JP5160603B2 - 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 - Google Patents

基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 Download PDF

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Description

本発明は、複数のスロットを有し当該スロットに被処理基板が収納されたカセットから、被処理基板を取り出して処理する基板処理装置および基板処理方法、並びに、当該基板処理方法を基板処理装置に実行させるためのコンピュータプログラムを格納した記憶媒体に関する。
従来から、複数のスロットを有し各スロットにウエハ（被処理基板）が収納されたカセットから、ウエハを取り出して洗浄処理などの所定の処理を施す基板処理装置が知られている。従来の基板処理装置では、カセットの上方に位置するスロットに載置されたウエハから順番に搬出されて、処理が施されている。そして、処理が施されたウエハは、カセットの上方に位置するスロットに順番に搬入されて載置されている。
しかしながら、ウエハに発生したトラブルの原因を追及するためや後工程での処理を簡易に行うためなどの様々な理由から、ウエハをカセットのスロットに任意の場所に載置する必要が生じる場合がある。
この点、一般に、洗浄処理を行う基板処理部やウエハの受け渡しを行う受け渡しユニットなど基板処理装置内でウエハを載置することができる箇所の数は、カセット内に収納されるウエハの数（例えば２５枚）よりも少ない。このため、何ら考慮することなく処理済みのウエハをカセットの任意のスロットに載置すると、未処理のウエハが搬出されていないスロットに処理済みのウエハを重ねて載置してしまう可能性がある。
ところで、先行技術としては、基板処理部においてウエハの処理が行われている間に、当該ウエハ以外のカセットに収容されているウエハについてウエハ番号に基づいて所定の順序に並べ替えるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特開２００２−３３３６９号公報
本開示は、未処理の被処理基板が載置されているスロットに誤って処理済みの被処理基板を載置してしまうことなく、処理済みの被処理基板をカセットの空になっている任意のスロットに載置することができる基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体を提供する。
本発明による基板処理装置は、
複数のスロットを有し該スロットに被処理基板が収納されたカセットから、該被処理基板を取り出して処理する基板処理装置において、
前記被処理基板を処理する基板処理部と、
前記被処理基板を前記カセットから前記基板処理部へ搬送するとともに、該基板処理部で処理された該被処理基板を該基板処理部から該カセットへ搬送して、該カセット内に載置するための搬送部と、
前記スロットが空いているかを確認するスロット確認部と、
前記被処理基板を前記基板処理部で処理した後であって前記カセットに載置する前に、前記基板処理部で処理された後で収納される被処理基板毎に指定されたスロットを読み出し、該スロットが空いているかを前記スロット確認部に確認させる制御部と、
を備えている。
本発明による基板処理装置において、
前記スロット確認部による確認の結果、前記制御部で読み出された前記スロットが空いていない場合には、前記搬送部による該スロットへの搬送を停止させてもよい。
本発明による基板処理装置は、
前記スロット確認部による確認の結果、前記制御部で読み出された前記スロットが空いていない場合には、該スロットが空いていないことを警告する警告部をさらに備えてもよい。
本発明による基板処理装置において、
前記搬送部は、前記制御部で読み出された前記スロットが空いていない場合に、前記被処理基板とは異なる未処理の別の被処理基板を前記カセットから搬出してもよい。
本発明による基板処理装置において、
前記搬送部が前記被処理基板とは異なる未処理の別の被処理基板を前記カセットから搬出した後で、前記スロット確認部は、前記制御部で読み出された前記スロットが空いているかを再度確認してもよい。
本発明による基板処理装置は、
前記搬送部が前記被処理基板とは異なる未処理の別の被処理基板を前記カセットから搬出した後で、前記制御部で読み出された前記スロットが空いていない場合には、該スロットが空いていないことを警告する警告部をさらに備えてもよい。
本発明による基板処理装置は、
前記スロット確認部による確認の結果、前記制御部で読み出された前記スロットが空いていない場合であって、かつ、前記搬送部が前記被処理基板とは異なる未処理の別の被処理基板を前記カセットから搬出することができなくなった際に、前記基板処理部で処理された後の前記被処理基板を搬入するための緊急カセットをさらに備えてもよい。
本発明による基板処理装置は、
前記スロット確認部による確認の結果、前記制御部で読み出された前記スロットが空いていない場合に、前記搬送部によって前記被処理基板を搬入して収納するためのバッファ部をさらに備えてもよい。
本発明による基板処理装置において、
前記バッファ部に前記被処理基板が収納されている場合には、該被処理基板の後で処理された被処理基板も該バッファ部に収納されてもよい。
本発明による基板処理装置において、
前記バッファ部に前記被処理基板が収納されている場合であっても、該被処理基板の後で処理された被処理基板に対して前記制御部で読み出されたスロットが空いている場合には、該被処理基板の後で処理された被処理基板を当該スロットに収納してもよい。
本発明による基板処理装置において、
前記基板処理部で処理された後の被処理基板を前記バッファ部に収納し、該バッファ部に収納された該被処理基板を、上方に位置する前記スロットから順番に前記カセット内に載置してもよい。
本発明による基板処理装置において、
前記搬送部が前記被処理基板とは異なる未処理の別の被処理基板を前記カセットから搬出した後で、前記スロット確認部は、前記制御部で読み出された前記スロットが空いているかを再度確認してもよい。
本発明による基板処理方法は、
複数のスロットを有し該スロットに被処理基板が収納されたカセットから、該被処理基板を取り出して処理する基板処理方法であって、
前記被処理基板を前記カセットから前記基板処理部へ搬送することと、
前記被処理基板を前記基板処理部で処理することと、
前記基板処理部で処理された前記被処理基板を、該基板処理部から前記カセットへ搬送して該カセット内に載置することと、を備え、
前記被処理基板を前記基板処理部で処理した後であって前記カセットに載置する前に、前記基板処理部で処理された後で収納される被処理基板毎に指定されたスロットを読み出し、該スロットが空いているかを確認する。
