JPH0697673B2 - ウェーハ枚数計数装置 - Google Patents
ウェーハ枚数計数装置Info
- Publication number
- JPH0697673B2 JPH0697673B2 JP2034469A JP3446990A JPH0697673B2 JP H0697673 B2 JPH0697673 B2 JP H0697673B2 JP 2034469 A JP2034469 A JP 2034469A JP 3446990 A JP3446990 A JP 3446990A JP H0697673 B2 JPH0697673 B2 JP H0697673B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- wafer
- wafers
- shelf
- loader
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- Feedback Control In General (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ウェーハ枚数計数装置特に半導体製造装置で
ある縦型拡散CVD装置に於けるウェーハ枚数計数装置に
関するものである。
ある縦型拡散CVD装置に於けるウェーハ枚数計数装置に
関するものである。
［従来の技術］ 半導体製造装置の１つに縦型CVD装置がある。これは、
実願昭63-17237号にも見られる様に、カセットに装填さ
れたウェーハを移載機によってボートに移載し、該ボー
トを炉内の反応室へ装入して、加熱反応させるものであ
る。
実願昭63-17237号にも見られる様に、カセットに装填さ
れたウェーハを移載機によってボートに移載し、該ボー
トを炉内の反応室へ装入して、加熱反応させるものであ
る。
従来、前記移載機によりウェーハを把持する場合、ツイ
ーザが使用されており、このツイーザによりカセット内
のウェーハを吸着して取出し、更に移載機の駆動機構に
よって、ボートに隙間なく並べて装填する。ところで、
ボートに隙間なく移載するには、カセット内にウェーハ
が全部装填されているか、或は歯抜けなく前詰めされて
いなければならず、更にカセットに未挿入部分がある場
合は、予めオペレータが何枚入っているかを数えて、制
御装置にその枚数を入力しておく必要がある。移載機の
制御装置は、これらの情報に基づいて、前記駆動機構を
作動させていた。
ーザが使用されており、このツイーザによりカセット内
のウェーハを吸着して取出し、更に移載機の駆動機構に
よって、ボートに隙間なく並べて装填する。ところで、
ボートに隙間なく移載するには、カセット内にウェーハ
が全部装填されているか、或は歯抜けなく前詰めされて
いなければならず、更にカセットに未挿入部分がある場
合は、予めオペレータが何枚入っているかを数えて、制
御装置にその枚数を入力しておく必要がある。移載機の
制御装置は、これらの情報に基づいて、前記駆動機構を
作動させていた。
［発明が解決しようとする課題］ ところが、上記した従来のものでは、カセット内にウェ
ーハが全部、或は所要枚数のウェーハが前詰されて装填
されていることが前提となっており、カセットへの誤挿
入により歯抜があった場合には移載機が正しく動作しな
い。
ーハが全部、或は所要枚数のウェーハが前詰されて装填
されていることが前提となっており、カセットへの誤挿
入により歯抜があった場合には移載機が正しく動作しな
い。
更に、オペレータがウェーハの枚数を数えることは手間
がかかる作業であると共に数を誤ることも考えられる。
数を誤った場合には、ボートでウェーハが２枚重った
り、間があいたりしてやはり移載の正しい機能が果せな
いという問題がある。
がかかる作業であると共に数を誤ることも考えられる。
数を誤った場合には、ボートでウェーハが２枚重った
り、間があいたりしてやはり移載の正しい機能が果せな
いという問題がある。
本発明は上記実情に鑑み、ウェーハの検出、ウェーハの
枚数を計数し得るウェーハ計数装置を提供し、オペレー
タの誤作業による不具合を解消し、カセット内へのウェ
ーハの装填状態に左右されることなく正しくウェーハ移
載動作が行われる様にしようとするものである。
枚数を計数し得るウェーハ計数装置を提供し、オペレー
タの誤作業による不具合を解消し、カセット内へのウェ
ーハの装填状態に左右されることなく正しくウェーハ移
