JP2003347391A

JP2003347391A - 基板検出装置

Info

Publication number: JP2003347391A
Application number: JP2002155270A
Authority: JP
Inventors: Yasuyoshi Kitazawa; 保良北澤
Original assignee: Shinko Electric Co Ltd
Current assignee: Shinko Electric Co Ltd
Priority date: 2002-05-29
Filing date: 2002-05-29
Publication date: 2003-12-05

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】送信器及び受信器の光軸位置のばらつきを防
止し、基板の検出精度の低下を抑制することができ、ま
た、送信器及び受信器の取り付けに関し機構的な制約が
少ない基板検出装置を提供する。【解決手段】蓋３ｂと連結されて蓋３ｂを開閉する遮
蔽板８と、遮蔽板８を開口３ｃに対して前後に移動させ
る前後移動手段９と、遮蔽板８と前後移動手段９とを支
持する遮蔽板支持手段１０と、送信器と受信器とを有す
る基板検出部６と、遮蔽板支持手段１０とは別に形成さ
れて基板検出部６を支持する基板検出部支持手段７と、
基板検出部支持手段７と遮蔽板支持手段１０とを連結す
る連結手段１１とを備え、連結手段１１が基板収納容器
３の高さ方向に下降するとともに、基板検出部支持手段
７及び遮蔽板支持手段１０も下降し、基板検出部６が各
棚に収納された基板Ｗの有無を検出することを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板収納容器に収
納された基板の有無を検出する基板検出装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製品の製造工程等にて半導体ウェ
ハーなどの基板を搬送する際、通常、複数の基板が、基
板収納容器に収納されて各工程間を搬送され、基板処理
装置において基板収納容器単位に所要の処理が施されて
いく。この場合、基板処理装置で処理する前に、基板収
納容器ごとに基板の収納状態をまず把握する必要があ
る。そのため、基板収納容器に収納された基板を処理す
る基板処理装置においては、基板の有無を検出する基板
検出装置が設けられている。この基板検出装置として
は、例えば、特開平３−２９７１５６号公報に開示され
たもの等がある。

【０００３】上記公報に記載の基板処理装置では、基板
収納容器として、オープンカセットと呼ばれるものが使
用されている。このオープンカセット（以下、単に「カ
セット」という）の前側には、基板を挿入及び取り出し
を行うための開口が設けられ、更に、カセットの奥側に
は、前記開口よりも小さな開口が設けられている。ま
た、カセット内には、基板をほぼ水平に保持するための
複数の棚が形成されている。かかるカセット内の基板収
納状態を基板処理前に予め把握するため、カセット載置
部に基板検出装置が設けられている。この基板検出装置
は、カセットを前後から挟むように対向配置された投光
素子と受光素子とで構成された透過型センサであり、こ
の透過型センサをカセット内の最上段の棚から最下段の
棚まで上下方向に移動させることで、カセット内の各棚
内に収納された基板の有無を検知するものである。

【０００４】ところが、近年の基板の大型化に伴って、
この基板を収納するカセット（基板収納容器）について
新たな規格が取り決められている。この規格に準じたカ
セットは、ＦＯＵＰ（ＦｒｏｎｔＯｐｅｎｉｎｇＵ
ｎｉｆｉｅｄＰｏｄ）と呼ばれている。このＦＯＵＰ
には、基板の挿入及び取り出しを行うための開口が一つ
だけ設けられており、この開口に着脱可能な蓋が取り付
けられ、内部には、基板を収納保持する複数の棚が設け
られている。

【０００５】このＦＯＵＰにおいては、開口が一つのみ
であるため、特開平３−２９７１５６号公報に開示され
たようにカセットを前後から挟む透過型センサによっ
て、カセットの棚に収納された基板の有無を検出するこ
とができない。このため、基板の検出を行うには、一
旦、開口に取り付けられた蓋を開けるという動作が必要
となるなどの種々の制約を受け、基板検出のための動作
が複雑となり、正確に基板を検出することが難しい。