本発明による記憶媒体は、
基板処理装置に基板処理方法を実行させるためのコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であり、
前記基板処理方法は、複数のスロットを有し該スロットに被処理基板が収納されたカセットから、該被処理基板を取り出して処理する方法であって、
前記被処理基板を前記カセットから前記基板処理部へ搬送することと、
前記被処理基板を前記基板処理部で処理することと、
前記基板処理部で処理された前記被処理基板を、該基板処理部から前記カセットへ搬送して該カセット内に載置することと、を備え、
前記被処理基板を前記基板処理部で処理した後であって前記カセットに載置する前に、前記基板処理部で処理された後で収納される被処理基板毎に指定されたスロットを読み出し、該スロットが空いているかを確認する方法である。
本発明によれば、被処理基板を基板処理部で処理した後であってカセットに載置する前に、基板処理部で処理された後で収納される被処理基板毎に指定されたスロットを読み出して、当該スロットが空いているかを確認する。このため、未処理の被処理基板が載置されているスロットに誤って処理済みの被処理基板を載置してしまうことなく、処理済みの被処理基板をカセットの空になっている任意のスロットに載置することができる。
本発明の第１の実施の形態による基板処理装置の構成を示す上方平面図。 本発明の第１の実施の形態による基板処理装置の構成を示す側方断面図。 本発明の第１の実施の形態による基板処理装置における信号の流れを説明するための図。 本発明の第１の実施の形態による基板処理装置のスロット確認部の一例を説明するための正面図と上方平面図。 本発明の第１の実施の形態による基板処理方法を説明するためのフローを示した図。 本発明の第２の実施の形態による基板処理装置の構成を示す上方平面図。 本発明の第２の実施の形態の変形例による基板処理装置の構成を示す上方平面図。 本発明の第２の実施の形態による基板処理方法を説明するためのフローを示した図。 本発明の第３の実施の形態による基板処理装置の構成を示す側方断面図。 本発明の第３の実施の形態による基板処理方法を説明するためのフローを示した図。
第１の実施の形態
以下、本発明に係る基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体の第１の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図１乃至図５は本発明の第１の実施の形態を示す図である。
本実施の形態の基板処理装置は、ＦＯＵＰなどのカセットＣから被処理基板である半導体ウエハＷ（以下、単にウエハＷと呼ぶ。）を取り出して処理するものである。このカセットＣは、図２に示すように、所定間隔を空けて設けられた複数（例えば２５個）のスロットＳを有し、各スロットＳにウエハＷが収納されるように構成されている。なお、スロットＳ内のウエハＷは、表面（半導体デバイスを形成される処理面）が上面となるようにして、略水平姿勢で収容されている。なお、本実施の形態では、被処理基板としてウエハＷを用いて説明するが、これに限られることはなく、被処理基板として例えばガラス基板なども用いることができる。
図１に示すように、基板処理装置は、処理前および処理後のウエハＷが載置される載置領域２０と、ウエハＷに洗浄などの処理を施す処理領域４０と、載置領域２０および処理領域４０の間におけるウエハＷの受け渡しを担う搬送領域３０と、を含んでいる。
このうち、載置領域２０と搬送領域３０との間に設けられた区画壁２５には、窓部（開口）と、この窓部を開閉するシャッターなどからなる窓部開閉機構３３が設けられている。また、上述したカセットＣを載置台（載置部）２１に取り付けた場合、カセットＣの蓋体Ｃａが窓部に対向するようになっている。
また、処理領域４０には、搬送領域３０に接続された受け渡しユニット４１と、ウエハＷを洗浄して処理する基板処理ユニット（基板処理部）４５と、処理領域４０内でウエハＷを搬送する処理領域用搬送装置４２が設けられている。このうち、受け渡しユニット４１は複数（本実施の形態では一例として図２に示すように２個）設けられており、受け渡しユニット４１が上下方向に積層されている。
また、基板処理ユニット４５も複数（本実施の形態では一例として図１および図２に示すように４×４＝１６個）設けられている。より具体的には、図１に示すように４つのブロックに基板処理ユニット４５が設けられ、各ブロックにおいて、図２に示すように４つの基板処理ユニット４５が積層されている。なお、基板処理ユニット４５としては、例えば枚葉式の洗浄ユニットなどを挙げることができる。
また、処理領域用搬送装置４２は、Ｘ方向（図１の左右方向）およびＹ方向（図１の上下方向）に移動可能となっている。また、図２に示すように、処理領域用搬送装置４２はウエハＷを保持するためのウエハ保持アーム４２ａ，４２ｂを、高さ方向に間隔を空けて２本有している。各ウエハ保持アーム４２ａ，４２ｂは、Ｘ−Ｙ平面内（θ方向）で回転可能となるとともに、Ｚ方向へ移動可能となり、さらに独立して進退自在となっている。なお、処理領域用搬送装置４２は、ウエハ保持アーム４２ａ，４２ｂなどを駆動する一般的な駆動機構（図示せず）を有している。
また、搬送領域３０には、載置領域２０に載置されたカセットＣと受け渡しユニット４１との間で、ウエハＷの受け渡しを行う搬入出用搬送装置３２が設けられている。この搬入出用搬送装置３２は、Ｘ方向およびＹ方向に移動可能となっている。また、図２に示すように、搬入出用搬送装置３２はウエハＷを保持するためのウエハ保持アーム３２ａ，３２ｂを、高さ方向に間隔を空けて２本有している。そして、各ウエハ保持アーム３２ａ，３２ｂは、Ｘ−Ｙ平面内（θ方向）で回転可能となるとともに、Ｚ方向へ移動可能となり、さらに独立して進退自在となっている。なお、搬入出用搬送装置３２は、ウエハ保持アーム３２ａ，３２ｂなどを駆動する一般的な駆動機構（図示せず）を有している。
なお、搬入出用搬送装置３２がウエハＷをカセットＣから受け渡しユニット４１に搬送し、処理領域用搬送装置４２が当該ウエハＷを受け渡しユニット４１から基板処理ユニット４５に搬送するように構成されている。また、処理領域用搬送装置４２が基板処理ユニット４５で処理されたウエハＷを基板処理ユニット４５から受け渡しユニット４１に搬送し、搬入出用搬送装置３２が当該ウエハＷを受け渡しユニット４１からカセットＣへ搬送するように構成されている。
また、本実施の形態では、後述する基板処理方法を基板処理装置に実行させるためのコンピュータプログラムが記憶媒体５６に格納されている（図３参照）。そして、基板処理装置は、当該記憶媒体５６を受け付けるコンピュータ５５も備えている。そして、制御部５０は、コンピュータ５５からの信号を受けて、基板処理装置自身を制御するように構成されている。なお、本願において記憶媒体５６とは、例えば、ＣＤ、ＤＶＤ、ＭＤ、ハードディスク、ＲＡＭなどを意味している。