載動作が行われる様にしようとするものである。
［課題を解決する為の手段］ 本発明は、ウェーハが装填させるカセットを収納するカ
セット棚と、該カセット棚に対応して設けられ、カセッ
トを昇降可能に支持し該カセットをカセット棚に装入す
るカセットローダと、前記カセット棚のカセットローダ
対向面に設けられた反射式ウェーハセンサと、前記カセ
ットローダを駆動し該カセットローダに支持されたカセ
ットの位置と前記ウェーハセンサのウェーハ検知結果と
でカセット内のウェーハの装填状態を検知する制御装置
を具備したことを特徴とするものである。
セット棚と、該カセット棚に対応して設けられ、カセッ
トを昇降可能に支持し該カセットをカセット棚に装入す
るカセットローダと、前記カセット棚のカセットローダ
対向面に設けられた反射式ウェーハセンサと、前記カセ
ットローダを駆動し該カセットローダに支持されたカセ
ットの位置と前記ウェーハセンサのウェーハ検知結果と
でカセット内のウェーハの装填状態を検知する制御装置
を具備したことを特徴とするものである。
［作用］ ウェーハを装填したカセットをカセットローダに支持さ
せ、該カセットローダでカセットをウェーハセンサに対
し、上昇又は下降させる。ウェーセンサはカセット上昇
動時、下降動時にウェーハが通過することでウェーハの
有無を検知し、各ウェーハの有無を検知した時のカセッ
トの位置を求め、ウェーハの枚数を計数し、更にカセッ
トへのウェーハ装填状態を検知する。
せ、該カセットローダでカセットをウェーハセンサに対
し、上昇又は下降させる。ウェーセンサはカセット上昇
動時、下降動時にウェーハが通過することでウェーハの
有無を検知し、各ウェーハの有無を検知した時のカセッ
トの位置を求め、ウェーハの枚数を計数し、更にカセッ
トへのウェーハ装填状態を検知する。
［実施例］ 以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を説明する。
図中、１はカセットローダ、２はカセット棚、３はウェ
ーハ移載機、４はボート、５は制御装置を示す。
ーハ移載機、４はボート、５は制御装置を示す。
カセットローダ１のカセット受台６は昇降スクリューロ
ッド７に螺合し、昇降用モータ８による昇降スクリュー
ロッド７の回転で昇降する様になっている。
ッド７に螺合し、昇降用モータ８による昇降スクリュー
ロッド７の回転で昇降する様になっている。
カセット棚２はカセットローダ１とウェーハ移載機３と
の間に位置し、ウェーハ９が装填されたカセット10を多
段に収納可能となっている。
の間に位置し、ウェーハ９が装填されたカセット10を多
段に収納可能となっている。
又、ウェーハ移載機３はツイーザ11が設けられた昇降ブ
ロック12を有し、該昇降ブロック12は上下用モータ13で
駆動されるスクリューシャフト14に螺合している。尚、
ウェーハ移載機３の旋回機構等については省略してあ
る。
ロック12を有し、該昇降ブロック12は上下用モータ13で
駆動されるスクリューシャフト14に螺合している。尚、
ウェーハ移載機３の旋回機構等については省略してあ
る。
制御装置５は主に、主制御部15、モータ制御器16、17、
モータ駆動部18、19、ウェーハ計数部20、操作部21から
構成され、昇降用モータ８、上下用モータ13を駆動制御
すると共に後述するウェーハセンサ22からの信号を基に
ウェーハ９の計数を行う様になっている。ウェーハセン
サ22は、前記カセット棚２のカセットローダ１に対向す
る位置に且前記カセット10が昇降した際に、該カセット
10がウェーハセンサ22を完全に通過し得る位置に設けら
れている。
モータ駆動部18、19、ウェーハ計数部20、操作部21から
構成され、昇降用モータ８、上下用モータ13を駆動制御
すると共に後述するウェーハセンサ22からの信号を基に
ウェーハ９の計数を行う様になっている。ウェーハセン
サ22は、前記カセット棚２のカセットローダ１に対向す
る位置に且前記カセット10が昇降した際に、該カセット
10がウェーハセンサ22を完全に通過し得る位置に設けら
れている。
先ず、ウェーハ９の移載動作について略述する。
予めウェーハ９が装填されたカセット10を前記カセット
受台６に装着する。制御装置５により、昇降用モータ８
を駆動し、カセット受台６を上昇又は下降させ、カセッ
ト10の上下全長に亘って前記ウェーハセンサ22を通過さ
せウェーハ９の計数を行う。
受台６に装着する。制御装置５により、昇降用モータ８