【０００６】このような制約を緩和する基板検出装置と
して、米国特許第６、１８８、３２３号に記載されたも
のが知られている。この公報に記載された基板検出装置
では、ＦＯＵＰの蓋を取り外すためにこの蓋と連結され
るポートドア上に一対のフィンガーが配置されており、
各フィンガー先端に送信器と受信器とが設けられてい
る。そして、ポートドアが水平駆動されてカセットの蓋
が開かれ、更に少し下降した後、両フィンガーが駆動さ
れることで送信器と受信器とがカセット内に移動し、引
き続き、ポートドアの下降に従い送信器と受信器とがと
もに下降しながら、カセットの上側の棚から、順次基板
の有無を検出していくものである。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記の米国特許第６、
１８８、３２３号に記載された基板検出装置では、ポー
トドアは開閉動作のために前後に移動し、ポートドアが
開位置に位置している状態で両フィンガーが駆動されて
送信器及び受信器による基板の検出動作（マッピング動
作）が行われる。しかし、ポートドアの開位置にはばら
つきが生じるため、送信器及び受信器（マッピングセン
サ）の光軸位置（送信器から受信器へと至る光路の位
置）にばらつきが生じやすい。このため、センシングが
不安定で、基板の検出精度の低下を招き易いという問題
がある。

【０００８】また、上記公報記載の基板検出装置は、ポ
ートドアが開位置にある状態では、両フィンガーを駆動
してマッピングセンサをカセット内に移動させる動作
（伸長動作）を行う必要があり、一方、ポートドアが閉
位置にある状態では、両フィンガーとともにマッピング
センサがポートドア上で収納されている必要がある。す
なわち、両フィンガーがポートドア端部からはみ出すよ
うな長さでは、伸長動作時に干渉が発生することにな
り、一方、ポートドアの開位置では、収納された状態の
マッピングセンサをカセット内の所定位置まで移動させ
ることができるストロークを確保する必要がある。この
ため、両フィンガー及びマッピングセンサの取り付けに
関する機構的な制約が大きいという問題がある。

【０００９】本発明は、上記実情に鑑みてなされたもの
であり、送信器及び受信器の光軸位置のばらつきを防止
し、基板の検出精度の低下を抑制することができ、ま
た、送信器及び受信器の取り付けに関し機構的な制約が
少ない基板検出装置を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１に記載の基板検出装置は、基板の収納及び
取り出しを行うための開口と、この開口に着脱可能に取
り付けられて開閉するための蓋と、前記基板を収納保持
する複数の棚とを備える基板収納容器に対して、前記各
棚に収納された基板の有無を検出する基板検出装置にお
いて、前記蓋と連結されて前記蓋を開閉する遮蔽板と、
前記遮蔽板を前記開口に対して前後に移動させる前後移
動手段と、前記遮蔽板と前記前後移動手段とを支持する
遮蔽板支持手段と、送信器と受信器とを有する基板検出
部と、前記遮蔽板支持手段とは別に形成され、前記基板
検出部を支持する基板検出部支持手段と、前記基板検出
部支持手段と前記遮蔽板支持手段とを連結する連結手段
とを備え、前記連結手段が前記基板収納容器の高さ方向
に下降するとともに、前記基板検出部支持手段及び前記
遮蔽板支持手段も下降し、前記基板検出部が前記各棚に
収納された基板の有無を検出することを特徴とする。

【００１１】この構成によると、基板検出部は基板検出
部支持手段に支持され、遮蔽板は遮蔽板支持手段に前後
移動支持手段を介して支持される。このため、遮蔽板の
前後動作による蓋の開閉動作によって、基板検出部によ
る基板検出位置が影響を受けることがない。したがっ
て、送信器及び受信器の光軸位置のばらつきを防止し、
基板の検出精度の低下を抑制することができる。また、
送信器及び受信器の取り付けに関し機構的な制約を少な
くすることができる。そして、基板検出部支持手段と遮
蔽板支持手段とが連結手段で連結されているため、遮蔽
板の下降とともに基板検出部も下降しながら、各棚に収
納された基板の有無を検出することができる。

【００１２】請求項２に記載の基板検出装置は、請求項
１において、前記基板検出装置は、前記基板収納容器が
載置される載置部とこの載置部を支持する型枠とを備え
るポート装置に備えられ、前記連結手段は前記載置部の
下方に配置され、前記基板検出部支持手段及び前記遮蔽
板支持手段は前記型枠に対し前記載置部が設けられる側
とは反対側に配置され、前記型枠を貫通する長孔を介し
て前記基板検出部支持手段及び前記遮蔽板支持手段が前
記連結手段により連結されていることを特徴とする。