本実施の形態では、操作者が、コンピュータ５５または記憶媒体５６で、レシピとして、未処理のウエハＷを取り出すスロットＳを指定するとともに、ウエハＷ毎に基板処理ユニット４５で処理された後で収納されるスロットＳを指定する構成からなっている。
また、図３に示すように、基板処理ユニット４５、処理領域用搬送装置４２、搬入出用搬送装置３２などには、これらを制御する制御部５０が接続されている。この制御部５０は、カセットＣから未処理のウエハＷを取り出す前に、ウエハＷが取り出されるスロットＳをコンピュータ５５または記憶媒体５６から読み出すように構成されている。また、制御部５０は、ウエハＷを基板処理ユニット４５で処理した後であってカセットＣに載置する前に、基板処理ユニット４５で処理された後で収納されるウエハＷ毎に指定されたスロットＳを、コンピュータ５５または記憶媒体５６から読み出すようにも構成されている。そして、制御部５０には、制御部５０で読み出されたスロットＳが空いているかを確認するスロット確認部１１が接続されている。また、制御部５０には、スロット確認部１１による確認の結果、制御部５０で読み出されたスロットＳが空いてない場合に、警告音を鳴らしたり警告表示を表示したりする警告部１２が接続されている。
スロット確認部１１としては、例えば、各スロットＳに設けられて当該スロットＳ内にウエハＷが載置されているか否かを判断するセンサや、スロットＳ内にウエハＷが載置されているかを画像によって判断する画像検知部などを挙げることができる。
ここで、スロット確認部１１としてセンサ１１’を用いた例について説明する。図４（ａ）（ｂ）に示すように、センサ１１’は、光を発光する発光部１１’ａと、発光部１１’ａで発光された光を受光する受光部１１’ｂとを有し、これら発光部１１’ａおよび受光部１１’ｂはスロットＳに載置されたウエハＷの面方向で延在する支持部１１’ｃによって支持されている。そして、発光部１１’ａで発光された光が受光部１１’ｂで受光されるとウエハＷがスロットＳに載置されていないことが検知され、他方、発光部１１’ａで発光された光がウエハＷで阻止されて受光部１１’ｂで受光されないとウエハＷがスロットＳに載置されていることが検知される。なお、支持部１１’ｃは、駆動部（図示せず）から加えられる駆動力によって、上下方向に延びた鉛直軸１１’ｐに沿って上下方向に移動可能となっており（図４（ａ）の矢印参照）、このように支持部１１’ｃが上下方向に移動することで、各スロットＳにウエハＷが載置されているかが検知されることとなる。
本実施の形態の制御部５０は、スロット確認部１１による確認の結果、指定されたスロットＳが空いていない場合には、搬入出用搬送装置３２による当該スロットＳへの搬送を停止させるとともに、スロットＳが空いていないことを警告部１２によって操作者に警告するように構成されている。
なお、このように指定されたスロットＳが空いていない場合であっても、カセットＣから未処理のウエハＷを取り出すことは可能である。このため、搬入出用搬送装置３２によって未処理のウエハＷがカセットＣから搬出される度に、制御部５０は、スロット確認部１１によって指定されたスロットＳが空いているかを再度確認させる。そして、対象となっているスロットＳが空いた場合には、当該スロットＳに搬入出用搬送装置３２によってウエハＷを搬送し、他方、当該スロットＳが空いていない間は、搬入出用搬送装置３２による当該スロットＳへの搬送を停止され続ける。なおこの際にも、スロットＳが空いていないことが、警告部１２によって操作者に警告されてもよい。ところで、搬入出用搬送装置３２によるスロットＳへの搬送が停止される際には、対象となっているウエハＷは、ウエハ保持アーム３２ａによって保持された状態で停止されてもよいし、受け渡しユニット４１内に載置された状態で停止されてもよい。
また、スロット確認部１１による確認の結果、指定されたスロットＳが空いていない場合であって、かつ、搬入出用搬送装置３２が未処理のウエハＷをカセットＣから搬出することができなくなった際には、図１に点線矢印で示すように、載置台２１に基板処理ユニット４５で処理された後のウエハＷを搬入するための緊急カセットＣ’を設けてもよい。なお、緊急カセットＣ’へのウエハＷの搬入は、処理領域用搬送装置４２および搬入出用搬送装置３２によって行われる。ところで、搬入出用搬送装置３２がウエハＷをカセットＣから搬出することができなくなった場合とは、本実施の形態では１６個ある基板処理ユニット４５、２個ある受け渡しユニット４１および処理領域用搬送装置４２の全てにウエハＷが載置され、搬入出用搬送装置３２で未処理のウエハＷをカセットＣから抜き出しても、抜き出した当該ウエハＷを搬入する場所が無い場合などを挙げることができる。
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用および効果について、図５を主に用いて説明する。
まず、処理されるべきウエハＷを例えば２５枚収納したカセットＣが載置台２１に取り付けられる。
次に、窓部開閉機構３３およびカセットＣの蓋体Ｃａが開かれる。
次に、制御部５０によって、ウエハＷが取り出されるスロットＳがコンピュータ５５または記憶媒体５６から読み出される。なお、本実施の形態では、カセットＣの上方に位置するスロットＳに載置されたウエハＷから順番に搬出される態様を用いて説明する。
次に、スロット確認部１１によって、ウエハＷが取り出されるべきスロットＳ（最も上方に位置するスロットＳ）にウエハＷが載置されているかが確認される。そして、搬入出用搬送装置３２の例えば下段のウエハ保持アーム３２ｂが、カセットＣ内に載置されたウエハＷを取り上げて搬出する（ＳＴ１１参照）。
その後、ウエハ保持アーム３２ｂが後退するとともに回転し、搬入出用搬送装置３２が移動することによって、カセットＣから取り出されたウエハＷが、受け渡しユニット４１の例えば下段へと搬入される（ＳＴ１３参照）。
次に、受け渡しユニット４１内に載置されたウエハＷは、処理領域用搬送装置４２の例えば下段のウエハ保持アーム４２ｂによって受け取られ、例えばレシピで指定された基板処理ユニット４５内へと搬入される（ＳＴ１５参照）。
次に、基板処理ユニット４５内へと搬入されたウエハＷに対し、洗浄処理などの所定の処理が施される（ＳＴ１７参照）。
そして、所定の処理が施されたウエハＷは、処理領域用搬送装置４２によって受け取られ、受け渡しユニット４１へと搬入される。この場合、ウエハＷは、例えば、処理領域用搬送装置４２の上段のウエハ保持アーム４２ａによって保持され、例えば上段の受け渡しユニット４１へと搬入される（ＳＴ１９参照）。
また、上述のようにウエハＷに対して洗浄処理などの所定の処理が施されると、制御部５０によって、当該ウエハＷに対して指定されたスロットＳの場所が読み出される（ＳＴ１９参照）。そして、当該スロットＳが空いているかがスロット確認部１１によって確認される。
ここで、対象となっているスロットＳが空いている場合には（ＳＴ２１の「ＹＥＳ」参照）、受け渡しユニット４１から当該スロットＳに搬入出用搬送装置３２によってウエハＷが搬入されて載置され（ＳＴ２３参照）、一枚のウエハＷに対する一連の処理が終了される。
他方、当該スロットＳが空いていない場合には（ＳＴ２１の「ＮＯ」参照）、制御部５０によって、搬入出用搬送装置３２による当該スロットＳへの搬送が停止される（ＳＴ３１参照）。そして、このとき、制御部５０からの信号を受けて、警告部１２によってスロットＳが空いていないことが操作者に警告される（ＳＴ３１参照）。なお、搬入出用搬送装置３２によるスロットＳへの搬送が停止される際には、対象となっているウエハＷは、ウエハ保持アーム３２ａによって保持された状態で停止されてもよいし、受け渡しユニット４１内に載置された状態で停止されてもよい。
なお、このように指定されたスロットＳが空いていない場合であっても、カセットＣからウエハＷを取り出すことは可能である。このため、新たに未処理の別のウエハＷが搬入出用搬送装置３２によってカセットＣから搬出されて（ＳＴ３３参照）、受け渡しユニット４１に搬入される。
そして、対象となっているスロットＳが空いた場合には（ＳＴ２１の「ＹＥＳ」参照）、ウエハ保持アーム３２ａ上から当該スロットＳにウエハＷが搬入されて載置される、または、受け渡しユニット４１から当該スロットＳに搬入出用搬送装置３２によってウエハＷが搬入されて載置される（ＳＴ２３参照）。
他方、当該スロットＳが空かない間は、搬入出用搬送装置３２による当該スロットＳへの搬送は停止され続ける。なおこの際、スロットＳが空いていないことは、警告部１２によって操作者に警告され続けてもよい。
ところで、指定されたスロットＳが空いているかは、対象となるスロットＳのみが例えばセンサ１１’（図４（ａ）（ｂ）参照）からなるスロット確認部１１によって検知されることで確認されてもよいし、全てのスロットＳを例えば画像検知部からなるスロット確認部１１によって確認されてもよい。
また、本実施の形態では、上述のような未処理の別のウエハＷの搬出は繰り返し行われ、未処理の別のウエハＷがカセットＣから搬出される度に、スロット確認部１１によって、指定されたスロットＳが空いているかが確認される。なお、このようなスロット確認部１１による確認は、本実施の形態のように未処理の別のウエハＷがカセットＣから搬出される度に行われなくてもよく、例えば、レシピ情報を元に、指定されたスロットＳが空いたことが予想された場合のみに行われてもよい。
カセットＣからのウエハＷの取り出しが繰り返されても対象となっているスロットＳが空かず、ウエハＷを載置する場所が無くなって（すなわち、基板処理ユニット４５、受け渡しユニット４１および処理領域用搬送装置４２にウエハＷを載置することができなくなって）、最終的に搬入出用搬送装置３２がウエハＷをカセットＣから搬出することができなくなった場合には、載置台２１に緊急カセットＣ’が設けられる（図１の点線矢印参照）。そして、処理領域用搬送装置４２および搬入出用搬送装置３２によって、基板処理装置内のウエハＷの全てが緊急カセットＣ’内に搬入されて収納される。
上記のように、本実施の形態によれば、基板処理ユニット４５でウエハＷが処理された後であってウエハＷをカセットＣに載置する前に、ウエハＷ毎に指定されたスロットＳが読み出され、指定されたスロットＳが空いているかが確認される。そして、スロットＳが空いていない場合には、搬入出用搬送装置３２による当該スロットＳへの搬送が停止される。このため、未処理のウエハＷが載置されているスロットＳに誤って処理済みのウエハＷを載置してしまうことなく、処理済みのウエハＷをカセットＣの空になっている任意のスロットＳに載置することができる。なお、本実施の形態では、搬入出用搬送装置３２によるスロットＳへの搬送が停止される態様を用いて説明したが、これに限られることはなく、処理領域用搬送装置４２による受け渡しユニット４１への搬送が停止される態様であってもよい。
また、本実施の形態では、指定されたスロットＳが空いていない場合には、警告部１２によってスロットＳが空いていないことが操作者に警告される。このため、操作者は、スロットＳが空いていないことを容易に把握することができる。
また、未処理のウエハＷの搬出が繰り返し行われ、未処理のウエハＷがカセットＣから搬出される度に、スロット確認部１１によって指定されたスロットＳが空いているかが確認される。そして、対象となっているスロットＳが空いた場合には、ウエハ保持アーム３２ａ上から当該スロットＳにウエハＷが搬入されて載置される、または、受け渡しユニット４１から当該スロットＳに搬入出用搬送装置３２によってウエハＷが搬入されて載置される。このため、停止時間を極力短くすることができる。
第２の実施の形態
次に、図６乃至図８により、本発明の第２の実施の形態について説明する。
第１の実施の形態は、指定されたスロットＳが空いていない場合には、制御部５０によって、搬入出用搬送装置３２による当該スロットＳへの搬送が停止され、最終的に搬入出用搬送装置３２がウエハＷをカセットＣから搬出することができなくなった場合には、処理領域用搬送装置４２および搬入出用搬送装置３２によって、基板処理装置内のウエハＷの全てが緊急カセットＣ’内に搬入されて収納される態様になっている。これに対して、本実施の形態では、指定されたカセットＣのスロットＳが空いていない場合には、搬入出用搬送装置３２によってウエハＷをバッファ部に搬入して収納する態様になっている。より具体的には、本実施の形態では、図６に示すように、載置台２１にバッファ用のカセットＣ”が載置されている。そして、指定されたカセットＣのスロットＳが空いていない場合には、搬入出用搬送装置３２によって、ウエハＷがバッファ用のカセットＣ”に搬入されることとなる。第２の実施の形態において、その他の構成は、第１の実施の形態と略同一の態様となっている。ところで、バッファ用のカセットＣ”が載置される位置は、当然、載置台２１には限られない。例えば、図７（ａ）に示すように、受け渡しユニット４１の側方に配置されてもよいし、図７（ｂ）に示すように、搬送領域３０のうち搬入出用搬送装置３２が移動する領域の側方に配置されてもよい。
図６乃至図８に示す第２の実施の形態において、図１乃至図５に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
本実施の形態の作用および効果について、図８を主に用いて説明する。なお、第１の実施の形態と記載が重複する部分については、適宜省略しつつ説明する。
まず、処理されるべきウエハＷを収納したカセットＣが載置台２１に取り付けられる。
次に、窓部開閉機構３３およびカセットＣの蓋体Ｃａが開かれる。
次に、制御部５０によって、ウエハＷが取り出されるスロットＳがコンピュータ５５または記憶媒体５６から読み出される。
次に、スロット確認部１１によって、ウエハＷが取り出されるべきスロットＳにウエハＷが載置されているかが確認される。そして、搬入出用搬送装置３２のウエハ保持アーム３２ｂによって、カセットＣ内に載置されたウエハＷが取り出されて搬出され（ＳＴ１１参照）、受け渡しユニット４１へと搬入される（ＳＴ１３参照）。
次に、受け渡しユニット４１内に載置されたウエハＷは、処理領域用搬送装置４２のウエハ保持アーム４２ｂによって受け取られ、例えばレシピで指定された基板処理ユニット４５内へと搬入される（ＳＴ１５参照）。
次に、基板処理ユニット４５内へと搬入されたウエハＷに対し、洗浄処理などの所定の処理が施される（ＳＴ１７参照）。
そして、所定の処理が施されたウエハＷは、処理領域用搬送装置４２によって受け取られ、受け渡しユニット４１へと搬入される（ＳＴ１９参照）。
また、上述のようにウエハＷに対して洗浄処理などの所定の処理が施されると、制御部５０によって、当該ウエハＷに対して指定されたスロットＳの場所が読み出される（ＳＴ１９参照）。そして、当該スロットＳが空いているかがスロット確認部１１によって確認される。
ここで、対象となっているスロットＳが空いている場合には（ＳＴ２１の「ＹＥＳ」参照）、受け渡しユニット４１から当該スロットＳへウエハＷが搬入されて載置され（ＳＴ２３参照）、一枚のウエハＷに対する一連の処理が終了される。
他方、当該スロットＳが空いていない場合には（ＳＴ２１の「ＮＯ」参照）、制御部５０からの信号に基づいて搬入出用搬送装置３２が制御されて、搬入出用搬送装置３２によってウエハＷが受け渡しユニット４１からバッファ用のカセットＣ”内に搬入されて載置される（なお、このウエハＷのことを、以下「待機ウエハＷ」とも呼ぶ。）（ＳＴ４１参照）。なお、このときウエハＷは、例えばバッファ用のカセットＣ”内で上から順番に載置される。
次に、搬入出用搬送装置３２によって未処理の別のウエハＷがカセットＣから搬出されて（ＳＴ４３参照）、受け渡しユニット４１に搬入される。そして、この搬入出用搬送装置３２は、次に、洗浄処理などの所定の処理が施された処理済みの別のウエハＷを受け渡しユニット４１から受け取って、当該処理済みのウエハＷをバッファ用のカセットＣ”内に搬入して載置する（ＳＴ４５参照）。
なお、本実施の形態では、スロット確認部１１によって、待機ウエハＷを収納すべきスロットＳが空いているかが、未処理のウエハＷをカセットＣから取り出した後（ＳＴ４３の後）であって処理済みのウエハＷをバッファ用のカセットＣ”に載置する前（ＳＴ４５の前）に確認される。
そして、待機ウエハＷが収納されるべきスロットＳが、未処理のウエハＷをカセットＣから取り出すことで空いた場合には、処理済みのウエハＷをバッファ用のカセットＣ”に載置した後（ＳＴ４５の後）で、搬入出用搬送装置３２によって、待機ウエハＷがバッファ用のカセットＣ”から収納されるべきカセットＣのスロットＳに載置される（ＳＴ４７の「ＹＥＳ」およびＳＴ２３参照）。
他方、未処理のウエハＷをカセットＣから取り出した段階でも待機ウエハＷが収納されるべきスロットＳが空いていない場合には（ＳＴ４７の「ＮＯ」参照）、新たに未処理の別のウエハＷが搬入出用搬送装置３２によってカセットＣから搬出されて（ＳＴ４３参照）、受け渡しユニット４１に搬入される。
以降は、上記の工程が繰り返される。なお、バッファ用のカセットＣ”に複数の待機ウエハＷが収納されている場合には、バッファ用のカセットＣ”内に載置されたウエハＷの全てに対して上記の工程が行われるが、バッファ用のカセットＣ”に収納された順番に関係なく、待機ウエハＷの収納されるべきスロットＳが空いた時点で、順次、収納されるべきカセットＣのスロットＳへ待機ウエハＷが搬送されるようになってもよいし、バッファ用のカセットＣ”に収納された順番通りに収納されるべきカセットＣのスロットＳへ待機ウエハＷが搬送されてもよい。
上記のように、本実施の形態によれば、処理済みのウエハＷが収納されるべきスロットＳが空いていない場合には、当該ウエハＷは搬入出用搬送装置３２によってバッファ用のカセットＣ”に一旦載置され、その後、指定されたスロットＳに載置される。このため、未処理のウエハＷが載置されているスロットＳに誤って処理済みのウエハＷを載置してしまうことなく、処理済みのウエハＷをカセットＣの空になっている任意のスロットＳに載置することができる。
また、本実施の形態では、バッファ用のカセットＣ”にウエハＷが収納されている場合には、ウエハＷの後で処理されたウエハＷもバッファ用のカセットＣ”に一旦載置されて収納される。このため、バッファ用のカセットＣ”にウエハＷが一旦収納されると、それ以降は同じ動きでウエハＷを動かすこととなるので、プログラムの切り換えが不要となり、制御を簡易にすることができる。
また、本実施の形態でも、未処理のウエハＷの搬出が繰り返し行われ、未処理のウエハＷがカセットＣから搬出される度に、スロット確認部１１によって指定されたスロットＳが空いているかが確認される。そして、対象となっているスロットＳが空いた場合には、バッファ用のカセットＣ”から当該スロットＳに搬入出用搬送装置３２によってウエハＷが搬入されて載置される。このため、ウエハＷがバッファ用のカセットＣ”に収納されている時間を極力短くすることができる。
［変形例１］
なお、上記では、バッファ用のカセットＣ”内にウエハＷが収納されている場合には、当該ウエハ（待機ウエハ）Ｗの後で処理されたウエハＷも、必ずバッファ用のカセットＣ”内に収納される態様であったが、これに限られることはない。
例えば、バッファ用のカセットＣ”内にウエハ（待機ウエハ）Ｗが収納されている場合であっても、待機ウエハＷの後で処理されたウエハＷに対して指定されたスロットＳが空いている場合には、待機ウエハＷの後で処理されたこのウエハＷを当該スロットＳに収納してもよい。
より具体的には、スロット確認部１１によって、待機ウエハＷを収納すべきスロットＳと、搬入出用搬送装置３２によって受け渡しユニット４１から取り出そうとしている処理済みのウエハＷを収納すべきスロットＳが空いているかが、未処理の別のウエハＷをカセットＣから取り出した後（ＳＴ４３の後）であって搬入出用搬送装置３２によって受け渡しユニット４１から処理済みのウエハＷを取り出す前に確認される。
そして、受け渡しユニット４１から取り出そうとしている処理済みのウエハＷを収納すべきスロットＳが空いている場合には、当該ウエハＷを受け渡しユニット４１から取り出したら、バッファ用のカセットＣ”に当該ウエハＷを収納することなく、直接、収納すべきカセットＣのスロットＳに当該ウエハＷを搬入して載置することとなる。
