JP4285708B2 - 基板検出装置 - Google Patents
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Description
すなわち、請求項1に記載の発明は、基板を処理する基板処理装置の載置部上に載置された、基板収納容器内の各位置に収納された基板の有無を検出する基板検出装置であって、前記載置部は、基板が搬送される通過口と、前記通過口を開閉するシャッターとを備え、前記シャッターは、後退・下降移動して前記通過口を開き、上昇・前進移動して前記通過口を塞ぐように構成された基板検出装置において、前記シャッターに取り付けられ、前記シャッターと一体に昇降する投光素子を備え、前記投光素子は、前記基板収納容器内へ光を投光するようになっており、前記シャッターに取り付けられ、前記シャッターと一体に昇降する受光素子を備え、前記受光素子は、前記投光素子から投光された光を受光するようになっており、前記受光素子は、光を受光するときは電気信号が発生する状態になり、光を受光しないときは電気信号が発生しない状態になり、電気信号が発生するか否かに基づいて、基板収納容器内の各位置に収納された基板の有無を検出する検出手段を備えるものである。
図1は本発明の実施例に係る基板処理装置の要部の概略構成を示す平面図である。図2はその側面図である。なお、この実施例の基板処理装置は、FOUP(Front Open Unified Pod)カセットと呼ばれている、基板を取り出し・収納するための開口に蓋が取り付けられているカセットに対応した基板処理装置である。
2 …カセットステージ
3 …載置部
4 …カセット駆動機構
5 …シャッター部材
6 …ロック機構
7 …シャッター駆動機構
9 …基板搬送機構
10 …反射型センサ
11 …データ収集部
12 …隔壁
12a…開口部
13 …位置検出部
14 …処理部
15 …メモリ
80 …透過型センサ
81 …進退駆動機構
90 …CCDカメラ
95 …光ファイバ
W …基板
Claims (9)
- 基板を処理する基板処理装置の載置部上に載置された、基板収納容器内の各位置に収納された基板の有無を検出する基板検出装置であって、前記載置部は、基板が搬送される通過口と、前記通過口を開閉するシャッターとを備え、前記シャッターは、後退・下降移動して前記通過口を開き、上昇・前進移動して前記通過口を塞ぐように構成された基板検出装置において、
前記シャッターに取り付けられ、前記シャッターと一体に昇降する投光素子を備え、
前記投光素子は、前記基板収納容器内へ光を投光するようになっており、
前記シャッターに取り付けられ、前記シャッターと一体に昇降する受光素子を備え、
前記受光素子は、前記投光素子から投光された光を受光するようになっており、
前記受光素子は、光を受光するときは電気信号が発生する状態になり、光を受光しないときは電気信号が発生しない状態になり、
電気信号が発生するか否かに基づいて、基板収納容器内の各位置に収納された基板の有無を検出する検出手段を備える基板検出装置。 - 請求項1に記載の基板検出装置において、
前記検出手段は、前記受光素子の前記電気信号が発生する状態から前記電気信号が発生しない状態へ変化すると基板の位置を検出することを特徴とする基板検出装置。 - 請求項1に記載の基板検出装置において、
前記検出手段は、前記受光素子の前記電気信号が発生しない状態から前記電気信号が発生する状態へ変化すると基板の位置を検出することを特徴とする基板検出装置。 - 基板を処理する基板処理装置の載置部上に載置された、基板収納容器内の各位置に収納された基板の有無を検出する基板検出装置であり、前記載置部は通過口を含み、前記通過口を通じて基板が搬送され、前記通過口を開閉するシャッターは、後退・下降移動して前記通過口を開き、上昇・前進移動して前記通過口を塞ぐように構成された基板検出装置であって、
前記シャッターに取り付けられて前記シャッターと一体に昇降して、前記基板収納容器内へ光を投光する投光素子と、
前記シャッターに取り付けられて前記シャッターと一体に昇降して、前記投光素子から投光された光を受光する受光素子とを備え、
前記受光素子は、光を受光するときは電気信号が発生する状態になり、前記受光素子への光を基板が遮断するときは電気信号が発生しない状態になり、
電気信号が発生するか否かに基づいて、基板収納容器内の各位置に収納された基板の有無を検出する検出手段を備える基板検出装置。 - 請求項4に記載の基板検出装置において、
前記シャッターに取り付けられて前記シャッターと一体に昇降する投光部材であり、前記投光部材が前記基板収納容器内へ前進しない場合は退避位置にあり、前記投光部材が前記基板収納容器内へ前進する場合は前記基板収納容器の開口に近接する位置にある前記投光部材と、
前記シャッターに取り付けられて前記シャッターと一体に昇降する受光部材であり、前記受光部材が前記基板収納容器内へ前進しない場合は退避位置にあり、前記受光部材が前記基板収納容器内へ前進する場合は前記基板収納容器の開口に近接する位置にある前記受光部材と、を更に備え、
前記投光素子は前記投光部材の先端部に取り付けられ、前記受光素子は前記受光部材の先端部に取り付けられていることを特徴とする基板検出装置。 - 請求項5に記載の基板検出装置において、