【００１３】この構成によると、連結手段を載置部の下
方に設けることで、連結手段とともに基板検出部支持手
段及び遮蔽板支持手段を基板収納容器の高さ方向に昇降
駆動させる駆動装置を載置部の下方に設けることができ
る。したがって、ポート装置近傍のスペースを効率良く
活用でき、とくに、載置部の反対側でポート装置に面
し、基板が取り出されて処理される側のスペースを有効
的に活用できる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係
る基板検出装置１が、ポート装置２（以下、「ロードポ
ート２」ともいう）に対して設けられている様子を示し
たものである。このロードポート２は、基板処理装置の
一部を構成するよう設けられ、図中に２点鎖線で示した
基板処理スペース１００内に配設される図示しない基板
処理部に対向して設けられる。このロードポート２が設
けられることで、基板処理装置は、ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎ
ｔＯｐｅｎＵｎｉｆｉｅｄＰｏｄ）と呼ばれる基
板収納容器に対応するものとなる。

【００１５】まず、基板検出装置１が設けられるロード
ポート２は、ＦＯＵＰ３（以下、「カセット３」ともい
う）が載置される載置部４と、載置部４を支持する型枠
５（以下、「ロードポートフレーム５」ともいう）とを
備えている。載置部４には、カセット３が直接載置され
るカセットステージ４ａが設けられており、カセット３
が搬送されてきてカセットステージ４ａに載置される
と、このカセットステージ４ａがロードポートフレーム
５側に向かって前進駆動される（図中矢印の左方向）。
ロードポートフレーム５には、カセットステージ４ａに
対応する位置に通過口５ａが設けられており、この通過
口５ａを介してカセット３内に収納された各基板Ｗが取
り出されて、基板収納スペース１００内の図示しない基
板処理部にて処理される。そして、処理後再び挿入され
た基板Ｗを収納したカセット３は後退駆動され（図中矢
印の右方向）、載置部４から取り上げられて搬送される
ものである。

【００１６】また、カセット３を図７に例示するが、基
板Ｗを収納するための容器３ａと、この容器３ａに形成
された開口３ｃに着脱可能に嵌め込まれることで取り付
けられ、この開口３ｃを開閉するための蓋３ｂとを備え
ている。容器３ａの開口３ｃは、基板Ｗの収納及び取り
出しを行うために設けられており、また、容器３ａの内
壁には、基板Ｗを収納保持するための複数の棚３ｄが設
けられている。即ち、この溝状に形成される各棚３ｄに
は、基板Ｗがほぼ水平に保持された状態で収納される。
蓋３ｂには、これを容器３ａに固定する固定機構３ｅが
埋設され、この固定機構３ｅは、ラックが刻設された２
本のロック部材３ｆと、ラックに噛み合う回転自在なピ
ニオン３ｇとで構成される。ピニオン３ｇの回転によ
り、ロック部材３ｆが蓋３ｂから突出し、容器３ａと蓋
３ｂとが固定される。

【００１７】本実施形態に掛かる基板検出装置１は、後
述するように、ロードポートフレーム５に対し載置部４
とは反対側で基板処理スペース１００に面する側から、
カセット３内に収納された基板Ｗの有無を検出するもの
である。この基板検出情報に基づいて、カセット３単位
に基板Ｗの処理が行われることになる。

【００１８】以下、基板検出装置１について説明する。
図１は、基板検出装置１（及びロードポート２）の側面
図を、図２は、正面図（基板処理スペース１００側から
見た図）をそれぞれ示している。また、図３は、図２の
Ａ線矢視断面図であって基板検出装置１とその周辺の様
子を、図４は、図２のＢ線矢視断面図であって同様に基
板検出装置１とその周辺の様子を示したものである。そ
して、図５は、図３のＣ線矢視断面図を示したものであ
る。なお、図４では、後述するように、基板検出装置１
の基板検出部支持手段等が下降した状態を示している。

【００１９】基板検出装置１は、後述するようにカセッ
ト３の各棚に収納された基板Ｗの有無を検出するための
送信器と受信器とを有する基板検出部６（以下、「マッ
ピングセンサ６」ともいう）と、このマッピングセンサ
６を支持する基板検出部支持手段７（以下、「センサー
フレーム７」ともいう）とを有している（図１参照）。
図２に示すように、センサーフレーム７は、マッピング
センサ６が取り付けられる上面板７ｃと、上面板７ｃの
両端からそれぞれ下方に延在する２枚の側板７ａ、７ａ
と、下方で、両側板７ａ、７ｂ間に架け渡されるように
設けられる架橋板７ｂとを有している。なお、図４に示
すように、両側板７ａ、７ａの下方には、架橋板７ｂと
は反対側に突出する貫通板７ｄ、７ｄが設けられてい
る。この貫通板７ｄ、７ｄは、ロードポートフレーム５
の両側においてそれぞれ上下方向に伸長するよう穿設さ
れる長孔５ｂ、５ｂを各々貫通し、後述する連結手段１
１（以下、「ジョイントブラケット１１」ともいう）と
連結されている（図２、図４、図５参照）。

【００２０】また、基板検出装置１は、図１及び図３に
示すように、載置部４にカセット３が載置されていない
場合には通過口５ａを塞ぎ、基板処理スペース１００と
載置部４との雰囲気を遮断する遮蔽板８（以下、「ポー
トドア８」ともいう）を有している。ポートドア８は、
本体部８ａと連結部８ｂとを備え、連結部８ｂにてカセ
ット３の蓋３ｂと連結されてこの蓋３ｂを開閉すること
ができるようになっている。即ち、連結部８ｂが、カセ
ット３のピニオン３ｇと連結されてこのピニオン３ｇを
回転させることができるようになっている（図７参
照）。これにより、ロック部材３ｆを上下動させ、容器
３ａから蓋３ｂの開閉動作を行うことを可能にするもの
である。

【００２１】基板検出装置１には、蓋３ｂを開閉するた
め、上記のポートドア８をカセット３の開口３ｃに対し
て前後に移動させる前後移動手段９（以下、「スライダ
９」ともいう）が備えられている。即ち、図２及び図３
に示すように、本体部８ａの下端部がスライダ９に固定
されることで遮蔽板８はスライダ９に搭載されており、
スライダ９は、基板検出装置１の遮蔽板支持手段１０
（以下、「ドアサポート１０」ともいう）上で図３に示
す矢印方向に前後動することができるようになってい
る。ドアサポート１０は、スライダ９が前後動可能に載
置される支持板１０ａと、支持板１０ａから下方に延在
するブラケット部１０ｂとを有している。ブラケット部
１０ｂの下方には、ブラケット部１０ｂから略垂直に突
出する貫通板１０ｃが設けられている。この貫通板１０
ｃは、ロードポートフレーム５の略中央において上下方
向に伸長するように穿設される長孔５ｃを貫通し、後述
するジョイントブラケット１１と連結されている（図２
〜５参照）。

【００２２】基板検出装置１のジョイントブラケット１
１は、載置部４の略下方に配置されており、平板状に形
成されている。図５では、逆凸字型の平板状に形成され
た例を示している。このジョイントブラケット１１は、
前述のように、センサーフレーム７とドアサポート１０
とを連結している。即ち、センサーフレーム７の両側か
ら突出する貫通板７ｄ、７ｄが、長孔５ｂ、５ｂを介し
てジョイントフレーム１１の両側とそれぞれ連結されて
おり、ドアサポート１０の下方から突出する貫通板１０
ｃが、長孔５ｃを介してジョイントフレーム１１の中央
と連結されている（図２〜５参照）。

【００２３】そして、ジョイントフレーム１１には、図
３〜５に示すように、ナット部材１２と、複数のガイド
部材１３とが取り付けられている。ナット部材１２は、
ボールスクリュー１４に螺合されており、ボールスクリ
ュー１４の軸端部にはステッピングモータ１６が取り付
けられている。ステッピングモータ１６は、ロードポー
トフレーム５に対して固定されている。また、ガイド部
材１３は、ロードポートフレーム５に上下方向に延在し
て設けられる２本レール１５、１５に対して上下方向に
摺動可能な位置に設けられる。この構成により、ステッ
ピングモータ１６の回転に伴うボールスクリュー１４の
回転により、ナット部材１２が上下駆動され、これと共
に、ナット部材１２に取り付けられたジョイントブラケ
ット１１が、レール１５及びガイド１３によってスライ
ド支持されながら、上下駆動される。そして、ジョイン
トブラケット１１が（カセット３の高さ方向に）下降す
るとともに、これに連結されたセンサ−フレーム７及び
ドアサポート１０もともに下降する。したがって、ポー
トドア８の下降とともにマッピングセンサ６も下降しな
がら、後述するようにカセット３の各棚３ｄに収納され
た基板Ｗの有無を、最上段の棚から最下段の棚まで、順
次検出していくことができる。

