KR101230775B1 - 웨이퍼 및 웨이퍼 유지용 용기의 조합체, 및 웨이퍼 유지용 용기 - Google Patents

Abstract

웨이퍼 용기는 물리적 충격의 발생 동안 향상된 웨이퍼 규제를 제공한다. 본 발명의 실시예에서, 복수의 노치를 형성하는 이차 웨이퍼 규제 구조체는 용기의 도어 위의 대향 웨이퍼 규제 부재 사이에 개재된다. 노치는 접합부에서 만나는 하나 이상의 수렴 에지 또는 표면에 의해 형성될 수도 있다. 접합부는 도어가 용기의 수납부와 밀봉식으로 완전히 결합될 때, 웨이퍼의 에지가 접합부와 접촉하도록 각각의 대향 쌍의 웨이퍼 규제 부재의 웨이퍼 수용부와 정렬되도록 위치 설정된다. 이 위치에서, 용기에 가해지는 충격으로 인한 웨이퍼의 임의의 수직 운동은 웨이퍼가 수렴 표면 또는 에지와 접촉하도록 하여, 이런 운동을 제한하다. 일차 웨이퍼 규제부의 대향 핑거부 사이 및 근처에 있는 이차 웨이퍼 규제 구조체의 위치 설정은 지지점 사이에서 웨이퍼의 편향을 제한하여, 웨이퍼가 지지부를 벗어나 "도약"하는 것과 크로스-슬롯되는 것을 방지하도록 한다.

웨이퍼 규제 시스템, 웨이퍼, 용기, 웨이퍼 지지 구조체, 탄성 웨이퍼 결합 부재.

Description

웨이퍼 및 웨이퍼 유지용 용기의 조합체, 및 웨이퍼 유지용 용기 {COMBINATION OF WAFERS AND A CONTAINER FOR HOLDING THE WAFERS, AND A CONTAINER FOR HOLDING WAFERS}

본 출원은 참조로서 본 명세서에서 완전히 통합되는, 2004년 11월 23일자로 출원된 "이차 웨이퍼 규제 시스템을 구비한 웨이퍼 용기(WAFER CONTAINER WITH SECONDARY WAFER RESTRAINT SYSTEM)"라는 명칭의 미국 가출원 번호 제60/630,546호의 우선권을 주장한다.

대체로, 본 발명은 반도체 웨이퍼용 밀봉 가능한 용기에 관한 것이며, 특히 웨이퍼 용기용 웨이퍼 규제 시스템에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼 디스크의 집적 회로 칩으로의 변형은 디스크가 반복적으로 처리, 저장 및 수송되는 많은 단계를 종종 포함한다. 웨이퍼는 작업 장소에서 작업 장소로, 설비에서 설비로 수송되어야만 한다. 웨이퍼 디스크는 취성이 있고 물리적 충격에 의해 쉽게 손상된다. 또한, 반도체 웨이퍼 근처에서의 정전기의 충전 및 방전은 치명적일 수 있다. 웨이퍼의 깨지기 쉬운 특성 및 그들의 극단치로 인해, 이들은 이러한 공정 전체에 걸쳐 오염 물질과 물리적 및 전기적 손상으로부터 적절히 보호되는 것이 중요하다.

특정 캐리어 또는 용기가 웨이퍼를 취급, 저장 및 수송하는데 사용된다. 보통 이런 장치는, 예를 들어 한 어레이 내에 25장의 웨이퍼를 갖는 축방향으로 정렬된 어레이 내에 웨이퍼를 유지한다. 용기의 주요 부품은 웨이퍼를 취급하는 동안 충격 및 진동으로부터의 물질적 충격에 대해 보호하도록 지지하는 수단이다. 이 웨이퍼 지지 수단에는 용기의 하부 상의 기계 인터페이스를 통해 정적 소산을 위한 접지 경로가 제공될 수도 있다.

일반적으로, 종래 기술의 용기는 도어가 제 위치에 있을 때 용기 내에서 웨이퍼 지지부와 협동작용하는 용기의 도어 위에 웨이퍼 규제 구조체를 갖는다. 이런 웨이퍼 규제 구조체는 웨이퍼를 완충하고 충격으로부터의 손상을 방지하도록 그들의 움직임을 규제하는 기능을 한다. 하지만, 종래의 웨이퍼 규제 구조체는 몇몇 경우에 만족스럽지 못했다. 몇몇 경우에, 웨이퍼 규제 구조체는 웨이퍼가 물리적 충격의 발생 동안 지나치게 수직 방향으로 병진 운동을 하게 할 수도 있어서 웨이퍼 자체 또는 인접 웨이퍼에 손상을 유발시킨다. 몇몇 경우에, 웨이퍼는 웨이퍼 규제부로부터 이탈될 수도 있다. 다른 경우에, 웨이퍼는 이런 물리적 충격 발생 동안 인접 웨이퍼 규제부 사이에서 크로스-슬롯(cross-slot)될 수도 있다.

본 산업 분야에서 필요한 것은 물리적 충격 발생 동안 향상된 웨이퍼 규제부를 제공함으로써 앞서 기재된 문제를 경감시키는 웨이퍼 캐리어를 위한 향상된 웨이퍼 규제 시스템이다.

본 발명은 충격 발생 동안 향상된 웨이퍼 규제부를 제공함으로써 산업의 필요를 해결하는 향상된 웨이퍼 규제 시스템을 갖는 웨이퍼 용기이다. 본 발명에서, 이차 웨이퍼 규제 구조체는 용기의 도어 상의 대향 웨이퍼 규제 부재 사이에 개재된다. 본 발명의 실시예에서, 이차 웨이퍼 규제 구조체는 복수의 노치를 형성한다. 노치는 양쪽에서 서로 경사진 형상일 수도 있고, 접합부에서 만나는 하나 이상의 수렴 에지 또는 표면에 의해 형성될 수도 있다. 접합부는 도어가 용기의 외장(enclosure portion)과 밀봉식으로 완전히 결합될 때 웨이퍼 에지가 접합부에 접촉하도록 각각의 대향 쌍의 웨이퍼 규제 부재의 웨이퍼 수용부와 정렬되도록 위치 설정된다. 이런 위치에서, 용기에 가해지는 충격으로 인한 웨이퍼의 임의의 수직 운동은 웨이퍼가 수렴 표면 또는 에지와 접촉하도록 하여, 이런 운동을 제한한다. 일차 웨이퍼 규제부의 대향 핑거부 부근 및 그 사이에서의 이차 웨이퍼 규제부의 위치 설정은 지지점 사이에서 웨이퍼의 편향을 제한하여 웨이퍼가 지지부를 벗어나 "도약"하는 것과 크로스-슬롯되는 것을 방지한다.

따라서, 본 발명의 실시예는 축방향으로 정렬되고, 대체로 평행하게 이격된 배치로 웨이퍼를 유지하는 용기와 복수의 웨이퍼의 조합체를 포함한다. 용기는 상부, 하부, 한 쌍의 대향 측면부, 후면부 및 도어 프레임에 의해 형성되는 대향 개방 전면부를 갖는 수납부와, 개방 전면부를 폐쇄하도록 도어 프레임 내에 밀봉식으로 수용가능한 도어를 포함한다. 용기는 외장 내에 하나 이상의 웨이퍼 지지 구조체와, 웨이퍼와 결합하고 규제하는 도어 상의 웨이퍼 규제 구조체를 갖는 웨이퍼 규제 시스템을 포함한다. 하나 이상의 웨이퍼 지지 구조체는 복수의 슬롯을 형성하는 복수의 웨이퍼 지지 선반부를 포함할 수도 있고, 각각의 슬롯은 복수의 웨이퍼 중 개별적인 하나를 수용하도록 구성된다. 도어 상의 웨이퍼 규제 구조체는 일차 규제 구조체 및 이차 규제 구조체를 갖는다. 일차 규제 구조체는 복수의 제1 웨이퍼 결합 부재가 복수의 제2 웨이퍼 결합 부재로부터 이격되고 대향되도록 구성되는 복수의 탄성 웨이퍼 결합 부재를 포함한다. 이차 규제 구조체는 복수의 제1 및 제2 웨이퍼 결합 부재 중간에 위치 설정되고 복수의 노치를 형성한다. 노치는 도어가 도어 프레임 내에 결합될 때 복수의 웨이퍼 중 개별적인 하나가 각각의 노치 내에 수용되도록 구성된다.

실시예에서, 각각의 탄성 웨이퍼 결합 부재는 기다란 제1 연결부 및 양쪽에서 서로 경사진 형상의 제1 웨이퍼 수용부를 가질 수도 있다. 제1 웨이퍼 수용부는 제1 연결부의 제1 단부 근처에 위치 설정되고, 제1 연결부의 제2 단부는 도어와 직접적으로 또는 간접적으로 결합된다. 추가로, 각각의 탄성 웨이퍼 결합 부재는 기다란 제2 연결부 및 양쪽에서 서로 경사진 형상의 제2 웨이퍼 수용부를 가질 수도 있다. 기다란 제2 연결부의 제1 단부는 제1 웨이퍼 수용부 근처의 제1 연결부와 직접적으로 또는 간접적으로 결합하고, 제2 웨이퍼 수용부는 제1 웨이퍼 수용부로부터 이격된 위치에서 제2 연결부 상에 위치 설정된다.

실시예에서, 웨이퍼 규제 구조체는 한 쌍의 대향 측면부 및 중심부를 갖는 본체부를 포함할 수도 있다. 일차 규제 구조체의 탄성 웨이퍼 결합 부재는 각각의 대향 측면부로부터 중심부를 향해 내향으로 돌출한다. 웨이퍼 규제 구조체의 본체부는 중심부 근처에 융기부를 가질 수도 있고, 융기부는 이차 규제 구조체의 노치를 형성한다.

본 발명의 실시예에서, 노치는 접합부에서 만나는 한 쌍의 수렴 에지에 의해서 각각 형성될 수도 있다. 각각의 접합부는 도어가 도어 프레임 내에 완전히 수용될 때 각각의 웨이퍼가 접합부 중 개별적인 하나와 접촉하도록 위치 설정된다. 더욱이, 이차 규제 구조체는 도어의 내측면부와 일체로 형성될 수도 있다.

본 발명의 실시예의 목적 및 장점은 웨이퍼 용기에 발생하는 물리적 충격 발생 동안 웨이퍼의 운동을 방지하는 것이다.

본 발명의 실시예의 추가의 목적 및 장점은 웨이퍼의 용기에 발생하는 물리적 충격으로 인해 웨이퍼 규제부로부터 변위된 웨이퍼를 재위치시키는 것이다.

본 발명의 실시예의 추가의 목적 및 장점은 웨이퍼 용기에 발생하는 물리적 충격으로 인한 웨이퍼 규제부 사이에서의 크로스-슬롯을 방지하는 것이다.

본 발명의 추가의 목적, 장점 및 신규한 특징부는 이하의 상세한 설명의 부분에서 기술될 것이고, 이후의 심사시 본 기술 분야의 당업자에게 명확하게 될 것이며 본 발명의 적용례에 의해 학습될 수도 있다.

도1은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 용기의 사시도이다.

도2는 부분적으로 조립된 도어를 구비한 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 용기의 사시도이다.

도3은 웨이퍼 용기용으로 부분적으로 조립된 도어의 내측의 사시도이다.

도4는 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 용기 도어의 내측의 사시 분해도이다.

도5는 조립된 상태에 있는 도4의 도어의 내측 사시도이다.

도6은 도4의 도어의 일차 및 이차 웨이퍼 규제부의 확대 사시도이다.

도7은 본 발명에 따른 웨이퍼 용기의 다른 실시예의 사시도이다.

도8은 도7의 웨이퍼 용기의 도어의 내부 사시도이다.

도9는 도7의 도어의 웨이퍼 규제부의 측면도이다.

도10은 도7의 도어의 웨이퍼 규제부의 사시도이다.

처리 장치(12) 상에 위치된 본 발명에 따른 웨이퍼 용기(10)가 도1에 도시된다. 대체로 웨이퍼 용기(10)는 외장(14) 및 도어(16)를 포함한다. 대체로 외장(14)은 폴리카보네이트 또는 다른 적절한 열가소성 재료로 형성되고, 하부(18), 상부(20), 대향 측면부(22 및 24) 및 후면부(26)를 포함한다. 후면부(26)에 대향하는 것은 도어 프레임(30)에 의해 형성된 개방 전면부(28)이다. 복수의 웨이퍼 지지 선반부(34)를 갖는 하나 이상의 웨이퍼 지지 구조체(32)는 복수의 반도체 웨이퍼 또는 기판(도시 생략)을 수용하도록 외장(14) 내부에 대체로 평행하고 축방향으로 정렬된 배열로 이격되어 위치된다. 동적 결합부(36) 및 로봇 취급 플랜지(38)는 자동 취급 장치를 구비하여 용기의 운반 및 사용을 가능하게 하도록 하부(18) 및 상부(20) 각각의 외부 표면 상에 위치 설정될 수도 있다. 지지 수단 및 웨이퍼 용기의 구조 및 사용의 상세한 내용은 미국 특허 출원 번호 제5,788,082호, 제5,915,562호, 제6,010,008호, 제6,216,874호, 제6,267,245호, 제6,464,081호 및 제6,644,477호에 개시되고, 모두는 이 발명의 소유자에 의해 소유되고, 이 특허들은 참조로서 본 명세서에 완전히 통합된다.

도어(16)는 내부에서 웨이퍼에 대하여 밀봉된 미소 환경(microenviroment)을 형성하기 위하여 웨이퍼 용기(10)를 밀봉식으로 폐쇄하도록 도어 프레임(30) 내에서 선택 밀봉식으로 위치 설정 가능하다. 도2 및 도3 내에 도시된 실시예에서, 대체로 도어(16)는 외주벽(42)을 갖는 본체부(40)를 포함한다. 한 쌍의 래치 리세스(44 및 46)는 본체부(40)의 외측면(48) 상에 형성되고, 웨이퍼 규제 리세스(50)는 내측면(52) 상에 형성된다. 참조로서 본 명세서에서 통합되는 미국 특허 출원 번호 제5,915,562호에 개시된 바와 같은 래치 기구는 도어 프레임(28) 내의 제 위치에서 도어(16)를 고정하도록 각각의 래치 리세스(44 및 46) 내에 배치된다. 커버(52)는 용기(10)의 외부로부터 래치 기구의 작동을 가능하게 하는 열쇠 구멍 슬롯(54)을 구비하여, 래치 상에 배치될 수도 있다.

웨이퍼 규제 구조체(56)는 웨이퍼 규제 리세스(50) 내에 고정된다. 웨이퍼 규제 구조체(56)는 한 쌍의 측면 레일(60 및 62), 상부 레일(64) 및 하부 레일(66)을 갖는 외주 프레임(58)을 포함한다. 가요성 핑거부(68) 형태인 탄성 웨이퍼 결합 부재는 측면 레일(60 및 62)로부터 외주 프레임으로 내향 돌출하고, 갭(70)의 맞은 편에 대향되어 위치 설정된다. 각각의 핑거부(68)는 측면 레일(60 또는 62)과 연결된 기단부(proximal end)(제2 단부)(74)를 구비한 기다란 제1 연결부(72)를 갖는다. 양쪽에서 서로 경사진 형상의 내부 웨이퍼 수용부(76)는 각각의 기다란 제1 연결부(72)의 말단부(distal end)(제1 단부)(78)에 위치 설정된다. 기다란 제2 연결부(80)는 내측 웨이퍼 수용부(76)로부터 외향으로 돌출하고, 양쪽에서 서로 경사진 형상의 외측 웨이퍼 수용부(84)를 구비한 외부 단부(82)를 갖는다. 가요성 핑거부(68)는 대체로 평면인 웨이퍼의 에지가 각각의 쌍의 핑거부(68)의 내측 및 외측 웨이퍼 수용부(76, 84) 내에 수용되어 4개의 접촉점에서 웨이퍼를 규제 및 완충하도록 갭(70)의 맞은 편에 대향되어 쌍을 형성한다.

본 발명의 실시예에 따르면, 이차 웨이퍼 규제 구조체(86)는 충격 발생 동안 웨이퍼의 수직 운동 및 그 결과로 생기는 웨이퍼의 이탈 및 크로스-슬롯을 방지하도록 갭(70) 내에 위치 설정된다. 대체로 이차 웨이퍼 규제 구조체(86)는 도어(16)의 내측면(52)으로부터 외향으로 돌출하는, 양쪽에서 서로 경사진 형상의 복수의 웨이퍼 규제부(88)를 포함한다. 각각의 웨이퍼 규제부(88)는 접합부(92)에서 만나는 한 쌍의 대향 경사 에지 또는 표면(90)을 포함한다. 각각의 웨이퍼 규제부(88)의 접합부(92)는 각각의 대향하는 핑거부(68)의 쌍의 내측 및 외측 웨이퍼 수용부(76, 84)와 정렬되도록 위치 설정되어 도어(16)가 도어 프레임(30) 내에 완전히 밀봉식으로 연결될 때, 웨이퍼의 에지가 접합부(92)와 접촉하게 된다. 이 위치에서, 용기(10)에 가해지는 충격으로 인한 웨이퍼의 임의의 수직 운동은 웨이퍼가 표면 또는 에지(90)와 접촉하도록 하여, 이런 운동을 제한한다. 대향 핑거부(68) 사이 및 부근에서의 웨이퍼 규제부(88)의 위치 설정은 지지점 사이에서 웨이퍼의 편향을 제한하여 웨이퍼가 지지부를 벗어나 "도약"하고 크로스 슬롯되는 것을 추가로 방지한다.

이차 웨이퍼 규제 구조체(86)가 단일의 톱니형 구조로써 도시되지만, 각각의 웨이퍼 규제부(88)는 또한 본 발명의 범주 내에서 별도의 구조가 될 수도 있음을 알 수 있다. 더욱이, 이차 웨이퍼 규제 구조체(86)는 도어(16)의 본체부(40)와 일 체인 부분으로서 형성될 수도 있고, 또는 별개로 부착된 구조일 수도 있고, 또는 웨이퍼 규제 구조체(56)의 일부가 될 수도 있다. 이차 웨이퍼 규제 구조체(86)는 폴리카보네이트, PEEK, PEI 또는 요구되는 특성을 갖는 다른 열가소성 재료와 같은, 웨이퍼 용기 내에서 사용하기에 적합한 임의의 재료로부터 형성될 수도 있고, 정적 소산 또는 전기 도전성을 제공하는 다른 충전재 또는 탄소를 포함할 수도 있다.

본 발명에 따른 웨이퍼 용기(94)의 다른 실시예가 도7 내지 도10에 도시된다. 대체로 웨이퍼 용기(84)는 선택 밀봉식으로 용기(94)를 둘러싸도록 도어(98) 및 외장(96)을 포함한다. 웨이퍼 용기(94)의 더 상세한 내용은 본 발명의 소유자에 의해 공동으로 소유되고 참조로서 본 명세서에서 완전히 통합되는 미국 가출원 번호 제60/592,156호에 개시된다.

본 발명에 따르면, 웨이퍼 규제부(100)는 도어(98)의 내부면(102) 상에 위치 설정된다. 대체로 웨이퍼 규제부(100)는 한 쌍의 대향 단부(106 및 108)를 갖는 본체부(104)를 포함한다. 가요성 핑거부(110)의 쌍은 본체부(104)의 중심을 향해서 각각의 단부(106 및 108)로부터 내향으로 돌출한다. 양쪽에서 서로 경사진 형상의 웨이퍼 수용부(114)는 각각의 핑거부(110)의 내향 단부(112)에 있다. 가요성 핑거부(110)는 대체로 평면인 웨이퍼의 에지가 각각의 쌍의 핑거부(110)의 웨이퍼 수용부(114) 내에 수용되도록 갭(116)의 맞은 편에 대향으로 쌍을 형성한다. 단부(106 및 108)에서, 본체부(104)는 도어에 웨이퍼 규제부(100)를 고정하도록 도어(98) 위에 체결 구조체(도시 생략)를 수용하는 구멍(118)을 갖는다.

본체부(104)는 대향 핑거부(110) 사이의 갭(116) 내에 위치 설정된 한 쌍의 융기부(120)를 갖는다. 각각의 융기부는 대향 핑거부(110)의 웨이퍼 수용부(114)와 정렬되도록 위치 설정된 양쪽에서 서로 경사진 노치(122)를 갖는다. 양쪽에서 서로 경사진 노치(122) 각각은 한 쌍의 수렴 에지 또는 표면(124)에 의해 형성되고, 그것은 접합부(126)에서 만난다. 접합부(126)는 도어(98)가 외장(96)과 완전히 밀봉식으로 결합될 때, 웨이퍼의 에지가 접합부(126)와 접촉하도록 위치 설정된다. 이 위치에서, 용기(94)에 가해진 충격으로 인한 웨이퍼의 임의의 수직 운동은 웨이퍼가 표면 또는 에지(124)와 접촉하도록 하여, 이런 운동을 제한한다. 대향 핑거부(110) 사이 및 근처에서 양쪽에서 서로 경사진 노치(122)의 형태로 이차 웨이퍼 규제부의 위치 설정함으로써 지지점 사이에서 웨이퍼의 편향을 제한하여, 웨이퍼가 지지부를 벗어나 "도약"하고 크로스 슬롯되는 것을 추가로 방지한다.

또한, 웨이퍼 규제부(100)의 다른 구성은 이차 웨이퍼 규제부가 톱니형 구조일 수도 있는 구성 및 이차 웨이퍼 규제부가 가요성 핑거부와 일체형 또는 분리될 수도 있는 구조를 포함하면서, 본 발명 내에서 고려될 수 있다. 이차 웨이퍼 규제부는 폴리카보네이트, PEEK, PEI 또는 요구되는 특성을 갖는 다른 열가소성 재료와 같은, 웨이퍼 용기 내에서 사용하기에 적합한 임의의 재료로부터 형성될 수도 있고, 정적 소산 또는 전기 도전성을 제공하는 다른 충전재 또는 탄소를 포함할 수도 있다.

