JP4024216B2 - 基板収納容器の蓋を開閉する装置および基板処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、基板収納容器から複数枚の基板を取り出す、あるいは基板収納容器に複数枚の基板を収納するために基板収納容器の蓋を開閉する装置および基板処理装置に係り、特に基板収納容器内の基板の収納状態を把握する技術に関する。

従来、この種の装置を備えた基板処理装置として、例えば、特開平３−２９７１５６号公報に開示されたものがある。

この基板処理装置では、複数枚の基板を収納するためのカセットとして、オープンカセットと呼ばれるものが使用されている。このオープンカセット（以下、単に「カセット」と呼ぶ）の前側には、基板を取り出し・収納するための開口が設けられ、また、カセットの奥側には、前記開口よりも小さな開口が設けられている。また、カセットの内壁には、基板をほぼ水平に保持するための溝が多段に刻まれている。基板は、この溝に１枚ずつ収められ、その結果、複数枚の基板がカセットに収納される。

基板処理装置は、カセット内の特定の溝から取り出した基板に所定の処理を行い、再び、この基板を特定の溝に収納するために、カセット内の基板の収納状態を予め把握する。この基板の収納状態の把握は、載置部に設けられた検出手段によって行われる。この検出手段は、カセットを前後から挟むように対向配置された投光素子と受光素子とで構成された透過型センサである。この透過型センサは、投光素子と受光素子との間で行われる光の伝送が遮断される否かによって、基板の有無を検出するものである。この透過型センサをカセット内の最上段の溝から最下段の溝にまで上下方向に移動させることで、カセットの各溝内に収納された基板の有無、すなわち、カセット内の基板の収納状態を把握している。

しかしながら、近年の基板の大型化に伴って、この基板を収納するカセットについて、新たな規格が取り決められている。この規格に準じたカセットは、ＦＯＵＰ（Front Open Unified Pod）カセットと呼ばれている。このＦＯＵＰカセットは、基板の取り出し・収納するための単一の開口だけが設けられていて、この開口に着脱可能な蓋が取付けられた構成となっている。基板の取り出し・収納時に、ＦＯＵＰカセットは、蓋が外され、開口が開けられた状態で使用されるが、単一の開口だけしか備えていないので、従来のようにカセットを前後から挟む透過型センサによっては、カセットの各溝に収納された基板の有無を検出することができないという問題がある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、基板収納容器内の基板の収納状態を把握することができる基板収納容器の蓋を開閉する装置を提供することを目的とする。

本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。

すなわち、請求項1に記載の発明は、基板収納容器から複数枚の基板を取り出す、あるいは基板収納容器に複数枚の基板を収納するために基板収納容器の蓋を開閉する装置であって、基板の取り出し・収納するための開口と、前記開口に取り付けられる蓋と、前記蓋を開口に取り付けて固定する状態および離脱可能状態にする固定機構とを備え、基板を水平に収納する基板収納容器を載置する載置部と、前記載置部と、前記基板を前記基板収納容器から取り出して基板に所定の処理を施す処理部とを仕切る隔壁に設けられた通過口を開閉するとともに、前記通過口の開閉時に前記基板収納容器の蓋を保持して前記蓋を開閉するシャッターと、前記シャッターに備えられ、前記通過口を開く際に前記固定機構に連結接続して、前記離脱可能状態に移行させ、前記通過口を閉じる際に前記固定機構に連結接続して、前記固定する状態に移行させるロック機構と、前記シャッターを進退駆動および昇降駆動させるシャッター駆動機構と、前記基板収納容器を前記隔壁方向に進退移動させる基板収納容器駆動機構と、前記シャッターに取り付けられ、前記基板収納容器に収納された基板の有無を検出する検出手段とを備えたことを特徴とするものである。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の基板収納容器の蓋を開閉する装置において、 前記シャッターは、閉時には前記通過口に嵌め込まれることを特徴とするものである。

請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の基板収納容器の蓋を開閉する装置において、 前記シャッターは、前記隔壁に設けられた通過口に嵌め込まれる凸部と、この凸部が設けられている支持板部とで構成されることを特徴とするものである。

請求項４に記載の発明は、請求項１に記載の基板収納容器の蓋を開閉する装置において、 前記検出手段は、前記基板収納容器内の基板を開口で挟むように対向配置された投光素子と受光素子とで構成されることを特徴とするものである。

請求項５に記載の発明は、基板収納容器から複数枚の基板を取り出す、あるいは基板収納容器に複数枚の基板を収納するために基板収納容器の蓋を開閉する装置であって、基板の取り出し・収納するための開口と、前記開口に取り付けられる蓋と、前記蓋を開口に取り付けて固定する状態および離脱可能状態にする固定機構とを備え、基板を水平に収納する基板収納容器を載置する載置部と、前記載置部と、前記基板を前記基板収納容器から取り出して基板に所定の処理を施す処理部とを仕切る隔壁に設けられた通過口を開閉するとともに、閉時には前記通過口に嵌め込まれ、かつ前記通過口の開閉時に前記基板収納容器の蓋を保持して前記蓋を開閉するシャッターと、前記シャッターに備えられ、前記通過口を開く際に前記固定機構に連結接続して、前記離脱可能状態に移行させ、前記通過口を閉じる際に前記固定機構に連結接続して、前記固定する状態に移行させるロック機構と、 前記シャッターを進退駆動および昇降駆動させるシャッター駆動機構と、前記シャッターに取り付けられ、前記基板収納容器に収納された基板の有無を検出する検出手段とを備えたことを特徴とするものである。

請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の基板収納容器の蓋を開閉する装置において、 前記シャッターは、前記隔壁に設けられた通過口に嵌め込まれる凸部と、この凸部が設けられている支持板部とで構成されることを特徴とするものである。

請求項７に記載の発明は、請求項５に記載の基板収納容器の蓋を開閉する装置において、 前記検出手段は、前記基板収納容器内の基板を開口付近で挟むように対向配置された投光素子と受光素子とで構成されることを特徴とするものである。

請求項８に記載の発明は、基板収納容器から複数枚の基板を取り出す、あるいは基板収納容器に複数枚の基板を収納するために基板収納容器の蓋を開閉する装置であって、基板の取り出し・収納するための開口と、前記開口に取り付けられる蓋とを備え、基板を水平に収納する基板収納容器を載置する載置部と、前記載置部と、前記基板を前記基板収納容器から取り出して基板に所定の処理を施す処理部とを仕切る隔壁に設けられた通過口を開閉するとともに、閉時には前記通過口に嵌め込まれ、かつ前記通過口の開閉時に前記基板収納容器の蓋を保持して前記蓋を開閉するシャッターと、前記シャッターを進退駆動および昇降駆動させるシャッター駆動機構と、前記基板収納容器を前記隔壁方向に進退移動させる基板収納容器駆動機構と、前記シャッターに取り付けられ、前記基板収納容器に収納された基板の有無を検出する検出手段とを備えたことを特徴とするものである。

請求項９に記載の発明は、請求項８に記載の基板収納容器の蓋を開閉する装置において、 前記シャッターは、前記隔壁に設けられた通過口に嵌め込まれる凸部と、この凸部が設けられている支持板部とで構成されることを特徴とするものである。

請求項１０に記載の発明は、請求項８に記載の基板収納容器の蓋を開閉する装置において、前記検出手段は、前記基板収納容器内の基板を開口で挟むように対向配置された投光素子と受光素子とで構成されることを特徴とするものである。