【００２４】このように、基板検出装置１では、ジョイ
ントブラケット１１が載置部４の下方に配置され、セン
サーフレーム７及びドアサポート１０がロードポートフ
レーム５に対し載置部４が設けられる側とは反対側に配
置され、ロードポートフレーム５を貫通する長孔（５
ｂ、５ｃ）を介してセンサーフレーム７及びドアサポー
ト１０がジョイントブラケット１１により連結されてい
る。これにより、ステッピングモータ１６及びボールス
クリュー１４等の昇降駆動装置を載置部４の下方に設け
ることができる。したがって、ロードポート２近傍のス
ペースを効率良く活用でき、とくに、載置部４の反対側
の基板処理スペース１００側を有効的に活用できる。

【００２５】つぎに、基板検出装置１のマッピングセン
サ６について詳しく説明する。図６は、マッピングセン
サ６が、センサーフレーム７の上面板７ｃ上に設けられ
た様子を示している。図６（ａ）は上面図であり、図６
（ｂ）は正面図である。マッピングセンサ６は、信号で
あるビーム（線光）を発する送信器１７（発光センサ）
と、送信器１７から発せられた信号を受信する受信器１
８（受光センサ）とを備えている。そして、図６に示す
ように、送信器１７及び受信器１８は、一対のアーム
（１９、２０）の一端側（１９ａ、２０ａ）にそれぞれ
取り付けられている。そして、この一対のアーム（１
９、２０）は、センサーフレーム７の上面板７ｃ上に他
端側（１９ｂ、２０ｂ）でそれぞれ回動可能に取り付け
られている。また、一対のアーム（１９、２０）の回動
動作は、駆動手段２１により、一対のギヤ２２及び揺動
軸（２３、２４）を介して行われる。

【００２６】まず、送信器１７は、図示しない光源と例
えば光ファイバで接続されており、さらに、上記のよう
に、一方のアーム１９の一端側１９ａに取り付けられ、
アーム１９が回動駆動されることで、カセット３の開口
３ｃに対して突出し、カセット３の各棚３ｄに収納され
た基板Ｗに向かって信号を発する。また、受信器１８
も、送信器１７と同様、他方のアーム２０の一端側２０
ａに取り付けられ、アーム２０が回動駆動されること
で、カセット３の各棚３ｄに収納された基板Ｗを挟んで
対峙するよう突出する。これにより、送信器１７から発
せられた信号を受信可能な位置関係となる。なお、図６
（ａ）には、両アーム（１９、２０）が回動される前
（送信器１７及び受信器１８が開口３ｃに対して突出す
る前）の状態を実線で示し、回動後の状態（送信器１７
及び受信器１８が開口３ｃに対して突出した状態）を２
点鎖線で示している。

【００２７】一対のアーム（１９、２０）が回動駆動さ
れて、送信器１７及び受信器１８が、開口３ｃ内に突出
した後、送信器１７から対峙する受信器１８に向かって
信号が発せられる。このとき、送信器１７から受信器１
８へと至る信号経路Ｓの途中に基板Ｗが存在している
と、この基板Ｗによって信号経路Ｓが遮られる。このた
め、基板検出装置１によって、基板Ｗの有無を検出する
ことができるようになる。なお、前述のように、マッピ
ングセンサ６（送信器１７及び受信器１８）がセンサー
フレーム７とともに下降して、各棚３ｃの基板Ｗの有無
を順次検出するが、このとき、検出される基板Ｗのそれ
ぞれの位置は、ステッピングモータ１６の回転数により
把握される（図３、４参照）。