このように、本変形例によれば、バッファ用のカセットＣ”内にウエハＷが収納されている場合であっても、スロットＳが空いている場合には当該スロットＳに載置されるべきウエハＷを、バッファ用のカセットＣ”を経ることなく随時カセットＣに搬入することとなるので、生産性を高めることができる。
［変形例２］
また、別の変形例として、例えば、基板処理ユニット４５で処理された後のウエハＷをバッファ用のカセットＣ”に一旦収納し、バッファ用のカセットＣ”に収納されたウエハＷを、上方に位置するスロットＳから順番にカセットＣ内に載置してもよい。
より具体的には、最初に処理の終了したウエハＷに対して指定されたスロットＳの場所がカセットＣの最も上方に位置する場合には、当該ウエハＷが受け渡しユニット４１から直接、当該スロットＳに搬入される。
他方、当該ウエハＷに対して指定されたスロットＳの場所がカセットＣの最も上方に位置しない場合には、当該ウエハＷは、一度、バッファ用のカセットＣ”に収納されることになる。そして、カセットＣの最も上方に位置するスロットＳにウエハＷが搬入されるまで、処理済みのウエハＷは、全て、バッファ用のカセットＣ”に収納されることになる。そして、最も上方に位置するスロットＳに収納するよう指定されたウエハＷが現れると、当該ウエハＷが受け渡しユニット４１から直接、当該スロットＳに搬入される。
このようにカセットＣの最も上方に位置するスロットＳにウエハＷが搬入されると、次に、上から２番目のスロットＳに搬入されるべきウエハＷがカセットＣ内に搬入される。すなわち、バッファ用のカセットＣ”に、上から２番目のスロットＳに搬入されるべきウエハＷが載置されている場合には、バッファ用のカセットＣ”からカセットＣの上から２番目のスロットＳに当該ウエハＷが搬入され、他方、未だバッファ用のカセットＣ”に上から２番目のスロットＳに搬入されるべきウエハＷが載置されていない場合には、上から２番目のスロットＳにウエハＷが搬入されるまで、受け渡しユニット４１に載置された処理済みのウエハＷは順次バッファ用のカセットＣ”に収納される。そして、上から２番目に位置するスロットＳに収納するよう指定されたウエハＷが現れると、当該ウエハＷが受け渡しユニット４１から直接、当該スロットＳに搬入される。以降は、上から３番目のスロットＳに搬入されるべきウエハＷ、上から４番目のスロットＳに搬入されるべきウエハＷ、…について、上記と同様の処理が行われる。
このように、本変形例によれば、上方に位置するスロットＳから順番にウエハＷが載置される。このため、カセットＣ内において、処理済みのウエハＷの上方に搬入出用搬送装置３２のウエハ保持アーム３２ａ，３２ｂが位置づけられず、ウエハ保持アーム３２ａ，３２ｂに付着したゴミなどが処理済みのウエハＷに落ちることを未然に防ぐことができる。
第３の実施の形態
次に、図９および図１０により、本発明の第３の実施の形態について説明する。
第２の実施の形態は、指定されたスロットＳが空いていない場合には、搬入出用搬送装置３２によってウエハＷをバッファ用のカセットＣ”に搬入して収納する態様になっている。これに対して、本実施の形態では、バッファ用の受け渡しユニット４１”が複数（本実施の形態では一例として図９に示すように３個）設けられており、指定されたスロットＳが空いていない場合には、処理領域用搬送装置４２によってウエハＷをバッファ用の受け渡しユニット４１”に搬入して収納する態様になっている。
図９および図１０に示す第３の実施の形態において、図１乃至図５に示す第１の実施の形態および図６乃至図８に示す第２の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
本実施の形態の作用および効果について、図１０を主に用いて説明する。なお、第１の実施の形態と記載および第２の実施の形態が重複する部分については、適宜省略しつつ説明する。
まず、処理されるべきウエハＷを収納したカセットＣが載置台２１に取り付けられる。
次に、窓部開閉機構３３およびカセットＣの蓋体Ｃａが開かれる。
次に、制御部５０によって、ウエハＷが取り出されるスロットＳがコンピュータ５５または記憶媒体５６から読み出される。
次に、スロット確認部１１によって、ウエハＷが取り出されるべきスロットＳにウエハＷが載置されているかが確認される。そして、搬入出用搬送装置３２のウエハ保持アーム３２ｂによって、カセットＣ内に載置されたウエハＷが取り出されて搬出され（ＳＴ１１参照）、受け渡しユニット４１へと搬入される（ＳＴ１３参照）。
次に、受け渡しユニット４１内に載置されたウエハＷは、処理領域用搬送装置４２のウエハ保持アーム４２ｂによって受け取られ、例えばレシピで指定された基板処理ユニット４５内へと搬入される（ＳＴ１５参照）。
基板処理ユニット４５内へと搬入されたウエハＷに対し、洗浄処理などの所定の処理が施される（ＳＴ１７参照）。
次に、制御部５０によって、当該ウエハＷに対して指定されたスロットＳの場所が読み出される（ＳＴ１９参照）。そして、当該スロットＳが空いているかがスロット確認部１１によって確認される。
ここで、対象となっているスロットＳが空いている場合には（ＳＴ２１の「ＹＥＳ」参照）、所定の処理が施されたウエハＷが、処理領域用搬送装置４２によって受け取られて、受け渡しユニット４１へと搬入される（ＳＴ２２参照）。
そして、搬入出用搬送装置３２によって、受け渡しユニット４１から収納されるべきカセットＣのスロットＳへウエハＷが搬入されて載置され（ＳＴ２３参照）、一枚のウエハＷに対する一連の処理が終了される。
他方、対象となっているスロットＳが空いていない場合には（ＳＴ２１の「ＮＯ」参照）、制御部５０からの信号に基づいて処理領域用搬送装置４２が制御されて、処理領域用搬送装置４２によってウエハＷがバッファ用の受け渡しユニット４１”内に搬入されて載置される（ＳＴ５１参照）。
次に、搬入出用搬送装置３２によって未処理の別のウエハＷがカセットＣから搬出されて（ＳＴ５３参照）、受け渡しユニット４１に搬入される。
次に、スロット確認部１１によって、待機ウエハＷを収納すべきスロットＳが空いているかが確認される。
そして、待機ウエハＷが収納されるべきスロットＳが未処理のウエハＷをカセットＣから取り出すことで空いた場合には（ＳＴ５５の「ＹＥＳ」参照）、搬入出用搬送装置３２によって、バッファ用の受け渡しユニット４１”に載置されている待機ウエハＷが収納されるべきカセットＣのスロットＳに載置される（ＳＴ２３参照）。なお、本実施の形態では、バッファ用の受け渡しユニット４１”からカセットＣのスロットＳに、直接、待機ウエハＷが搬送される態様を用いて説明するが、これに限られることはなく、待機ウエハＷを受け渡しユニット４１に一度搬送したうえで、当該待機ウエハＷを受け渡しユニット４１からカセットＣのスロットＳに搬送してもよい。