を駆動し、カセット受台６を上昇又は下降させ、カセッ
ト10の上下全長に亘って前記ウェーハセンサ22を通過さ
せウェーハ９の計数を行う。
ウェーハ９の計数が完了すると、カセットローダ１を動
作させ、カセット10を前記カセット棚２の予定された位
置に装入する。
作させ、カセット10を前記カセット棚２の予定された位
置に装入する。
上記作動を繰返えし、予定数のカセット10をカセット棚
２に装入する。
２に装入する。
次に、制御装置５により前記ウェーハ移載機３を駆動
し、ツイーザ11の上昇、旋回を行って、ツイーザ11によ
るウェーハ９のチャック、ボート４への移載を行う。
し、ツイーザ11の上昇、旋回を行って、ツイーザ11によ
るウェーハ９のチャック、ボート４への移載を行う。
以下、ウェーハ９の計数について説明する。
前記したウェーハセンサ22は反射式超音波センサであ
り、第２図に示される様に圧電素子超音波発信部23と圧
電素子超音波受信部24及びパルス送信回路25、パルス受
信回路26から成り、前記ウェーハ計数部20によりパルス
送信回路25を介して超音波発信部23が駆動され、ウェー
ハ９の周端面に向けて超音波が発せられ、該周端面で反
射された超音波は前記超音波受信部24で受信され、更に
パルス受信回路26で電気信号に変換されて前記ウェーハ
計数部20へ入力される様になっている。該ウェーハ計数
部20では反射波の受信迄の時間、反射波の位相を調べる
ことでウェーハの有無を判別し、更にモータ制御器16か
らの信号を基にカセット10内でのウェーハ９の位置を演
算する。
り、第２図に示される様に圧電素子超音波発信部23と圧
電素子超音波受信部24及びパルス送信回路25、パルス受
信回路26から成り、前記ウェーハ計数部20によりパルス
送信回路25を介して超音波発信部23が駆動され、ウェー
ハ９の周端面に向けて超音波が発せられ、該周端面で反
射された超音波は前記超音波受信部24で受信され、更に
パルス受信回路26で電気信号に変換されて前記ウェーハ
計数部20へ入力される様になっている。該ウェーハ計数
部20では反射波の受信迄の時間、反射波の位相を調べる
ことでウェーハの有無を判別し、更にモータ制御器16か
らの信号を基にカセット10内でのウェーハ９の位置を演
算する。
而して、ウェーハ９の有無信号、演算したウェーハ９の
位置とで、カセット10へ装填されたウェーハの枚数、装
填状態（歯抜けがあるか否か等の状態）を検知すること
ができる。
位置とで、カセット10へ装填されたウェーハの枚数、装
填状態（歯抜けがあるか否か等の状態）を検知すること
ができる。
カセット10へ装填されたウェーハ９の枚数、装填状態は
主制御部15へ入力され、主制御部15は入力されたウェー
ハ装填状態を基にして前記ウェーハ移載機３を駆動し、
効率よく且ボート４へ歯抜け状態が生じない様に、更に
所望の配列となる様にウェーハ９を移載する。
主制御部15へ入力され、主制御部15は入力されたウェー
ハ装填状態を基にして前記ウェーハ移載機３を駆動し、
効率よく且ボート４へ歯抜け状態が生じない様に、更に
所望の配列となる様にウェーハ９を移載する。
尚、前記操作部21は、作業者によって作動に必要な情報
が入力されると共に前記したウェーハの計数結果を表示
する。
が入力されると共に前記したウェーハの計数結果を表示
する。
尚、上記実施例ではウェーハセンサとして反射式超音波
センサを用いたが、反射式光センサを用いてもよいこと
言う迄もない。
センサを用いたが、反射式光センサを用いてもよいこと
言う迄もない。
［発明の効果］ 以上述べた如く本発明によれば、下記の優れた効果を発
揮する。
揮する。
（ｉ）作業者がウェーハの数を数える必要がなく、作業
者の作業を軽減できると共に誤作業を防止できる。
者の作業を軽減できると共に誤作業を防止できる。
（ii）ウェーハの未装填部分があるカセットも取扱え
る。
る。
（iii）カセット内のウェーハの歯抜け、枚数がカセッ
ト装着時に早期検出でき、警報、追加処理対応が容易と
なり、ウェーハ処理の迅速、処理精度の向上を図ること
ができる。
ト装着時に早期検出でき、警報、追加処理対応が容易と
なり、ウェーハ処理の迅速、処理精度の向上を図ること
ができる。
（iv）ウェーハセンサは固定部に設けられるので、信頼
性と寿命が向上する。
性と寿命が向上する。
第１図は本発明の構成の概略を示すブロック図、第２図
はウェーハセンサの１例を示すブロック図である。 １はカセットローダ、２はカセット棚、５は制御装置、