請求項１１に記載の発明は、複数枚の基板を収納した基板収納容器から基板を順に取り出して処理を行う基板処理装置であって、基板の取り出し・収納するための開口と、前記開口に取り付けられる蓋と、前記蓋を開口に取り付けて固定する状態および離脱可能状態にする固定機構とを備え、基板を水平に収納する基板収納容器を載置する載置部と、前記基板を前記基板収納容器から取り出して基板に所定の処理を施す処理部と、前記載置部と、前記基板を前記基板収納容器から取り出して基板に所定の処理を施す処理部とを仕切る隔壁に設けられた通過口を開閉するとともに、前記通過口の開閉時に前記基板収納容器の蓋を保持して前記蓋を開閉するシャッターと、前記シャッターに備えられ、前記通過口を開く際に前記固定機構に連結接続して、前記離脱可能状態に移行させ、前記通過口を閉じる際に前記固定機構に連結接続して、前記固定する状態に移行させるロック機構と、前記シャッターを進退駆動および昇降駆動させるシャッター駆動機構と、前記基板収納容器を前記隔壁方向に進退移動させる基板収納容器駆動機構と、前記シャッターに取り付けられ、前記基板収納容器に収納された基板の有無を検出する検出手段とを備えたことを特徴とするものである。

請求項１２に記載の発明は、請求項１１に記載の基板処理装置において、前記シャッターは、閉時には前記通過口に嵌め込まれることを特徴とするものである。

請求項１３に記載の発明は、請求項１２に記載の基板処理装置において、前記シャッターは、前記隔壁に設けられた通過口に嵌め込まれる凸部と、この凸部が設けられている支持板部とで構成されることを特徴とするものである。

請求項１４に記載の発明は、請求項１１に記載の基板処理装置において、前記検出手段は、前記基板収納容器内の基板を開口で挟むように対向配置された投光素子と受光素子とで構成されることを特徴とするものである。

請求項１５に記載の発明は、複数枚の基板を収納した基板収納容器から基板を順に取り出して処理を行う基板処理装置であって、基板の取り出し・収納するための開口と、前記開口に取り付けられる蓋と、前記蓋を開口に取り付けて固定する状態および離脱可能状態にする固定機構とを備え、基板を水平に収納する基板収納容器を載置する載置部と、前記基板を前記基板収納容器から取り出して基板に所定の処理を施す処理部と、前記載置部と、前記基板を前記基板収納容器から取り出して基板に所定の処理を施す処理部とを仕切る隔壁に設けられた通過口を開閉するとともに、閉時には前記通過口に嵌め込まれ、かつ前記通過口の開閉時に前記基板収納容器の蓋を保持して前記蓋を開閉するシャッターと、 前記シャッターに備えられ、前記通過口を開く際に前記固定機構に連結接続して、前記離脱可能状態に移行させ、前記通過口を閉じる際に前記固定機構に連結接続して、前記固定する状態に移行させるロック機構と、前記シャッターを進退駆動および昇降駆動させるシャッター駆動機構と、前記シャッターに取り付けられ、前記基板収納容器に収納された基板の有無を検出する検出手段とを備えたことを特徴とするものである。

請求項１６に記載の発明は、請求項１５に記載の基板処理装置において、前記シャッターは、前記隔壁に設けられた通過口に嵌め込まれる凸部と、この凸部が設けられている支持板部とで構成されることを特徴とするものである。

請求項１７に記載の発明は、請求項１５に記載の基板処理装置において、前記検出手段は、前記基板収納容器内の基板を開口で挟むように対向配置された投光素子と受光素子とで構成されることを特徴とするものである。

請求項１８に記載の発明は、複数枚の基板を収納した基板収納容器から基板を順に取り出して処理を行う基板処理装置であって、基板の取り出し・収納するための開口と、前記開口に取り付けられる蓋とを備え、基板を水平に収納する基板収納容器を載置する載置部と、前記基板を前記基板収納容器から取り出して基板に所定の処理を施す処理部と、前記載置部と、前記基板を前記基板収納容器から取り出して基板に所定の処理を施す処理部とを仕切る隔壁に設けられた通過口を開閉するとともに、閉時には前記通過口に嵌め込まれ、かつ前記通過口の開閉時に前記基板収納容器の蓋を保持して前記蓋を開閉するシャッターと、前記シャッターを進退駆動および昇降駆動させるシャッター駆動機構と、前記基板収納容器を前記隔壁方向に進退移動させる基板収納容器駆動機構と、前記シャッターに取り付けられ、前記基板収納容器に収納された基板の有無を検出する検出手段とを備えたことを特徴とするものである。

請求項１９に記載の発明は、請求項１８に記載の基板処理装置において、前記シャッターは、前記隔壁に設けられた通過口に嵌め込まれる凸部と、この凸部が設けられている支持板部とで構成されることを特徴とするものである。

請求項２０に記載の発明は、請求項１８に記載の基板処理装置において、前記検出手段は、前記基板収納容器内の基板を開口で挟むように対向配置された投光素子と受光素子とで構成されることを特徴とするものである。

請求項１に記載の発明によれば、載置部と処理部とを仕切る隔壁に設けられた通過口を開閉するシャッターとともに、検出手段が下降することによって、基板収納容器内の基板の収納状態を把握することができる。また、通過口を開く際には基板収納容器が前進駆動し、通過口を閉じる際には基板収納容器が後退駆動されるように基板収納容器駆動機構を構成するとともに、通過口を開く際には、固定機構に連結接続して、基板収納容器の蓋を基板収納容器から離脱させ、通過口を閉じる際には、固定機構に連結接続して、基板収納容器の蓋を基板収納容器に固定するように、シャッターに備えられたロック機構を構成しているので、シャッターの後退駆動とともに基板収納容器の蓋を基板収納容器から離脱させて基板収納容器の蓋を開けることができ、シャッターの前進駆動とともに基板収納容器の蓋を基板収納容器に固定して基板収納容器の蓋を閉じることができる。

請求項２に記載の発明によれば、シャッターが隔壁の通過口に嵌め込まれることにより、通過口を閉じることができる。

請求項３に記載の発明によれば、シャッターが凸部と、この凸部が設けられている支持板部とで構成されるので、シャッターの凸部が隔壁の通過口に嵌め込まれることにより、通過口を閉じることができる。

請求項４に記載の発明によれば、検出手段は、基板収納容器内の基板を開口付近で挟むように対向配置された投光素子と受光素子とで構成されるので、受光素子での受光の有無によって、基板収納容器内の基板の有無を検出することができる。

請求項５に記載の発明によれば、載置部と処理部とを仕切る隔壁に設けられた通過口を開閉するシャッターとともに、検出手段が下降することによって、基板収納容器内の基板の収納状態を把握することができる。また、通過口を開く際には、固定機構に連結接続して、基板収納容器の蓋を基板収納容器から離脱させ、通過口を閉じる際には、固定機構に連結接続して、基板収納容器の蓋を基板収納容器に固定するように、シャッターに備えられたロック機構を構成しているので、シャッターの後退駆動とともに基板収納容器の蓋を基板収納容器から離脱させて基板収納容器の蓋を開けることができ、シャッターの前進駆動とともに基板収納容器の蓋を基板収納容器に固定して基板収納容器の蓋を閉じることができる。また、閉時にはシャッターが隔壁の通過口に嵌め込まれることにより、通過口を閉じることができる。

請求項６に記載の発明によれば、シャッターが凸部と、この凸部が設けられている支持板部とで構成されるので、シャッターの凸部が隔壁の通過口に嵌め込まれることにより、通過口を閉じることができる。

請求項７に記載の発明によれば、検出手段は、基板収納容器内の基板を開口付近で挟むように対向配置された投光素子と受光素子とで構成されるので、受光素子での受光の有無によって、基板収納容器内の基板の有無を検出することができる。

請求項８に記載の発明によれば、載置部と処理部とを仕切る隔壁に設けられた通過口を開閉するシャッターとともに、検出手段が下降することによって、基板収納容器内の基板の収納状態を把握することができる。また、通過口を開く際には基板収納容器が前進駆動し、通過口を閉じる際には基板収納容器が後退駆動されるように基板収納容器駆動機構を構成するとともに、通過口を開ける際には基板収納容器の蓋を保持して開け、通過口を閉じる際には蓋を保持して閉じるようにシャッターを構成しているので、基板収納容器の前進駆動の後にシャッターの後退駆動とともに通過口および蓋を開けることができる。そして、シャッターの前進駆動によりシャッターが通過口に嵌め込まれて通過口を閉じることができるとともに、基板収納容器の蓋を閉じることができる。

請求項９に記載の発明によれば、シャッターが凸部と、この凸部が設けられている支持板部とで構成されるので、シャッターの凸部が隔壁の通過口に嵌め込まれることにより、通過口を閉じることができる。

請求項１０に記載の発明によれば、検出手段は、基板収納容器内の基板を開口付近で挟むように対向配置された投光素子と受光素子とで構成されるので、受光素子での受光の有無によって、基板収納容器内の基板の有無を検出することができる。

請求項１１に記載の発明によれば、載置部と処理部とを仕切る隔壁に設けられた通過口を開閉するシャッターとともに、検出手段が下降することによって、基板収納容器内の基板の収納状態を把握することができる。また、通過口を開く際には基板収納容器が前進駆動し、通過口を閉じる際には基板収納容器が後退駆動されるように基板収納容器駆動機構を構成するとともに、通過口を開く際には、固定機構に連結接続して、基板収納容器の蓋を基板収納容器から離脱させ、通過口を閉じる際には、固定機構に連結接続して、基板収納容器の蓋を基板収納容器に固定するように、シャッターに備えられたロック機構を構成しているので、シャッターの後退駆動とともに基板収納容器の蓋を基板収納容器から離脱させて基板収納容器の蓋を開けることができ、シャッターの前進駆動とともに基板収納容器の蓋を基板収納容器に固定して基板収納容器の蓋を閉じることができる。

請求項１２に記載の発明によれば、シャッターが隔壁の通過口に嵌め込まれることにより、通過口を閉じることができる。

請求項１３に記載の発明によれば、シャッターが凸部と、この凸部が設けられている支持板部とで構成されるので、シャッターの凸部が隔壁の通過口に嵌め込まれることにより、通過口を閉じることができる。

請求項１４に記載の発明によれば、検出手段は、基板収納容器内の基板を開口付近で挟むように対向配置された投光素子と受光素子とで構成されるので、受光素子での受光の有無によって、基板収納容器内の基板の有無を検出することができる。

請求項１５に記載の発明によれば、載置部と処理部とを仕切る隔壁に設けられた通過口を開閉するシャッターとともに、検出手段が下降することによって、基板収納容器内の基板の収納状態を把握することができる。また、通過口を開く際には、固定機構に連結接続して、基板収納容器の蓋を基板収納容器から離脱させ、通過口を閉じる際には、固定機構に連結接続して、基板収納容器の蓋を基板収納容器に固定するように、シャッターに備えられたロック機構を構成しているので、シャッターの後退駆動とともに基板収納容器の蓋を基板収納容器から離脱させて基板収納容器の蓋を開けることができ、シャッターの前進駆動とともに基板収納容器の蓋を基板収納容器に固定して基板収納容器の蓋を閉じることができる。また、閉時にはシャッターが隔壁の通過口に嵌め込まれることにより、通過口を閉じることができる。

請求項１６に記載の発明によれば、シャッターが凸部と、この凸部が設けられている支持板部とで構成されるので、シャッターの凸部が隔壁の通過口に嵌め込まれることにより、通過口を閉じることができる。

請求項１７に記載の発明によれば、検出手段は、基板収納容器内の基板を開口付近で挟むように対向配置された投光素子と受光素子とで構成されるので、受光素子での受光の有無によって、基板収納容器内の基板の有無を検出することができる。

請求項１８に記載の発明によれば、載置部と処理部とを仕切る隔壁に設けられた通過口を開閉するシャッターとともに、検出手段が下降することによって、基板収納容器内の基板の収納状態を把握することができる。また、通過口を開く際には基板収納容器が前進駆動し、通過口を閉じる際には基板収納容器が後退駆動されるように基板収納容器駆動機構を構成するとともに、通過口を開ける際には基板収納容器の蓋を保持して開け、通過口を閉じる際には蓋を保持して閉じるようにシャッターを構成しているので、基板収納容器の前進駆動の後にシャッターの後退駆動とともに通過口および蓋を開けることができる。そして、シャッターの前進駆動によりシャッターが通過口に嵌め込まれて通過口を閉じることができるとともに、基板収納容器の蓋を閉じることができる。

請求項１９に記載の発明によれば、シャッターが凸部と、この凸部が設けられている支持板部とで構成されるので、シャッターの凸部が隔壁の通過口に嵌め込まれることにより、通過口を閉じることができる。

請求項２０に記載の発明によれば、検出手段は、基板収納容器内の基板を開口付近で挟むように対向配置された投光素子と受光素子とで構成されるので、受光素子での受光の有無によって、基板収納容器内の基板の有無を検出することができる。

請求項１に記載の発明の作用は次のとおりである。

基板収納容器から基板を取り出す際に、基板収納容器駆動機構により基板収納容器が前進駆動された後、シャッターが後退駆動されて通過口が開けられる。その際、シャッターに備えられたロック機構は、固定機構に連結接続して、基板収納容器の蓋とを基板収納容器とを離脱可能状態に移行して、蓋を基板収納容器から離脱させる。その後、シャッターは基板収納容器からの基板の取り出し・収納の邪魔にならない位置にまで下降駆動される。このシャッターとともに、検出手段も下降する。シャッターが下降駆動し始めると、検出手段は、通過口を介して基板収納容器に収納されている基板の有無を検出し始める。シャッターは、基板収納容器からの基板の取り出し・収納の邪魔にならない位置にまで下降するので、検出手段は、基板収納容器の最上部から最下部の全てに収納される基板の有無を順次検出する。

請求項２に記載の発明によれば、隔壁の通過口を閉じる際には、シャッターが通過口に嵌め込まれる。

請求項３に記載の発明によれば、隔壁の通過口を閉じる際には、シャッターの凸部が通過口に嵌め込まれる。

請求項４に記載の発明によれば、基板収納容器内に基板がある場合に、透過型センサの投光素子から投光された光は、基板収納容器内の基板で遮断されるので、受光素子では受光されない。一方、基板が無い場合に、投光された光は受光素子で受光される。この受光素子での受光の有無によって、基板収納容器内の基板の有無を検出する。

