111.
  • An abnormality in the variable end effector 112 adjacent to the reference end effector 111 can be detected only when it sags under a specific condition (for example, inclination). That is, the second light source 131b adjacent to the first light source 131a at a distance smaller than the minimum spacing of the plurality of end effectors 110 overlaps the role of the first light source 131a and causes the reference end effector 111 to sag. (or abnormality) may be detected, or abnormality (or sagging) may not be detected for the variable end effector 112 adjacent to the lower part of the reference end effector 111.
  • variable end effector 112 adjacent to the reference end effector 111 is the second light source 131b adjacent to the first light source 131a. It becomes impossible to block the light emitted from the first light source 131a, or the light emitted from at least one second light source 131b, such as the second light source 131b adjacent to the first light source 131a, is adjusted to the spacing of the plurality of end effectors 110. Each is obscured by two or more variable end effectors 112. In this case, it is impossible to accurately detect abnormalities (or sagging) of the plurality of end effectors 110, such as the variable end effector 112 adjacent to the reference end effector 111.
  • variable end effector 112 adjacent to the reference end effector 111 cannot block the light emitted from the second light source 131b adjacent to the first light source 131a
  • the reference end effector 111 Abnormalities (or sagging) cannot be detected with respect to the variable end effector 112 adjacent to (111).
  • the light emitted from the at least one second light source 131b is obscured by the two or more variable end effectors 112, it is necessary to determine which variable end effector 112 has an abnormality (or sagging).
  • variable end effector 112 It becomes difficult to determine whether the light emitted from the at least one second light source 131b is obscured by the variable end effector 112 in the normal state or by the variable end effector 112 in which an abnormality (or sagging) has occurred. It becomes difficult to do.
  • the distance between the first light source 131a and the second light source 131b adjacent to each other is greater than the minimum distance between the plurality of end effectors 110, and the distance between the adjacent second light source 131b and the second light source 131b By making it smaller than the distance, it is possible to accurately detect (or determine) the abnormality (or sagging) of each of the plurality of end effectors 110.
  • the variable end effector 112 adjacent to the reference end effector 111 allows the light emitted from the second light source 131b adjacent to the first light source 131a to pass from bottom to top (or from top to bottom).
  • the distance between the first light source 131a and the second light source 131b adjacent to each other can be adjusted to eliminate the burden (or difficulty) of accurately adjusting the spacing of the plurality of end effectors 110 to the regular interval. It may be desirable to have a larger than minimum spacing of the end effectors 110.
  • the substrate transfer device 100 includes a first light source 131a corresponding to the reference end effector 111 and a second light source 131a provided at a different position from the first light source 131a in the second direction 12.
  • the plurality of light sources 131 including the light source 131b are each fixed at different positions in the second direction 12, so that the first light source 131a irradiates light to the reference end effector 111 in the normal state.
  • the variable end effector 112 can be allowed to pass through the light 31 emitted from the second light source 131b.
  • the abnormality detection units 130 and 140 include a light quantity measuring unit (not shown) that measures the amount of light received by the light receiving unit 140; And it may further include an abnormality determination unit (not shown) that determines an abnormality of the plurality of end effectors 110 based on the measured amount of light.
  • the light quantity measuring unit can measure the amount of light received by the light receiving unit 140, and can also measure the amount of light 31 emitted from each light source 131. The total amount of light irradiated 31 can also be measured. Meanwhile, the amount of light 31 emitted from each light source 131 may vary depending on the distance from the first light source 131a to the first light source 131a.
  • the amount of light 31 emitted from the second light source 131b is (relatively) reduced or (always) applied to the reference end effector 111 before an abnormality (or sagging) occurs in the reference end effector 111.
  • the amount of light 31 from the first light source 131a, which blocks the light 31 may be (relatively) reduced to reduce power consumption due to the emission of the plurality of light sources 131.
  • the light quantity measuring unit not only turns on/off to determine whether the light 31 is received by the light receiving unit 140, but also determines the end effector (110) by deflecting the end effector 110. It is also possible to check how much (or how much) 110) is blocking the light 31. Meanwhile, the light quantity measuring unit (not shown) may determine how many end effectors 110 have abnormalities based on the total amount of light received by the light receiving unit 140 when light 31 is irradiated from a plurality of light sources 131. there is.
  • the abnormality determination unit can determine the abnormality of the plurality of end effectors 110 based on the amount of light measured by the light quantity measurement unit (not shown), and can determine the deflection of each of the plurality of end effectors 110. And, the gap between the plurality of end effectors 110 can be determined. At this time, if the light quantity measured by the light quantity measurement unit (not shown) differs by more than a predetermined amount from the normal state (or the normal state), it can be determined as a deflection of the end effector 110, and a plurality of end effectors ( 110) It can be judged based on the distance between the teeth.
  • a plurality of end effectors 110 it may be judged as more than the distance between the end effectors (or deflection of the end effector), and when the amount of light measured by the light quantity measurement unit (not shown) differs by 50% from usual, the distance between the plurality of end effectors 110 (or more) Alternatively, it may be determined by the deflection of the end effector.
  • the predetermined amount may be set as an appropriate amount that can accurately determine the deflection of the end effector 110 (or the distance between the plurality of end effectors).
  • the end effector 110 when the end effector 110 sags (or the gap between the plurality of end effectors exceeds), the end effector 110 completely blocks or escapes the light 31 emitted from the light source 131, Due to a slight error depending on the situation, the end effector 110 may sag slightly more or less than the position of the light 31 emitted from the light source 131 (or the position of the straight light). If the end effector 110 sags slightly more or less than the position of the light 31 emitted from the light source 131, a portion of the total amount of light 31 emitted from the light source 131 is The light may be received by the light receiving unit 140.
  • the end effector 110 is deflected (or the gap between the plurality of end effectors is increased). ), if a slight error occurs depending on the situation, it is not possible to determine this as a deflection of the end effector 110 (or a gap between the plurality of end effectors).
  • the light quantity measured by the light quantity measurement unit (not shown) changes even slightly, it is judged to be a deflection of the end effector 110 (or more than the gap between the plurality of end effectors), the load of the end effector 110, etc. Since a slight change in the amount of light may occur due to a slight deflection or a slight shaking due to movement of the end effector 110, it must not be due to a deflection of the end effector 110 (or more than the gap between the plurality of end effectors). It is determined by the deflection of the end effector 110 (or the distance between the plurality of end effectors).
  • the deflection of the end effector 110 it may be desirable to judge based on the distance between the teeth (or more), but it is not particularly limited thereto.
  • the substrate (10) is stored according to the substrate 10 loading interval of the substrate boat (not shown) and/or the substrate 10 storage interval of the substrate storage member (not shown). 10) There are cases where transfer is possible. For example, when the substrate 10 loading interval of the substrate boat (not shown) and/or the substrate 10 storage interval of the substrate storage member (not shown) are wide, the end effector 110 may slightly sag. Even so, there is no difficulty in loading or storing the substrate 10, so the substrate 10 can be loaded or stored.
  • the substrate 10 loading interval of the substrate boat (not shown) and/or the substrate 10 storage interval of the substrate storage member (not shown) are narrow, even if the end effector 110 sags slightly, Since damage to the substrate 10, such as scratches, can easily occur, even a small deflection of the end effector 110 needs to be judged based on the distance between the plurality of end effectors 110.
  • the predetermined amount may be determined according to the loading interval of the substrate 10 of the substrate boat (not shown) and/or the storage interval of the substrate 10 of the substrate storage member (not shown). For example, in proportion to the substrate 10 loading interval of the substrate boat (not shown) and/or the substrate 10 storage interval of the substrate storage member (not shown), the substrate of the substrate boat (not shown) ( 10) The narrower the stacking interval and/or the substrate 10 storage interval of the substrate storage member (not shown), the narrower it may be, and the stacking interval of the substrate 10 of the substrate boat (not shown) may be smaller. The wider the space between the substrates 10 in the substrate storage member (not shown), the larger it can be.
  • the abnormality detection units 130 and 140 measure the amount of light received by the light receiving unit 140 through the light quantity measuring unit (not shown) to detect abnormalities in the plurality of end effectors 110 (for example, sagging of the end effectors).
  • the substrate (10) is placed according to the substrate 10 loading interval of the substrate boat (not shown) and/or the substrate 10 storage interval of the substrate storage member (not shown). 10) It is possible to accurately determine whether transfer is possible.
  • maintenance of the end effector 110 may be determined according to the amount of light measured by the light amount measurement unit (not shown).
  • Sagging of the end effector 110 may be caused by cracking of the end effector 110 made of ceramic material or loosening of a bolt connecting the end effector 110 and the end effector hand 115, and the cause of the sagging may be Depending on the condition, the slope (or angle) of the deflection may vary. Accordingly, the cause of the sagging may be determined by the difference in the amount of light received by the light receiving unit 140 due to the difference in the slope of the sagging. If the end effector 110 is broken, the end effector 110 must be replaced. However, if only the bolt is loose, only the bolt needs to be tightened.
  • the transfer of the substrate 10 must be stopped for a while and maintenance of the end effector 110 is performed. It can be done.
  • the sagging occurs due to loosening of the bolt, the sagging gradually occurs depending on the degree of loosening of the bolt, so maintenance of the end effector 110 can be determined after the inclination of the sagging exceeds a predetermined inclination (or predetermined angle).
  • the slope of the deflection can be obtained through calculation using the light quantity measured by the light quantity measurement unit (not shown).
  • the abnormality detection units 130 and 140 may further include a judgment standard storage unit (not shown) that stores the amount of light received by the light receiver 140 according to the interval between the plurality of end effectors 110.
  • the judgment standard storage unit (not shown) may store the amount of light received by the light receiving unit 140 according to the interval between the plurality of end effectors 110.
  • the amount of light received by the light receiving unit 140 is measured for each spacing of the plurality of end effectors 110 according to the spacing of the plurality of end effectors 110.
  • the amount of light received by the light receiving unit 140 may be stored in a judgment standard storage unit (not shown), and each time the amount of light received by the light receiving unit 140 is measured at each interval of the plurality of end effectors 110, a plurality of Depending on the spacing of the end effector 110, the amount of light received by the light receiving unit 140 may be stored (or updated) in a judgment standard storage unit (not shown).
  • the abnormality judging unit (not shown) is determined by the light quantity measuring unit (not shown). Now) the measured amount of light can be compared with the amount of light received by the light receiving unit 140 at the measurement interval of the plurality of end effectors 110 stored in the judgment standard storage unit (not shown). Here, if there is a difference between the measured amount of light and the amount of light received by the light receiving unit 140 at the measurement interval, it can be determined that there is an abnormality in the plurality of end effectors 110, and the measured amount of light and the measurement interval may be determined to be abnormal.
  • the difference in the amount of light received by the light receiving unit 140 is outside the tolerance range, it may be determined that there is an abnormality in the plurality of end effectors 110.
  • the light quantity is measured at multiple (or more than two) (measurement) intervals, and the measured light quantity at each interval and the light quantity stored in the judgment standard storage unit (not shown) (i.e., the light quantity received by the light receiving unit) are respectively calculated. Comparisons can be made, and abnormalities in the plurality of end effectors 110 can be determined at each interval.
  • variable end effectors 112. There may be a plurality of variable end effectors 112. Accordingly, three or more substrates 10 can be transferred at once, and the transfer efficiency of the substrates 10 can be further improved. As the number of variable end effectors 112 increases, arrangement of a plurality of variable end effectors 112 may become important.
  • FIG. 3 is a conceptual diagram for explaining abnormality detection of a plurality of end effectors according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 (a) shows the light quantity measurement of the initial interval (or maximum interval) of the plurality of end effectors
  • Figure 3(b) shows the light quantity measurement at the second interval of the plurality of end effectors
  • Figure 3(c) shows the light quantity measurement at the third interval of the plurality of end effectors
  • Figure 3(d) shows the light quantity measurement at the third interval of the plurality of end effectors. It represents the light quantity measurement of the critical interval (or minimum interval) of the end effector.
  • Figure 3(e) is a graph showing the amount of light received at the light receiving unit for each measurement time of the amount of light.
  • the plurality of variable end effectors 112 may be symmetrical about the reference end effector 111, and may be positioned on both sides (or above and below) in the second direction 12 of the reference end effector 111. ) It can be positioned (or arranged) symmetrically. When a plurality of variable end effectors 112 are positioned symmetrically about the reference end effector 111, a pair of variable end effectors 112 are created at the same distance from the reference end effector 111, thereby maintaining the normal state.
  • the number of the plurality of intervals at which all the variable end effectors 112 can block the light 31 emitted from the corresponding second light source 131b at least once can be reduced, and a plurality of variable end effectors ( 112) can be reduced to half (i.e., half the number). That is, the number of intervals for measuring the amount of light received by the light receiving unit 140 can be minimized.
  • the amount of light received by the light receiving unit 140 can be measured at four intervals. As shown in (a) of FIG. 3, at the maximum interval (or initial interval) of the plurality of end effectors 110, only the light 31 emitted from the first light source 131a is transmitted to the reference end effector 111 in the normal state. The amount of light received by the light receiving unit 140 can be first measured at the maximum interval (eg, first interval) of the plurality of end effectors 110.
  • the light 31 irradiated from the second light source 131b(s) above the first light source 131a passes through the lower portion of each variable end effector 112 above the reference end effector 111 to the light receiving unit 140. ) can be received.
  • the light 31 emitted from the second light source 131b(s) below the first light source 131a passes through the upper part of each of the variable end effectors 112 below the reference end effector 111 to the light receiving unit 140. ) can be received.
  • the light 31 emitted from the outermost second light source 131b (s) in the normal state is also reduced by the reference end effector.
  • the amount of light received by the light receiving unit 140 may be measured for a second time at a second interval covered by the pair of variable end effectors 112 that are furthest (or outermost) from 111 .
  • the light 31 emitted from the second light source 131b adjacent to the upper part of the first light source 131a passes through the lower part of the variable end effector 112 adjacent to the upper part of the reference end effector 111 to the light receiving unit 140. ) can be received.
  • the light 31 emitted from the second light source 131b adjacent to the lower part of the first light source 131a passes through the upper part of the variable end effector 112 adjacent to the lower part of the reference end effector 111 to the light receiving unit 140. can be received.
  • the distance between the plurality of end effectors 110 is (further) reduced and the light irradiated from the second light source (131b)(s) adjacent to the first light source (131a) in the normal state.
  • the amount of light received by the light receiving unit 140 may be measured a third time at a third interval where the light 31 is obscured by a pair of variable end effectors 112 adjacent to the reference end effector 111. At this time, the light 31 emitted from the first light source 131a may be obscured by the reference end effector 111.
  • the light 31 emitted from the outermost second light source 131b at the top of the first light source 131a passes through the upper outermost variable end effector 112 and is received by the light receiving unit 140. You can.
  • the light 31 emitted from the outermost second light source 131b below the first light source 131a passes through the lower part of the lower outermost variable end effector 112 and is received by the light receiving unit 140. It can be.
  • the spacing between the plurality of end effectors 110 can be reduced to the minimum spacing (or critical spacing) of the plurality of end effectors 110, and the minimum spacing of the plurality of end effectors 110 In the interval, only the light 31 emitted from the first light source 131a may be obscured by the reference end effector 111 in the normal state, and the minimum interval between the plurality of end effectors 110 (e.g., The amount of light received by the light receiving unit 140 can be measured for the fourth time (at intervals of 4).
  • the light 31 irradiated from the second light source 131b(s) above the first light source 131a passes through the upper portion of each variable end effector 112 above the reference end effector 111 to the light receiving unit 140. ) can be received.
  • the light 31 irradiated from the second light source 131b(s) below the first light source 131a passes through the bottom of each variable end effector 112 below the reference end effector 111 to the light receiving unit 140. can be received.
  • Figure 4 is a flowchart showing a method for determining abnormalities in a substrate transfer device according to another embodiment of the present invention.
  • a method for determining an abnormality in a substrate transfer device adjusts the distance between a plurality of end effectors including a reference end effector and a variable end effector and adjusts the amount of light received from the light emitting unit of the abnormality detecting unit to the light receiving unit of the abnormality detecting unit.
  • a process of storing at intervals of the plurality of end effectors (S100); A process of first measuring the amount of light received by the light receiving unit while the spacing of the plurality of end effectors is set to a first spacing (S200); Comparing the stored light quantity in the first interval with the light quantity measured in the first measuring process (S200) (S300); A process of second measuring the amount of light received by the light receiving unit while the spacing of the plurality of end effectors is set to a second spacing different from the first spacing (S400); and a process (S500) of comparing the stored light quantity in the second interval with the light quantity measured in the second measuring process (S400).
  • the amount of light received from the light emitting unit of the abnormality detection unit to the light receiving unit of the abnormality detection unit is adjusted according to the intervals of the plurality of end-effectors.
  • the amount of light received from the light emitting unit of the anomaly detection unit to the light receiving unit of the anomaly detection unit while adjusting the spacing of the plurality of end effectors including the reference end effector and the variable end effector using an interval adjustment unit capable of adjusting the spacing of the plurality of end effectors. Can be stored in the judgment standard storage unit at intervals of the plurality of end effectors. In this way, the amount of light received by the light receiving unit stored in the judgment standard storage unit at each interval of the plurality of end effectors can be used to detect (or determine) an abnormality in the plurality of end effectors.
  • the plurality of end effectors may extend in a first direction, may include a reference end effector and a variable end effector, and may be spaced apart from each other in a second direction intersecting the first direction by the spacing adjustment unit. This can be adjusted.
  • the position of the reference end effector may be fixed, and the position of the second direction may be fixed. That is, the reference end effector may not move (or rise or fall) in the second direction, and the variable end effector may move in the second direction with respect to the fixed reference end effector, thereby reducing the distance between the plurality of end effectors. It can change.
  • the distance between the variable end effector and the reference end effector may be adjusted based on the reference end effector, and the variable end effector may be moved in the second direction based on the reference end effector to form the reference end effector and the reference end effector.
  • the distance between variable end effectors can be changed, and the spacing between the plurality of end effectors can be adjusted.
  • the judgment standard storage unit may store the amount of light received by the light receiving unit according to the interval between the plurality of end effectors. At this time, the amount of light received by the light receiving unit is measured at each interval of the plurality of end effectors while changing the spacing of the plurality of end effectors in advance, and the amount of light received by the light receiving unit is determined according to the spacing of the plurality of end effectors. It may be stored in a standard storage unit, and each time the amount of light received by the light receiving unit is measured at each interval of the plurality of end effectors, the amount of light received by the light receiving unit may be stored (or updated) according to the interval of the plurality of end effectors. It may be possible. At this time, the amount of light received by the light receiving unit may be stored in the judgment standard storage unit according to the interval between the plurality of end effectors in a normal state.
  • the amount of light received by the light receiving unit is first measured while the spacing between the plurality of end effectors is set to a first spacing (S200).
  • the amount of light received by the light receiving unit may be first measured by the light quantity measuring unit of the abnormality detection unit, and the first measured light quantity may be measured by the judgment standard storage unit. It can be used to compare the amount of light received by the light receiving unit at the first interval stored in .
  • the spacing of the plurality of end effectors can be adjusted to the first spacing through the spacing adjusting unit, and the amount of light received by the light receiving unit at the first spacing can be (first) measured.
  • the light quantity measuring unit may measure the amount of light received by the light receiving unit, may measure the amount of light emitted from each light source of the light emitting unit, or may measure the total amount of light emitted from a plurality of the light sources. .
  • the light quantity measuring unit not only determines whether light is received by the light receiving unit on/off, but also determines how much (or how much) the end effector blocks the light due to the deflection of the end effector. You can also check . Meanwhile, the light quantity measurement unit may determine how many of the end effectors have abnormalities based on the total amount of light received by the light receiving unit when light is irradiated from the plurality of light sources.
  • the stored light quantity in the first interval is compared with the light quantity measured in the first measurement process (S200) (S300).
  • the light quantity at the first interval stored in the judgment standard storage unit and the light quantity measured in the first measurement process (S200) may be compared in the abnormality determination unit of the abnormality detection unit. For example, if there is a difference between the amount of light received by the light receiver at the stored first interval and the amount of light measured in the first measurement process (S200), it may be determined that the plurality of end effectors are abnormal. .
  • the abnormality determination unit may determine an abnormality of the plurality of end effectors based on the amount of light measured by the light quantity measurement unit, determine a deflection of each of the plurality of end effectors, and determine an abnormality of the distance between the plurality of end effectors. can do.
  • the light quantity measured by the light quantity measurement unit differs by more than a predetermined amount (e.g., outside the tolerance range) compared to normal (or the normal state), it can be determined as sagging of the end effector. , it can be determined based on the distance between the plurality of end effectors.
  • a predetermined amount e.g., outside the tolerance range
  • the distance between the plurality of end effectors is greater than or equal to It may be judged as (deflection of the end effector) or, when the amount of light measured by the light quantity measurement unit differs by 50% from usual, it may be determined as the distance between the plurality of end effectors (or the deflection of the end effector).
  • the predetermined amount may be set as an appropriate amount that can accurately determine the deflection of the end effector (or the distance between the plurality of end effectors).
  • the end effector when the end effector sags (or the gap between the plurality of end effectors exceeds), the end effector completely blocks or escapes the light emitted from the light source, and due to a slight error depending on the situation, the end effector completely blocks the light emitted from the light source.
  • the end effector may sag slightly more or less than the position of light emitted from the light source (or the position of straight light). When the end effector sags slightly more or less than the position of the light emitted from the light source, a portion of the total amount of light emitted from the light source may be received by the light receiving unit.
  • the amount of light measured by the light quantity measurement unit changes even slightly, it is judged as deflection of the end effector (or more than the gap between the plurality of end effectors), if there is a slight deflection due to the load of the end effector, etc. Since slight shaking due to movement of the effector may cause a slight change in the amount of light, the deflection of the end effector (or the distance between the plurality of end effectors) does not exceed the deflection of the end effector (or the distance between the plurality of end effectors). It is judged based on the distance between effectors).
  • the amount of light measured by the light quantity measurement unit changes by more than 50% (i.e., the amount of light emitted from the light source is 50%), it is judged as sagging of the end effector (or more than the gap between the plurality of end effectors). It may be desirable to do so, but is not particularly limited thereto.
  • the amount of light received by the light receiving unit is measured a second time while the spacing of the plurality of end effectors is set to a second spacing that is different from the first spacing (S400).
  • the amount of light received by the light receiving unit may be measured for the second time while the spacing of the plurality of end effectors is set to a second spacing that is different from the first spacing.
  • the spacing of the plurality of end effectors can be adjusted to the second interval through the spacing adjustment unit to (secondly) measure the amount of light received by the light receiving unit at the second interval, and the second measured light amount is It can be used to compare the amount of light received by the light receiving unit at the second interval stored in the judgment standard storage unit.
  • the second interval may be different from the first interval.
  • the stored light quantity at the second interval is compared with the light quantity measured in the second measurement process (S400) (S500).
  • the amount of light at the second interval stored in the judgment standard storage unit may be compared with the amount of light measured in the second measurement process (S400). For example, if there is a difference between the amount of light received by the light receiver at the stored second interval and the amount of light measured in the second measurement process (S400), it may be determined that the plurality of end effectors are abnormal. . In addition, when the difference between the amount of light received by the light receiver at the stored second interval and the amount of light measured in the second measurement process (S400) is outside the tolerance range, it is determined that the plurality of end effectors are abnormal. You may.
  • the abnormality determination unit determines the light quantity (now) measured by the light quantity measurement unit at the measurement interval (for example, the first interval and the second interval) of the plurality of end effectors stored in the judgment standard storage unit. It can be compared with the amount of light received by the light receiving unit.
  • the abnormality determination unit may determine an abnormality of the plurality of end effectors when there is a difference between the measured amount of light and the amount of light received by the light receiving unit at the measurement interval. Additionally, the abnormality determination unit may determine an abnormality of the plurality of end effectors when the difference between the measured amount of light and the amount of light received by the light receiving unit at the measurement interval is outside the tolerance range.
  • the light quantity is measured at least at the first interval and the second interval (i.e., two or more (measurement) intervals), and the measured light quantity at each interval is combined with the light quantity stored in the judgment standard storage unit (i.e., the light received by the light receiving unit). (amount of light received) can be compared, and abnormalities in the plurality of end effectors can be determined at each interval.
  • a process of storing the amount of light received by the light receiving unit for each interval of the plurality of end effectors (S100), a process of first measuring (S200); A process (S300) of comparing the amount of light measured in the first measurement process (S200); The second measuring process (S400); And the process of comparing the amount of light measured in the second measuring process (S400) (S500) is performed before performing (or starting) the substrate transfer (process) by supporting the substrate on the plurality of end effectors (the plurality of end effectors). It can be performed (in a state where the effector does not support the substrate).
  • abnormalities in the substrate transfer device such as abnormalities in the plurality of end effectors, are determined through the abnormality determination method of the substrate transfer device of the present invention, and only when there is no abnormality in the plurality of end effectors, the substrate transfer (process) ) can be started (or performed).
  • the stored light quantity in the second interval may be different from the stored light quantity in the first interval. That is, the number (or numbers) of the light sources that emit light that is obscured by the plurality of end effectors in the normal state may be different in the first interval and the second interval.
  • the intervals of the plurality of light sources are (all) the same, abnormalities in the plurality of end effectors cannot be determined (or detected) at the plurality (or more than two) intervals, so at least one of the intervals of the plurality of light sources One interval may be different from the other interval(s).
  • the number (or number) of the end effectors that block the light emitted from each light source at different first intervals and the second intervals varies, and the stored light quantity at the first interval and the The amount of light in the stored second interval may be different.
  • the spacing of the plurality of end effectors may be determined based on the light quantity of each interval, and the plurality of end effectors may be detected in each interval. It is possible to effectively determine abnormalities, and it is also possible to know which end effector has abnormalities such as sagging.
  • the second measuring process (S400) may be performed when the difference between the stored light quantity at the first interval and the light quantity measured in the first measuring process (S200) is within an allowable error range.
  • the second measuring process (S400) may be performed (only) when the difference between the stored light quantity at the first interval and the light quantity measured in the first measuring process (S200) is within the tolerance range. . That is, if the difference between the stored light quantity at the first interval and the light quantity measured in the first measurement process (S200) is outside the tolerance range, an abnormality such as sagging has already occurred in the plurality of end effectors. Therefore, the substrate transfer device, such as the plurality of end effectors, can be maintained without performing the second measuring process (S400).
  • the second measuring process (S400) can be performed to detect the deflection of the remaining end effector, and the amount of light received by the light receiving unit at the second interval can be (secondly) measured.
  • the second measuring process (S400) may be performed to detect the deflection of the remaining end effector.
  • the method for determining abnormalities in a substrate transfer device additionally measures the amount of light received by the light receiving unit while setting the interval between the plurality of end effectors to an interval other than the first interval and the second interval, and measures the amount of light received by the light receiving unit and stores the other than the first interval.
  • a process of comparing the amount of light at the interval (S600) may be further included.
  • the amount of light received by the light receiving unit can be measured and compared with the stored amount of light at intervals other than the above (S600) ). If an abnormality (or sagging) is not detected for all of the plurality of end effectors even through the first measurement and the second measurement, the amount of light received by the light receiving unit is additionally measured in areas other than the first interval and the second interval. It can be measured, and the measured light quantity can be compared with the light quantity at intervals other than the above stored in the judgment standard storage unit.
  • the process of comparing the light quantity at intervals other than the above (S600) may be repeated (performed) until an abnormality is detected for all of the plurality of end effectors, and the first measuring process (S200) and the In the second measuring process (S400) and the (previous) process of comparing the amount of light at intervals other than the above (S600), the amount of light received by the light receiving unit may be repeated at different (or different) intervals in which the amount of light is not measured.
  • the light receiving unit at the first interval, the second interval, ..., the nth interval (for example, the third interval, the fourth interval, etc.)
  • the amount of light received can be measured, the measured light amount can be compared with the light amount at each interval stored in the judgment standard storage unit, and abnormalities in the plurality of end effectors can be determined.
  • the light emitting unit may include a plurality of light sources provided in numbers corresponding to the plurality of end effectors.
  • a plurality of light sources may be provided in numbers corresponding to the plurality of end effectors, may be provided in the same number as the plurality of end effectors, and may be provided in corresponding numbers for each of the plurality of end effectors, but are not particularly limited thereto. No.
  • At least one light source may be provided to correspond to each of the plurality of end effectors, one light source may be provided to correspond to each of the plurality of end effectors, and one light source may be provided to correspond to the reference end effector.
  • the light source is provided, and one or more (for example, two) light sources may be provided corresponding to the variable end effector. At this time, the largest number of light sources may be provided corresponding to the variable end effector furthest from the reference end effector.
  • the plurality of light sources may emit (or irradiate) light, may radiate straight light, and may be optical fibers, lasers, etc.
  • the light receiving unit may have a corresponding number (e.g., the same number) of light-receiving surfaces as the plurality of light sources, or may receive light(s) emitted from the plurality of light sources on one light-receiving surface. .
  • the light receiving unit may be desirable for the light receiving unit to have the light receiving surface corresponding to the plurality of light sources, but the present invention is not particularly limited thereto.
  • the abnormality detection unit may determine an abnormality in the distance between the plurality of end effectors by detecting sagging of the end effector in a non-detection method at all times using the plurality of light sources. Additionally, the abnormality detection unit may determine an abnormality in the distance between the plurality of end effectors by detecting sagging of the end effector in a continuous detection method using the plurality of light sources.
  • the light emitting unit includes the plurality of light sources provided in numbers corresponding to the plurality of end effectors, thereby effectively detecting sagging (or abnormality) for each of the plurality of end effectors, and between the plurality of end effectors. Damage to the substrate and/or falling of the substrate boat due to poor spacing can be prevented.
  • the first interval and the second interval may be determined according to the positions of the plurality of light sources.
  • the first interval and the second interval may be determined so that the number of end effectors that block the light emitted from each of the plurality of light sources at the first interval and the second interval can vary depending on the positions of the plurality of light sources. there is. Accordingly, abnormalities (or sagging) of the plurality of end effectors can be detected (or determined) at two or more (or plural) intervals.
  • Light emitted from a first light source corresponding to the reference end-effector among the plurality of light sources may be at least partially blocked by the reference end-effector in a normal state.
  • a first light source among the plurality of light sources may be provided in correspondence with the reference end effector, may be fixed at the same position (or height) in the second direction as the reference end effector, and may be configured to provide light emitted from the first light source. may be at least partially blocked (or obscured) by the reference end-effector in a steady state.
  • the sagging (or abnormality) of the reference end effector can be detected through the first light source, and when sagging occurs in the reference end effector and the amount of light received by the light receiving unit changes (for example, the light receiving unit If the amount of light received increases), it can be determined that there is an abnormality (or sagging) of the reference end effector.
  • the plurality of light sources may further include a second light source provided at a different location from the first light source.
  • the second light source may be provided (or fixed) at a different position from the first light source in the second direction, and the position (or height) of the first light source and the second direction may be different, and the variable end effector Anomalies (or sagging) can be detected.
  • the light emitted from the second light source passes above (or above) or below (or below) the variable end effector according to a change in position (or movement) of the variable end effector and is received by the light receiving unit, or It may be at least partially blocked (or obscured) by the variable end effector.
  • the light emitted from the second light source located adjacent to the top (or bottom) of the first light source is the minimum distance between the plurality of end effectors (or the distance between the reference end effector and the variable end effector adjacent to each other). It may pass to the top (or bottom) of the variable end effector located adjacent to the top (or bottom) of the reference end effector at a minimum distance).
  • the light emitted from the second light source located adjacent to the top (or bottom) of the first light source is the maximum distance between the plurality of end effectors (or the maximum distance between the reference end effector and the variable end effector adjacent to each other).
  • the light emitted from the second light source located adjacent to the top (or bottom) of the first light source is an intermediate interval between the minimum and maximum intervals of the plurality of end effectors (or the reference end effectors adjacent to each other). and an intermediate interval between the minimum interval and the maximum interval of the variable end effector) may be blocked (or obscured) by the variable end effector located adjacent to the upper (or lower) part of the reference end effector.
  • the second light source may be composed of a plurality, and two or more may be provided to effectively detect the deflection (or abnormality) of the variable end effector. If there are a plurality of the variable end effector, the variable end effector A plurality of effectors may be provided corresponding to (or depending on the number of) the number of effectors. Through this, it is possible to effectively detect the deflection (or abnormality) of the variable end effector corresponding to each second light source. That is, the deflection (or abnormality) of the corresponding variable end effector can be detected through the (plurality of) second light sources provided in correspondence with each of the variable end effectors, and the reference end through the first light source.
  • At this time, at least one second light source may be provided in correspondence with each of the variable end effectors, and the number of second light sources provided in correspondence with each of the variable end effectors may vary depending on the variable end effector (e.g. , may vary depending on the location of the variable end effector.
  • variable end effectors may be positioned between the first light source and the second light source that are adjacent to each other. In this case, it is possible to detect (only) one variable end effector corresponding to the second light source adjacent to the first light source. Through this, the spacing of the plurality of end effectors is adjusted so that the variable end effector adjacent to the reference end effector directs the light emitted from the second light source adjacent to the first light source from bottom to top (or from top to bottom).
  • the burden (or difficulty) of accurately adjusting the spacing of the plurality of end effectors to a certain interval (or predetermined interval) can be eliminated, and the abnormality (or sagging) of each of the plurality of end effectors can be accurately detected ( or judgment) can be made.
  • the distance between the first light source and the second light source that are adjacent to each other may be different from the distance between the second light source and the second light source that are adjacent to each other.
  • the plurality of light sources are arranged at equal intervals (that is, when the distance between the first light source and the second light source adjacent to each other and the distance between the adjacent second light source and the second light source are the same)
  • abnormalities in the plurality of end effectors are detected. must do it.
  • the spacing adjusting unit After the spacing of the plurality of end effectors is adjusted to be different from the predetermined interval by the spacing adjusting unit, it is difficult to accurately (or precisely) adjust the spacing of the plurality of end effectors to the predetermined interval. Whenever the spacing of a plurality of end effectors is adjusted, a slight (or minute) error may occur in the predetermined spacing.
  • the distance between the adjacent first light source and the second light source may be different from the distance between the adjacent second light source and the second light source.
  • abnormalities in the plurality of end effectors can be determined at two or more intervals, and accordingly, even a slight deflection of the end effectors can be detected to determine abnormalities in the plurality of end effectors.
  • the accuracy of abnormality judgment can be improved.
  • the reference end effector for example, the minimum interval or the maximum interval of the plurality of end effectors.
  • variable end effector may be allowed to pass through (or pass through) the light emitted from the corresponding second light source.
  • the point in time at which each of the variable end effectors blocks the light emitted from the corresponding second light source depends on the distance (in the second direction) from the reference end effector. It may vary.
  • the amount of light received by the light receiving unit can be measured at a plurality of intervals at which all the variable end effectors can block the light emitted from the corresponding second light source at least once.
  • the amount of light received by the light receiver is increased or decreased by increasing or decreasing the interval between the plurality of end effectors from the interval where only the light emitted from the first light source is covered by the reference end effector.
  • the distance between the first light source and the second light source adjacent to each other may be greater than the minimum distance between the plurality of end effectors and may be smaller than the distance between the second light source and the second light source adjacent to each other.
  • the distance between the plurality of end effectors is adjusted in the normal state to select the variable end adjacent to the reference end effector. The effector cannot block the light emitted from the second light source adjacent to the first light source.
  • variable end effector adjacent to the reference end effector is connected to the second light source adjacent to the first light source. Since the light emitted from cannot pass through, accurate (or precise) abnormality detection (or deflection detection) of the variable end effector adjacent to the reference end effector cannot be performed.
  • An abnormality in the variable end effector adjacent to the reference end effector can be detected.
  • the second light source adjacent to the first light source at a distance smaller than the minimum spacing of the plurality of end effectors detects the deflection (or abnormality) of the reference end effector to overlap the role of the first light source, or the reference end It is also impossible to detect abnormalities (or sagging) in the variable end effector adjacent to the lower part of the effector.
  • the distance between the adjacent first light source and the second light source is greater than or equal to the distance between the adjacent second light source and the second light source
  • the distance between the plurality of end effectors in the normal state is set to the minimum distance. Even if adjusted within the range of the maximum interval, the variable end effector adjacent to the reference end effector cannot block the light emitted from the second light source adjacent to the first light source, or the second light source adjacent to the first light source Light emitted from at least one second light source is blocked by two or more of the variable end effectors by adjusting the spacing of the plurality of end effectors. In this case, it is impossible to accurately detect abnormalities (or sagging) of the plurality of end effectors, such as the variable end effector adjacent to the reference end effector.
  • variable end effector adjacent to the reference end effector cannot block the light emitted from the second light source adjacent to the first light source, an abnormality (or sagging) cannot be detected.
  • the light emitted from the at least one second light source is obscured by the two or more variable end effectors, it becomes difficult to determine which of the variable end effectors has an abnormality (or sagging), and the at least one variable end effector has an abnormality (or sagging). It becomes difficult to determine whether the light emitted from the second light source is obscured by the variable end effector in the normal state or by the variable end effector in which an abnormality (or sagging) has occurred.
  • the distance between the first light source and the second light source adjacent to each other is greater than the minimum distance between the plurality of end effectors and smaller than the distance between the second light source and the second light source adjacent to each other, the plurality of end effectors
  • the abnormality (or deflection) of each end effector can be accurately detected (or judged).
  • the amount of light emitted from each of the plurality of light sources may vary depending on the distance from the first light source to the first light source. Accordingly, it is possible to know for sure which light source is blocking the light, and almost (almost always) the light (or irradiated light) is radiated from the second light source, which is furthest from the first light source to which the light is received by the light receiver. Until the amount of light is (relatively) reduced or an abnormality (or sagging) occurs in the reference end effector, the light (or irradiated light) is (always) obscured by the reference end effector from the first light source. Power consumption due to light emission from the plurality of light sources may be reduced by (relatively) reducing the amount of light.
  • the spacing between the plurality of end effectors can be adjusted by driving a motor.
  • the spacing between the plurality of end effectors can be adjusted by driving a motor, and the encoder value of the motor can vary (or change) depending on the spacing between the plurality of end effectors.
  • the spacing of the plurality of end effectors is adjusted and the judgment standard storage unit is adjusted according to the spacing of the plurality of end effectors.
  • the amount of light received by the light receiving unit can be stored for each encoder value of the motor.
  • the method for determining abnormalities in the substrate transfer device according to the present invention may further include a process (S150) of storing motor encoder values of the first interval and the second interval.
  • the motor encoder values of the first interval and the second interval may be stored (or recorded) (S150).
  • the motor encoder values of the first interval and the second interval may be stored in the decision standard storage unit. Accordingly, the intervals of the plurality of end effectors can be accurately (or precisely) and quickly adjusted (or adjusted) to the first interval and/or the second interval using the motor encoder value stored in the judgment standard storage unit.
  • the interval adjustment time for the plurality of end effectors can be shortened and detection judgment can be easily made. For example, by driving the motor to adjust (or adjust) the encoder value of the motor to the motor encoder value of the first interval, the intervals of the plurality of end effectors are adjusted (or adjusted) to the first interval. can do.
  • the intervals of the plurality of end effectors can be adjusted to the second interval.
  • motor encoder values of intervals other than the above e.g., the nth interval, such as the third interval, fourth interval, etc.
  • motor encoder values of intervals other than the above may be stored (or recorded), and motor encoder values of intervals other than the above may be used to With other spacings, the spacing of the plurality of end effectors can be adjusted accurately and quickly.
  • the plurality of light sources There may be no need to precisely mount each in a designated (or determined) position, and adjustment time can be shortened and detection judgment can be made easier.
  • the process of storing the motor encoder value (S150) may be performed before the first measuring process (S200) and the second measuring process (S400).
  • variable end effector may be composed of a plurality of variables. Accordingly, three or more substrates can be transferred at once, and the transfer efficiency of the substrates can be further improved. As the number of variable end effectors increases, arrangement of a plurality of variable end effectors may become more important.
  • the plurality of variable end effectors may be symmetrical about the reference end effector, and may be symmetrically located (or disposed) on both sides (or above and below) of the reference end effector in the second direction.