【００２８】また、一対のアーム（１９、２０）は、そ
の他端側（１９ｂ、２０ｂ）にて、揺動軸（２３、２
４）の上端側にそれぞれ取り付けられており、揺動軸
（２３、２４）は、取付部材２５によって、複数の軸受
２６を介して回転自在に支持されている。これら揺動軸
２３及び２４は、ギヤ２２の噛合を介して連動するよう
になっており、揺動軸２３には駆動側ギヤ２２ａが取り
付けられ、揺動軸２４には従動側ギヤ２２ｂが取り付け
られている。そして、揺動軸２３の下端側は、駆動手段
２１と連結されている。

【００２９】また、駆動手段２１は、エアーシリンダ２
１ａ、ロッド２１ｂ、リンク部材２１ｃ及び２１ｄを備
えており、エアーシリンダ２１ａに連結された揺動軸２
３を回動させるものである。即ち、揺動軸２３の下端側
は、リンク部材２１ｄと固着されており、このリンク部
材２１ｄの他端側は、リンク部材２１ｃに揺動自在に取
り付けられている。そして、そのリンク部材２１ｃの他
端側は、エアーシリンダ２１ａに設けられるロッド２１
ｂの先端部分に揺動自在に取り付けられている。

【００３０】これらの構成によって、エアーシリンダ２
１ａへ供給する圧縮空気を切り換えてロッド２１ｂを前
後動させることにより（図中矢印α）、リンク部材２１
ｃ及び２１ｄを介して揺動軸２３が回動駆動される。さ
らに、この揺動軸２３の回動に伴い、アーム１９も回動
することになる。すなわち、ロッド２１ｂがエアーシリ
ンダ２１ａから突出することで、アーム１９の回動とと
もに、送信器１７は、開口３ｃを通過してカセット３内
に突出することになる。そして、ギヤ２２（２２ａ、２
２ｂ）の噛合を介して、アーム２０もアーム１９と同期
して回動し、受信器１８もカセット３内に突出すること
になる。なお、図６（ａ）においては、エアーシリンダ
２１ａに対して前後動するロッド２１ｂの状態を前進限
と後退限の２つの位置について図示している。

【００３１】以上が、本実施形態に係る基板検出装置１
の構造についての説明である。以下、記述した部分につ
いて適宜割愛しながら、基板検出装置１の作動について
説明する。

【００３２】まず、図１において、図示しない搬送設備
等によって搬送されてきたカセット３が、ロードポート
２の載置部４のカセットステージ４ａ上に載置される。
載置された後、カセット３は、図示しないカセット駆動
機構によりロードポートフレーム５に向かって前進駆動
される。このとき、ポートドア８に設けられている図示
しないロック機構が、カセット３の蓋３ｂに設けられた
固定機構３ｅのピニオン３ｇと連結し、固定機構３ｅが
解除され（図７参照）、容器３ａから蓋３ｂが取り外し
可能な状態になるとともに、蓋３ｂがポートドア８に保
持される。

【００３３】つぎに、ポートドア８は、スライダ９によ
り後退させられる（図３参照）。後退することで、カセ
ット３の開口３ｃは開いた状態となる。そして、マッピ
ングセンサ６をカセット３内に突出させることができる
とともに最上段の棚３ｄの少し上側に位置させることが
できるように、ステッピングモータ１６を回転してジョ
イントブラケット１１とともにセンサーフレーム７及び
ドアサポート１０を少し下降させる。

【００３４】この状態から、ロッド２１ｂをエアーシリ
ンダ２１ａに対して突出するよう前進動作を行って両ア
ーム（１９、２０）を回動し、前述のように、マッピン
グセンサ６（送信器１７及び受信器１８）をカセット３
内に突出（伸長）させる（図６参照）。ロッド２１ｂが
前進限に達することで、送信器１７及び受信器１８が基
板検出位置に位置決めされる。そして、送信器１７から
受信器１８に向かって信号が発せられ、ステッピングモ
ータ１６の回転に伴うジョイントブラケット１１の下降
とともにセンサーフレーム７が下降し、マッピングセン
サ６もともに下降する（即ち、図３の状態から図４の状
態へと移行していく）。マッピングセンサ６の下降とと
もに、送信器１７と受信器１８との間に形成されている
信号経路Ｓが、基板Ｗの存在しているところでは遮ら
れ、基板Ｗの存在していないところでは遮られずに受信
器１８に達することで、順次、基板Ｗの有無が検出され
ていく。