請求項５に記載の発明の作用は次のとおりである。

基板収納容器から基板を取り出す際に、シャッターが後退駆動されて通過口が開けられる。その際、シャッターに備えられたロック機構は、固定機構に連結接続して、基板収納容器の蓋とを基板収納容器とを離脱可能状態に移行して、蓋を基板収納容器から離脱させる。その後、シャッターは基板収納容器からの基板の取り出し・収納の邪魔にならない位置にまで下降駆動される。このシャッターとともに、検出手段も下降する。シャッターが下降駆動し始めると、検出手段は、通過口を介して基板収納容器に収納されている基板の有無を検出し始める。シャッターは、基板収納容器からの基板の取り出し・収納の邪魔にならない位置にまで下降するので、検出手段は、基板収納容器の最上部から最下部の全てに収納される基板の有無を順次検出する。隔壁の通過口を閉じる際には、シャッターが通過口に嵌め込まれる。

請求項６に記載の発明によれば、隔壁の通過口を閉じる際には、シャッターの凸部が通過口に嵌め込まれる。

請求項７に記載の発明によれば、基板収納容器内に基板がある場合に、透過型センサの投光素子から投光された光は、基板収納容器内の基板で遮断されるので、受光素子では受光されない。一方、基板が無い場合に、投光された光は受光素子で受光される。この受光素子での受光の有無によって、基板収納容器内の基板の有無を検出する。

請求項８に記載の発明の作用は次のとおりである。

基板収納容器から基板を取り出す際に、基板収納容器駆動機構により基板収納容器が前進駆動された後、シャッターが後退駆動されて通過口が開けられる。その際、シャッターは、基板収納容器の蓋を保持して蓋を開ける。その後、シャッターは基板収納容器からの基板の取り出し・収納の邪魔にならない位置にまで下降駆動される。このシャッターとともに、検出手段も下降する。シャッターが下降駆動し始めると、検出手段は、通過口を介して基板収納容器に収納されている基板の有無を検出し始める。シャッターは、基板収納容器からの基板の取り出し・収納の邪魔にならない位置にまで下降するので、検出手段は、基板収納容器の最上部から最下部の全てに収納される基板の有無を順次検出する。隔壁の通過口を閉じる際には、シャッターが通過口に嵌め込まれる。

請求項９に記載の発明によれば、隔壁の通過口を閉じる際には、シャッターの凸部が通過口に嵌め込まれる。

請求項１０に記載の発明によれば、基板収納容器内に基板がある場合に、透過型センサの投光素子から投光された光は、基板収納容器内の基板で遮断されるので、受光素子では受光されない。一方、基板が無い場合に、投光された光は受光素子で受光される。この受光素子での受光の有無によって、基板収納容器内の基板の有無を検出する。

請求項１１に記載の発明の作用は次のとおりである。

基板収納容器から基板を取り出す際に、基板収納容器駆動機構により基板収納容器が前進駆動された後、シャッターが後退駆動されて通過口が開けられる。その際、シャッターに備えられたロック機構は、固定機構に連結接続して、基板収納容器の蓋とを基板収納容器とを離脱可能状態に移行して、蓋を基板収納容器から離脱させる。その後、シャッターは基板収納容器からの基板の取り出し・収納の邪魔にならない位置にまで下降駆動される。このシャッターとともに、検出手段も下降する。シャッターが下降駆動し始めると、検出手段は、通過口を介して基板収納容器に収納されている基板の有無を検出し始める。シャッターは、基板収納容器からの基板の取り出し・収納の邪魔にならない位置にまで下降するので、検出手段は、基板収納容器の最上部から最下部の全てに収納される基板の有無を順次検出する。

請求項１２に記載の発明によれば、隔壁の通過口を閉じる際には、シャッターが通過口に嵌め込まれる。

請求項１３に記載の発明によれば、隔壁の通過口を閉じる際には、シャッターの凸部が通過口に嵌め込まれる。

請求項１４に記載の発明によれば、基板収納容器内に基板がある場合に、透過型センサの投光素子から投光された光は、基板収納容器内の基板で遮断されるので、受光素子では受光されない。一方、基板が無い場合に、投光された光は受光素子で受光される。この受光素子での受光の有無によって、基板収納容器内の基板の有無を検出する。

請求項１５に記載の発明の作用は次のとおりである。

基板収納容器から基板を取り出す際に、シャッターが後退駆動されて通過口が開けられる。その際、シャッターに備えられたロック機構は、固定機構に連結接続して、基板収納容器の蓋とを基板収納容器とを離脱可能状態に移行して、蓋を基板収納容器から離脱させる。その後、シャッターは基板収納容器からの基板の取り出し・収納の邪魔にならない位置にまで下降駆動される。このシャッターとともに、検出手段も下降する。シャッターが下降駆動し始めると、検出手段は、通過口を介して基板収納容器に収納されている基板の有無を検出し始める。シャッターは、基板収納容器からの基板の取り出し・収納の邪魔にならない位置にまで下降するので、検出手段は、基板収納容器の最上部から最下部の全てに収納される基板の有無を順次検出する。隔壁の通過口を閉じる際には、シャッターが通過口に嵌め込まれる。

請求項１６に記載の発明によれば、隔壁の通過口を閉じる際には、シャッターの凸部が通過口に嵌め込まれる。

請求項１７に記載の発明によれば、基板収納容器内に基板がある場合に、透過型センサの投光素子から投光された光は、基板収納容器内の基板で遮断されるので、受光素子では受光されない。一方、基板が無い場合に、投光された光は受光素子で受光される。この受光素子での受光の有無によって、基板収納容器内の基板の有無を検出する。

請求項１８に記載の発明の作用は次のとおりである。

基板収納容器から基板を取り出す際に、基板収納容器駆動機構により基板収納容器が前進駆動された後、シャッターが後退駆動されて通過口が開けられる。その際、シャッターは、基板収納容器の蓋を保持して蓋を開ける。その後、シャッターは基板収納容器からの基板の取り出し・収納の邪魔にならない位置にまで下降駆動される。このシャッターとともに、検出手段も下降する。シャッターが下降駆動し始めると、検出手段は、通過口を介して基板収納容器に収納されている基板の有無を検出し始める。シャッターは、基板収納容器からの基板の取り出し・収納の邪魔にならない位置にまで下降するので、検出手段は、基板収納容器の最上部から最下部の全てに収納される基板の有無を順次検出する。隔壁の通過口を閉じる際には、シャッターが通過口に嵌め込まれる。

請求項１９に記載の発明によれば、隔壁の通過口を閉じる際には、シャッターの凸部が通過口に嵌め込まれる。

請求項２０に記載の発明によれば、基板収納容器内に基板がある場合に、透過型センサの投光素子から投光された光は、基板収納容器内の基板で遮断されるので、受光素子では受光されない。一方、基板が無い場合に、投光された光は受光素子で受光される。この受光素子での受光の有無によって、基板収納容器内の基板の有無を検出する。

以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。

図１は本発明の実施例に係る基板処理装置の要部の概略構成を示す平面図である。図２はその側面図である。なお、この実施例の基板処理装置は、ＦＯＵＰ(Front Open Unified Pod)カセットと呼ばれている、基板を取り出し・収納するための開口に蓋が取り付けられているカセットに対応した基板処理装置である。