Claims (25)

1. 복수의 웨이퍼와, 축방향으로 정렬되고 평행하게 이격된 배열로 상기 웨이퍼를 유지하는 용기의 조합체이며,

   상기 용기는,

   상부, 하부, 한 쌍의 대향 측면부, 후면부 및 도어 프레임에 의해 형성되는 대향 개방 전면부를 갖는 외장(enclosure portion)과,

   상기 개방 전면부를 폐쇄하도록 상기 도어 프레임 내에 밀봉식으로 수용가능한 도어와,

   상기 외장 내의 하나 이상의 웨이퍼 지지 구조체와, 상기 웨이퍼를 결합하고 규제하도록 상기 도어 상에 위치한 웨이퍼 규제 구조체를 포함하는 웨이퍼 규제 시스템을 포함하며,

   상기 하나 이상의 웨이퍼 지지 구조체는 복수의 슬롯을 형성하는 복수의 웨이퍼 지지 선반부를 포함하고, 각각의 슬롯은 상기 복수의 웨이퍼 각각을 개별적으로 수용하도록 구성되며, 상기 도어 상의 상기 웨이퍼 규제 구조체는 일차 규제 구조체 및 이차 규제 구조체를 포함하고, 상기 일차 규제 구조체는 복수의 제1 웨이퍼 결합 부재가 복수의 제2 웨이퍼 결합 부재로부터 이격되고 대향되도록 배열된 복수의 탄성 웨이퍼 결합 부재를 포함하며, 상기 이차 규제 구조체는 상기 복수의 제1 및 제2 웨이퍼 결합 부재 중간에 위치 설정되고 복수의 노치를 형성하고, 상기 노치는 상기 도어가 상기 도어 프레임 내에 결합될 때 상기 복수의 웨이퍼 각각이 각각의 노치 내에 개별적으로 수용되도록 배열되며,

   상기 각각의 탄성 웨이퍼 결합 부재는 기다란 제1 연결부 및 양쪽에서 서로 경사진 형상의 제1 웨이퍼 수용부를 포함하며, 상기 제1 웨이퍼 수용부는 상기 제1 연결부의 제1 단부 근처에 위치 설정되고, 상기 제1 연결부의 제2 단부는 상기 도어와 직접적으로 또는 간접적으로 결합되는, 웨이퍼 및 웨이퍼 유지용 용기의 조합체.
2. 제1항에 있어서, 상기 일차 규제 구조체는, 중심 구멍을 형성하고 한 쌍의 측면 레일을 갖는 외주 프레임을 포함하며, 상기 탄성 웨이퍼 결합 부재는 상기 측면 레일로부터 상기 중심 구멍 내로 돌출하는, 웨이퍼 및 웨이퍼 유지용 용기의 조합체.
3. 삭제
4. 제1항에 있어서, 상기 각각의 탄성 웨이퍼 결합 부재는 기다란 제2 연결부 및 양쪽에서 서로 경사진 형상의 제2 웨이퍼 수용부를 더 포함하며, 상기 기다란 제2 연결부의 제1 단부는 상기 제1 웨이퍼 수용부 근처에서 상기 제1 연결부와 직접적으로 또는 간접적으로 결합되고, 상기 제2 웨이퍼 수용부는 상기 제1 웨이퍼 수용부로부터 이격된 위치에서 상기 제2 연결부 상에 위치 설정된, 웨이퍼 및 웨이퍼 유지용 용기의 조합체.
5. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 규제 구조체는 한 쌍의 대향 측면부 및 중심부를 갖는 본체부를 포함하며, 상기 일차 규제 구조체의 상기 탄성 웨이퍼 결합 부재는 상기 각각의 대향 측면부로부터 상기 중심부를 향해 내향으로 돌출하는, 웨이퍼 및 웨이퍼 유지용 용기의 조합체.
6. 제5항에 있어서, 상기 웨이퍼 규제 구조체의 상기 본체부는 상기 중심부 근처에서 융기부를 가지며, 상기 융기부는 상기 이차 규제 구조체의 노치를 형성하는, 웨이퍼 및 웨이퍼 유지용 용기의 조합체.
7. 제1항에 있어서, 상기 노치는 접합부에서 만나는 한 쌍의 수렴 에지에 의해서 각각 형성되며, 상기 접합부는 상기 도어가 상기 도어 프레임 내에 완전히 수용될 때, 각각의 웨이퍼가 각각의 상기 접합부와 개별적으로 접촉하도록 위치 설정되는, 웨이퍼 및 웨이퍼 유지용 용기의 조합체.
8. 제1항에 있어서, 상기 도어는 내측면부를 가지며, 상기 이차 규제 구조체는 상기 도어의 내측면부와 함께 일체로 형성되고 상기 내측면부로부터 외향으로 돌출하는, 웨이퍼 및 웨이퍼 유지용 용기의 조합체.
9. 복수의 웨이퍼와, 축방향으로 정렬되고 평행하게 이격된 배열로 상기 웨이퍼를 유지하는 용기의 조합체이며,