  • a pair of the variable end effectors is created at the same distance from the reference end effector, so that the number of intervals can be reduced, and the number of intervals may be reduced. It may be reduced to half (i.e., half the number) of the variable end effectors. That is, the number of intervals for measuring the amount of light received by the light receiving unit can be minimized.
  • the light receiver may be composed of five end effectors, two variable end effectors each above and below the reference end effector, centered on the reference end effector, and the amount of light received by the light receiver is measured at four intervals. can do.
  • the maximum spacing (or initial spacing) of the plurality of end effectors only the light emitted from the first light source may be obscured by the reference end effector in the normal state, and the maximum spacing (e.g., The amount of light received by the light receiving unit at the first interval may be measured in the first manner.
  • the light emitted from the second light source(s) above the first light source may pass through the bottom of each of the variable end effectors above the reference end effector and be received by the light receiving unit.
  • light emitted from the second light source(s) below the first light source may pass through the upper portion of each of the variable end effectors below the reference end effector and be received by the light receiving unit.
  • the light emitted from the outermost second light source(s) in the normal state also extends to the pair of variable ends furthest (or outermost) from the reference end effector.
  • the amount of light received by the light receiving unit at the second interval covered by the effector may be measured in the second manner.
  • light emitted from the second light source adjacent to the upper part of the first light source may pass through the lower part of the variable end effector adjacent to the upper part of the reference end effector and be received by the light receiving unit.
  • light emitted from the second light source adjacent to the lower part of the first light source may pass through the upper part of the variable end effector adjacent to the lower part of the reference end effector and be received by the light receiving unit.
  • the light emitted from the second light source(s) adjacent to the first light source in the normal state is transmitted to the pair of variable end effectors adjacent to the reference end effector.
  • the amount of light received by the light receiving unit may be measured in a third interval covered by .
  • the light emitted from the first light source may be obscured by the reference end effector.
  • light emitted from the outermost second light source above the first light source may pass through the upper outermost variable end effector and be received by the light receiving unit.
  • light emitted from the outermost second light source below the first light source may pass through the lower portion of the outermost variable end effector and be received by the light receiving unit.
  • the spacing of the plurality of end effectors may be reduced to the minimum spacing (or critical spacing) of the plurality of end effectors, and at the minimum spacing of the plurality of end effectors, only the light emitted from the first light source is the standard in the steady state. It may be obscured by an end effector, and the amount of light received by the light receiving unit may be fourthly measured at a minimum interval (eg, fourth interval) of the plurality of end effectors.
  • the light emitted from the second light source(s) above the first light source may pass through each of the variable end effectors above the reference end effector and be received by the light receiving unit.
  • light emitted from the second light source(s) below the first light source may pass through each of the variable end effectors below the reference end effector and be received by the light receiving unit.
  • abnormalities in the end effectors can be identified before transferring the substrate, and damage and/or damage to the substrate due to poor transfer of the end effector It is possible to prevent the board boat from falling over.
  • the abnormality detection unit includes a light emitting unit and a light receiving unit, and the light emitting unit includes a plurality of light sources provided in numbers corresponding to the plurality of end effectors, sagging can be effectively detected for each of the plurality of end effectors.
  • the plurality of light sources may include a first light source corresponding to the reference end effector and a second light source provided at a different position from the first light source, and the first light source and the second light source may be respectively fixed at different positions.
  • the first light source irradiates light to the reference end effector in a steady state
  • the variable end effector passes the light irradiated from the second light source according to the spacing adjustment of the plurality of end effectors through the spacing adjusting unit, thereby adjusting the spacing. Even when the spacing of a plurality of end effectors is adjusted through this method, abnormalities in the plurality of end effectors can be detected without moving the positions of the plurality of light sources.

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Abstract

본 발명은 복수의 엔드 이펙터(end-effector)의 이상을 감지하는 기판 이송장치 및 기판 이송장치의 이상 판단방법에 관한 것이다. 상기 기판 이송장치는 제1 방향으로 연장되며, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 다단 배치되어 기판이 각각 지지되는 복수의 엔드 이펙터; 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 조절하는 간격 조절부; 및 상기 복수의 엔드 이펙터의 이상을 감지하는 이상 감지부;를 포함하고, 상기 복수의 엔드 이펙터는, 위치가 고정되는 기준 엔드이펙터; 및 상기 기준 엔드이펙터를 기준으로 상기 기준 엔드이펙터와의 거리가 조절되는 가변 엔드이펙터를 포함할 수 있다.

Description

기판 이송장치 및 기판 이송장치의 이상 판단방법
본 발명은 기판 이송장치 및 기판 이송장치의 이상 판단방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 복수의 엔드 이펙터(end-effector)의 이상을 감지하는 기판 이송장치 및 기판 이송장치의 이상 판단방법에 관한 것이다.
반도체 제조공정에서 단위공정을 진행하기 위해서는 각각의 공정 특성에 맞는 복수의 장치들을 구비하게 되며, 이들 각기 다른 장치에는 웨이퍼(wafer) 등 기판의 이송을 위한 기판 이송장치들을 구비한다.
일반적으로, 반도체 설비의 기판 이송장치는 로드락 챔버(load-lock chamber)에서 기판수납부재(예를 들어, FOUP, 캐리어 등) 또는 기판수납부재에서 로드락 챔버로 기판을 이송시키는 역할을 한다.
배치식(batch type) 기판 처리장치에서는 로드락 챔버에서 기판 보트(substrate boat)에 복수의 기판을 다단으로 적재한 후에 복수의 기판에 대해 기판 처리공정을 수행하게 된다. 이때, 기판의 이송시간(예를 들어, 적재시간)을 단축하기 위해 기판 이송장치는 둘 이상의 엔드 이펙터(end-effector)를 갖게 되고, 기판수납부재로부터 둘 이상의 기판을 꺼내 한꺼번에 기판 보트에 적재시킬 수 있다.
이러한 기판 이송장치는 복수의 엔드 이펙터의 처짐 등 이상이 발생할 수 있으며, 복수의 엔드 이펙터의 이상에 따라 복수의 엔드 이펙터의 간격이 변화하는 경우에는 기판이 기판 보트 또는 기판수납부재에 진입하면서 스크래치(scratch) 등의 손상이 발생하거나, 기판 보트를 밀어 넘어뜨리는 등의 대형 사고가 발생할 수 있다.
따라서, 이러한 문제를 해결하기 위해 엔드 이펙터의 처짐 등 이상을 감지하여 복수의 엔드 이펙터 간의 간격 이상을 판단하는 기술이 요구되고 있다.
(특허문헌 1) 한국공개특허 제10-2020-0130058호
본 발명은 엔드 이펙터(end-effector)의 처짐 등 복수의 엔드 이펙터의 이상을 감지하여 기판의 이송 불량을 방지하는 기판 이송장치 및 기판 이송장치의 이상 판단방법을 제공한다.
본 발명의 일실시예에 따른 기판 이송장치는 제1 방향으로 연장되며, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 다단 배치되어 기판이 각각 지지되는 복수의 엔드 이펙터; 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 조절하는 간격 조절부; 및 상기 복수의 엔드 이펙터의 이상을 감지하는 이상 감지부;를 포함하고, 상기 복수의 엔드 이펙터는, 위치가 고정되는 기준 엔드이펙터; 및 상기 기준 엔드이펙터를 기준으로 상기 기준 엔드이펙터와의 거리가 조절되는 가변 엔드이펙터를 포함할 수 있다.
상기 이상 감지부는 발광부와 수광부를 포함하고, 상기 발광부는 상기 복수의 엔드 이펙터에 대응되는 수로 제공되는 복수의 광원을 포함할 수 있다.
상기 복수의 광원은 상기 제2 방향으로 서로 다른 위치에 각각 고정될 수 있다.
상기 복수의 광원은, 상기 기준 엔드이펙터에 대응되는 제1 광원; 및 상기 제2 방향으로 상기 제1 광원과 상이한 위치에 제공되는 제2 광원을 포함할 수 있다.
상기 제2 광원은 복수개로 구성되고, 서로 인접한 상기 제1 광원과 상기 제2 광원의 거리는 서로 인접한 상기 제2 광원과 상기 제2 광원의 거리와 상이할 수 있다.
상기 서로 인접한 상기 제1 광원과 상기 제2 광원의 거리는 상기 복수의 엔드 이펙터의 최소 간격 이상이고, 상기 서로 인접한 상기 제2 광원과 상기 제2 광원의 거리보다 작을 수 있다.
상기 이상 감지부는, 상기 수광부에 수광되는 광량을 측정하는 광량측정부; 및 측정된 광량으로 상기 복수의 엔드 이펙터의 이상을 판단하는 이상판단부를 더 포함할 수 있다.
상기 이상 감지부는 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격에 따라 상기 수광부에 수광되는 광량을 저장하는 판단기준저장부를 더 포함할 수 있다.
상기 가변 엔드이펙터는 복수개로 구성되고, 복수개의 상기 가변 엔드이펙터는 상기 기준 엔드이펙터를 중심으로 대칭될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송장치의 이상 판단방법은 기준 엔드이펙터와 가변 엔드이펙터를 포함하는 복수의 엔드 이펙터의 간격을 조절하면서 이상 감지부의 발광부로부터 상기 이상 감지부의 수광부에 수광되는 광량을 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격별로 저장하는 과정; 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 제1 간격으로 설정한 상태에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 제1 측정하는 과정; 저장된 상기 제1 간격에서의 광량과 상기 제1 측정하는 과정에서 측정된 광량을 비교하는 과정; 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 상기 제1 간격과 상이한 제2 간격으로 설정한 상태에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 제2 측정하는 과정; 및 저장된 상기 제2 간격에서의 광량과 상기 제2 측정하는 과정에서 측정된 광량을 비교하는 과정;을 포함할 수 있다.
상기 저장된 상기 제2 간격에서의 광량은 상기 저장된 상기 제1 간격에서의 광량과 상이할 수 있다.
상기 제2 측정하는 과정은 상기 저장된 상기 제1 간격에서의 광량과 상기 제1 측정하는 과정에서 측정된 광량의 차이가 허용오차범위 이내인 경우에 수행될 수 있다.
추가적으로 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 상기 제1 간격과 상기 제2 간격 이외의 간격으로 설정한 상태에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 측정하고 저장된 상기 이외의 간격에서의 광량과 비교하는 과정;을 더 포함할 수 있다.
상기 발광부는 상기 복수의 엔드 이펙터에 대응되는 수로 제공되는 복수의 광원을 포함하고, 상기 제1 간격과 상기 제2 간격은 상기 복수의 광원의 위치에 따라 결정될 수 있다.
상기 복수의 광원 중 상기 기준 엔드이펙터에 대응되는 제1 광원에서 조사된 빛은 정상상태의 상기 기준 엔드이펙터에 의해 적어도 부분적으로 차단될 수 있다.
상기 복수의 광원은 상기 제1 광원과 상이한 위치에 제공되는 제2 광원을 더 포함하고, 서로 인접한 상기 제1 광원과 상기 제2 광원 사이에는 하나 이하의 상기 가변 엔드이펙터가 위치될 수 있다.
상기 복수의 엔드 이펙터의 간격은 모터 구동에 의해 조절되고, 상기 제1 간격과 상기 제2 간격의 모터 엔코더(Motor Encoder) 값을 저장하는 과정;을 더 포함할 수 있다.
상기 가변 엔드이펙터는 복수개로 구성되고, 복수개의 상기 가변 엔드이펙터는 상기 기준 엔드이펙터를 중심으로 대칭될 수 있다.
본 발명의 실시 형태에 따른 기판 이송장치는 이상 감지부를 통해 복수의 엔드 이펙터(end-effector)의 처짐 등 이상을 감지함으로써, 기판의 이송을 수행하기 전에 엔드 이펙터의 이상을 파악할 수 있고, 엔드 이펙터의 이송 불량으로 인한 기판의 손상 및/또는 기판 보트의 넘어짐을 사전에 방지할 수 있다.
이때, 이상 감지부가 발광부와 수광부를 포함하고, 발광부가 복수의 엔드 이펙터에 대응되는 수로 제공되는 복수의 광원을 포함함으로써, 복수의 엔드 이펙터 각각에 대해 효과적으로 처짐을 감지할 수 있다.
또한, 복수의 광원이 기준 엔드이펙터에 대응되는 제1 광원 및 (제2 방향으로) 제1 광원과 상이한 위치에 제공되는 제2 광원을 포함하고, 제1 광원과 제2 광원이 (제2 방향으로) 서로 다른 위치에 각각 고정될 수 있다. 이러한 경우, 제1 광원이 정상상태의 기준 엔드이펙터에 빛(예를 들어, 직진광)을 조사하고 간격 조절부를 통한 복수의 엔드 이펙터의 간격 조절에 따라 가변 엔드이펙터가 제2 광원에서 조사되는 빛을 거치도록 함으로써, 간격 조절부를 통해 복수의 엔드 이펙터의 간격을 조절하는 경우에도 복수의 광원의 위치 이동(또는 조정) 없이 복수의 엔드 이펙터의 이상을 감지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 이송장치를 나타내는 개략단면도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 이상 감지부를 설명하기 위한 개략단면도.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 복수의 엔드 이펙터의 이상 감지를 설명하기 위한 개념도.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송장치의 이상 판단방법을 나타낸 순서도.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 설명 중, 동일 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하도록 하고, 도면은 본 발명의 실시예를 정확히 설명하기 위하여 크기가 부분적으로 과장될 수 있으며, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 이송장치를 나타내는 개략단면도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 이상 감지부를 설명하기 위한 개략단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 기판 이송장치(100)는 제1 방향(11)으로 연장되며, 상기 제1 방향(11)과 교차하는 제2 방향(12)으로 다단 배치되어 기판(10)이 각각 지지되는 복수의 엔드 이펙터(110); 상기 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격을 조절하는 간격 조절부(120); 및 상기 복수의 엔드 이펙터(110)의 이상을 감지하는 이상 감지부(130,140);를 포함할 수 있다.
복수의 엔드 이펙터(end-effector, 110)는 제1 방향(11)으로 연장될 수 있고, 제1 방향(11)과 교차하는 제2 방향(12)으로 배치(또는 적층)되어 다단 구조를 형성할 수 있으며, 각 단(즉, 상기 복수의 엔드 이펙터 각각)에 기판(10)이 각각 지지될 수 있다. 즉, 복수의 엔드 이펙터(110)의 개수에 대응되는 둘 이상의 기판(10)을 한꺼번에 이송할 수 있다. 여기서, 제1 방향(11)은 수평 방향으로 전후방향 또는 좌우방향일 수 있으며, 제2 방향(12)은 제1 방향(11)과 직교할 수 있고, 수직 방향(또는 상하방향)일 수 있다.
예를 들어, 복수의 엔드 이펙터(110)는 제1 방향(11)으로 나란히 제1 방향(11) 및 제2 방향(12) 모두와 교차하는 제3 방향으로 배치(또는 배열)되는 복수의 핑거(finger)를 포함하는 포크(fork) 형상을 가질 수 있으며, 기판(10)의 하면에 접하여 기판(10)을 지지할 수 있다. 여기서, 상기 제3 방향은 상기 수평 방향 중 제1 방향(11)과 교차하는 방향일 수 있으며, 제1 방향(11)이 전후방향인 경우에는 좌우방향일 수 있고, 제1 방향(11)이 좌우방향인 경우에는 전후방향일 수 있다. 또한, 복수의 엔드 이펙터(110)는 석영(quartz), 산화 알루미늄(Al2O3), 질화 알루미늄(AlN), 탄화 규소(SiC), 이산화 타이타늄(TiO2), 이산화 규소(SiO2) 등의 세라믹(ceramic) 소재로 이루어질 수 있다. 이때, 기판(10)은 웨이퍼(wafer)일 수 있으며, 이에 특별히 한정되지 않고, 유리기판 등일 수도 있다.
한편, 복수의 엔드 이펙터(110)는 엔드이펙터 핸드(115)에 의해 제1 방향(11) 일측이 서로 연결될 수 있으며, 복수의 엔드 이펙터(110) 각각을 수평상태로 고정(또는 유지)할 수 있다. 예를 들어, 엔드이펙터 핸드(115)는 복수의 엔드 이펙터(110)와 상이한 소재로 이루어질 수 있으며, 알루미늄(Aluminum; Al) 등의 금속(metal)으로 이루어질 수 있으나, 이에 특별히 한정되지 않는다. 복수의 엔드 이펙터(110)와 엔드이펙터 핸드(115)가 서로 다른 소재로 이루어져 있는 경우에는 복수의 엔드 이펙터(110)의 깨짐(crack)이나 복수의 엔드 이펙터(110) 각각과 엔드이펙터 핸드(115)를 결합하는 볼트(bolt) 등의 풀림이 발생하여 복수의 엔드 이펙터(110)의 처짐 이상(또는 이상 처짐)이 발생할 수 있다.
간격 조절부(120)는 복수의 엔드 이펙터(110)와 연결될 수 있고, 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격을 조절할 수 있다. 여기서, 간격 조절부(120)는 제2 방향(12)으로 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격을 조절할 수 있다. 예를 들어, 간격 조절부(120)는 엔드이펙터 핸드(115)에 연결되어 복수의 엔드 이펙터(110)와 연결될 수 있으며, 엔드이펙터 핸드(115)를 통해 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격을 조절할 수 있다. 이때, 복수의 엔드 이펙터(110)가 3개 이상인 경우에는 서로 인접한 두 엔드 이펙터(110) 사이의 간격(들)이 모두 동일할 수 있다.
기판 보트(미도시)의 구성(또는 구조) 및/또는 기판(10) 처리공정에 따라 기판 보트(미도시)의 기판(10) 적재간격이 달라질 수 있으며, 간격 조절부(120)를 통해 서로 다른 기판(10) 적재간격을 갖는 다양한 기판 보트(미도시)에 대응하여 둘 이상의 기판(10)을 한꺼번에 안정적으로 적재할 수 있다.
또한, FOUP(Front Opening Unified Pod), 캐리어(carrier) 등의 기판수납부재(미도시)의 기판(10) 수납간격과 기판 보트(미도시)의 기판(10) 적재간격이 상이할 수 있으며, 간격 조절부(120)를 통해 상기 기판수납부재(미도시)의 기판(10) 수납간격에 맞게 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격을 조절하여 상기 기판수납부재(미도시)로부터 둘 이상의 기판(10)을 한꺼번에 꺼낼 수 있다. 그리고 상기 기판 보트(미도시)의 기판(10) 적재간격에 맞게 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격을 조절하여 상기 기판수납부재(미도시)로부터 꺼낸 둘 이상의 기판(10)을 한꺼번에 상기 기판 보트(미도시)에 적재할 수 있다.
반대로, 간격 조절부(120)를 통해 상기 기판 보트(미도시)의 기판(10) 적재간격에 맞게 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격을 조절하여 처리된 기판(10)을 상기 기판 보트(미도시)로부터 둘 이상씩 제거할 수 있다. 그리고 상기 기판수납부재(미도시)의 기판(10) 수납간격에 맞게 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격을 조절하여 상기 처리된 기판(10)을 상기 기판수납부재(미도시)에 수납할 수 있다.
따라서, 간격 조절부(120)를 통해 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격을 조절함으로써, 기판(10) 적재간격이 서로 다른 다양한 기판 보트(미도시)에 대응이 가능할 수 있고, 기판수납부재(미도시)의 기판(10) 수납간격과 기판 보트(미도시)의 기판(10) 적재간격이 상이하여도 대응이 가능할 수 있다.
이상 감지부(130,140)는 복수의 엔드 이펙터(110)의 처짐 등 복수의 엔드 이펙터(110)의 이상을 감지할 수 있다. 예를 들어, 이상 감지부(130,140)는 복수의 엔드 이펙터(110)의 처짐을 감지할 수 있으며, 이송 불량 등 복수의 엔드 이펙터(110)의 이상을 확인(또는 파악)할 수 있다.
엔드 이펙터(110)가 처짐에 의해 기울어지게 되면, 기판(10)이 미끄러지거나, 기판(10)을 기판 보트(미도시) 등에 적재 시에도 상기 기판 보트(미도시)의 내면에 돌출되어 있는 턱(예를 들어, 구획 플레이트, 기판 지지팁 등)에 기판(10)이 충돌하게 되어 스크래치(scratch)가 생기는 등 기판(10)이 손상될 수 있다. 또한, 최악의 경우에는 처진(또는 기울어진) 엔드 이펙터(110)가 기판 보트(미도시)를 밀어 넘어뜨리므로, 대형 사고가 발생할 수도 있다.
하지만, 본 발명의 기판 이송장치(100)는 이상 감지부(130,140)를 통해 기판(10)의 이송을 수행하기 전에 복수의 엔드 이펙터(110)의 처짐 등 이상을 감지할 수 있다. 이에 따라 복수의 엔드 이펙터(110)의 이상을 파악하여 기판(10)의 손상 및/또는 상기 기판 보트(미도시)의 넘어짐을 사전에 방지할 수 있다.
여기서, 복수의 엔드 이펙터(110)는 위치가 고정되는 기준 엔드이펙터(111); 및 상기 기준 엔드이펙터(111)를 기준으로 상기 기준 엔드이펙터(111)와의 거리가 조절되는 가변 엔드이펙터(112)를 포함할 수 있다. 기준 엔드이펙터(111)는 위치가 고정될 수 있으며, 제2 방향(12)의 위치가 고정될 수 있다. 즉, 기준 엔드이펙터(111)는 제2 방향(12)으로 이동하지 않을 수 있으며, 고정된 기준 엔드이펙터(111)에 대해 가변 엔드이펙터(112)가 제2 방향(12)으로 이동하여 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격이 변화할 수 있다.
가변 엔드이펙터(112)는 기준 엔드이펙터(111)를 기준으로 기준 엔드이펙터(111)와의 거리가 조절될 수 있으며, 기준 엔드이펙터(111)를 기준으로 가변 엔드이펙터(112)를 제2 방향(12)으로 이동시켜 기준 엔드이펙터(111)와 가변 엔드이펙터(112) 간의 거리를 변화시킬 수 있고, 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격을 조절할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 이상 감지부(130,140)를 통해 복수의 엔드 이펙터(110)의 처짐 등 복수의 엔드 이펙터(110)의 이상을 감지함으로써, 기판(10)의 이송을 수행하기 전에 복수의 엔드 이펙터(110)의 이상을 파악할 수 있고, 복수의 엔드 이펙터(110)의 이송 불량으로 인한 기판(10)의 손상 및/또는 기판 보트(미도시)의 넘어짐을 사전에 방지할 수 있다.
이때, 이상 감지부(130,140)는 발광부(130)와 수광부(140)를 포함할 수 있다. 발광부(130)와 수광부(140)는 서로 대향하여 배치될 수 있으며, 엔드 이펙터(110)가 연장되는 제1 방향(11)과 교차하는 상기 제3 방향으로 배치될 수 있고, 복수의 엔드 이펙터(110)의 이상을 감지할 때에는 발광부(130)와 수광부(140)의 사이에 적어도 하나의 엔드 이펙터(110)가 위치할 수 있다.
예를 들어, 발광부(130)가 수광부(140)를 향해 빛(예를 들어, 직진광)을 조사하면, 수광부(140)에서의 빛(31)의 수광상태(또는 수광여부)에 따라 복수의 엔드 이펙터(110)의 처짐 이상을 판단할 수 있다. 일반적으로 발광부(130)와 수광부(140)는 동일 높이(또는 동일한 상기 제2 방향 위치)에 위치하여 수평한 빛(즉, 상기 직진광)을 주고 받을 수 있다. 여기서, 빛(31)은 직진광(straight light)일 수 있으며, 레이저 빔(laser beam), 적외선(Infrared Ray; IR) 등의 스루빔(thru-beam)일 수 있다.
즉, 이상 감지부(130,140)는 발광부(130)와 수광부(140)를 통해 광감지(optical sensing) 방식으로 복수의 엔드 이펙터(110)의 처짐을 감지할 수 있다. 예를 들어, 정상상태에서는 빛(31)이 수광부(140)에 수광되다가 처짐이 발생한 엔드 이펙터(110)에 의해 빛(31)이 가려져 수광부(140)에서 수광이 안되는 엔드 이펙터(110)에 대한 상시 미감지 방식으로 엔드 이펙터(110)의 처짐을 감지할 수 있다. 반대로, 정상상태에서는 빛(31)에 의해 감지되고 있는 엔드 이펙터(110)에 의해 빛(31)이 가려져 수광부(140)에 수광되지 않다가 엔드 이펙터(110)에 처짐이 발생하여 수광부(140)에 빛(31)이 수광되게 되는 엔드 이펙터(110)에 대한 상시 감지 방식으로 엔드 이펙터(110)의 처짐을 감지할 수도 있다.
따라서, 본 발명에서는 발광부(130)와 수광부(140)를 통해 광감지 방식으로 엔드 이펙터(110)의 처짐을 감지함으로써, 복수의 엔드 이펙터(110)의 이상을 효과적으로 감지할 수 있다.
그리고 발광부(130)는 복수의 엔드 이펙터(110)에 대응되는 수로 제공되는 복수의 광원(131)을 포함할 수 있다. 복수의 광원(131)은 복수의 엔드 이펙터(110)에 대응되는 수로 제공될 수 있으며, 복수의 엔드 이펙터(110)와 동일한 수로 제공될 수 있고, 복수의 엔드 이펙터(110) 각각마다 하나씩 대응되어 제공될 수 있으나, 이에 특별히 한정되지 않는다.
예를 들어, 복수의 엔드 이펙터(110) 각각에 대응되어 적어도 하나의 광원(131)이 제공될 수 있다. 이때, 복수의 엔드 이펙터(110) 각각에 하나씩 대응되어 광원(131)이 제공될 수도 있고, 기준 엔드이펙터(111)에 대응되어 하나의 광원(131)이 제공되며, 가변 엔드이펙터(112)에 대응되어 하나 이상(예를 들어, 2개)의 광원(131)이 제공될 수도 있다. 여기서, 기준 엔드이펙터(111)로부터 가장 먼 가변 엔드이펙터(112)에 대응되어 가장 많은 광원(131)이 제공될 수 있다.
또한, 복수의 광원(131)은 빛(31)을 발광(또는 조사)할 수 있으며, 상기 직진광을 조사할 수 있고, 광섬유(optical fiber), 레이저(laser) 등일 수 있다. 이때, 수광부(140)는 복수의 광원(131)과 대응되는 수(예를 들어, 동일한 수)의 수광면을 가질 수도 있고, 하나의 수광면에 복수의 광원(131)에서 조사되는 빛(31)(들)을 수광할 수도 있다. 복수의 엔드 이펙터(110) 각각의 처짐을 효과적으로 감지하기 위해서는 수광부(140)가 복수의 광원(131)과 대응되는 상기 수광면을 갖는 것이 바람직할 수 있으나, 이에 특별히 한정되지 않는다.
여기서, 이상 감지부(130,140)는 복수의 광원(131)을 이용하여 상기 상시 미감지 방식으로 엔드 이펙터(110)의 처짐을 감지함으로써, 복수의 엔드 이펙터(110) 간의 간격 이상을 판단할 수 있다. 또한, 이상 감지부(130,140)는 복수의 광원(131)을 이용하여 상기 상시 감지 방식으로 엔드 이펙터(110)의 처짐을 감지함으로써, 복수의 엔드 이펙터(110) 간의 간격 이상을 판단할 수도 있다.
따라서, 복수의 엔드 이펙터(110) 각각의 처짐을 감지하여 복수의 엔드 이펙터(110) 간의 간격 이상을 판단할 수 있으며, 이에 따라 복수의 엔드 이펙터(110) 간의 간격 불량으로 인한 기판(10)의 손상 및/또는 상기 기판 보트(미도시)의 넘어짐을 방지할 수 있으면서도 기판(10) 적재간격이 정해진 상기 기판 보트(미도시)에 둘 이상의 기판(10)을 한꺼번에 안정적으로 적재할 수 있다. 즉, 발광부(130)가 복수의 엔드 이펙터(110)에 대응되는 수로 제공되는 복수의 광원(131)을 포함함으로써, 복수의 엔드 이펙터(110) 각각에 대해 효과적으로 처짐(또는 이상)을 감지할 수 있고, 복수의 엔드 이펙터(110) 간의 간격 불량으로 인한 기판(10)의 손상 및/또는 상기 기판 보트(미도시)의 넘어짐을 방지할 수 있다.
이때, 복수의 광원(131)은 제2 방향(12)으로 서로 다른 위치에 각각 고정될 수 있다. 일반적으로, 간격 조절부(120)를 통해 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격을 조절하는 경우에는 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격에 따라 복수의 광원(131)의 위치를 조정하여 복수의 광원(131) 각각에 대응되는 복수의 엔드 이펙터(110) 각각의 처짐을 감지한다. 이러한 경우에는 복수의 광원(131)의 위치를 조정하기 위한 위치조정부 등 별도의 구성이 필요하게 된다.
하지만, 본 발명에서는 간격 조절부(120)를 통해 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격을 조절하는 경우에도 복수의 광원(131) 각각의 제2 방향(12) 위치를 알맞게 결정하여 복수의 광원(131)을 제2 방향(12)으로 서로 다른 위치에 각각 고정한 상태에서 복수의 광원(131)의 위치 조정 없이 복수의 엔드 이펙터(110)의 처짐을 효과적으로 감지할 수 있고, 복수의 엔드 이펙터(110) 각각의 처짐을 감지할 수 있다. 이에 따라 상기 위치조정부 등 별도의 구성이 필요하지 않을 수 있고, 상기 위치조정부 등 별도의 구성 없이도 복수의 엔드 이펙터(110) 각각의 처짐을 효과적으로 감지할 수 있다. 이때, 복수의 광원(131) 각각의 제2 방향(12) 위치는 복수의 엔드 이펙터(110)의 개수에 따라 알맞게 결정될 수 있으며, 서로 인접한 두 광원(131) 사이의 간격(들)이 (모두) 동일할 수도 있고, 상기 서로 인접한 두 광원(131) 사이의 간격들 중 적어도 하나의 간격이 상이할 수도 있다.
예를 들어, 복수의 광원(131)은 기준 엔드이펙터(111)에 대응되는 제1 광원(131a); 및 제2 방향(12)으로 제1 광원(131a)과 상이한 위치에 제공되는 제2 광원(131b)을 포함할 수 있다. 제1 광원(131a)은 기준 엔드이펙터(111)에 대응되어 제공될 수 있으며, 기준 엔드이펙터(111)의 처짐(또는 이상)을 감지할 수 있다. 여기서, 제1 광원(131a)은 기준 엔드이펙터(111)와 동일한 제2 방향(12) 위치(또는 높이)에 고정될 수 있으며, 제1 광원(131a)에서 조사되는 빛(31)은 정상상태의 기준 엔드이펙터(111)에 의해 적어도 부분적으로 차단될(또는 가려질) 수 있다. 이때, 제1 광원(131a)의 제1 방향(11) 위치 및/또는 상기 제3 방향 위치는 기준 엔드이펙터(111)와 상이할 수 있다.
제2 광원(131b)은 제2 방향(12)으로 제1 광원(131a)과 상이한 위치에 제공(또는 고정)될 수 있으며, 제1 광원(131a)과 상기 제2 방향(12) 위치(또는 높이)가 상이할 수 있고, 가변 엔드이펙터(112)의 이상(또는 처짐)을 감지할 수 있다.
이때, 제2 광원(131b)에서 조사되는 빛(31)은 가변 엔드이펙터(112)의 위치 변화(또는 이동)에 따라 가변 엔드이펙터(112)의 위(또는 상부)나 아래(또는 하부)로 통과하여 수광부(140)에 수광되거나, 가변 엔드이펙터(112)에 적어도 부분적으로 차단될(또는 가려질) 수 있다.
예를 들어, 제1 광원(131a)의 상부(또는 하부)에 인접하여 위치하는 제2 광원(131b)에서 조사되는 빛(31)은 복수의 엔드 이펙터(110)의 최소 간격(또는 서로 인접한 상기 기준 엔드이펙터와 상기 가변 엔드이펙터의 최소 간격)에서 기준 엔드이펙터(111)의 상부(또는 하부)에 인접하여 위치하는 가변 엔드이펙터(112)의 상부(또는 하부)로 통과할 수 있다. 그리고 제1 광원(131a)의 상부(또는 하부)에 인접하여 위치하는 제2 광원(131b)에서 조사되는 빛(31)은 복수의 엔드 이펙터(110)의 최대 간격(또는 서로 인접한 상기 기준 엔드이펙터와 상기 가변 엔드이펙터의 최대 간격)에서 기준 엔드이펙터(111)의 상부(또는 하부)에 인접하여 위치하는 가변 엔드이펙터(112)의 하부(또는 상부)로 통과할 수 있다. 또한, 제1 광원(131a)의 상부(또는 하부)에 인접하여 위치하는 제2 광원(131b)에서 조사되는 빛(31)은 복수의 엔드 이펙터(110)의 상기 최소 간격과 상기 최대 간격의 중간 간격(또는 서로 인접한 상기 기준 엔드이펙터와 상기 가변 엔드이펙터의 상기 최소 간격과 상기 최대 간격의 중간 간격)에서 기준 엔드이펙터(111)의 상부(또는 하부)에 인접하여 위치하는 가변 엔드이펙터(112)에 의해 차단될(또는 가려질) 수 있다.
여기서, 상기 복수의 엔드 이펙터(110)의 최소 간격은 간격 조절부(120)에 의해 조절될 수 있는 최소 간격일 수 있으며, 각 엔드이펙터 핸드(115)가 서로 접촉하여 포개졌을 때의 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격일 수 있다. 한편, 복수의 엔드 이펙터(110) 사이사이에 (복수의) 기판(10)이 (다단으로) 각각 지지될 수 있도록 상기 복수의 엔드 이펙터(110)의 최소 간격은 기판(10)의 두께보다는 클 수도 있다. 그리고 상기 복수의 엔드 이펙터(110)의 최대 간격은 간격 조절부(120)에 의해 조절될 수 있는 최대 간격일 수 있다. 예를 들어, 상기 복수의 엔드 이펙터(110)의 최대 간격은 상기 기판수납부재(미도시) 및/또는 상기 기판 보트(미도시)의 높이보다 작을 수 있고, (각) 가변 엔드이펙터(112)가 대응되지 않는(또는 비대응되는) 제2 광원(131b)에서 조사되는 빛(31)을 가리지 않으면서 서로 인접한 기준 엔드이펙터(111)와 가변 엔드이펙터(112)가 가장 멀어질 수 있는 간격일 수 있다.
이때, 제2 광원(131b)은 복수개로 구성될 수 있으며, 가변 엔드이펙터(112)의 처짐(또는 이상)을 효과적으로 감지하기 위해 2개 이상이 제공될 수도 있고, 가변 엔드이펙터(112)가 복수개인 경우에 가변 엔드이펙터(112)의 개수에 대응되어(또는 개수에 따라) 복수개가 제공될 수도 있다. 이를 통해 각 제2 광원(131b)에 대응되는 가변 엔드이펙터(112)의 처짐(또는 이상)을 효과적으로 감지할 수 있다. 즉, 각 가변 엔드이펙터(112)에 대응되어 제공되는 (복수개의) 제2 광원(131b)을 통해 각각 대응되는 가변 엔드이펙터(112)의 처짐(또는 이상)을 감지할 수 있으며, 제1 광원(131a)을 통한 기준 엔드이펙터(111)와 함께 복수의 엔드 이펙터(110)의 처짐(또는 이상)을 효과적으로 감지할 수 있다. 이때, 각 가변 엔드이펙터(112)에는 적어도 하나의 제2 광원(131b)이 대응되어 제공될 수 있으며, 각 가변 엔드이펙터(112)에 대응되어 제공되는 제2 광원(131b)의 개수는 가변 엔드이펙터(112)에 따라(예를 들어, 상기 가변 엔드이펙터의 위치에 따라) 달라질 수 있다.
그리고 서로 인접한 제1 광원(131a)과 제2 광원(131b)의 거리는 서로 인접한 제2 광원(131b)과 제2 광원(131b)의 거리와 상이할 수 있다. 복수의 광원(131)이 동일 간격으로 배열되는 경우(즉, 상기 서로 인접한 상기 제1 광원과 상기 제2 광원의 거리와 상기 서로 인접한 상기 제2 광원과 상기 제2 광원의 거리가 동일한 경우)에는 항상 복수의 광원(131)의 간격에 대응되는(예를 들어, 상기 복수의 광원의 간격과 동일한) 일정 간격(또는 소정 간격)으로 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격을 맞춘 후에 복수의 엔드 이펙터(110)의 이상을 감지해야만 한다.
그러나 간격 조절부(120)에 의해 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격이 상기 일정 간격과 다르게 조절된 후에는 상기 일정 간격으로 정확하게(또는 정밀하게) 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격을 맞추기 어려우며, 상기 일정 간격으로 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격을 맞출 때마다 상기 일정 간격에서 약간의(또는 미세한) 오차가 발생할 수 있다.
상기 일정 간격과 오차가 발생한 간격에서 수광부(140)에 수광되는 광량을 측정하는 경우에는 상기 일정 간격에서 측정된 상기 수광부(140)에 수광되는 광량과 차이가 날 수 있다. 이로 인해 엔드 이펙터(110)의 처짐이 발생하지 않아도 복수의 엔드 이펙터(110)의 이상으로 판단하는 등 복수의 엔드 이펙터(110)의 이상 판단이 어려워지고, 이상 판단의 정확도(또는 정밀도)가 떨어지게 된다. 또한, 상기 일정 간격과의 간격 오차로 인해 엔드 이펙터(110)의 미세한 처짐(예를 들어, 상기 일정 간격과의 간격 오차 이하의 처짐)은 감지하지 못하게 된다.
이에, 서로 인접한 제1 광원(131a)과 제2 광원(131b)의 거리를 서로 인접한 제2 광원(131b)과 제2 광원(131b)의 거리와 상이하게 할 수 있다. 이러한 경우, 둘 이상(또는 복수)의 간격에서 복수의 엔드 이펙터(110)의 이상을 판단할 수 있으며, 이에 따라 엔드 이펙터(110)의 미세한 처짐도 감지하여 복수의 엔드 이펙터(110)의 이상을 판단할 수 있고, 복수의 엔드 이펙터(110)의 이상 판단의 정확도가 향상될 수 있다.
예를 들어, 상기 정상상태인 경우(또는 평상시)에 제1 광원(131a)에서 조사되는 빛(31)만 기준 엔드이펙터(111)에 가려지는 간격(예를 들어, 상기 복수의 엔드 이펙터의 상기 최소 간격 또는 상기 최대 간격)에서 상기 수광부(140)에 수광되는 광량을 (1차적으로) 측정한 후에 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격을 늘리거나, 줄여가면서 적어도 하나 이상의 다른 간격에서 상기 수광부(140)에 수광되는 광량을 (2차적으로) 측정할 수 있다. 여기서, 제1 광원(131a)에서 조사되는 빛(31)뿐만 아니라 적어도 하나의 제2 광원(131b)에서 조사되는 빛(31)도 가변 엔드이펙터(112)에 가려지는 간격에서 적어도 상기 수광부(140)에 수광되는 광량을 측정할 수 있고, 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격을 늘리거나, 줄이면서 (각) 가변 엔드이펙터(112)가 대응되는 제2 광원(131b)에서 조사되는 빛(31)을 거치도록(또는 지나도록) 할 수 있다. 이때, 각 가변 엔드이펙터(112)는 기준 엔드이펙터(111)로부터의 (상기 제2 방향) 거리에 따라 상기 대응되는 제2 광원(131b)에서 조사되는 빛(31)을 가리게 되는 시점(즉, 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격)이 달라질 수 있다.
여기서, 상기 정상상태인 경우에 모든 가변 엔드이펙터(112)가 상기 대응되는 제2 광원(131b)에서 조사되는 빛(31)을 한번씩은 가릴 수 있게 되는 복수의 간격에서 상기 수광부(140)에 수광되는 광량을 측정할 수 있다. 이를 통해 복수의 엔드 이펙터(110)의 이상을 판단한 경우에 복수의 엔드 이펙터(110) 중 어느 엔드 이펙터(110)에 처짐(또는 이상)이 발생하였는지를 알 수도 있다.
즉, 본 발명에서는 상기 정상상태인 경우에 제1 광원(131a)에서 조사되는 빛(31)만 기준 엔드이펙터(111)에 가려지는 간격에서(부터) 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격을 늘리거나, 줄여가면서 상기 수광부(140)에 수광되는 광량을 복수회(또는 상기 복수의 간격에서) 측정함으로써, 정확하게 상기 일정 간격을 맞추기 위한 어려움이 없을 수 있을 뿐만 아니라 복수의 엔드 이펙터(110)의 이상 판단의 정확도가 향상될 수 있고, 엔드 이펙터(110)의 미세한 처짐도 감지할 수 있다.
한편, 상기 서로 인접한 제1 광원(131a)과 제2 광원(131b)의 거리는 복수의 엔드 이펙터(110)의 최소 간격 이상일 수 있고, 상기 서로 인접한 제2 광원(131b)과 제2 광원(131b)의 거리보다 작을 수 있다. 상기 서로 인접한 제1 광원(131a)과 제2 광원(131b)의 거리가 복수의 엔드 이펙터(110)의 최소 간격보다 작은 경우에는 상기 정상상태에서 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격을 조절하여 기준 엔드이펙터(111)에 인접한 가변 엔드이펙터(112)가 제1 광원(131a)에 인접한 제2 광원(131b)에서 조사되는 빛을 가릴 수 없게 된다. 즉, 상기 서로 인접한 제1 광원(131a)과 제2 광원(131b)의 거리가 복수의 엔드 이펙터(110)의 최소 간격보다 작은 경우에는 상기 기준 엔드이펙터(111)에 인접한 가변 엔드이펙터(112)가 상기 제1 광원(131a)에 인접한 제2 광원(131b)에서 조사되는 빛을 지나칠 수 없어 상기 기준 엔드이펙터(111)에 인접한 가변 엔드이펙터(112)에 대한 정확한(또는 정밀한) 이상 감지(또는 처짐 감지)를 할 수 없게 된다.
예를 들어, 상기 복수의 엔드 이펙터(110)의 최소 간격보다 작은 거리로 제1 광원(131a)과 인접한 제2 광원(131b)은 상기 기준 엔드이펙터(111)에 인접한 가변 엔드이펙터(112)가 특정 조건(예를 들어, 기울기)으로 처진 경우에만 상기 기준 엔드이펙터(111)에 인접한 가변 엔드이펙터(112)의 이상을 감지할 수 있다. 즉, 상기 복수의 엔드 이펙터(110)의 최소 간격보다 작은 거리로 제1 광원(131a)과 인접한 제2 광원(131b)은 제1 광원(131a)의 역할과 겹치게 기준 엔드이펙터(111)의 처짐(또는 이상)을 감지하게 되거나, 상기 기준 엔드이펙터(111)의 하부에 인접한 가변 엔드이펙터(112)에 대해서는 이상(또는 처짐)을 감지할 수도 없다.
또한, 상기 서로 인접한 제1 광원(131a)과 제2 광원(131b)의 거리가 상기 서로 인접한 제2 광원(131b)과 제2 광원(131b)의 거리 이상이 되면, 상기 정상상태에서 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격을 상기 최소 간격 내지 상기 최대 간격의 범위에서 조절하더라도 상기 기준 엔드이펙터(111)에 인접한 가변 엔드이펙터(112)가 상기 제1 광원(131a)에 인접한 제2 광원(131b)에서 조사되는 빛을 가릴 수 없게 되거나, 상기 제1 광원(131a)에 인접한 제2 광원(131b) 등 적어도 하나의 제2 광원(131b)에서 조사되는 빛이 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격 조절에 의해 둘 이상의 가변 엔드이펙터(112)에 의해 각각 가려지게 된다. 이러한 경우에는 상기 기준 엔드이펙터(111)에 인접한 가변 엔드이펙터(112) 등 복수의 엔드 이펙터(110)의 이상(또는 처짐)을 정확하게 감지할 수 없게 된다.
예를 들어, 상기 기준 엔드이펙터(111)에 인접한 가변 엔드이펙터(112)가 상기 제1 광원(131a)에 인접한 제2 광원(131b)에서 조사되는 빛을 가릴 수 없게 되는 경우에는 상기 기준 엔드이펙터(111)에 인접한 가변 엔드이펙터(112)에 대해서 이상(또는 처짐)을 감지할 수 없다. 또한, 상기 적어도 하나의 제2 광원(131b)에서 조사되는 빛이 상기 둘 이상의 가변 엔드이펙터(112)에 의해 가려지는 경우에는 어느 가변 엔드이펙터(112)에 이상(또는 처짐)이 발생하였는지 판단하기 어렵게 되고, 상기 적어도 하나의 제2 광원(131b)에서 조사되는 빛이 상기 정상상태의 가변 엔드이펙터(112)에 의해 가려졌는지 이상(또는 처짐)이 발생한 가변 엔드이펙터(112)에 의해 가려졌는지 판단하기 어렵게 된다.
따라서, 상기 서로 인접한 제1 광원(131a)과 제2 광원(131b)의 거리를 복수의 엔드 이펙터(110)의 최소 간격 이상이고, 상기 서로 인접한 제2 광원(131b)과 제2 광원(131b)의 거리보다는 작도록 함으로써, 복수의 엔드 이펙터(110) 각각의 이상(또는 처짐)을 정확하게 감지(또는 판단)할 수 있다. 이때, 상기 기준 엔드이펙터(111)에 인접한 가변 엔드이펙터(112)가 상기 제1 광원(131a)에 인접한 제2 광원(131b)에서 조사되는 빛을 하부에서 상부로(또는 상부에서 하부로) 지나칠 수 있어 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격을 상기 일정 간격으로 정확하게 맞춰야 하는 부담(또는 어려움)이 제거될 수 있도록 상기 서로 인접한 제1 광원(131a)과 제2 광원(131b)의 거리가 복수의 엔드 이펙터(110)의 최소 간격보다 큰 것이 바람직할 수 있다.
즉, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 기준 엔드이펙터(111)에 대응되는 제1 광원(131a) 및 제2 방향(12)으로 제1 광원(131a)과 상이한 위치에 제공되는 제2 광원(131b)을 포함하는 복수의 광원(131)이 제2 방향(12)으로 서로 다른 위치에 각각 고정됨으로써, 제1 광원(131a)이 상기 정상상태의 기준 엔드이펙터(111)에 빛을 조사하고 간격 조절부(120)를 통한 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격 조절에 따라 가변 엔드이펙터(112)가 제2 광원(131b)에서 조사되는 빛(31)을 거치도록 할 수 있다. 이에 따라 간격 조절부(120)를 통해 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격을 조절하는 경우에도 복수의 광원(131)의 위치 이동(또는 조정) 없이 복수의 엔드 이펙터(110)의 이상을 감지할 수 있다.
이상 감지부(130,140)는 수광부(140)에 수광되는 광량을 측정하는 광량측정부(미도시); 및 측정된 광량으로 복수의 엔드 이펙터(110)의 이상을 판단하는 이상판단부(미도시)를 더 포함할 수 있다. 광량측정부(미도시)는 수광부(140)에 수광되는 광량을 측정할 수 있으며, 각 광원(131)에서 조사되는 빛(31)의 광량을 각각 측정할 수도 있고, 복수의 광원(131)에서 조사되는 빛(31)의 총 광량을 측정할 수도 있다. 한편, 각 광원(131)에서 조사되는 빛(31)의 광량이 제1 광원(131a)을 기준으로 제1 광원(131a)과의 거리에 따라 달라질 수 있다. 이에 따라 어느 광원(131)에서 조사되는 빛(31)이 가려졌는지 확실하게 알 수도 있고, 거의 (항상) 수광부(140)에 빛(31)이 수광되는 제1 광원(131a)에서 가장 먼 최외곽의 제2 광원(131b)에서 조사되는 빛(31)의 광량을 (상대적으로) 줄이거나, 기준 엔드이펙터(111)에 이상(또는 처짐)이 발생하기 전에는 (항상) 기준 엔드이펙터(111)에 의해 빛(31)이 가려지는 제1 광원(131a)에서 빛(31)의 광량을 (상대적으로) 줄여 복수의 광원(131)의 발광에 의한 전력 소모를 절감할 수도 있다.
예를 들어, 광량측정부(미도시)는 수광부(140)에 빛(31)이 수광되는 여부를 판단하는 온/오프(on/off)뿐만 아니라 엔드 이펙터(110)의 처짐에 의해 엔드 이펙터(110)가 빛(31)을 얼마나(또는 얼마만큼) 가리고 있는지를 확인할 수도 있다. 한편, 상기 광량측정부(미도시)는 복수의 광원(131)에서 빛(31)이 조사될 때에 수광부(140)에 수광되는 총 광량으로 몇 개의 엔드 이펙터(110)에 이상이 발생하였는지를 파악할 수도 있다.
이상판단부(미도시)는 상기 광량측정부(미도시)에서 측정된 광량으로 복수의 엔드 이펙터(110)의 이상을 판단할 수 있으며, 복수의 엔드 이펙터(110) 각각의 처짐을 판단할 수 있고, 복수의 엔드 이펙터(110) 간의 간격 이상을 판단할 수 있다. 이때, 상기 광량측정부(미도시)에서 측정된 광량이 평상시(또는 상기 정상상태)보다 소정량 이상 차이가 발생하였을 경우에 엔드 이펙터(110)의 처짐으로 판단할 수 있고, 복수의 엔드 이펙터(110) 간의 간격 이상으로 판단할 수 있다.
예를 들어, 상기 광량측정부(미도시)에서 측정된 광량이 평상시보다 100 % 차이가 발생하였을 때(즉, 상기 수광부에 수광되는 빛이 온/오프되었을 때)에 복수의 엔드 이펙터(110) 간의 간격 이상(또는 상기 엔드 이펙터의 처짐)으로 판단할 수도 있고, 상기 광량측정부(미도시)에서 측정된 광량이 평상시보다 50 % 차이가 발생하였을 때에 복수의 엔드 이펙터(110) 간의 간격 이상(또는 상기 엔드 이펙터의 처짐)으로 판단할 수도 있다. 여기서, 상기 소정량은 엔드 이펙터(110)의 처짐(또는 상기 복수의 엔드 이펙터 간의 간격 이상)을 정확하게 판단할 수 있는 알맞은 양으로 정해질 수 있다.
일반적으로 엔드 이펙터(110)의 처짐(또는 상기 복수의 엔드 이펙터 간의 간격 이상)이 발생하게 되면, 엔드 이펙터(110)가 광원(131)에서 조사되는 빛(31)을 완전히 가리거나, 벗어나게 되며, 상황에 따른 약간의 오차에 의해 엔드 이펙터(110)가 상기 광원(131)에서 조사되는 빛(31)의 위치(또는 상기 직진광의 위치)보다 약간 더 처지거나, 약간 덜 처질 수도 있다. 엔드 이펙터(110)가 상기 광원(131)에서 조사되는 빛(31)의 위치보다 약간 더 처지거나, 약간 덜 처지는 경우에는 상기 광원(131)에서 조사되는 빛(31)의 전체 광량 중 일부광량이 수광부(140)에 수광될 수 있다. 이러한 경우에 상기 광원(131)에서 조사되는 빛(31)의 온/오프(또는 상기 수광부에 수광되는 빛의 온/오프)만으로 엔드 이펙터(110)의 처짐(또는 상기 복수의 엔드 이펙터 간의 간격 이상)을 판단하게 되면, 상황에 따라 약간의 오차가 발생하는 경우에 이를 엔드 이펙터(110)의 처짐(또는 상기 복수의 엔드 이펙터 간의 간격 이상)으로 판단하지 못하게 된다.
반대로, 상기 광량측정부(미도시)에서 측정되는 광량이 조금만 변화하여도 엔드 이펙터(110)의 처짐(또는 상기 복수의 엔드 이펙터 간의 간격 이상)으로 판단하게 되면, 엔드 이펙터(110)의 하중 등에 의한 약간의 처짐이나, 엔드 이펙터(110)의 이동 등에 의한 약간의 흔들림으로도 약간의 광량 변화가 발생할 수 있으므로, 엔드 이펙터(110)의 처짐(또는 상기 복수의 엔드 이펙터 간의 간격 이상)이 아닌 것까지 엔드 이펙터(110)의 처짐(또는 상기 복수의 엔드 이펙터 간의 간격 이상)으로 판단하게 된다. 이로 인해 상기 광량측정부(미도시)에서 측정되는 광량이 50 %(즉, 상기 광원에서 조사되는 빛의 50 % 광량) 이상 변화한 경우에 엔드 이펙터(110)의 처짐(또는 상기 복수의 엔드 이펙터 간의 간격 이상)으로 판단하는 것이 바람직할 수 있으나, 이에 특별히 한정되지 않는다.
또한, 엔드 이펙터(110)에 처짐이 조금 발생하여도 상기 기판 보트(미도시)의 기판(10) 적재간격 및/또는 상기 기판수납부재(미도시)의 기판(10) 수납간격에 따라 기판(10)의 이송이 가능한 경우가 있다. 예를 들어, 상기 기판 보트(미도시)의 기판(10) 적재간격 및/또는 상기 기판수납부재(미도시)의 기판(10) 수납간격이 넓은 경우에는 엔드 이펙터(110)에 처짐이 조금 발생하여도 기판(10)을 적재하거나 수납하는 데에 아무 어려움이 없으므로, 기판(10)을 적재하거나 수납할 수 있다. 하지만, 상기 기판 보트(미도시)의 기판(10) 적재간격 및/또는 상기 기판수납부재(미도시)의 기판(10) 수납간격이 좁은 경우에는 엔드 이펙터(110)에 처짐이 조금만 발생하여도 스크래치 등의 기판(10)의 손상이 쉽게 발생할 수 있으므로, 엔드 이펙터(110)의 작은 처짐도 복수의 엔드 이펙터(110) 간의 간격 이상으로 판단할 필요가 있다.
이에, 상기 소정량은 상기 기판 보트(미도시)의 기판(10) 적재간격 및/또는 상기 기판수납부재(미도시)의 기판(10) 수납간격에 따라 정해질 수도 있다. 예를 들어, 상기 기판 보트(미도시)의 기판(10) 적재간격 및/또는 상기 기판수납부재(미도시)의 기판(10) 수납간격에 비례하여, 상기 기판 보트(미도시)의 기판(10) 적재간격 및/또는 상기 기판수납부재(미도시)의 기판(10) 수납간격이 좁으면 좁을수록 작아질 수 있고, 상기 기판 보트(미도시)의 기판(10) 적재간격 및/또는 상기 기판수납부재(미도시)의 기판(10) 수납간격이 넓으면 넓을수록 커질 수 있다.
따라서, 이상 감지부(130,140)가 상기 광량측정부(미도시)를 통해 상기 수광부(140)에 수광되는 광량을 측정하여 복수의 엔드 이펙터(110)의 이상(예를 들어, 상기 엔드 이펙터의 처짐 또는 상기 복수의 엔드 이펙터 간의 간격 이상)을 판단함으로써, 상기 기판 보트(미도시)의 기판(10) 적재간격 및/또는 상기 기판수납부재(미도시)의 기판(10) 수납간격에 따라 기판(10)의 이송 가능 여부를 정확하게 판단할 수 있다.
한편, 상기 광량측정부(미도시)에서 측정된 광량에 따라 엔드 이펙터(110)의 유지보수(maintenance)를 결정할 수도 있다. 엔드 이펙터(110)의 처짐은 세라믹 소재로 이루어진 엔드 이펙터(110)의 깨짐이나 엔드 이펙터(110)와 엔드이펙터 핸드(115)를 결합하는 볼트 등의 풀림에 의해 발생할 수 있으며, 처짐의 발생 원인에 따라 처짐의 기울기(또는 각도)가 달라질 수 있다. 이에 따라 처짐의 기울기 차이에 의한 상기 수광부(140)에 수광되는 광량 차이로 처짐의 발생 원인을 알 수도 있다. 엔드 이펙터(110)에 깨짐이 발생한 경우에는 엔드 이펙터(110)를 교체해야 하지만, 볼트만이 풀린 경우에는 볼트만을 조이면 되므로, 기판(10)의 이송을 잠시 멈추고 엔드 이펙터(110)의 유지보수를 수행할 수 있다. 또한, 볼트의 풀림에 의해 처짐이 발생하는 경우에는 볼트의 풀림 정도에 따라 점차적으로 처지게 되므로, 처짐의 기울기가 소정 기울기(또는 소정 각도) 이상 처진 후에 엔드 이펙터(110)의 유지보수를 결정할 수 있고, 상기 처짐의 기울기는 상기 광량측정부(미도시)에서 측정된 광량을 이용한 산출 등을 통해 얻어질 수 있다.
이상 감지부(130,140)는 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격에 따라 상기 수광부(140)에 수광되는 광량을 저장하는 판단기준저장부(미도시)를 더 포함할 수 있다. 판단기준저장부(미도시)는 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격에 따라 상기 수광부(140)에 수광되는 광량이 저장될 수 있다. 이때, 사전에 미리 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격을 변화시키면서 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격별로 상기 수광부(140)에 수광되는 광량을 측정하여 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격에 따라 상기 수광부(140)에 수광된 광량을 판단기준저장부(미도시)에 저장할 수도 있고, 복수의 엔드 이펙터(110)의 각 간격에서 상기 수광부(140)에 수광되는 광량을 측정할 때마다 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격에 따라 상기 수광부(140)에 수광되는 광량을 판단기준저장부(미도시)에 저장(또는 갱신)할 수도 있다.
판단기준저장부(미도시)에 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격별로 상기 수광부(140)에 수광되는 광량이 저장되면, 이상판단부(미도시)는 상기 광량측정부(미도시)에서 (지금) 측정된 광량을 상기 판단기준저장부(미도시)에 저장된 복수의 엔드 이펙터(110)의 측정 간격에서의 상기 수광부(140)에 수광된 광량과 비교할 수 있다. 여기서, 상기 측정된 광량과 상기 측정 간격에서의 상기 수광부(140)에 수광된 광량의 차이가 있는 경우에 복수의 엔드 이펙터(110)의 이상으로 판단할 수 있고, 상기 측정된 광량과 상기 측정 간격에서의 상기 수광부(140)에 수광된 광량의 차이가 허용오차범위를 벗어나는 경우에 복수의 엔드 이펙터(110)의 이상으로 판단할 수도 있다. 이때, 복수(또는 둘 이상)의 (측정) 간격에서 광량을 측정하여 각 간격에서의 측정된 광량과 상기 판단기준저장부(미도시)에 저장된 광량(즉, 상기 수광부에 수광된 광량)을 각각 비교할 수 있으며, 각 간격마다 복수의 엔드 이펙터(110)의 이상을 판단할 수 있다.
가변 엔드이펙터(112)는 복수개로 구성될 수 있다. 이에 따라 3개 이상의 기판(10)을 한꺼번에 이송할 수 있으며, 기판(10)의 이송 효율이 더욱 향상될 수 있다. 가변 엔드이펙터(112)의 개수가 늘어날수록 복수개의 가변 엔드이펙터(112)의 배치가 중요해질 수 있다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 복수의 엔드 이펙터의 이상 감지를 설명하기 위한 개념도로, 도 3의 (a)는 복수의 엔드 이펙터의 초기 간격(또는 최대 간격)의 광량 측정을 나타내며, 도 3의 (b)는 복수의 엔드 이펙터의 제2 간격의 광량 측정을 나타내고, 도 3의 (c)는 복수의 엔드 이펙터의 제3 간격의 광량 측정을 나타내며, 도 3의 (d)는 복수의 엔드 이펙터의 임계 간격(또는 최소 간격)의 광량 측정을 나타낸다. 그리고 도 3의 (e)는 광량의 측정회차별 수광부에서의 수신광량을 나타내는 그래프이다.
도 3을 참조하면, 복수개의 가변 엔드이펙터(112)는 기준 엔드이펙터(111)를 중심으로 대칭될 수 있으며, 기준 엔드이펙터(111)의 제2 방향(12) 양측으로(또는 상부와 하부에) 대칭되어 위치할(또는 배치될) 수 있다. 복수개의 가변 엔드이펙터(112)가 기준 엔드이펙터(111)를 중심으로 대칭되어 위치하는 경우에는 기준 엔드이펙터(111)로부터 동일한 거리에 있는 가변 엔드이펙터(112)가 한 쌍씩 생기게 되어 상기 정상상태인 경우에 모든 가변 엔드이펙터(112)가 상기 대응되는 제2 광원(131b)에서 조사되는 빛(31)을 한번씩은 가릴 수 있게 되는 상기 복수의 간격의 개수가 줄어들 수 있으며, 복수개의 가변 엔드이펙터(112)의 반(즉, 개수의 반)으로 줄어들 수 있다. 즉, 상기 수광부(140)에 수광되는 광량을 측정하는 상기 복수의 간격의 개수를 최소화할 수 있다.
예를 들어, 도 3과 같이, 기준 엔드이펙터(111)를 중심으로 기준 엔드이펙터(111)의 상부와 하부에 2개의 가변 엔드이펙터(112)씩 5개의 엔드 이펙터(110)로 구성될 수 있으며, 4개의 간격에서 상기 수광부(140)에 수광되는 광량을 측정할 수 있다. 도 3의 (a)와 같이, 복수의 엔드 이펙터(110)의 최대 간격(또는 초기 간격)에서는 제1 광원(131a)에서 조사되는 빛(31)만 상기 정상상태의 기준 엔드이펙터(111)에 의해 가려질 수 있고, 상기 복수의 엔드 이펙터(110)의 최대 간격(예를 들어, 제1 간격)에서 상기 수광부(140)에 수광되는 광량을 제1 측정할 수 있다. 이때, 제1 광원(131a) 상부의 제2 광원(131b)(들)에서 조사되는 빛(31)은 기준 엔드이펙터(111) 상부의 가변 엔드이펙터(112) 각각의 하부로 통과하여 수광부(140)에 수광될 수 있다. 또한, 제1 광원(131a) 하부의 제2 광원(131b)(들)에서 조사되는 빛(31)은 기준 엔드이펙터(111) 하부의 가변 엔드이펙터(112) 각각의 상부로 통과하여 수광부(140)에 수광될 수 있다.
그리고 도 3의 (b)와 같이, 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격을 줄이면서 상기 정상상태에서 상기 최외곽의 제2 광원(131b)(들)에서 조사되는 빛(31)도 기준 엔드이펙터(111)에서 가장 먼(또는 최외곽의) 한 쌍의 가변 엔드이펙터(112)에 의해 가려지는 제2 간격에서 상기 수광부(140)에 수광되는 광량을 제2 측정할 수 있다. 이때, 제1 광원(131a)의 상부에 인접한 제2 광원(131b)에서 조사되는 빛(31)은 기준 엔드이펙터(111)의 상부에 인접한 가변 엔드이펙터(112)의 하부로 통과하여 수광부(140)에 수광될 수 있다. 그리고 제1 광원(131a)의 하부에 인접한 제2 광원(131b)에서 조사되는 빛(31)은 기준 엔드이펙터(111)의 하부에 인접한 가변 엔드이펙터(112)의 상부로 통과하여 수광부(140)에 수광될 수 있다.
또한, 도 3의 (c)와 같이, 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격을 (더) 줄이면서 상기 정상상태에서 제1 광원(131a)에 인접한 제2 광원(131b)(들)에서 조사되는 빛(31)이 기준 엔드이펙터(111)에 인접한 한 쌍의 가변 엔드이펙터(112)에 의해 가려지는 제3 간격에서 상기 수광부(140)에 수광되는 광량을 제3 측정할 수 있다. 이때, 제1 광원(131a)에서 조사되는 빛(31)은 기준 엔드이펙터(111)에 의해 가려질 수 있다. 그리고 제1 광원(131a)의 상부에서 상기 최외곽의 제2 광원(131b)에서 조사되는 빛(31)은 상부 최외곽의 가변 엔드이펙터(112)의 상부로 통과하여 수광부(140)에 수광될 수 있다. 또한, 제1 광원(131a)의 하부에서 상기 최외곽의 제2 광원(131b)에서 조사되는 빛(31)은 하부 최외곽의 가변 엔드이펙터(112)의 하부로 통과하여 수광부(140)에 수광될 수 있다.
그리고 도 3의 (d)와 같이, 복수의 엔드 이펙터(110)의 간격을 복수의 엔드 이펙터(110)의 최소 간격(또는 임계 간격)으로 줄일 수 있으며, 상기 복수의 엔드 이펙터(110)의 최소 간격에서는 제1 광원(131a)에서 조사되는 빛(31)만 상기 정상상태의 기준 엔드이펙터(111)에 의해 가려질 수 있고, 상기 복수의 엔드 이펙터(110)의 최소 간격(예를 들어, 제4 간격)에서 상기 수광부(140)에 수광되는 광량을 제4 측정할 수 있다. 이때, 제1 광원(131a) 상부의 제2 광원(131b)(들)에서 조사되는 빛(31)은 기준 엔드이펙터(111) 상부의 가변 엔드이펙터(112) 각각의 상부로 통과하여 수광부(140)에 수광될 수 있다. 그리고 제1 광원(131a) 하부의 제2 광원(131b)(들)에서 조사되는 빛(31)은 기준 엔드이펙터(111) 하부의 가변 엔드이펙터(112) 각각의 하부로 통과하여 수광부(140)에 수광될 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송장치의 이상 판단방법을 나타낸 순서도이다.
도 4를 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송장치의 이상 판단방법을 보다 상세히 살펴보는데, 본 발명의 일실시예에 따른 기판 이송장치와 관련하여 앞서 설명된 부분과 중복되는 사항들은 생략하도록 한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송장치의 이상 판단방법은 기준 엔드이펙터와 가변 엔드이펙터를 포함하는 복수의 엔드 이펙터의 간격을 조절하면서 이상 감지부의 발광부로부터 상기 이상 감지부의 수광부에 수광되는 광량을 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격별로 저장하는 과정(S100); 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 제1 간격으로 설정한 상태에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 제1 측정하는 과정(S200); 저장된 상기 제1 간격에서의 광량과 상기 제1 측정하는 과정(S200)에서 측정된 광량을 비교하는 과정(S300); 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 상기 제1 간격과 상이한 제2 간격으로 설정한 상태에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 제2 측정하는 과정(S400); 및 저장된 상기 제2 간격에서의 광량과 상기 제2 측정하는 과정(S400)에서 측정된 광량을 비교하는 과정(S500);을 포함할 수 있다.
먼저, 기준 엔드이펙터와 가변 엔드이펙터를 포함하는 복수의 엔드 이펙터(end-effector)의 간격을 조절하면서 이상 감지부의 발광부로부터 상기 이상 감지부의 수광부에 수광되는 광량을 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격별로 저장한다(S100). 복수의 엔드 이펙터의 간격을 조절할 수 있는 간격 조절부를 이용하여 기준 엔드이펙터와 가변 엔드이펙터를 포함하는 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 조절하면서 이상 감지부의 발광부로부터 상기 이상 감지부의 수광부에 수광되는 광량을 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격별로 판단기준저장부에 저장할 수 있다. 이렇게 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격별로 상기 판단기준저장부에 저장된 상기 수광부에 수광되는 광량을 상기 복수의 엔드 이펙터의 이상을 감지(또는 판단)하는 데에 사용할 수 있다.
여기서, 상기 복수의 엔드 이펙터는 제1 방향으로 연장될 수 있고, 기준 엔드이펙터와 가변 엔드이펙터를 포함할 수 있으며, 상기 간격 조절부에 의해 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 서로 간의 간격이 조절될 수 있다. 상기 기준 엔드이펙터는 위치가 고정될 수 있으며, 상기 제2 방향의 위치가 고정될 수 있다. 즉, 상기 기준 엔드이펙터는 상기 제2 방향으로 이동(또는 승강)하지 않을 수 있으며, 고정된 상기 기준 엔드이펙터에 대해 상기 가변 엔드이펙터가 상기 제2 방향으로 이동하여 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격이 변화될 수 있다.
상기 가변 엔드이펙터는 상기 기준 엔드이펙터를 기준으로 상기 기준 엔드이펙터와의 거리가 조절될 수 있으며, 상기 기준 엔드이펙터를 기준으로 상기 가변 엔드이펙터를 상기 제2 방향으로 이동시켜 상기 기준 엔드이펙터와 상기 가변 엔드이펙터 간의 거리를 변화시킬 수 있고, 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 조절할 수 있다.
상기 판단기준저장부는 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격에 따라 상기 수광부에 수광되는 광량이 저장될 수 있다. 이때, 사전에 미리 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 변화시키면서 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격별로 상기 수광부에 수광되는 광량을 측정하여 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격에 따라 상기 수광부에 수광된 광량을 상기 판단기준저장부에 저장할 수도 있고, 상기 복수의 엔드 이펙터의 각 간격에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 측정할 때마다 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격에 따라 상기 수광부에 수광되는 광량을 저장(또는 갱신)할 수도 있다. 이때, 정상상태의 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격에 따라 상기 수광부에 수광되는 광량을 상기 판단기준저장부에 저장할 수 있다.
다음으로, 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 제1 간격으로 설정한 상태에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 제1 측정한다(S200). 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 제1 간격으로 설정한 상태에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 상기 이상 감지부의 광량측정부에서 제1 측정할 수 있으며, 상기 제1 측정된 광량은 상기 판단기준저장부에 저장된 상기 제1 간격에서의 상기 수광부에 수광된 광량과 비교하는 데에 사용할 수 있다. 예를 들어, 상기 간격 조절부를 통해 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 상기 제1 간격으로 조절하여 상기 제1 간격에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 (제1) 측정할 수 있다. 상기 광량측정부는 상기 수광부에 수광되는 광량을 측정할 수 있으며, 상기 발광부의 각 광원에서 조사되는 빛의 광량을 각각 측정할 수도 있고, 복수의 상기 광원에서 조사되는 빛의 총 광량을 측정할 수도 있다.
예를 들어, 상기 광량측정부는 상기 수광부에 빛이 수광되는 여부를 판단하는 온/오프(on/off)뿐만 아니라 상기 엔드 이펙터의 처짐에 의해 상기 엔드 이펙터가 빛을 얼마나(또는 얼마만큼) 가리고 있는지를 확인할 수도 있다. 한편, 상기 광량측정부는 복수의 상기 광원에서 빛이 조사될 때에 상기 수광부에 수광되는 총 광량으로 몇 개의 상기 엔드 이펙터에 이상이 발생하였는지를 파악할 수도 있다.
그리고 저장된 상기 제1 간격에서의 광량과 상기 제1 측정하는 과정(S200)에서 측정된 광량을 비교한다(S300). 상기 판단기준저장부에 저장된 상기 제1 간격에서의 광량과 상기 제1 측정하는 과정(S200)에서 측정된 광량을 상기 이상 감지부의 이상판단부에서 비교할 수 있다. 예를 들어, 상기 저장된 상기 제1 간격에서의 상기 수광부에 수광된 광량과 상기 제1 측정하는 과정(S200)에서 측정된 광량의 차이가 있는 경우에 상기 복수의 엔드 이펙터의 이상으로 판단할 수 있다. 또한, 상기 저장된 상기 제1 간격에서의 상기 수광부에 수광된 광량과 상기 제1 측정하는 과정(S200)에서 측정된 광량의 차이가 허용오차범위를 벗어나는 경우에 상기 복수의 엔드 이펙터의 이상으로 판단할 수도 있다. 상기 이상판단부는 상기 광량측정부에서 측정된 광량으로 상기 복수의 엔드 이펙터의 이상을 판단할 수 있으며, 상기 복수의 엔드 이펙터 각각의 처짐을 판단할 수 있고, 상기 복수의 엔드 이펙터 간의 간격 이상을 판단할 수 있다. 이때, 상기 광량측정부에서 측정된 광량이 평상시(또는 상기 정상상태)보다 소정량 이상(예를 들어, 상기 허용오차범위를 벗어난) 차이가 발생하였을 경우에 상기 엔드 이펙터의 처짐으로 판단할 수 있고, 상기 복수의 엔드 이펙터 간의 간격 이상으로 판단할 수 있다.
예를 들어, 상기 광량측정부에서 측정된 광량이 평상시보다 100 % 차이가 발생하였을 때(즉, 상기 수광부에 수광되는 빛이 온/오프되었을 때)에 상기 복수의 엔드 이펙터 간의 간격 이상(또는 상기 엔드 이펙터의 처짐)으로 판단할 수도 있고, 상기 광량측정부에서 측정된 광량이 평상시보다 50 % 차이가 발생하였을 때에 상기 복수의 엔드 이펙터 간의 간격 이상(또는 상기 엔드 이펙터의 처짐)으로 판단할 수도 있다. 여기서, 상기 소정량은 상기 엔드 이펙터의 처짐(또는 상기 복수의 엔드 이펙터 간의 간격 이상)을 정확하게 판단할 수 있는 알맞은 양으로 정해질 수 있다.
일반적으로 상기 엔드 이펙터의 처짐(또는 상기 복수의 엔드 이펙터 간의 간격 이상)이 발생하게 되면, 상기 엔드 이펙터가 상기 광원에서 조사되는 빛을 완전히 가리거나, 벗어나게 되며, 상황에 따른 약간의 오차에 의해 상기 엔드 이펙터가 상기 광원에서 조사되는 빛의 위치(또는 직진광의 위치)보다 약간 더 처지거나, 약간 덜 처질 수도 있다. 상기 엔드 이펙터가 상기 광원에서 조사되는 빛의 위치보다 약간 더 처지거나, 약간 덜 처지는 경우에는 상기 광원에서 조사되는 빛의 전체 광량 중 일부광량이 상기 수광부에 수광될 수 있다. 이러한 경우에 상기 광원에서 조사되는 빛의 온/오프(또는 상기 수광부에 수광되는 빛의 온/오프)만으로 상기 엔드 이펙터의 처짐(또는 상기 복수의 엔드 이펙터 간의 간격 이상)을 판단하게 되면, 상황에 따라 약간의 오차가 발생하는 경우에 이를 상기 엔드 이펙터의 처짐(또는 상기 복수의 엔드 이펙터 간의 간격 이상)으로 판단하지 못하게 된다.
반대로, 상기 광량측정부에서 측정되는 광량이 조금만 변화하여도 상기 엔드 이펙터의 처짐(또는 상기 복수의 엔드 이펙터 간의 간격 이상)으로 판단하게 되면, 상기 엔드 이펙터의 하중 등에 의한 약간의 처짐이나, 상기 엔드 이펙터의 이동 등에 의한 약간의 흔들림으로도 약간의 광량 변화가 발생할 수 있으므로, 상기 엔드 이펙터의 처짐(또는 상기 복수의 엔드 이펙터 간의 간격 이상)이 아닌 것까지 상기 엔드 이펙터의 처짐(또는 상기 복수의 엔드 이펙터 간의 간격 이상)으로 판단하게 된다. 이로 인해 상기 광량측정부에서 측정되는 광량이 50 %(즉, 상기 광원에서 조사되는 빛의 50 % 광량) 이상 변화한 경우에 상기 엔드 이펙터의 처짐(또는 상기 복수의 엔드 이펙터 간의 간격 이상)으로 판단하는 것이 바람직할 수 있으나, 이에 특별히 한정되지 않는다.
그 다음 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 상기 제1 간격과 상이한 제2 간격으로 설정한 상태에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 제2 측정한다(S400). 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 상기 제1 간격과 상이한 제2 간격으로 설정한 상태에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 제2 측정할 수 있다. 이때, 상기 간격 조절부를 통해 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 상기 제2 간격으로 조절하여 상기 제2 간격에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 (제2) 측정할 수 있고, 상기 제2 측정된 광량은 상기 판단기준저장부에 저장된 상기 제2 간격에서의 상기 수광부에 수광된 광량과 비교하는 데에 사용할 수 있다. 여기서, 상기 제2 간격은 상기 제1 간격과 상이할 수 있다.
그리고 저장된 상기 제2 간격에서의 광량과 상기 제2 측정하는 과정(S400)에서 측정된 광량을 비교한다(S500). 상기 판단기준저장부에 저장된 상기 제2 간격에서의 광량과 상기 제2 측정하는 과정(S400)에서 측정된 광량을 비교할 수 있다. 예를 들어, 상기 저장된 상기 제2 간격에서의 상기 수광부에 수광된 광량과 상기 제2 측정하는 과정(S400)에서 측정된 광량의 차이가 있는 경우에 상기 복수의 엔드 이펙터의 이상으로 판단할 수 있다. 또한, 상기 저장된 상기 제2 간격에서의 상기 수광부에 수광된 광량과 상기 제2 측정하는 과정(S400)에서 측정된 광량의 차이가 상기 허용오차범위를 벗어나는 경우에 상기 복수의 엔드 이펙터의 이상으로 판단할 수도 있다.
이와 같이, 상기 이상판단부가 상기 광량측정부에서 (지금) 측정된 광량을 상기 판단기준저장부에 저장된 상기 복수의 엔드 이펙터의 측정 간격(예를 들어, 상기 제1 간격과 상기 제2 간격)에서의 상기 수광부에 수광된 광량과 비교할 수 있다. 여기서, 상기 이상판단부는 상기 측정된 광량과 상기 측정 간격에서의 상기 수광부에 수광된 광량의 차이가 있는 경우에 상기 복수의 엔드 이펙터의 이상으로 판단할 수 있다. 또한, 상기 이상판단부는 상기 측정된 광량과 상기 측정 간격에서의 상기 수광부에 수광된 광량의 차이가 상기 허용오차범위를 벗어나는 경우에 상기 복수의 엔드 이펙터의 이상으로 판단할 수도 있다. 이때, 적어도 상기 제1 간격과 상기 제2 간격(즉, 둘 이상의 (측정) 간격)에서 광량을 측정하여 각 간격에서의 측정된 광량과 상기 판단기준저장부에 저장된 광량(즉, 상기 수광부에 수광된 광량)을 각각 비교할 수 있으며, 각 간격마다 상기 복수의 엔드 이펙터의 이상을 판단할 수 있다.
한편, 상기 수광부에 수광되는 광량을 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격별로 저장하는 과정(S100), 상기 제1 측정하는 과정(S200); 상기 제1 측정하는 과정(S200)에서 측정된 광량을 비교하는 과정(S300); 상기 제2 측정하는 과정(S400); 및 상기 제2 측정하는 과정(S400)에서 측정된 광량을 비교하는 과정(S500)은 상기 복수의 엔드 이펙터에 기판을 지지하여 기판 이송(공정)을 수행(또는 시작)하기 전에 (상기 복수의 엔드 이펙터가 상기 기판을 지지하지 않은 상태에서) 수행할 수 있다. 이를 통해, 본 발명의 기판 이송장치의 이상 판단방법을 통해 상기 복수의 엔드 이펙터의 이상 등 기판 이송장치의 이상을 판단하여 상기 복수의 엔드 이펙터의 이상이 없는 경우에(만) 상기 기판 이송(공정)을 시작(또는 수행)할 수 있다.
여기서, 상기 저장된 상기 제2 간격에서의 광량은 상기 저장된 상기 제1 간격에서의 광량과 상이할 수 있다. 즉, 상기 제1 간격과 상기 제2 간격에서 상기 정상상태의 상기 복수의 엔드 이펙터에 의해 가려지게 되는 빛을 조사하는 상기 광원의 수(또는 개수)가 상이할 수 있다.
다시 말하면, 복수의 상기 광원의 간격이 (모두) 동일한 경우에는 복수(또는 둘 이상)의 간격에서 상기 복수의 엔드 이펙터의 이상을 판단(또는 감지)할 수 없으므로, 복수의 상기 광원의 간격 중 적어도 하나의 간격이 다른 간격(들)과 상이할 수 있다. 이러한 경우에는 서로 다른 상기 제1 간격과 상기 제2 간격에서 각 상기 광원에서 조사되는 빛을 가리게 되는 상기 엔드 이펙터의 수(또는 개수)가 달라지게 되고, 상기 저장된 상기 제1 간격에서의 광량과 상기 저장된 상기 제2 간격에서의 광량이 상이할 수 있다.
한편, 상기 저장된 상기 제2 간격에서의 광량이 상기 저장된 상기 제1 간격에서의 광량과 상이한 경우에는 각 간격의 광량으로 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 파악할 수도 있으며, 각 간격에서 상기 복수의 엔드 이펙터의 이상을 효과적으로 판단할 수 있고, 어느 상기 엔드 이펙터에 처짐 등 이상이 발생하였는지도 알 수 있다.
상기 제2 측정하는 과정(S400)은 상기 저장된 상기 제1 간격에서의 광량과 상기 제1 측정하는 과정(S200)에서 측정된 광량의 차이가 허용오차범위 이내인 경우에 수행될 수 있다. 상기 제2 측정하는 과정(S400)은 상기 저장된 상기 제1 간격에서의 광량과 상기 제1 측정하는 과정(S200)에서 측정된 광량의 차이가 허용오차범위 이내인 경우에(만) 수행될 수도 있다. 즉, 상기 저장된 상기 제1 간격에서의 광량과 상기 제1 측정하는 과정(S200)에서 측정된 광량의 차이가 상기 허용오차범위를 벗어나는 경우에는 이미 상기 복수의 엔드 이펙터에 처짐 등의 이상이 발생한 상태이므로, 상기 제2 측정하는 과정(S400)을 수행하지 않고, 상기 복수의 엔드 이펙터 등 상기 기판 이송장치를 유지보수(maintenance)할 수 있다.
복수의 상기 광원의 간격 중 적어도 하나의 간격이 다른 간격(들)과 상이한 경우에는 상기 제1 간격에서 상기 복수의 엔드 이펙터 중 일부의 상기 엔드 이펙터의 처짐(또는 이상)만을 감지(또는 판단)할 수 있으므로, 상기 저장된 상기 제1 간격에서의 광량과 상기 제1 측정하는 과정(S200)에서 측정된 광량의 차이가 허용오차범위 이내인 경우에 상기 제1 간격에서 처짐 등의 이상을 감지(또는 판단)하지 못한 나머지 상기 엔드 이펙터에 대한 처짐을 감지하기 위해 상기 제2 측정하는 과정(S400)을 수행할 수 있고, 상기 제2 간격에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 (제2) 측정할 수 있다.
한편, 상기 저장된 상기 제1 간격에서의 광량과 상기 제1 측정하는 과정(S200)에서 측정된 광량의 차이가 허용오차범위 이내인 경우에도 어느 상기 엔드 이펙터에 처짐 등의 이상이 발생하였는지를 알기 위해 상기 나머지 상기 엔드 이펙터에 대한 처짐을 감지할 수 있도록 상기 제2 측정하는 과정(S400)을 수행할 수도 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치의 이상 판단방법은 추가적으로 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 상기 제1 간격과 상기 제2 간격 이외의 간격으로 설정한 상태에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 측정하고 저장된 상기 이외의 간격에서의 광량과 비교하는 과정(S600);을 더 포함할 수 있다.
추가적으로 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 상기 제1 간격과 상기 제2 간격 이외의 간격으로 설정한 상태에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 측정하고, 저장된 상기 이외의 간격에서의 광량과 비교할 수 있다(S600). 상기 제1 측정과 상기 제2 측정으로도 모든 상기 복수의 엔드 이펙터에 대해 이상(또는 처짐)을 감지하지 못한 경우에는 추가적으로 상기 제1 간격과 상기 제2 간격 이외의에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 측정할 수 있고, 측정한 광량을 상기 판단기준저장부에 저장된 상기 이외의 간격에서의 광량과 비교할 수 있다. 이때, 상기 이외의 간격에서의 광량과 비교하는 과정(S600)은 모든 상기 복수의 엔드 이펙터에 대해 이상을 감지할 때까지 반복 (수행)될 수 있으며, 상기 제1 측정하는 과정(S200)과 상기 제2 측정하는 과정(S400) 및 (이전) 상기 이외의 간격에서의 광량과 비교하는 과정(S600)에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 측정하지 않은 상이한(또는 서로 다른) 간격으로 반복될 수 있다. 즉, 모든 상기 복수의 엔드 이펙터에 대해 이상을 감지하기 위해 상기 제1 간격, 상기 제2 간격, ..., 제n 간격(예를 들어, 제3 간격, 제4 간격 등)에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 측정하고, 측정한 광량을 상기 판단기준저장부에 저장된 각 간격에서의 광량과 비교할 수 있으며, 상기 복수의 엔드 이펙터의 이상을 판단할 수 있다.
상기 발광부는 상기 복수의 엔드 이펙터에 대응되는 수로 제공되는 복수의 광원을 포함할 수 있다. 복수의 광원은 상기 복수의 엔드 이펙터에 대응되는 수로 제공될 수 있으며, 상기 복수의 엔드 이펙터와 동일한 수로 제공될 수 있고, 상기 복수의 엔드 이펙터 각각마다 하나씩 대응되어 제공될 수 있으나, 이에 특별히 한정되지 않는다.
예를 들어, 상기 복수의 엔드 이펙터 각각에 대응되어 적어도 하나의 상기 광원이 제공될 수 있으며, 상기 복수의 엔드 이펙터 각각에 하나씩 대응되어 상기 광원이 제공될 수도 있고, 상기 기준 엔드이펙터에 대응되어 하나의 상기 광원이 제공되며, 상기 가변 엔드이펙터에 대응되어 하나 이상(예를 들어, 2개)의 상기 광원이 제공될 수도 있다. 이때, 상기 기준 엔드이펙터로부터 가장 먼 상기 가변 엔드이펙터에 대응되어 가장 많은 상기 광원이 제공될 수도 있다.
또한, 상기 복수의 광원은 빛을 발광(또는 조사)할 수 있으며, 직진광을 조사할 수 있고, 광섬유(optical fiber), 레이저(laser) 등일 수 있다. 이때, 상기 수광부는 상기 복수의 광원과 대응되는 수(예를 들어, 동일한 수)의 수광면을 가질 수도 있고, 하나의 수광면에 상기 복수의 광원에서 조사되는 빛(들)을 수광할 수도 있다. 상기 복수의 엔드 이펙터 각각의 처짐을 효과적으로 감지하기 위해서는 상기 수광부가 상기 복수의 광원과 대응되는 상기 수광면을 갖는 것이 바람직할 수 있으나, 이에 특별히 한정되지 않는다.
여기서, 상기 이상 감지부는 상기 복수의 광원을 이용하여 상시 미감지 방식으로 상기 엔드 이펙터의 처짐을 감지함으로써, 상기 복수의 엔드 이펙터 간의 간격 이상을 판단할 수도 있다. 또한, 상기 이상 감지부는 상기 복수의 광원을 이용하여 상시 감지 방식으로 상기 엔드 이펙터의 처짐을 감지함으로써, 상기 복수의 엔드 이펙터 간의 간격 이상을 판단할 수도 있다.
따라서, 상기 복수의 엔드 이펙터 각각의 처짐을 감지하여 상기 복수의 엔드 이펙터 간의 간격 이상을 판단할 수 있으며, 이에 따라 상기 복수의 엔드 이펙터 간의 간격 불량으로 인한 기판의 손상 및/또는 기판 보트의 넘어짐을 방지할 수 있으면서도 기판 적재간격이 정해진 상기 기판 보트에 둘 이상의 상기 기판을 한꺼번에 안정적으로 적재할 수 있다. 즉, 상기 발광부가 상기 복수의 엔드 이펙터에 대응되는 수로 제공되는 상기 복수의 광원을 포함함으로써, 상기 복수의 엔드 이펙터 각각에 대해 효과적으로 처짐(또는 이상)을 감지할 수 있고, 상기 복수의 엔드 이펙터 간의 간격 불량으로 인한 상기 기판의 손상 및/또는 상기 기판 보트의 넘어짐을 방지할 수 있다.
이때, 상기 제1 간격과 상기 제2 간격은 상기 복수의 광원의 위치에 따라 결정될 수 있다. 상기 복수의 광원의 위치에 따라 상기 제1 간격과 상기 제2 간격에서 상기 복수의 광원 각각에서 조사되는 빛을 가리게 되는 상기 엔드 이펙터의 수가 달라질 수 있도록 상기 제1 간격과 상기 제2 간격을 결정할 수 있다. 이에 따라 둘 이상(또는 복수)의 간격에서 상기 복수의 엔드 이펙터의 이상(또는 처짐)을 감지(또는 판단)할 수 있다.
상기 복수의 광원 중 상기 기준 엔드이펙터에 대응되는 제1 광원에서 조사된 빛은 정상상태의 상기 기준 엔드이펙터에 의해 적어도 부분적으로 차단될 수 있다. 상기 복수의 광원 중 제1 광원은 상기 기준 엔드이펙터에 대응되어 제공될 수 있으며, 상기 기준 엔드이펙터와 동일한 상기 제2 방향 위치(또는 높이)에 고정될 수 있고, 상기 제1 광원에서 조사되는 빛은 정상상태의 상기 기준 엔드이펙터에 의해 적어도 부분적으로 차단될(또는 가려질) 수 있다. 이에 따라 상기 제1 광원을 통해 상기 기준 엔드이펙터의 처짐(또는 이상)을 감지할 수 있으며, 상기 기준 엔드이펙터에 처짐이 발생하여 상기 수광부에 수광되는 광량이 변화하는 경우(예를 들어, 상기 수광부에 수광되는 광량이 늘어나는 경우)에 상기 기준 엔드이펙터의 이상(또는 처짐)으로 판단할 수 있다.
상기 복수의 광원은 상기 제1 광원과 상이한 위치에 제공되는 제2 광원을 더 포함할 수 있다. 제2 광원은 상기 제2 방향으로 상기 제1 광원과 상이한 위치에 제공(또는 고정)될 수 있으며, 상기 제1 광원과 상기 제2 방향 위치(또는 높이)가 상이할 수 있고, 상기 가변 엔드이펙터의 이상(또는 처짐)을 감지할 수 있다.
이때, 상기 제2 광원에서 조사되는 빛은 상기 가변 엔드이펙터의 위치 변화(또는 이동)에 따라 상기 가변 엔드이펙터의 위(또는 상부)나 아래(또는 하부)로 통과하여 상기 수광부에 수광되거나, 상기 가변 엔드이펙터에 적어도 부분적으로 차단될(또는 가려질) 수 있다.
예를 들어, 상기 제1 광원의 상부(또는 하부)에 인접하여 위치하는 상기 제2 광원에서 조사되는 빛은 상기 복수의 엔드 이펙터의 최소 간격(또는 서로 인접한 상기 기준 엔드이펙터와 상기 가변 엔드이펙터의 최소 간격)에서 상기 기준 엔드이펙터의 상부(또는 하부)에 인접하여 위치하는 상기 가변 엔드이펙터의 상부(또는 하부)로 통과할 수 있다. 그리고 상기 제1 광원의 상부(또는 하부)에 인접하여 위치하는 상기 제2 광원에서 조사되는 빛은 상기 복수의 엔드 이펙터의 최대 간격(또는 서로 인접한 상기 기준 엔드이펙터와 상기 가변 엔드이펙터의 최대 간격)에서 상기 기준 엔드이펙터의 상부(또는 하부)에 인접하여 위치하는 상기 가변 엔드이펙터의 하부(또는 상부)로 통과할 수 있다. 또한, 상기 제1 광원의 상부(또는 하부)에 인접하여 위치하는 상기 제2 광원에서 조사되는 빛은 상기 복수의 엔드 이펙터의 상기 최소 간격과 상기 최대 간격의 중간 간격(또는 서로 인접한 상기 기준 엔드이펙터와 상기 가변 엔드이펙터의 상기 최소 간격과 상기 최대 간격의 중간 간격)에서 상기 기준 엔드이펙터의 상부(또는 하부)에 인접하여 위치하는 상기 가변 엔드이펙터에 의해 차단될(또는 가려질) 수 있다.
이때, 상기 제2 광원은 복수개로 구성될 수 있으며, 상기 가변 엔드이펙터의 처짐(또는 이상)을 효과적으로 감지하기 위해 2개 이상이 제공될 수도 있고, 상기 가변 엔드이펙터가 복수개인 경우에 상기 가변 엔드이펙터의 개수에 대응되어(또는 개수에 따라) 복수개가 제공될 수도 있다. 이를 통해 각 상기 제2 광원에 대응되는 상기 가변 엔드이펙터의 처짐(또는 이상)을 효과적으로 감지할 수 있다. 즉, 각 상기 가변 엔드이펙터에 대응되어 제공되는 (복수개의) 상기 제2 광원을 통해 각각 대응되는 상기 가변 엔드이펙터의 처짐(또는 이상)을 감지할 수 있으며, 상기 제1 광원을 통한 상기 기준 엔드이펙터와 함께 상기 복수의 엔드 이펙터의 처짐(또는 이상)을 효과적으로 감지할 수 있다. 이때, 각 상기 가변 엔드이펙터에는 적어도 하나의 상기 제2 광원이 대응되어 제공될 수 있으며, 각 상기 가변 엔드이펙터에 대응되어 제공되는 상기 제2 광원의 개수는 상기 가변 엔드이펙터에 따라(예를 들어, 상기 가변 엔드이펙터의 위치에 따라) 달라질 수 있다.
그리고 서로 인접한 상기 제1 광원과 상기 제2 광원 사이에는 하나 이하의 상기 가변 엔드이펙터가 위치될 수 있다. 이러한 경우, 상기 제1 광원과 인접한 상기 제2 광원에 의해 대응되는 하나의 상기 가변 엔드이펙터(만)을 감지할 수 있다. 이를 통해, 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 조절하여 상기 기준 엔드이펙터에 인접한 상기 가변 엔드이펙터가 상기 제1 광원에 인접한 상기 제2 광원에서 조사되는 빛을 하부에서 상부로(또는 상부에서 하부로) 지나치도록 함으로써, 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 일정 간격(또는 소정 간격)으로 정확하게 맞춰야 하는 부담(또는 어려움)이 제거될 수 있고, 상기 복수의 엔드 이펙터 각각의 이상(또는 처짐)을 정확하게 감지(또는 판단)할 수 있다.
예를 들어, 서로 인접한 상기 제1 광원과 상기 제2 광원의 거리는 서로 인접한 상기 제2 광원과 상기 제2 광원의 거리와 상이하게 할 수 있다. 상기 복수의 광원이 동일 간격으로 배열되는 경우(즉, 상기 서로 인접한 상기 제1 광원과 상기 제2 광원의 거리와 상기 서로 인접한 상기 제2 광원과 상기 제2 광원의 거리가 동일한 경우)에는 항상 상기 복수의 광원의 간격에 대응되는(예를 들어, 상기 복수의 광원의 간격과 동일한) 소정 간격(또는 상기 일정 간격)으로 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 맞춘 후에 상기 복수의 엔드 이펙터의 이상을 감지해야만 한다.
그러나 상기 간격 조절부에 의해 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격이 상기 소정 간격과 다르게 조절된 후에는 상기 소정 간격으로 정확하게(또는 정밀하게) 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 맞추기 어려우며, 상기 소정 간격으로 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 맞출 때마다 상기 소정 간격에서 약간의(또는 미세한) 오차가 발생할 수 있다.
상기 소정 간격과 오차가 발생한 간격에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 측정하는 경우에는 상기 소정 간격에서 측정된 상기 수광부에 수광되는 광량과 차이가 날 수 있다. 이로 인해 상기 엔드 이펙터의 처짐이 발생하지 않아도 상기 복수의 엔드 이펙터의 이상으로 판단하는 등 상기 복수의 엔드 이펙터의 이상 판단이 어려워지고, 이상 판단의 정확도(또는 정밀도)가 떨어지게 된다. 또한, 상기 소정 간격과의 간격 오차로 인해 상기 엔드 이펙터의 미세한 처짐(예를 들어, 상기 소정 간격과의 간격 오차 이하의 처짐)은 감지하지 못하게 된다.
이에, 상기 서로 인접한 상기 제1 광원과 상기 제2 광원의 거리를 상기 서로 인접한 상기 제2 광원과 상기 제2 광원의 거리와 상이하게 할 수 있다. 이러한 경우, 둘 이상의 간격에서 상기 복수의 엔드 이펙터의 이상을 판단할 수 있으며, 이에 따라 상기 엔드 이펙터의 미세한 처짐도 감지하여 상기 복수의 엔드 이펙터의 이상을 판단할 수 있고, 상기 복수의 엔드 이펙터의 이상 판단의 정확도가 향상될 수 있다.
이때, 상기 정상상태인 경우(또는 평상시)에 상기 제1 광원에서 조사되는 빛만 상기 기준 엔드이펙터에 가려지는 간격(예를 들어, 상기 복수의 엔드 이펙터의 상기 최소 간격 또는 상기 최대 간격)에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 (1차적으로) 측정한 후에 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 늘리거나, 줄여가면서 적어도 하나 이상의 다른 간격에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 (2차적으로) 측정할 수 있다. 여기서, 상기 제1 광원에서 조사되는 빛뿐만 아니라 적어도 하나의 상기 제2 광원에서 조사되는 빛도 상기 가변 엔드이펙터에 가려지는 간격에서 적어도 상기 수광부에 수광되는 광량을 측정할 수 있고, 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 늘리거나, 줄이면서 (각) 상기 가변 엔드이펙터가 대응되는 상기 제2 광원에서 조사되는 빛을 거치도록(또는 지나도록) 할 수 있다. 이때, 각 상기 가변 엔드이펙터는 상기 기준 엔드이펙터로부터의 (상기 제2 방향) 거리에 따라 상기 대응되는 상기 제2 광원에서 조사되는 빛을 가리게 되는 시점(즉, 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격)이 달라질 수 있다.
여기서, 상기 정상상태인 경우에 모든 상기 가변 엔드이펙터가 상기 대응되는 상기 제2 광원에서 조사되는 빛을 한번씩은 가릴 수 있게 되는 복수의 간격에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 측정할 수 있다. 이를 통해 상기 복수의 엔드 이펙터의 이상을 판단한 경우에 상기 복수의 엔드 이펙터 중 어느 상기 엔드 이펙터에 처짐(또는 이상)이 발생하였는지를 알 수도 있다.
즉, 본 발명에서는 상기 정상상태인 경우에 상기 제1 광원에서 조사되는 빛만 상기 기준 엔드이펙터에 가려지는 간격에서(부터) 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 늘리거나, 줄여가면서 상기 수광부에 수광되는 광량을 복수회(또는 상기 복수의 간격에서) 측정함으로써, 정확하게 상기 소정 간격을 맞추기 위한 어려움이 없을 수 있을 뿐만 아니라 상기 복수의 엔드 이펙터의 이상 판단의 정확도가 향상될 수 있고, 상기 엔드 이펙터의 미세한 처짐도 감지할 수 있다.
또한, 상기 서로 인접한 상기 제1 광원과 상기 제2 광원의 거리는 상기 복수의 엔드 이펙터의 최소 간격 이상일 수 있고, 상기 서로 인접한 상기 제2 광원과 상기 제2 광원의 거리보다 작을 수 있다. 상기 서로 인접한 상기 제1 광원과 상기 제2 광원의 거리가 상기 복수의 엔드 이펙터의 최소 간격보다 작은 경우에는 상기 정상상태에서 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 조절하여 상기 기준 엔드이펙터에 인접한 상기 가변 엔드이펙터가 상기 제1 광원에 인접한 상기 제2 광원에서 조사되는 빛을 가릴 수 없게 된다. 또한, 상기 서로 인접한 상기 제1 광원과 상기 제2 광원의 거리가 상기 복수의 엔드 이펙터의 최소 간격보다 작은 경우에는 상기 기준 엔드이펙터에 인접한 상기 가변 엔드이펙터가 상기 제1 광원에 인접한 상기 제2 광원에서 조사되는 빛을 지나칠 수 없어 상기 기준 엔드이펙터에 인접한 상기 가변 엔드이펙터에 대한 정확한(또는 정밀한) 이상 감지(또는 처짐 감지)를 할 수 없게 된다.
즉, 상기 복수의 엔드 이펙터의 최소 간격보다 작은 거리로 상기 제1 광원과 인접한 상기 제2 광원은 상기 기준 엔드이펙터에 인접한 상기 가변 엔드이펙터가 특정 조건(예를 들어, 기울기)으로 처진 경우에만 상기 기준 엔드이펙터에 인접한 상기 가변 엔드이펙터의 이상을 감지할 수 있다. 그리고 상기 복수의 엔드 이펙터의 최소 간격보다 작은 거리로 상기 제1 광원과 인접한 상기 제2 광원은 상기 제1 광원의 역할과 겹치게 상기 기준 엔드이펙터의 처짐(또는 이상)을 감지하게 되거나, 상기 기준 엔드이펙터의 하부에 인접한 상기 가변 엔드이펙터에 대해서는 이상(또는 처짐)을 감지할 수도 없다.
또한, 상기 서로 인접한 상기 제1 광원과 상기 제2 광원의 거리가 상기 서로 인접한 상기 제2 광원과 상기 제2 광원의 거리 이상이 되면, 상기 정상상태에서 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 상기 최소 간격 내지 상기 최대 간격의 범위에서 조절하더라도 상기 기준 엔드이펙터에 인접한 상기 가변 엔드이펙터가 상기 제1 광원에 인접한 상기 제2 광원에서 조사되는 빛을 가릴 수 없게 되거나, 상기 제1 광원에 인접한 상기 제2 광원 등 적어도 하나의 상기 제2 광원에서 조사되는 빛이 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격 조절에 의해 둘 이상의 상기 가변 엔드이펙터에 의해 각각 가려지게 된다. 이러한 경우에는 상기 기준 엔드이펙터에 인접한 상기 가변 엔드이펙터 등 상기 복수의 엔드 이펙터의 이상(또는 처짐)을 정확하게 감지할 수 없게 된다.
이와 같이, 상기 기준 엔드이펙터에 인접한 상기 가변 엔드이펙터가 상기 제1 광원에 인접한 상기 제2 광원에서 조사되는 빛을 가릴 수 없게 되는 경우에는 상기 기준 엔드이펙터에 인접한 상기 가변 엔드이펙터에 대해서 이상(또는 처짐)을 감지할 수 없다. 또한, 상기 적어도 하나의 상기 제2 광원에서 조사되는 빛이 상기 둘 이상의 상기 가변 엔드이펙터에 의해 가려지는 경우에는 어느 상기 가변 엔드이펙터에 이상(또는 처짐)이 발생하였는지 판단하기 어렵게 되고, 상기 적어도 하나의 상기 제2 광원에서 조사되는 빛이 상기 정상상태의 상기 가변 엔드이펙터에 의해 가려졌는지 이상(또는 처짐)이 발생한 상기 가변 엔드이펙터에 의해 가려졌는지 판단하기 어렵게 된다.
따라서, 상기 서로 인접한 상기 제1 광원과 상기 제2 광원의 거리를 상기 복수의 엔드 이펙터의 최소 간격 이상이고, 상기 서로 인접한 상기 제2 광원과 상기 제2 광원의 거리보다는 작도록 함으로써, 상기 복수의 엔드 이펙터 각각의 이상(또는 처짐)을 정확하게 감지(또는 판단)할 수 있다.
한편, 상기 복수의 광원 각각에서 조사되는 빛의 광량이 상기 제1 광원으로부터 상기 제1 광원과의 거리에 따라 달라질 수 있다. 이에 따라 어느 상기 광원에서 조사되는 빛이 가려졌는지 확실하게 알 수도 있고, 거의 (항상) 상기 수광부에 빛(또는 조사광)이 수광되는 상기 제1 광원에서 가장 먼 최외곽의 상기 제2 광원에서 조사되는 빛의 광량을 (상대적으로) 줄이거나, 상기 기준 엔드이펙터에 이상(또는 처짐)이 발생하기 전에는 (항상) 상기 기준 엔드이펙터에 의해 빛(또는 조사광)이 가려지는 상기 제1 광원에서 빛의 광량을 (상대적으로) 줄여 상기 복수의 광원의 발광에 의한 전력 소모를 절감할 수도 있다.
여기서, 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격은 모터(motor) 구동에 의해 조절될 수 있다. 예를 들어, 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격은 모터의 구동에 의해 조절할 수 있으며, 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격에 따라 상기 모터의 엔코더(encoder) 값이 달라질(또는 변화할) 수 있다. 이를 이용하여 상기 수광부에 수광되는 광량을 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격별로 저장하는 과정(S100)에서 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 조절하면서 상기 판단기준저장부에 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격에 따라 상기 모터의 엔코더 값별로 상기 수광부에 수광되는 광량을 저장할 수 있다.
이때, 본 발명에 따른 기판 이송장치의 이상 판단방법은 상기 제1 간격과 상기 제2 간격의 모터 엔코더(Motor Encoder) 값을 저장하는 과정(S150);을 더 포함할 수 있다.
상기 제1 간격과 상기 제2 간격의 모터 엔코더 값을 저장(또는 기록)할 수 있다(S150). 상기 제1 간격과 상기 제2 간격의 모터 엔코더 값을 상기 판단기준저장부에 저장할 수 있다. 이에 따라 상기 판단기준저장부에 저장된 상기 모터 엔코더 값을 이용하여 상기 제1 간격 및/또는 상기 제2 간격으로 정확(또는 정밀)하면서도 빠르게 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 조절(또는 조정)할 수 있고, 상기 복수의 엔드 이펙터에 대한 간격 조정시간 단축 및 감지 판단이 용이할 수 있다. 예를 들어, 상기 모터를 구동하여 상기 제1 간격의 모터 엔코더 값으로 상기 모터의 엔코더 값을 맞춤(또는 조정함)으로써, 상기 제1 간격으로 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 조정(또는 조절)할 수 있다. 또한, 상기 모터를 구동하여 상기 제2 간격의 모터 엔코더 값으로 상기 모터의 엔코더 값을 맞춤으로써, 상기 제2 간격으로 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 조정할 수 있다. 한편, 상기 이외의 간격(예를 들어, 제3 간격, 제4 간격 등 상기 제n 간격)의 모터 엔코더 값을 저장(또는 기록)할 수도 있고, 상기 이외의 간격의 모터 엔코더 값을 이용하여 상기 이외의 간격으로 정확하면서도 빠르게 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 조정할 수 있다.
이와 같이, 적어도 하나의 상기 엔드 이펙터가 각 상기 광원에서 조사되는 빛을 가리게 되는 위치인 상기 제1 간격과 상기 제2 간격 및/또는 상기 이외의 간격의 모터 엔코더 값을 기록함으로써, 상기 복수의 광원을 각각 정해진(또는 결정된) 위치에 정밀하게 장착하지 않아도 될 수 있고, 조정시간 단축 및 감지 판단이 용이할 수 있다.
여기서, 상기 모터 엔코더 값을 저장하는 과정(S150)은 상기 제1 측정하는 과정(S200)과 상기 제2 측정하는 과정(S400) 이전에 수행될 수 있다.
상기 가변 엔드이펙터는 복수개로 구성될 수 있다. 이에 따라 3개 이상의 상기 기판을 한꺼번에 이송할 수 있으며, 상기 기판의 이송 효율이 더욱 향상될 수 있다. 상기 가변 엔드이펙터의 개수가 늘어날수록 복수개의 상기 가변 엔드이펙터의 배치가 중요해질 수 있다.
그리고 복수개의 상기 가변 엔드이펙터는 상기 기준 엔드이펙터를 중심으로 대칭될 수 있으며, 상기 기준 엔드이펙터의 상기 제2 방향 양측으로(또는 상부와 하부에) 대칭되어 위치할(또는 배치될) 수 있다. 복수개의 상기 가변 엔드이펙터가 상기 기준 엔드이펙터를 중심으로 대칭되어 위치하는 경우에는 상기 기준 엔드이펙터로부터 동일한 거리에 있는 상기 가변 엔드이펙터가 한 쌍씩 생기게 되어 상기 복수의 간격의 개수가 줄어들 수 있으며, 복수개의 상기 가변 엔드이펙터의 반(즉, 개수의 반)으로 줄어들 수 있다. 즉, 상기 수광부에 수광되는 광량을 측정하는 상기 복수의 간격의 개수를 최소화할 수 있다.
예를 들어, 상기 기준 엔드이펙터를 중심으로 상기 기준 엔드이펙터의 상부와 하부에 2개의 상기 가변 엔드이펙터씩 5개의 상기 엔드 이펙터로 구성될 수 있으며, 4개의 간격에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 측정할 수 있다. 상기 복수의 엔드 이펙터의 최대 간격(또는 초기 간격)에서는 상기 제1 광원에서 조사되는 빛만 상기 정상상태의 상기 기준 엔드이펙터에 의해 가려질 수 있고, 상기 복수의 엔드 이펙터의 최대 간격(예를 들어, 상기 제1 간격)에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 상기 제1 측정할 수 있다. 이때, 상기 제1 광원 상부의 상기 제2 광원(들)에서 조사되는 빛은 상기 기준 엔드이펙터 상부의 상기 가변 엔드이펙터 각각의 하부로 통과하여 상기 수광부에 수광될 수 있다. 또한, 상기 제1 광원 하부의 상기 제2 광원(들)에서 조사되는 빛은 상기 기준 엔드이펙터 하부의 상기 가변 엔드이펙터 각각의 상부로 통과하여 상기 수광부에 수광될 수 있다.
그리고 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 줄이면서 상기 정상상태에서 상기 최외곽의 상기 제2 광원(들)에서 조사되는 빛도 상기 기준 엔드이펙터에서 가장 먼(또는 최외곽의) 한 쌍의 상기 가변 엔드이펙터에 의해 가려지는 상기 제2 간격에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 상기 제2 측정할 수 있다. 이때, 상기 제1 광원의 상부에 인접한 상기 제2 광원에서 조사되는 빛은 상기 기준 엔드이펙터의 상부에 인접한 상기 가변 엔드이펙터의 하부로 통과하여 상기 수광부에 수광될 수 있다. 그리고 상기 제1 광원의 하부에 인접한 상기 제2 광원에서 조사되는 빛은 상기 기준 엔드이펙터의 하부에 인접한 상기 가변 엔드이펙터의 상부로 통과하여 상기 수광부에 수광될 수 있다.
또한, 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 (더) 줄이면서 상기 정상상태에서 상기 제1 광원에 인접한 상기 제2 광원(들)에서 조사되는 빛이 상기 기준 엔드이펙터에 인접한 한 쌍의 상기 가변 엔드이펙터에 의해 가려지는 제3 간격에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 제3 측정할 수 있다. 이때, 상기 제1 광원에서 조사되는 빛은 상기 기준 엔드이펙터에 의해 가려질 수 있다. 그리고 상기 제1 광원의 상부에서 상기 최외곽의 상기 제2 광원에서 조사되는 빛은 상부 최외곽의 상기 가변 엔드이펙터의 상부로 통과하여 상기 수광부에 수광될 수 있다. 또한, 상기 제1 광원의 하부에서 상기 최외곽의 상기 제2 광원에서 조사되는 빛은 하부 최외곽의 상기 가변 엔드이펙터의 하부로 통과하여 상기 수광부에 수광될 수 있다.
그리고 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 상기 복수의 엔드 이펙터의 최소 간격(또는 임계 간격)으로 줄일 수 있으며, 상기 복수의 엔드 이펙터의 최소 간격에서는 상기 제1 광원에서 조사되는 빛만 상기 정상상태의 상기 기준 엔드이펙터에 의해 가려질 수 있고, 상기 복수의 엔드 이펙터의 최소 간격(예를 들어, 제4 간격)에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 제4 측정할 수 있다. 이때, 상기 제1 광원 상부의 상기 제2 광원(들)에서 조사되는 빛은 상기 기준 엔드이펙터 상부의 상기 가변 엔드이펙터 각각의 상부로 통과하여 상기 수광부에 수광될 수 있다. 그리고 상기 제1 광원 하부의 상기 제2 광원(들)에서 조사되는 빛은 상기 기준 엔드이펙터 하부의 상기 가변 엔드이펙터 각각의 하부로 통과하여 상기 수광부에 수광될 수 있다.
이처럼, 본 발명에서는 이상 감지부를 통해 복수의 엔드 이펙터의 처짐 등 이상을 감지함으로써, 기판의 이송을 수행하기 전에 엔드 이펙터의 이상을 파악할 수 있고, 엔드 이펙터의 이송 불량으로 인한 기판의 손상 및/또는 기판 보트의 넘어짐을 사전에 방지할 수 있다. 이때, 이상 감지부가 발광부와 수광부를 포함하고, 발광부가 복수의 엔드 이펙터에 대응되는 수로 제공되는 복수의 광원을 포함함으로써, 복수의 엔드 이펙터 각각에 대해 효과적으로 처짐을 감지할 수 있다. 또한, 복수의 광원이 기준 엔드이펙터에 대응되는 제1 광원 및 제1 광원과 상이한 위치에 제공되는 제2 광원을 포함하고, 제1 광원과 제2 광원이 서로 다른 위치에 각각 고정될 수 있다. 이러한 경우, 제1 광원이 정상상태의 기준 엔드이펙터에 빛을 조사하고 간격 조절부를 통한 복수의 엔드 이펙터의 간격 조절에 따라 가변 엔드이펙터가 제2 광원에서 조사되는 빛을 거치도록 함으로써, 간격 조절부를 통해 복수의 엔드 이펙터의 간격을 조절하는 경우에도 복수의 광원의 위치 이동 없이 복수의 엔드 이펙터의 이상을 감지할 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.

Claims (18)

  1. 제1 방향으로 연장되며, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 다단 배치되어 기판이 각각 지지되는 복수의 엔드 이펙터;
    상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 조절하는 간격 조절부; 및
    상기 복수의 엔드 이펙터의 이상을 감지하는 이상 감지부;를 포함하고,
    상기 복수의 엔드 이펙터는,
    위치가 고정되는 기준 엔드이펙터; 및
    상기 기준 엔드이펙터를 기준으로 상기 기준 엔드이펙터와의 거리가 조절되는 가변 엔드이펙터를 포함하는 기판 이송장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 이상 감지부는 발광부와 수광부를 포함하고,
    상기 발광부는 상기 복수의 엔드 이펙터에 대응되는 수로 제공되는 복수의 광원을 포함하는 기판 이송장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 복수의 광원은 상기 제2 방향으로 서로 다른 위치에 각각 고정되는 기판 이송장치.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 복수의 광원은,
    상기 기준 엔드이펙터에 대응되는 제1 광원; 및
    상기 제2 방향으로 상기 제1 광원과 상이한 위치에 제공되는 제2 광원을 포함하는 기판 이송장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 제2 광원은 복수개로 구성되고,
    서로 인접한 상기 제1 광원과 상기 제2 광원의 거리는 서로 인접한 상기 제2 광원과 상기 제2 광원의 거리와 상이한 기판 이송장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 서로 인접한 상기 제1 광원과 상기 제2 광원의 거리는 상기 복수의 엔드 이펙터의 최소 간격 이상이고, 상기 서로 인접한 상기 제2 광원과 상기 제2 광원의 거리보다 작은 기판 이송장치.
  7. 청구항 2에 있어서,
    상기 이상 감지부는,
    상기 수광부에 수광되는 광량을 측정하는 광량측정부; 및
    측정된 광량으로 상기 복수의 엔드 이펙터의 이상을 판단하는 이상판단부를 더 포함하는 기판 이송장치.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 이상 감지부는 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격에 따라 상기 수광부에 수광되는 광량을 저장하는 판단기준저장부를 더 포함하는 기판 이송장치.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 가변 엔드이펙터는 복수개로 구성되고,
    복수개의 상기 가변 엔드이펙터는 상기 기준 엔드이펙터를 중심으로 대칭되는 기판 이송장치.
  10. 기준 엔드이펙터와 가변 엔드이펙터를 포함하는 복수의 엔드 이펙터의 간격을 조절하면서 이상 감지부의 발광부로부터 상기 이상 감지부의 수광부에 수광되는 광량을 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격별로 저장하는 과정;
    상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 제1 간격으로 설정한 상태에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 제1 측정하는 과정;
    저장된 상기 제1 간격에서의 광량과 상기 제1 측정하는 과정에서 측정된 광량을 비교하는 과정;
    상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 상기 제1 간격과 상이한 제2 간격으로 설정한 상태에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 제2 측정하는 과정; 및
    저장된 상기 제2 간격에서의 광량과 상기 제2 측정하는 과정에서 측정된 광량을 비교하는 과정;을 포함하는 기판 이송장치의 이상 판단방법.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 저장된 상기 제2 간격에서의 광량은 상기 저장된 상기 제1 간격에서의 광량과 상이한 기판 이송장치의 이상 판단방법.
  12. 청구항 10에 있어서,
    상기 제2 측정하는 과정은 상기 저장된 상기 제1 간격에서의 광량과 상기 제1 측정하는 과정에서 측정된 광량의 차이가 허용오차범위 이내인 경우에 수행되는 기판 이송장치의 이상 판단방법.
  13. 청구항 10에 있어서,
    추가적으로 상기 복수의 엔드 이펙터의 간격을 상기 제1 간격과 상기 제2 간격 이외의 간격으로 설정한 상태에서 상기 수광부에 수광되는 광량을 측정하고 저장된 상기 이외의 간격에서의 광량과 비교하는 과정;을 더 포함하는 기판 이송장치의 이상 판단방법.
  14. 청구항 10에 있어서,
    상기 발광부는 상기 복수의 엔드 이펙터에 대응되는 수로 제공되는 복수의 광원을 포함하고,
    상기 제1 간격과 상기 제2 간격은 상기 복수의 광원의 위치에 따라 결정되는 기판 이송장치의 이상 판단방법.
  15. 청구항 14에 있어서,
    상기 복수의 광원 중 상기 기준 엔드이펙터에 대응되는 제1 광원에서 조사된 빛은 정상상태의 상기 기준 엔드이펙터에 의해 적어도 부분적으로 차단되는 기판 이송장치의 이상 판단방법.
  16. 청구항 15에 있어서,
    상기 복수의 광원은 상기 제1 광원과 상이한 위치에 제공되는 제2 광원을 더 포함하고,
    서로 인접한 상기 제1 광원과 상기 제2 광원 사이에는 하나 이하의 상기 가변 엔드이펙터가 위치되는 기판 이송장치의 이상 판단방법.
  17. 청구항 14에 있어서,
    상기 복수의 엔드 이펙터의 간격은 모터 구동에 의해 조절되고,
    상기 제1 간격과 상기 제2 간격의 모터 엔코더(Motor Encoder) 값을 저장하는 과정;을 더 포함하는 기판 이송장치의 이상 판단방법.
  18. 청구항 10에 있어서,
    상기 가변 엔드이펙터는 복수개로 구성되고,
    복수개의 상기 가변 엔드이펙터는 상기 기준 엔드이펙터를 중심으로 대칭되는 기판 이송장치의 이상 판단방법.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050030025A (ko) * 2003-09-24 2005-03-29 삼성전자주식회사 웨이퍼 이송장치
KR20080086838A (ko) * 2007-03-23 2008-09-26 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 기판 이동 탑재 장치, 기판 이동 탑재 방법, 및 기억 매체
JP2018113329A (ja) * 2017-01-11 2018-07-19 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置および基板処理装置の異状検知方法
KR102020533B1 (ko) * 2019-02-22 2019-09-10 임진희 엔드 이펙터 측정모듈 및 이를 이용한 엔드 이펙터 모니터링 장치
KR20210068706A (ko) * 2019-12-02 2021-06-10 주식회사 원익아이피에스 인터락 기능을 갖는 반도체 공정 장비

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050030025A (ko) * 2003-09-24 2005-03-29 삼성전자주식회사 웨이퍼 이송장치
KR20080086838A (ko) * 2007-03-23 2008-09-26 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 기판 이동 탑재 장치, 기판 이동 탑재 방법, 및 기억 매체
JP2018113329A (ja) * 2017-01-11 2018-07-19 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置および基板処理装置の異状検知方法
KR102020533B1 (ko) * 2019-02-22 2019-09-10 임진희 엔드 이펙터 측정모듈 및 이를 이용한 엔드 이펙터 모니터링 장치
KR20210068706A (ko) * 2019-12-02 2021-06-10 주식회사 원익아이피에스 인터락 기능을 갖는 반도체 공정 장비

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