この基板処理装置は、図１に示すように、基板Ｗをカセット１から取り出して、この基板Ｗに所定の処理を施す処理部２０と、カセット１を載置する載置部３とが隔壁１２で隔てられて構成されている。載置部３には、カセット１を載置する複数個（本実施例では４個）のカセットステージ２が設けられている。

図３に示すように、ＦＯＵＰカセット１（以下、「カセット１」と呼ぶ）は、基板Ｗを収納するための容器１ａと、この容器１ａに備える開口１ｃに着脱可能に嵌め込まれる蓋１ｂとで構成されている。容器１ａの内壁には、多段の溝１ｄが対向して設けられている。各溝１ｄには、基板Ｗがほぼ水平に保持された状態で収納されている。蓋１ｂには、容器１ａの開口１ｃに嵌め込まれた際に、蓋１ｂを容器１ａに固定する固定機構１ｅが埋設されている。この固定機構１ｅは、基端部にラックが刻設された２本のロック部材１ｆと、ラックに噛み合う回転自在なピニオン１ｇとで構成される。後述するシャッター部材５に備えているロック機構６によって、蓋１ｂの中央付近にあるピニオン１ｇを回転させることで、ロック部材１ｆを上昇させて、蓋１ｂを容器１ａの開口１ｃに固定している。

カセットステージ２には、カセット１が載置されたことを検出するために、反射センサなどの図示しないカセット検出手段がカセット１の載置面に設けられている。また、カセットステージ２は、その下方に設けられたカセット駆動機構４によって、隔壁１２方向（Ｙ方向）に進退移動可能に構成されている。

カセット駆動機構４は、カセットステージ２の下面に設けられた凸部２ａに螺合する螺軸４ｂを電動モータ４ａで駆動する、いわゆる螺子送り機構によって構成されている。カセットステージ２にカセット１が載置されると、電動モータ４ａが螺軸４ｂを正回転させてカセットステージ２を隔壁１２に向かって前進させる。なお、カセット１の全ての基板Ｗの処理が終了すると、電動モータ４ａは、螺軸４ｂを逆回転してカセットステージ２を後退させる。

隔壁１２には、カセット１に対向する位置に、カセット１とほぼ同じ大きさの通過口１２ａが設けられている。この通過口１２ａは、カセット１から基板Ｗの取り出し・収納を行うためのものであり、カセット１が載置されていない場合には、処理部２０と載置部３との雰囲気を遮蔽するためにシャッター部材５によって閉じられている。

図４に示すように、シャッター部材５は、隔壁１２の通過口１２ａに嵌め込まれる凸部５ａと、この凸部５ａが設けられている支持板部５ｂとで構成される。凸部５ａには、図示しない電動モータと、この電動モータの出力軸に連結された連結部材６ａとが埋設されている。

上述したカセットステージ２の前進駆動によって、カセット１の蓋１ｂは、シャッター部材５の凸部５ａに近接する位置にまで移動されるので、蓋１ｂに備えられたロック機構１ｅのピニオン１ｇが、連結部材６ａに連結接続される。この状態で、シャッター部材５に備えられたロック機構６は、電動モータを回転させて、蓋１ｂと容器１ａとのロックを解除することで、容器１ａから蓋１ｂを離脱可能とする。

また、上述した支持板部５ｂには、下方へ延びた「Ｌ」字型のアーム５ｃが設けられている（図２参照）。シャッター部材５は、このアーム５ｃの基端部に取り付けたシャッター駆動機構７によって、進退および昇降駆動とされる。

シャッター駆動機構７は、シャッター部材５をＺ方向に昇降させる昇降機構７ａと、Ｙ方向に進退させる進退機構７ｂとで構成されている。昇降機構７ａは、アーム５ｃの基端部に螺合する螺軸を電動モータによって駆動する、いわゆる螺子送り機構によって構成されている。また、昇降機構７ａの上部には、エンコーダ１３ａが設けられていて、電動モータの回転量を検出することによって、シャッター部材５のＺ方向の位置を検出するようになっている。進退機構７ｂは、昇降機構７ａをＹ方向に進退させる螺子送り機構で構成されている。昇降機構７ａおよび進退機構７ｂによって、シャッター部材５は、進退および昇降可能となる。以下、図５（ａ）、（ｂ）を参照してシャッター部材５の動作を具体的に説明する。

図５（ａ）に示すように、カセットステージ２（図２参照）に載置されたカセット１は、カセット駆動機構４（図２参照）によって前進駆動される。このとき、シャッター部材５は、通過口１２ａを塞いでいる。図５（ｂ）に示すように、カセット１がシャッター部材５に近接する位置にまで移動してくると、シャッター部材５は、ロック機構６（図４参照）によって、カセット１の蓋１ｂのロックを解除するとともに、この蓋１ｂを保持する。次に、シャッター部材５は、シャッター駆動機構７によって後退駆動された後、カセット１からの基板Ｗの取り出し、収納の邪魔にならない退避位置にまで下降駆動される。このカセット１の全ての基板Ｗの処理が終了するまで退避位置で待機する。カセット１の全ての基板Ｗの処理が終了すると、シャッター部材５は、上昇駆動された後、前進駆動されて、通過口１２ａを塞ぐとともに、カセット１に蓋１ｂを取り付ける。

上述したシャッター部材５には、さらに図４に示したように、支持部材５ｂの上部に投光素子部１０ａと受光素子部１０ｂとで構成される反射型センサ１０が取り付けられている。この投光素子部１０ａと受光素子部１０ｂとは、シャッター部材５が下降する際に、カセット１の溝１ｄに収納される基板Ｗの端面上の点Ｐに向くように取り付けられている。したがって、この投光素子部１０ａから投光された光は、カセット１の溝１ｄに収納された基板Ｗの端面上の点Ｐで反射し、この反射光が受光素子部１０ｂで受光され、電気信号に変換される。つまり、受光素子部１０ｂで電気信号が発生するか否かを検出することで、溝１ｄ内に収納される基板Ｗの有無を知ることができる。

図６に示すように、反射型センサ１０は、データ収集部１１に繋がれている。データ収集部１１は、反射型センサ１０の受光素子部１０ｂで受光された反射光に基づいて光電変換された電気信号を収集する。データ収集部１１では、シャッター部材５の下降駆動している間、電気信号の収集を行う。位置検出部１３は、シャッター駆動機構７の昇降機構７ａに取り付けられたエンコーダ１３ａから送られる電動モータの回転量信号に基づいて、シャッター部材５に取り付けられた反射型センサ１０の位置を検出する。処理部１４は、位置検出部１３によって検出された反射型センサ１０の位置と、データ収集部１１に集められた電気信号とからカセット１内の各溝における基板Ｗの有無を求めるとともに、メモリ１５にカセット１の各溝位置における基板Ｗの有無を記憶する。