他方、未処理のウエハＷをカセットＣから取り出した段階でも待機ウエハＷが収納されるべきスロットＳが空いていない場合には（ＳＴ５５の「ＮＯ」参照）、新たに未処理のウエハＷが搬入出用搬送装置３２によってカセットＣから搬出されて、受け渡しユニット４１に搬入される。以降は、上記の工程が繰り返される。
なお、対象となっているスロットＳが空いていない場合にウエハＷがバッファ用の受け渡しユニット４１”内に載置されることは、処理済みの各ウエハＷに対して行われる。そして、その方法としては、バッファ用の受け渡しユニット（待機ウエハ）４１”内にウエハＷが収納されている場合には、待機ウエハＷの後で処理されたウエハＷも必ずバッファ用の受け渡しユニット４１”内に収納される態様であってもよいし、バッファ用の受け渡しユニット４１”内にウエハＷが収納されている場合であっても、待機ウエハＷの後で処理されたウエハＷに対して指定されたスロットＳが空いている場合には、待機ウエハＷの後で処理されたこのウエハＷをバッファ用の受け渡しユニット４１”に載置することなく対象となっているスロットＳに収納してもよい。
また、本実施の形態では、バッファ用の受け渡しユニット４１”が３つ設けられているので、３つのウエハＷをバッファ用の受け渡しユニット４１”に載置することができるが、バッファ用の受け渡しユニット４１”の数を増やすことで、より多くのウエハＷを待機させることも可能である。
ところで、バッファ用の受け渡しユニット４１”に複数の待機ウエハＷが収納されている場合には、バッファ用の受け渡しユニット４１”に収納された順番に関係なく、待機ウエハＷの収納されるべきスロットＳが空いた時点で、順次、収納されるべきカセットＣのスロットＳへ待機ウエハＷが搬送されるようになってもよいし、バッファ用の受け渡しユニット４１”に収納された順番通りに収納されるべきカセットＣのスロットＳへ待機ウエハＷが搬送されてもよい。
上記のように、本実施の形態によれば、処理済みのウエハＷが収納されるべきスロットＳが空いていない場合には、当該ウエハＷは処理領域用搬送装置４２によってバッファ用の受け渡しユニット４１”に一旦載置され、その後、指定されたスロットＳに載置される。このため、未処理のウエハＷが載置されているスロットＳに誤って処理済みのウエハＷを載置してしまうことなく、処理済みのウエハＷをカセットＣの空になっている任意のスロットＳに載置することができる。
また、本実施の形態でも、未処理のウエハＷの搬出が繰り返し行われ、未処理のウエハＷがカセットＣから搬出される度に、スロット確認部１１によって指定されたスロットＳが空いているかが確認される。そして、対象となっているスロットＳが空いた場合には、バッファ用の受け渡しユニット４１”から当該スロットＳにウエハＷが搬入されて載置される。このため、ウエハＷがバッファ用の受け渡しユニット４１”に収納されている時間を極力短くすることができる。
なお、上記では、第１−第３の実施の形態を別個に説明したが、これら第１−第３の実施の形態を任意組合せ、あるいは、全て組合せてもよい。
すなわち、例えば第１の実施の形態と第３の実施の形態とを組み合わせて、指定されたスロットＳが空いていない場合には、とりあえず処理領域用搬送装置４２でバッファ用の受け渡しユニット４１”にウエハＷを搬入して載置し、受け渡しユニット４１”にウエハＷを搬入することができなくなった場合には、処理済みのウエハＷの搬送を一旦停止し、未処理のウエハＷのカセットＣからの搬出のみを行ってもよい。そして、指定されたスロットＳが空き次第、待機ウエハＷの搬出が開始され、他方、指定されたスロットＳが最終的に空かなかった場合には、処理領域用搬送装置４２および搬入出用搬送装置３２によって、基板処理装置内のウエハＷの全てが緊急カセットＣ’内に搬入されて収納されてもよい。
また、例えば第２の実施の形態と第３の実施の形態とを組み合わせて、バッファ用のカセットＣ”とバッファ用の受け渡しユニット４１”の両方を設けて、指定されたスロットＳが空いていない場合には、搬送部３２，４２によってウエハＷをバッファ用のカセットＣ”とバッファ用の受け渡しユニット４１”に搬入してもよい。
１１ スロット確認部
１２ 警告部
２０ 載置領域
２１ 載置台（載置部）
３０ 搬送領域
３２ 搬入出用搬送装置（搬送部）
４０ 処理領域
４１ 受け渡しユニット
４１” バッファ用の受け渡しユニット
４２ 処理領域用搬送装置（搬送部）
４５ 基板処理ユニット（基板処理部）
５０ 制御部
５５ コンピュータ
５６ 記憶媒体
Ｃ カセット
Ｃ’ 緊急カセット
Ｃ” バッファ用のカセット
Ｓ スロット
Ｗ ウエハ（被処理基板）

Claims (14)

  1. 複数のスロットを有し該スロットに被処理基板が収納されたカセットから、該被処理基板を取り出して処理する基板処理装置において、
    前記被処理基板を処理する基板処理部と、
    前記被処理基板を前記カセットから前記基板処理部へ搬送するとともに、該基板処理部で処理された該被処理基板を該基板処理部から該カセットへ搬送して、該カセット内に載置するための搬送部と、
    前記スロットが空いているかを確認するスロット確認部と、
    前記被処理基板を前記基板処理部で処理した後であって前記カセットに載置する前に、前記基板処理部で処理された後で収納される被処理基板毎に指定されたスロットを読み出し、該スロットが空いているかを前記スロット確認部に確認させる制御部と、
    を備え、
    前記スロット確認部による確認の結果、前記制御部で読み出された前記スロットが空いていない場合には、前記搬送部による該スロットへの搬送を停止させ、
    前記搬送部は、前記制御部で読み出された前記スロットが空いていない場合に、前記被処理基板とは異なる未処理の別の被処理基板を前記カセットから搬出することを特徴とする基板処理装置。
  2. 前記スロット確認部による確認の結果、前記制御部で読み出された前記スロットが空いていない場合には、該スロットが空いていないことを警告する警告部をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。
  3. 前記制御部で読み出された前記スロットが空いているかを前記スロット確認部に確認させて当該スロットが開いていない場合に、前記搬送部が前記被処理基板とは異なる未処理の別の被処理基板を前記カセットから搬出し、その後で、前記スロット確認部は、前記制御部で読み出された前記スロットが空いているかを再度確認することを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の基板処理装置。