【００３５】こうして、カセット３内の全ての棚３ｄに
関して、基板Ｗの有無に関する情報が得られることにな
る。そして、例えば、基板収納スペース１００内に設置
された図示しない基板処理部にて、当該カセット３の処
理が行われる場合に、この基板検出情報に基づいて、カ
セット３の特定の棚３ｄから基板Ｗを取り出すととも
に、処理後さらにその基板Ｗを取り出した棚３ｄへと返
却収納するような場合に利用されることになる。

【００３６】カセット３内で、基板Ｗの検出のための信
号発信が終了すると、ロッド２１ｂが、エアーシリンダ
２１ａに対して縮退するように後退動作を行うことで、
リンク部材（２１ｃ、２１ｄ）、揺動軸（２３、２
４）、ギヤ２２を介して、両アーム（１９、２０）は、
カセット３内に突出した状態から、再び、図６（ａ）に
実線で示す状態へと退避する。

【００３７】なお、基板Ｗが処理されて、再びカセット
３内に収納されると、ステッピングモータ１６をマッピ
ングセンサ６下降時とは逆に回転させ、ジョイントブラ
ケット１１とともに、センサーフレーム７及びドアサポ
ート１０を上昇させる。そして、ポートドア８が通過口
５ａと対峙（蓋３ｂが開口３ｃと対峙）する位置まで上
昇し、停止する（図１に示す状態となる）。その状態か
ら、スライダ９をロードポートフレーム５に向かって前
進させ、ポートドア８で通過口５ａが塞がれるととも
に、蓋３ｂにより開口３ｃが閉じられる。開口３ｃが閉
じられた後、蓋３ｂの固定機構３ｅを作動させ、容器３
ａと蓋３ｂとを連結する。この後、載置部４のカセット
ステージ４ａがロードポートフレーム５から後退し、カ
セット３は、図示しない搬送設備等により次工程へと搬
送されることになる。

【００３８】以上が、本実施形態に係る基板検出装置１
についての説明であるが、この基板検出装置１による
と、マッピングセンサ６はセンサーフレーム７に支持さ
れ、ポートドア８はドアサポート１０にスライダ９を介
して支持されている。このため、ポートドア８の前後動
作による蓋３ｂの開閉動作によって、マッピングセンサ
６による基板検出位置が影響を受けることがない。した
がって、マッピングセンサ６の光軸位置のばらつきを防
止し、基板Ｗの検出精度の低下を抑制することができ
る。また、マッピングセンサ６のカセット３内への伸長
動作及び退避動作に関しても、ポートドア８の前後動作
による蓋３ｂの開閉動作との干渉を考慮して設計する必
要性が、従来技術に比して非常に低くなる。よって、マ
ッピングセンサ６の取り付けに関し機構的な制約を少な
くすることができる。そして、センサーフレーム７とド
アサポート１０とがジョイントブラケット１１で連結さ
れているため、ポートドア８の下降とともにマッピング
センサ６も下降しながら、カセット３の各棚３ｄに収納
された基板Ｗの有無を検出することができる。

【００３９】なお、実施の形態は、上記に限定されるも
のではなく、例えば、次のように変更して実施してもよ
い。（１）本実施形態においては、基板検出部支持手段（セ
ンサーフレーム７）と遮蔽板支持手段（ドアサポート１
０）とが、それぞれ連結手段（ジョイントブラケット１
１）に連結されているが、一方の支持手段（７又は１
０）が、他方の支持手段に連結されているものであって
もよい。例えば、遮蔽板支持手段（ドアサポート１０）
が、基板検出部支持手段（センサーフレーム７）に連結
され、ジョイントブラケット１１ではセンサーフレーム
７のみが連結されているような場合でも本発明と同様の
効果を奏し得る。この場合、遮蔽板支持手段（ドアサポ
ート１０）を基板検出部支持手段（センサーフレーム
７）に連結する手段が、請求項１に記載の連結手段に該
当することになる。

【００４０】（２）本実施形態においては、送信器と受
信器とがそれぞれ取り付けられた両アームをギヤを介し
て回動することで、送信器及び受信器をカセット内に突
出させるものを例示しているが、必ずしもこの通りでな
くても本発明を適用し得る。例えば、送信器と受信器と
が、カセット内に向かって平行に突出するように、基板
検出部支持手段に対して前後往復動作可能に支持される
もの等、マッピングセンサの伸長動作及び退避動作に関
しては、種々の形態をとるものであっても、本発明を適
用し得る。

【００４１】（３）本実施形態においては、送信器と受
信器との間に形成される信号経路が、基板の存在によっ
て遮られることにより、基板の有無を検出していくもの
であるが、必ずしもこの通りでなくもよい。例えば、基
板の周囲側面に反射した信号を受信器で受信すること
で、基板の存在を検出するものであってもよい。

【００４２】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の記載の
発明によると、基板検出部は基板検出部支持手段に支持
され、遮蔽板は遮蔽板支持手段に前後移動支持手段を介
して支持される。このため、遮蔽板の前後動作による蓋
の開閉動作によって、基板検出部による基板検出位置が
影響を受けることがない。したがって、送信器及び受信
器の光軸位置のばらつきを防止し、基板の検出精度の低
下を抑制することができる。また、送信器及び受信器の
取り付けに関し機構的な制約を少なくすることができ
る。そして、基板検出部支持手段と遮蔽板支持手段とが
連結手段で連結されているため、遮蔽板の下降とともに
基板検出部も下降しながら、各棚に収納された基板の有
無を検出することができる。

【００４３】請求項２の記載の発明によると、連結手段
を載置部の下方に設けることで、連結手段とともに基板
検出部支持手段及び遮蔽板支持手段を基板収納容器の高
さ方向に昇降駆動させる駆動装置を載置部の下方に設け
ることができる。したがって、ポート装置近傍のスペー
スを効率良く活用でき、とくに、載置部の反対側でポー
ト装置に面し、基板が取り出されて処理される側のスペ
ースを有効的に活用できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施形態に係る基板検出装置が、ポート装置
に対して設けられている様子を示した基板検出装置の側
面図である。

【図２】本実施形態に係る基板検出装置の正面図であ
る。

【図３】図２のＡ線矢視断面図である。

【図４】図２のＢ線矢視断面図であって、基板検出装置
の基板検出部支持手段等が下降した状態を示す図であ
る。

【図５】図３のＣ線矢視断面図である。

【図６】本実施形態に係る基板検出装置の基板検出部
が、基板検出部支持手段に対して設けられた様子を示し
ており、図６（ａ）は上面図、図６（ｂ）は正面図であ
る。

【図７】ＦＯＵＰ内に基板が収納されている状態を示す
斜視図である。

【符号の説明】

１基板検出装置２ロードポート３基板収納容器３ｂ蓋３ｃ開口３ｄ棚６基板検出部７基板検出部支持手段８遮蔽板９前後移動手段１０遮蔽板支持手段１１連結手段１７送信器１８受信器

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板の収納及び取り出しを行うための開
口と、この開口に着脱可能に取り付けられて開閉するた
めの蓋と、前記基板を収納保持する複数の棚とを備える
基板収納容器に対して、前記各棚に収納された基板の有
無を検出する基板検出装置において、前記蓋と連結されて前記蓋を開閉する遮蔽板と、前記遮蔽板を前記開口に対して前後に移動させる前後移
動手段と、前記遮蔽板と前記前後移動手段とを支持する遮蔽板支持
手段と、送信器と受信器とを有する基板検出部と、前記遮蔽板支持手段とは別に形成され、前記基板検出部
を支持する基板検出部支持手段と、前記基板検出部支持手段と前記遮蔽板支持手段とを連結
する連結手段とを備え、前記連結手段が前記基板収納容器の高さ方向に下降する
とともに、前記基板検出部支持手段及び前記遮蔽板支持
手段も下降し、前記基板検出部が前記各棚に収納された
基板の有無を検出することを特徴とする基板検出装置。
【請求項２】前記基板検出装置は、前記基板収納容器
が載置される載置部とこの載置部を支持する型枠とを備
えるポート装置に備えられ、前記連結手段は前記載置部の下方に配置され、前記基板
検出部支持手段及び前記遮蔽板支持手段は前記型枠に対
し前記載置部が設けられる側とは反対側に配置され、前
記型枠を貫通する長孔を介して前記基板検出部支持手段
及び前記遮蔽板支持手段が前記連結手段により連結され
ていることを特徴とする請求項１に記載の基板検出装
置。