具体的には、シャッター部材５の下降、すなわち反射型センサ１０の下降が始まると、データ収集部１１は、反射型センサ１０の投光素子部１０ａから光を投光するとともに、受光素子部１０ｂで発生する電気信号の収集を開始する。まず、反射型センサ１０の下降によって、反射型センサ１０がカセット１の最上段の溝１ｄの正面位置に来たときには、この最上段の溝１ｄに基板Ｗが収納されている場合、その基板Ｗの端面上で、投光素子部１０ａから投光された光が反射する。受光素子部１０ｂでは、受光された反射光が光電変換されて電気信号が発生する。さらに、反射型センサ１０は下降するので、次に、反射型センサ１０がカセット１内の２段目の溝１ｄの正面位置に来たときには、２段目の溝１ｄに基板Ｗが収納されていない場合、受光素子部１０ｂでは反射光が受光されず、電気信号は発生しない。データ収集部１１は、反射型センサの下降が終了するまで、これらの電気信号の収集し続ける。このデータ収集部１１で収集される電気信号と時間経過との関係を示す模式図を図７（ａ）に示す。図中、符号７０は、基板Ｗが検出された場合の各信号を示す。

一方、位置検出部１３は、昇降機構７ａに設けられているエンコーダ１３ａから送られてくる電動モータの回転量に基づいて、反射型センサ１０の初期位置および下降量から反射型センサ１０の位置を把握することができる。位置検出部１３は、反射型センサ１０がカセット１の各溝１ｄに対面する位置を通過している間の時間を検出する。この溝１ｄに対面する位置を通過する時間を示す模式図を図７（ｂ）に示す。図中、符号７１は、カセット１の溝１ｄに対面する位置を通過している間の時間を示す。符号７２は、溝１ｄの番号を示す。この溝１ｄは、最初に通過する溝１ｄを「１」として、その後の溝は順番に「２」、「３」、・・・、「２５」となっている。ここで、カセット１は、２５枚の基板Ｗが収納できるので、溝１ｄの最後の番号は「２５」となっている。

処理部１４は、位置検出部１３で検出される、各溝１ｄに対面する位置を通過する時間と、データ収集部１１で集められた時間経過における基板Ｗの有無の情報とに基づいて、各溝１ｄの時間ごとに論理演算によって、各溝１ｄにおける基板Ｗの有無を求める。処理部１４は、この結果をメモリ１５に記憶する。このようにして、カセット１内の基板Ｗの収納状態を把握することができる。

このメモリ１５に記憶された、各溝１ｄごとの基板Ｗの有無の情報は、図示しない基板処理装置を制御するコントローラによって利用される。例えば、コントローラは、このメモリ１５の情報に基づいて、後述する基板搬送機構９を動作させて、カセット１の特定の溝から取り出した基板Ｗの処理が終了した後に、その基板Ｗを取り出した特定の溝へ返却収納するような場合に利用している。

基板処理装置は、カセット１内の基板Ｗの収納状態を把握した後、基板搬送機構９によって、カセット１から基板Ｗの取り出し・収納を開始する。

基板搬送機構９は、基板Ｗを保持するアーム９ａを備えている。この保持アーム９ａは、図１に示すような「Ｉ」の字型の形状となっているが、例えば「Ｕ」の字型の形状であってもよい。このアーム９ａは、基板Ｗの下面を点接触で支持する図示しない複数本の支持ピンを備え、搬送中の基板Ｗの脱落や位置ズレなどを防止するために基板Ｗの周辺に点接触する部材が設けられている。

基板搬送機構９は、次のように構成されている。図１、図２に示すように、アーム９ａは、アーム支持台９ｂに配備された螺子送り機構によって、水平面内で進退移動可能に構成されている。次に、アーム支持台９ｂは、アーム回転台９ｃに内蔵された電動モータの出力軸に連結支持されている。この電動モータの回転によって、アーム９ａは、水平面内で回転可能となる。さらに、アーム回転台９ｃは、螺子送り機構で構成された昇降機構９ｄによって、昇降可能に構成されている。また、昇降機構９ｄは、水平面内のＸ方向にスライド移動可能なスライド駆動機構９ｅに搭載されている。

上述した構成によって、アーム９ａは、次のように動作する。スライド移動機構９ｅは、載置部３に載置された所定のカセット１に対向する位置にまでアーム９ａをスライド移動させる。カセット１内の最上段の基板Ｗを取り出すために、アーム９ａを上昇させ、さらにアーム９ａを基板Ｗの下面にまで前進移動させ、アーム９ａの上に基板Ｗを保持した後に、アーム９ａを後退させて基板Ｗをカセット１から取り出す。スライド移動機構９ｅは、アーム９ａを装置のほぼ中央付近にまで移動させて、処理部２０の図示しない基板搬送ロボットに基板Ｗを受け渡す。処理部２０での基板Ｗの処理が終了すると、基板搬送機構９は、処理部２０の基板搬送ロボットから基板Ｗを受け取り、再びその基板Ｗを取り出したカセット１内に収納する。この処理をカセット１の全ての基板Ｗに対して行う。

カセット１の全ての基板Ｗの処理が終了し、カセット１に全ての基板Ｗが収納されると、シャッター部材５は、上昇駆動された後に前進駆動されて、通過口１２ａを塞ぎ、ロック機構６を動作させて、カセット１の容器１ａに蓋１ｂを固定する。容器１ａに蓋１ｂが固定されると、カセットステージ２は、カセット駆動機構４によって後退移動し、カセット取り上げ位置にまで移動する。

上述した基板処理装置は、シャッター部材５の上部に検出手段である反射型センサ１０を取り付けて、シャッター部材５の下降とともに、カセット１の各溝１ｄに保持される基板の有無を検出するので、検出手段だけを昇降させるような駆動機構を必要としない。したがって、検出手段を取り付けることによる、装置の製造コストの上昇を最小限に抑えることができる。また、装置に備わっている構成を利用して検出手段を容易に取り付けることができる。

本発明は、以下のように変形実施することも可能である。

（１）上記実施例では、カセット１内の基板Ｗの収納状態を把握するために、カセット１の各溝１ｄに収納された基板Ｗの有無を検出する検出手段として反射型センサを用いたが、本発明はこれに限定するものではなく、例えば、この反射型センサ１０の代わりに、進退駆動機構を備える透過型センサを取り付けることもできる。この透過型センサを取り付けた場合の構成を図８に示す。

図８に示すように、シャッター部材５の支持板部５ｂの上部には、進退駆動機構８１と、この進退駆動機構８１に進退駆動可能に取り付けられた透過型センサ８０とが配備されている。進退駆動機構８１は、連結部材８１ｃに螺合する螺軸８１ｂを電動モータ８１ａで駆動する、いわゆる、螺子送り機構によって構成されている。

透過型センサ８０は、先端部に投光素子８３ａを備える投光部材８０ａと、先端部に受光素子８３ｂを備える受光部材８０ｂとで構成されていて、これら両部材８０ａ、８０ｂの基端部は、連結部材８１ｃに支持固定されている。さらに、投光部材８０ａと受光部材８０ｂとは、固定部材８２ａと固定部材８２ｂとをそれぞれ貫通することによって、摺動自在に案内支持されているとともに、上下に高さをずらして対向配置されている。

以下、この透過型センサ８０および進退駆動機構８１がシャッター部材５に取り付けられた場合の動作について説明する。シャッター部材５の下降によって、透過型センサ８０が、カセット１の上端部の正面位置に来ると、進退駆動機構８１は、電動モータ８１ａを駆動して、連結部材８１ｃを前進させる。この連結部材８１ｃと一体となって、投光部材８０ａと受光部材８０ｂとがカセット１の側壁の内面と基板Ｗとの間に向かって前進する。進退駆動機構８１は、投光部材８０ａと受光部材８０ｂとの先端部が所定の位置にまで来ると、電動モータ８１ａの駆動を止める。この位置は、カセット１の溝１ｄに基板Ｗが有る場合に、基板Ｗによって透過型センサ８０の光軸が遮断される位置である。透過型センサ８０は、この位置を保持された状態で、シャッター部材５の下降にしたがって、順次カセット１の各溝１ｄ内の基板Ｗの有無を検出していく。この基板Ｗの検出のタイミングは、反射型センサを使用した上記実施例の場合と同様である。