  4. 前記搬送部が前記被処理基板とは異なる未処理の別の被処理基板を前記カセットから搬出した後で、前記制御部で読み出された前記スロットが空いていない場合には、該スロットが空いていないことを警告する警告部をさらに備えたことを特徴とする請求項３に記載の基板処理装置。
  5. 前記スロット確認部による確認の結果、前記制御部で読み出された前記スロットが空いていない場合であって、かつ、前記搬送部が前記被処理基板とは異なる未処理の別の被処理基板を前記カセットから搬出することができなくなった際に、前記基板処理部で処理された後の前記被処理基板を搬入するための緊急カセットをさらに備えたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の基板処理装置。
  6. 複数のスロットを有し該スロットに被処理基板が収納されたカセットから、該被処理基板を取り出して処理する基板処理装置において、
    前記被処理基板を処理する基板処理部と、
    前記被処理基板を前記カセットから前記基板処理部へ搬送するとともに、該基板処理部で処理された該被処理基板を該基板処理部から該カセットへ搬送して、該カセット内に載置するための搬送部と、
    前記スロットが空いているかを確認するスロット確認部と、
    前記被処理基板を前記基板処理部で処理した後であって前記カセットに載置する前に、前記基板処理部で処理された後で収納される被処理基板毎に指定されたスロットを読み出し、該スロットが空いているかを前記スロット確認部に確認させる制御部と、
    前記スロット確認部による確認の結果、前記制御部で読み出された前記スロットが空いていない場合に、前記搬送部によって前記被処理基板を搬入して収納するためのバッファ部と、
    を備えたことを特徴とする基板処理装置。
  7. 前記バッファ部に前記被処理基板が収納されている場合には、該被処理基板の後で処理された被処理基板も該バッファ部に収納されることを特徴とする請求項６に記載の基板処理装置。
  8. 前記バッファ部に前記被処理基板が収納されている場合であっても、該被処理基板の後で処理された被処理基板に対して前記制御部で読み出されたスロットが空いている場合には、該被処理基板の後で処理された被処理基板を当該スロットに収納することを特徴とする請求項６に記載の基板処理装置。
  9. 前記基板処理部で処理された後の被処理基板を前記バッファ部に収納し、該バッファ部に収納された該被処理基板を、上方に位置する前記スロットから順番に前記カセット内に載置することを特徴とする請求項６に記載の基板処理装置。
  10. 前記搬送部が前記被処理基板とは異なる未処理の別の被処理基板を前記カセットから搬出した後で、前記スロット確認部は、前記制御部で読み出された前記スロットが空いているかを再度確認することを特徴とする請求項６乃至９のいずれか１項に記載の基板処理装置。
  11. 複数のスロットを有し該スロットに被処理基板が収納されたカセットから、該被処理基板を取り出して処理する基板処理方法において、
    前記被処理基板を前記カセットから前記基板処理部へ搬送することと、
    前記被処理基板を前記基板処理部で処理することと、
    前記基板処理部で処理された前記被処理基板を、該基板処理部から前記カセットへ搬送して該カセット内に載置することと、を備え、
    前記被処理基板を前記基板処理部で処理した後であって前記カセットに載置する前に、前記基板処理部で処理された後で収納される被処理基板毎に指定されたスロットを読み出し、該スロットが空いているかを確認し、当該確認の結果、読み出された前記スロットが空いていない場合には、該スロットへの搬送を停止し、かつ、前記被処理基板とは異なる未処理の別の被処理基板を前記カセットから搬出することを特徴とする基板処理方法。
  12. 複数のスロットを有し該スロットに被処理基板が収納されたカセットから、該被処理基板を取り出して処理する基板処理方法において、
    前記被処理基板を前記カセットから前記基板処理部へ搬送することと、
    前記被処理基板を前記基板処理部で処理することと、
    前記基板処理部で処理された前記被処理基板を、該基板処理部から前記カセットへ搬送して該カセット内に載置することと、を備え、
    前記被処理基板を前記基板処理部で処理した後であって前記カセットに載置する前に、前記基板処理部で処理された後で収納される被処理基板毎に指定されたスロットを読み出し、該スロットが空いているかを確認し、当該確認の結果、読み出された前記スロットが空いていない場合には、前記被処理基板をバッファ部に搬入して収納することを特徴とする基板処理方法。
  13. 基板処理装置に基板処理方法を実行させるためのコンピュータプログラムを格納した記憶媒体において、
    前記基板処理方法は、複数のスロットを有し該スロットに被処理基板が収納されたカセットから、該被処理基板を取り出して処理する方法であって、
    前記被処理基板を前記カセットから前記基板処理部へ搬送することと、
    前記被処理基板を前記基板処理部で処理することと、
    前記基板処理部で処理された前記被処理基板を、該基板処理部から前記カセットへ搬送して該カセット内に載置することと、を備え、
    前記被処理基板を前記基板処理部で処理した後であって前記カセットに載置する前に、前記基板処理部で処理された後で収納される被処理基板毎に指定されたスロットを読み出し、該スロットが空いているかを確認し、当該確認の結果、読み出された前記スロットが空いていない場合には、該スロットへの搬送を停止し、かつ、前記被処理基板とは異なる未処理の別の被処理基板を前記カセットから搬出する方法であることを特徴とする記憶媒体。
  14. 基板処理装置に基板処理方法を実行させるためのコンピュータプログラムを格納した記憶媒体において、
    前記基板処理方法は、複数のスロットを有し該スロットに被処理基板が収納されたカセットから、該被処理基板を取り出して処理する方法であって、
    前記被処理基板を前記カセットから前記基板処理部へ搬送することと、
    前記被処理基板を前記基板処理部で処理することと、
    前記基板処理部で処理された前記被処理基板を、該基板処理部から前記カセットへ搬送して該カセット内に載置することと、を備え、
    前記被処理基板を前記基板処理部で処理した後であって前記カセットに載置する前に、前記基板処理部で処理された後で収納される被処理基板毎に指定されたスロットを読み出し、該スロットが空いているかを確認し、当該確認の結果、読み出された前記スロットが空いていない場合には、前記被処理基板をバッファ部に搬入して収納する方法であることを特徴とする記憶媒体。
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