   상기 용기는,

   상부, 하부, 한 쌍의 대향 측면부, 후면부 및 도어 프레임에 의해 형성되는 대향 개방 전면부를 갖는 외장과,

   상기 개방 전면부를 폐쇄하도록 상기 도어 프레임 내에 밀봉식으로 수용 가능한 도어와,

   상기 외장 내의 하나 이상의 웨이퍼 지지 구조체와, 상기 웨이퍼를 결합하고 규제하도록 도어 상에 위치한 웨이퍼 규제 구조체를 포함하는 웨이퍼 규제 시스템을 포함하며,

   상기 하나 이상의 웨이퍼 지지 구조체는 복수의 슬롯을 형성하는 복수의 웨이퍼 지지 선반부를 포함하고, 각각의 슬롯은 상기 복수의 웨이퍼 각각을 개별적으로 수용하도록 구성되며, 상기 도어 상의 상기 웨이퍼 규제 구조체는 복수의 제1 웨이퍼 결합 부재가 복수의 제2 웨이퍼 결합 부재로부터 이격되고 대향되도록 배열되는 복수의 탄성 웨이퍼 결합 부재를 포함하는 일차 규제 구조체를 포함하고, 상기 웨이퍼 규제 구조체는 상기 용기가 물리적 충격을 받을 때 상기 웨이퍼가 상기 탄성 웨이퍼 결합 부재로부터 이탈되는 것을 방지하는 수단을 더 포함하며

   상기 각각의 탄성 웨이퍼 결합 부재는 기다란 제1 연결부 및 양쪽에서 서로 경사진 형상의 제1 웨이퍼 수용부를 포함하고, 상기 제1 웨이퍼 수용부는 상기 제1 연결부의 제1 단부 근처에 위치 설정되고, 상기 제1 연결부의 제2 단부는 상기 도어와 직접적으로 또는 간접적으로 결합되는, 웨이퍼 및 웨이퍼 유지용 용기의 조합체.
10. 제9항에 있어서, 웨이퍼가 이탈되는 것을 방지하는 상기 수단은 상기 복수의 제1 및 제2 웨이퍼 결합 부재 중간에 위치 설정된 이차 규제 구조체를 포함하는 복수의 웨이퍼 및 웨이퍼 유지용 용기의 조합체.
11. 제10항에 있어서, 상기 이차 규제 구조체는 복수의 노치를 포함하고, 각각의 노치는 접합부에서 만나는 한 쌍의 수렴 표면에 의해 형성되며, 상기 접합부는 상기 도어가 상기 도어 프레임 내에 완전히 수용될 때, 각각의 웨이퍼가 상기 접합부 각각과 개별적으로 접촉하도록 위치 설정되는, 웨이퍼 및 웨이퍼 유지용 용기의 조합체.
12. 제9항에 있어서, 상기 일차 규제 구조체는, 중심 구멍을 형성하고 한 쌍의 측면 레일을 갖는 외주 프레임을 포함하며, 상기 탄성 웨이퍼 결합 부재는 상기 측면 레일로부터 상기 중심 구멍으로 돌출하는, 웨이퍼 및 웨이퍼 유지용 용기의 조합체.
13. 삭제
14. 제9항에 있어서, 상기 각각의 탄성 웨이퍼 결합 부재는 기다란 제2 연결부 및 양쪽에서 서로 경사진 형상의 제2 웨이퍼 수용부를 더 포함하고, 상기 기다란 제2 연결부의 제1 단부는 상기 제1 웨이퍼 수용부 근처에서 상기 제1 연결부와 직접적으로 또는 간접적으로 결합되고, 상기 제2 웨이퍼 수용부는 상기 제1 웨이퍼 수용부로부터 이격된 위치에서 상기 제2 연결부 상에 위치 설정되는, 웨이퍼 및 웨이퍼 유지용 용기의 조합체.
15. 제9항에 있어서, 상기 웨이퍼 규제 구조체는 한 쌍의 대향 측면부 및 중심부를 갖는 본체부를 포함하고, 상기 일차 규제 구조체의 상기 탄성 웨이퍼 결합 부재는 상기 각각의 대향 측면부로부터 상기 중심부를 향해 내향으로 돌출하는, 웨이퍼 및 웨이퍼 유지용 용기의 조합체.
16. 제15항에 있어서, 상기 웨이퍼 규제 구조체의 상기 본체부는 상기 중심부 근처에 융기부를 가지며, 웨이퍼가 이탈되는 것을 방지하는 상기 수단은 상기 융기부 내에 형성된 복수의 노치를 포함하는, 웨이퍼 및 웨이퍼 유지용 용기의 조합체.
17. 축방향으로 정렬되고 평행하게 이격된 배열로 복수의 웨이퍼를 유지하는 용기이며,

    상부, 하부, 한 쌍의 대향 측면부, 후면부 및 대향 개방 전면부를 갖는 외장과,

    상기 개방 전면부를 밀봉식으로 폐쇄하는 도어와,

    상기 외장 내의 하나 이상의 웨이퍼 지지 구조체와, 상기 웨이퍼를 결합하고 규제하도록 상기 도어 상에 위치한 웨이퍼 규제 구조체를 포함하는 웨이퍼 규제 시스템을 포함하며,

    상기 하나 이상의 웨이퍼 지지 구조체는 복수의 슬롯을 형성하는 복수의 웨이퍼 지지 선반부를 포함하고, 각각의 슬롯은 복수의 웨이퍼 각각을 개별적으로 수용하도록 구성되며, 상기 도어 상의 상기 웨이퍼 규제 구조체는 일차 규제 구조체 및 이차 규제 구조체를 포함하고, 상기 일차 규제 구조체는 복수의 제1 웨이퍼 결합 부재가 복수의 제2 웨이퍼 결합 부재로부터 이격되고 대향되도록 배열된 복수의 탄성 웨이퍼 결합 부재를 포함하며, 상기 웨이퍼 결합 부재의 각각은 상기 도어로부터 제1 거리만큼 이격되어 있는 웨이퍼 접촉부를 갖고, 상기 이차 규제 구조체는, 상기 복수의 제1 및 제2 웨이퍼 결합 부재 중간에 위치 설정되고 복수의 v-형상 홈을 형성하며, 각각의 홈은 복수의 제1 웨이퍼 결합 부재 중 하나 및 복수의 제2 웨이퍼 결합 부재 중 하나와 정렬되고, 이차 규제 구조체의 각각의 홈의 양 측면의 부분은 각각의 웨이퍼 접촉부가 도어로부터 이격되어 있는 상기 제1 거리보다 큰 제2 거리만큼 도어로부터 돌출되는 용기.
18. 제17항에 있어서, 상기 일차 규제 구조체는 중심 구멍을 형성하고 한 쌍의 측면 레일을 갖는 외주 프레임을 포함하며, 상기 탄성 웨이퍼 결합 부재는 상기 측면 레일로부터 상기 중심 구멍으로 돌출하는 용기.
19. 제17항에 있어서, 상기 각각의 탄성 웨이퍼 결합 부재는 기다란 제1 연결부 및 양쪽에서 서로 경사진 형상의 제1 웨이퍼 수용부를 포함하며, 상기 제1 웨이퍼 수용부는 상기 제1 연결부의 제1 단부 근처에 위치 설정되고, 상기 제1 연결부의 제2 단부는 상기 도어와 직접적으로 또는 간접적으로 결합되는 용기.
20. 제19항에 있어서, 상기 각각의 탄성 웨이퍼 결합 부재는 기다란 제2 연결부 및 양쪽에서 서로 경사진 형상의 제2 웨이퍼 수용부를 더 포함하며, 상기 기다란 제2 연결부의 제1 단부는 상기 제1 웨이퍼 수용부 근처에서 상기 제1 연결부와 직접적으로 또는 간접적으로 결합되고, 상기 제2 웨이퍼 수용부는 상기 제1 웨이퍼 수용부로부터 이격된 위치에서 상기 제2 연결부 상에 위치 설정되는 용기.
21. 제17항에 있어서, 상기 이차 규제 구조체는 복수의 노치를 형성하며, 상기 노치는 상기 도어가 상기 도어 프레임 내에 결합될 때 상기 복수의 웨이퍼 각각이 각각의 노치 내에 개별적으로 수용되도록 배열되는 용기.
22. 제21항에 있어서, 상기 웨이퍼 규제 구조체는 한 쌍의 대향 측면부 및 중심부를 갖는 본체부를 포함하고, 상기 일차 규제 구조체의 상기 탄성 웨이퍼 결합 부재는 상기 각각의 대향 측면부로부터 상기 중심부를 향해 내향으로 돌출하는 용기.
23. 제22항에 있어서, 상기 웨이퍼 규제 구조체의 상기 본체부는 상기 중심부 근처에 융기부를 가지며, 상기 융기부는 상기 이차 규제 구조체의 노치를 형성하는 용기.
24. 제21항에 있어서, 상기 노치는 접합부에서 만나는 한 쌍의 수렴 에지에 의해 각각 형성되며, 상기 접합부는 상기 도어가 상기 도어 프레임 내에 완전히 수용될 때, 각각의 웨이퍼가 상기 접합부 각각과 개별적으로 접촉하도록 위치 설정되는 용기.
25. 제17항에 있어서, 상기 도어는 내측면부를 가지며, 상기 이차 규제 구조체는 상기 도어의 상기 내측면부와 일체로 형성되고 상기 내측면부로부터 외향 돌출하는 용기.

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