透過型センサ８０が、カセット１の最下部の正面に来ると、進退駆動機構８１は、電動モータ８１ａを逆方向に駆動して、連結部材８１ｃを後退させる。投光部材８０ａと受光部材８０ｂとの先端部が、固定部材８２ａ、８２ｂにまで後退したら、進退駆動機構８１は、電動モータ８１ａの駆動を止める。投光部材８０ａと受光部材８０ｂを後退させるのは、シャッター部材５が下降したときに、投光部材８０ａと受光部材８０ｂとが、載置部３などに引っ掛からないようにするためである。

上述した進退駆動機構８１によって、検出手段である透過型センサ８０を基板Ｗに近づけて基板Ｗの有無を検出することができるので、検出精度を向上することができる。なお、上述した実施例で説明した反射型センサを、上記の進退駆動機構８１によって前後進させ、反射型センサを基板に近接させて基板の有無を検出するようにしてもよい。

（２）カセット１の各溝１ｄに収納された基板Ｗの有無を検出する検出手段は、反射型センサや透過型センサに限定するものではなく、例えば、カセット１内を撮像するＣＣＤカメラでもよい。

例えば、図９に示すように、シャッター部材５の支持板部５ｂの上部に、ＣＣＤカメラ９０を載置する。このＣＣＤカメラ９０は、シャッター部材５が下降する間に、カセット１内を連続して撮像する。この撮像によって得られるカセット１の画像データは、データ収集部１１に収集される。処理部１４は、この画像データに２値化処理を施して、カセット１の基板Ｗの収納状態を把握する。なお、ＣＣＤカメラ９０は、本発明における撮像手段に相当する。

上述した構成にすれば、カセット１内を画像として捉えることができるので、さらに詳細に基板の状態を把握することができる。

（３）上記変形例（２）では、カセット１内の基板Ｗの収納状態を把握するために、ＣＣＤカメラ９０を用いたが、例えば、図１０に示すように、シャッター部材５の支持板部５ｂの上部に、光ファイバ９５を設置して、この光ファイバ９５の終端に接続された図示しないＣＣＤカメラによって、カセット１内を撮像するように構成してもよい。

上述した構成にすれば、ＣＣＤカメラを装置内の空いた場所に設置することができるので、検出手段を設けることによる装置の拡大を防止することができる。また、光ファイバは、軽いのでシャッター部材５の動作に影響を与えることもない。なお、上述したＣＣＤカメラ９０や光ファイバ９５を、図８に示したような進退駆動機構８１で前後進させ、基板に近接した状態で、カセット内を撮像するようにしてもよい。

本発明の実施例に係る基板処理装置の概略構成を示す平面図である。 実施例に係る装置の概略構成を示す側面図である。 実施例のＦＯＵＰカセットを示す斜視図である。 実施例のシャッター部材とシャッター部材に取り付けられた反射型センサを示す斜視図である。 実施例のシャッター部材の動作を表す概略側面図である。 実施例の要部を示すブロック図である。 実施例の基板の検出とカセットの溝位置を示す模式図である。 変形例（１）にかかる透過型センサがシャッター部材に取り付けられた状態を示す斜視図である。 変形例（２）にかかるＣＣＤカメラがシャッター部材に取り付けられた状態を示す斜視図である。 変形例（３）にかかる光ファイバがシャッター部材に取り付けられた状態を示す斜視図である。

符号の説明

１ …カセット
２ …カセットステージ
３ …載置部
４ …カセット駆動機構
５ …シャッター部材
６ …ロック機構
７ …シャッター駆動機構
９ …基板搬送機構
１０ …反射型センサ
１１ …データ収集部
１２ …隔壁
１２ａ…開口部
１３ …位置検出部
１４ …処理部
１５ …メモリ
８０ …透過型センサ
８１ …進退駆動機構
９０ …ＣＣＤカメラ
９５ …光ファイバ
Ｗ …基板

Claims (20)

1. 基板収納容器から複数枚の基板を取り出す、あるいは基板収納容器に複数枚の基板を収納するために基板収納容器の蓋を開閉する装置であって、
   基板の取り出し・収納するための開口と、前記開口に取り付けられる蓋と、前記蓋を開口に取り付けて固定する状態および離脱可能状態にする固定機構とを備え、基板を水平に収納する基板収納容器を載置する載置部と、
   前記載置部と、前記基板を前記基板収納容器から取り出して基板に所定の処理を施す処理部とを仕切る隔壁に設けられた通過口を開閉するとともに、前記通過口の開閉時に前記基板収納容器の蓋を保持して前記蓋を開閉するシャッターと、
   前記シャッターに備えられ、前記通過口を開く際に前記固定機構に連結接続して、前記離脱可能状態に移行させ、前記通過口を閉じる際に前記固定機構に連結接続して、前記固定する状態に移行させるロック機構と、
   前記シャッターを進退駆動および昇降駆動させるシャッター駆動機構と、
   前記基板収納容器を前記隔壁方向に進退移動させる基板収納容器駆動機構と、
   前記シャッターに取り付けられ、前記基板収納容器に収納された基板の有無を検出する検出手段と
   を備えたことを特徴とする基板収納容器の蓋を開閉する装置。
2. 請求項１に記載の基板収納容器の蓋を開閉する装置において、
   前記シャッターは、閉時には前記通過口に嵌め込まれることを特徴とする基板収納容器の蓋を開閉する装置。
3. 請求項２に記載の基板収納容器の蓋を開閉する装置において、
   前記シャッターは、前記隔壁に設けられた通過口に嵌め込まれる凸部と、この凸部が設けられている支持板部とで構成されることを特徴とする基板収納容器の蓋を開閉する装置。
4. 請求項１に記載の基板収納容器の蓋を開閉する装置において、
   前記検出手段は、前記基板収納容器内の基板を開口で挟むように対向配置された投光素子と受光素子とで構成されることを特徴とする基板収納容器の蓋を開閉する装置。
5. 基板収納容器から複数枚の基板を取り出す、あるいは基板収納容器に複数枚の基板を収納するために基板収納容器の蓋を開閉する装置であって、
   基板の取り出し・収納するための開口と、前記開口に取り付けられる蓋と、前記蓋を開口に取り付けて固定する状態および離脱可能状態にする固定機構とを備え、基板を水平に収納する基板収納容器を載置する載置部と、
   前記載置部と、前記基板を前記基板収納容器から取り出して基板に所定の処理を施す処理部とを仕切る隔壁に設けられた通過口を開閉するとともに、閉時には前記通過口に嵌め込まれ、かつ前記通過口の開閉時に前記基板収納容器の蓋を保持して前記蓋を開閉するシャッターと、
   前記シャッターに備えられ、前記通過口を開く際に前記固定機構に連結接続して、前記離脱可能状態に移行させ、前記通過口を閉じる際に前記固定機構に連結接続して、前記固定する状態に移行させるロック機構と、
   前記シャッターを進退駆動および昇降駆動させるシャッター駆動機構と、
   前記シャッターに取り付けられ、前記基板収納容器に収納された基板の有無を検出する検出手段と
   を備えたことを特徴とする基板収納容器の蓋を開閉する装置。
6. 請求項５に記載の基板収納容器の蓋を開閉する装置において、
   前記シャッターは、前記隔壁に設けられた通過口に嵌め込まれる凸部と、この凸部が設けられている支持板部とで構成されることを特徴とする基板収納容器の蓋を開閉する装置。
7. 請求項５に記載の基板収納容器の蓋を開閉する装置において、
   前記検出手段は、前記基板収納容器内の基板を開口付近で挟むように対向配置された投光素子と受光素子とで構成されることを特徴とする基板収納容器の蓋を開閉する装置。
8. 基板収納容器から複数枚の基板を取り出す、あるいは基板収納容器に複数枚の基板を収納するために基板収納容器の蓋を開閉する装置であって、
   基板の取り出し・収納するための開口と、前記開口に取り付けられる蓋とを備え、基板を水平に収納する基板収納容器を載置する載置部と、
   前記載置部と、前記基板を前記基板収納容器から取り出して基板に所定の処理を施す処理部とを仕切る隔壁に設けられた通過口を開閉するとともに、閉時には前記通過口に嵌め込まれ、かつ前記通過口の開閉時に前記基板収納容器の蓋を保持して前記蓋を開閉するシャッターと、
   前記シャッターを進退駆動および昇降駆動させるシャッター駆動機構と、
   前記基板収納容器を前記隔壁方向に進退移動させる基板収納容器駆動機構と、
   前記シャッターに取り付けられ、前記基板収納容器に収納された基板の有無を検出する検出手段と
   を備えたことを特徴とする基板収納容器の蓋を開閉する装置。
9. 請求項８に記載の基板収納容器の蓋を開閉する装置において、
   前記シャッターは、前記隔壁に設けられた通過口に嵌め込まれる凸部と、この凸部が設けられている支持板部とで構成されることを特徴とする基板収納容器の蓋を開閉する装置。
10. 請求項８に記載の基板収納容器の蓋を開閉する装置において、
    前記検出手段は、前記基板収納容器内の基板を開口で挟むように対向配置された投光素子と受光素子とで構成されることを特徴とする基板収納容器の蓋を開閉する装置。
11. 複数枚の基板を収納した基板収納容器から基板を順に取り出して処理を行う基板処理装置であって、
    基板の取り出し・収納するための開口と、前記開口に取り付けられる蓋と、前記蓋を開口に取り付けて固定する状態および離脱可能状態にする固定機構とを備え、基板を水平に収納する基板収納容器を載置する載置部と、
    前記基板を前記基板収納容器から取り出して基板に所定の処理を施す処理部と、
    前記載置部と、前記基板を前記基板収納容器から取り出して基板に所定の処理を施す処理部とを仕切る隔壁に設けられた通過口を開閉するとともに、前記通過口の開閉時に前記基板収納容器の蓋を保持して前記蓋を開閉するシャッターと、
    前記シャッターに備えられ、前記通過口を開く際に前記固定機構に連結接続して、前記離脱可能状態に移行させ、前記通過口を閉じる際に前記固定機構に連結接続して、前記固定する状態に移行させるロック機構と、
    前記シャッターを進退駆動および昇降駆動させるシャッター駆動機構と、
    前記基板収納容器を前記隔壁方向に進退移動させる基板収納容器駆動機構と、
    前記シャッターに取り付けられ、前記基板収納容器に収納された基板の有無を検出する検出手段と
    を備えたことを特徴とする基板処理装置。
12. 請求項１１に記載の基板処理装置において、
    前記シャッターは、閉時には前記通過口に嵌め込まれることを特徴とする基板処理装置。
13. 請求項１２に記載の基板処理装置において、
    前記シャッターは、前記隔壁に設けられた通過口に嵌め込まれる凸部と、この凸部が設けられている支持板部とで構成されることを特徴とする基板処理装置。
14. 請求項１１に記載の基板処理装置において、
    前記検出手段は、前記基板収納容器内の基板を開口で挟むように対向配置された投光素子と受光素子とで構成されることを特徴とする基板処理装置。
15. 複数枚の基板を収納した基板収納容器から基板を順に取り出して処理を行う基板処理装置であって、
    基板の取り出し・収納するための開口と、前記開口に取り付けられる蓋と、前記蓋を開口に取り付けて固定する状態および離脱可能状態にする固定機構とを備え、基板を水平に収納する基板収納容器を載置する載置部と、
    前記基板を前記基板収納容器から取り出して基板に所定の処理を施す処理部と、
    前記載置部と、前記基板を前記基板収納容器から取り出して基板に所定の処理を施す処理部とを仕切る隔壁に設けられた通過口を開閉するとともに、閉時には前記通過口に嵌め込まれ、かつ前記通過口の開閉時に前記基板収納容器の蓋を保持して前記蓋を開閉するシャッターと、
    前記シャッターに備えられ、前記通過口を開く際に前記固定機構に連結接続して、前記離脱可能状態に移行させ、前記通過口を閉じる際に前記固定機構に連結接続して、前記固定する状態に移行させるロック機構と、
    前記シャッターを進退駆動および昇降駆動させるシャッター駆動機構と、
    前記シャッターに取り付けられ、前記基板収納容器に収納された基板の有無を検出する検出手段と
    を備えたことを特徴とする基板処理装置。
16. 請求項１５に記載の基板処理装置において、
    前記シャッターは、前記隔壁に設けられた通過口に嵌め込まれる凸部と、この凸部が設けられている支持板部とで構成されることを特徴とする基板処理装置。
17. 請求項１５に記載の基板処理装置において、
    前記検出手段は、前記基板収納容器内の基板を開口で挟むように対向配置された投光素子と受光素子とで構成されることを特徴とする基板処理装置。
18. 複数枚の基板を収納した基板収納容器から基板を順に取り出して処理を行う基板処理装置であって、
    基板の取り出し・収納するための開口と、前記開口に取り付けられる蓋とを備え、基板を水平に収納する基板収納容器を載置する載置部と、
    前記基板を前記基板収納容器から取り出して基板に所定の処理を施す処理部と、
    前記載置部と、前記基板を前記基板収納容器から取り出して基板に所定の処理を施す処理部とを仕切る隔壁に設けられた通過口を開閉するとともに、閉時には前記通過口に嵌め込まれ、かつ前記通過口の開閉時に前記基板収納容器の蓋を保持して前記蓋を開閉するシャッターと、
    前記シャッターを進退駆動および昇降駆動させるシャッター駆動機構と、
    前記基板収納容器を前記隔壁方向に進退移動させる基板収納容器駆動機構と、
    前記シャッターに取り付けられ、前記基板収納容器に収納された基板の有無を検出する検出手段と
    を備えたことを特徴とする基板処理装置。
19. 請求項１８に記載の基板処理装置において、
    前記シャッターは、前記隔壁に設けられた通過口に嵌め込まれる凸部と、この凸部が設けられている支持板部とで構成されることを特徴とする基板処理装置。
20. 請求項１８に記載の基板処理装置において、
    前記検出手段は、前記基板収納容器内の基板を開口で挟むように対向配置された投光素子と受光素子とで構成されることを特徴とする基板処理装置。

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