９はウェーハ、10はカセット、22はウェーハセンサを示
す。
はウェーハセンサの１例を示すブロック図である。 １はカセットローダ、２はカセット棚、５は制御装置、
９はウェーハ、10はカセット、22はウェーハセンサを示
す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石津 秀雄 東京都西多摩郡羽村町神明台２―１―１ 国際電気株式会社羽村工場内 (72)発明者 斉藤 良二 東京都西多摩郡羽村町神明台２―１―１ 国際電気株式会社羽村工場内 (56)参考文献 特開 昭63−300525（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−173630（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】ウェーハが装填されるカセットを収納する
カセット棚と、該カセット棚に対応して設けられ、カセ
ットを昇降可能に支持し該カセットをカセット棚に装入
するカセットローダと、前記カセット棚のカセットロー
ダ対向面に設けられた反射式ウェーハセンサと、前記カ
セットローダを駆動し該カセットローダに支持されたカ
セットの位置と前記ウェーハセンサのウェーハ検知結果
とでカセット内のウェーハの装填状態を検知する制御装
置を具備したことを特徴とするウェーハ枚数計数装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2034469A JPH0697673B2 (ja) | 1990-02-15 | 1990-02-15 | ウェーハ枚数計数装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2034469A JPH0697673B2 (ja) | 1990-02-15 | 1990-02-15 | ウェーハ枚数計数装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03237739A JPH03237739A (ja) | 1991-10-23 |
| JPH0697673B2 true JPH0697673B2 (ja) | 1994-11-30 |
Family
ID=12415111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2034469A Expired - Fee Related JPH0697673B2 (ja) | 1990-02-15 | 1990-02-15 | ウェーハ枚数計数装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0697673B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11176912A (ja) | 1997-12-08 | 1999-07-02 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体基板処理装置及びその制御方法 |
| KR100342397B1 (ko) * | 2000-07-24 | 2002-07-02 | 황인길 | 에스엠아이에프 장치의 웨이퍼 수량 산출장치 및 방법 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61144821A (ja) * | 1984-12-19 | 1986-07-02 | Deisuko Saiyaa Japan:Kk | 従型熱処理炉用ウエハ移換装置 |
| JPH0229724Y2 (ja) * | 1985-01-30 | 1990-08-09 | ||
| JPH0611070B2 (ja) * | 1987-02-13 | 1994-02-09 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハカウンタ |
-
1990
- 1990-02-15 JP JP2034469A patent/JPH0697673B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03237739A (ja) | 1991-10-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |