KR19990051387A

KR19990051387A - 반도체 웨이퍼의 언로더

Info

Publication number: KR19990051387A
Application number: KR1019970070704A
Authority: KR
Inventors: 최선봉; 고석호
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1997-12-19
Filing date: 1997-12-19
Publication date: 1999-07-05

Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼의 언로더를 개시한다. 본 발명에 따른 언로더는 반도체 웨이퍼가 놓이는 척과, 척 상부에 설치되어 반도체 웨이퍼의 정렬 상태 및 반도체 웨이퍼의 존재 유무를 감지하는 디텍터와, 디텍터를 제어하는 신호를 발생시키는 전송기와, 척을 상/하로 이동시키는 리프트 모터와, 척을 회전시키는 오리엔트 모터를 구비하는 것을 특징으로 한다.

Description

반도체 웨이퍼의 언로더

본 발명은 반도체소자를 제조하는 장비에 관한 것으로, 특히 반도체 웨이퍼를 언로딩시키는 장치에 관한 것이다.

반도체소자를 제조하는 대부분의 장비는 반도체 웨이퍼를 전송시키는 핸들러를 구비한다. 핸들러는 소정의 공정이 완료된 반도체 웨이퍼를 언로딩시키는 기능을 갖는다. 일반적으로, 반도체 웨이퍼를 언로딩시키는 장치는 웨이퍼가 놓이는 척과, 상기 척을 상/하로 이동시키는 리프트 모터와, 상기 척을 회전시키는 오리엔트 모터를 구비한다. 그러나, 종래의 언로더(unloader)는 척 상에 웨이퍼가 존재하지 않는 경우 또는 척 상에 놓인 웨이퍼가 올바르게 정렬되지 않은 경우에도 언로딩 동작이 진행되어 웨이퍼가 손상을 입는 현상이 발생한다. 이로 인하여 후속 웨이퍼까지 오염됨은 물론, 언로더의 내부를 세정하여야 하는 번거로움이 있다.

본 발명의 목적은 웨이퍼의 유무 및 웨이퍼의 정렬상태를 감지하는 디텍터를 구비하여 웨이퍼의 손상을 방지함은 물론, 원활한 공정을 진행시킬 수 있는 반도체 웨이퍼의 언로더를 제공하는 데 있다.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼의 언로더를 설명하기 위한 개략도이다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 반도체 웨이퍼가 놓이는 척과, 상기 척 상부에 설치되어 반도체 웨이퍼의 정렬 상태 및 반도체 웨이퍼의 존재 유무를 감지하는 디텍터와, 상기 디텍터를 제어하는 신호를 발생시키는 전송기와, 상기 척을 상/하로 이동시키는 리프트 모터와, 상기 척을 회전시키는 오리엔트 모터를 구비하는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 웨이퍼의 언로더는 반도체 웨이퍼(W)가 로딩되는 척(C)과, 상기 척(C)의 중심부 아래에 고정된 축(S)과, 상기 축(S)을 참조부호 A로 표시한 화살표 방향으로 회전시키는 오리엔트 모터(OM)와, 상기 축(S)을 참조부호 B로 표시한 화살표 방향으로 상/하 이동시키는 리프트 모터(LM)와, 상기 척(C)의 상부에 설치되어 웨이퍼(W)의 유무 및 정렬상태를 감지하는 디텍터(1)와, 상기 디텍터(1)를 제어하는 신호를 발생시키는 전송기(3)를 구비한다.

상기한 반도체 웨이퍼의 언로더의 동작을 살펴보면, 소정의 공정이 완료된 반도체 웨이퍼(W)가 상기 척(C) 상에 놓인다. 그리고, 상기 디텍터(1)는 상기 전송기(3)로부터 출력되는 제어신호에 따라 오리엔트 모터(OM)를 동작시키어 상기 척(C)을 회전시키면서 상기 반도체 웨이퍼(W)의 정렬상태 또는 척(C) 상에 반도체 웨이퍼(W)가 존재하는지를 감지한다. 이때, 척(C) 상에 반도체 웨이퍼(W)가 존재하지 않는 경우에 반도체 웨이퍼(W)를 전송시키는 핸들러(도시하지 않음)의 동작을 중단시키고 모니터(도시하지 않음) 등과 같은 표시장치를 통하여 작업자에게 반도체 웨이퍼(W)가 척(C) 상에 존재하지 않는다는 사실을 알린다. 만일, 상기 척(C) 상에 놓인 반도체 웨이퍼(W)의 정렬상태가 불량한 경우에는 상기 리프트 모터(LM)를 동작시키어 상기 척(C)을 아래로 이동시키고 셔틀(도시하지 않음)을 이용하여 반도체 웨이퍼(W)를 재위치 시킨 후, 상기 리프트 모터(LM)를 이용하여 상기 척(C)을 위로 이동시킨다. 그리고, 상기 오리엔트 모터(OM)를 동작시키어 척(C)을 회전시키면서 디텍터(1)를 이용하여 반도체 웨이퍼(W)의 정렬상태를 다시 감지한다. 여기서, 상기 반도체 웨이퍼(W)의 정렬상태가 양호하면 핸들러를 사용하여 상기 반도체 웨이퍼(W)를 언로더 밖으로 전송시킨다. 그러나, 상기 반도체 웨이퍼(W)의 정렬상태가 불량하면, 모니터 등과 같은 표시장치를 통하여 작업자에게 현상태를 알리거나 적어도 1회 이상 상기 반도체 웨이퍼(W)의 정렬공정을 재시도 한다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 당업자의 수준에서 그 변형 및 개량이 가능하다.

상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 척 상에 반도체 웨이퍼의 유무 또는 척 상에 로딩된 반도체 웨이퍼의 정렬상태를 감지할 수 있다. 이에 따라, 비정상 상태에서 후속공정이 진행되는 것을 방지할 수 있으므로 반도체 웨이퍼가 손상을 입는 것을 방지할 수 있다.

Claims

반도체 웨이퍼가 놓이는 척;

상기 척 상부에 설치되어 반도체 웨이퍼의 정렬 상태 및 반도체 웨이퍼의 존재 유무를 감지하는 디텍터;

상기 디텍터를 제어하는 신호를 발생시키는 전송기;

상기 척을 상/하로 이동시키는 리프트 모터; 및

상기 척을 회전시키는 오리엔트 모터를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 언로더.