前記投光部材及び前記受光部材を前進・後退させる進退駆動機構を備えていることを特徴とする基板検出装置。 - 請求項4に記載の基板検出装置において、
前記投光素子及び前記受光素子は、前記シャッターの上部に取り付けられていることを特徴とする基板検出装置。 - 基板を処理する基板処理装置の載置部上に載置された、基板収納容器内の各位置に収納された基板の有無を検出する基板検出装置であり、前記載置部は通過口を含み、前記通過口を通じて基板が搬送され、前記通過口を開閉するシャッターは、後退・下降移動して前記通過口を開き、上昇・前進移動して前記通過口を塞ぐように構成された基板検出装置であって、
前記シャッターに取り付けられて前記シャッターと一体に昇降して、前記基板収納容器内へ光を投光する投光素子と、
前記シャッターに取り付けられて前記シャッターと一体に昇降して、前記投光素子から投光された光が基板の端面で反射されると光を受光する受光素子とを備え、
前記受光素子は、光を受光すると電気信号が発生する状態になり、光を受光しないと電気信号が発生しない状態になり、
電気信号が発生するか否かに基づいて、基板収納容器内の各位置に収納された基板の有無を検出する検出手段を備える基板検出装置。 - 少なくとも1つの基板を処理する基板処理装置の載置部上に載置された基板収納容器内の前記少なくとも1つの基板に関する情報を検出する基板検出装置であり、前記載置部は通過口を含み、前記通過口を通じて前記少なくとも1つの基板が搬送され、前記通過口を開閉するシャッターは、後退・下降移動して前記通過口を開き、上昇・前進移動して前記通過口を塞ぐように構成された基板検出装置であって、
前記シャッターに取り付けられて、前記シャッターと一体に昇降し、前記少なくとも1つの基板に関する情報を検出するセンサと、
前記情報を処理する処理部とを備える基板検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008324245A JP4285708B2 (ja) | 2008-12-19 | 2008-12-19 | 基板検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008324245A JP4285708B2 (ja) | 2008-12-19 | 2008-12-19 | 基板検出装置 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007227533A Division JP4570102B2 (ja) | 2007-09-03 | 2007-09-03 | 基板検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009065212A JP2009065212A (ja) | 2009-03-26 |
JP4285708B2 true JP4285708B2 (ja) | 2009-06-24 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008324245A Expired - Lifetime JP4285708B2 (ja) | 2008-12-19 | 2008-12-19 | 基板検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4285708B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5059054B2 (ja) * | 2009-05-25 | 2012-10-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム、基板検出装置および基板検出方法 |
JP5160603B2 (ja) * | 2010-09-13 | 2013-03-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 |
JP5978728B2 (ja) | 2012-04-12 | 2016-08-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板受け渡し装置、基板受け渡し方法及び記憶媒体 |
CN102721692B (zh) * | 2012-06-19 | 2015-11-25 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 玻璃基板卡匣的检测装置 |
US9545724B2 (en) * | 2013-03-14 | 2017-01-17 | Brooks Automation, Inc. | Tray engine with slide attached to an end effector base |
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2008
- 2008-12-19 JP JP2008324245A patent/JP4285708B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009065212A (ja) | 2009-03-26 |
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