KR20170051587A - 기판 카세트 - Google Patents

기판 카세트 Download PDF

Info

Publication number
KR20170051587A
KR20170051587A KR1020150151005A KR20150151005A KR20170051587A KR 20170051587 A KR20170051587 A KR 20170051587A KR 1020150151005 A KR1020150151005 A KR 1020150151005A KR 20150151005 A KR20150151005 A KR 20150151005A KR 20170051587 A KR20170051587 A KR 20170051587A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
support
substrates
protrusion
substrate cassette
frame
Prior art date
Application number
KR1020150151005A
Other languages
English (en)
Inventor
이권일
Original Assignee
삼성디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성디스플레이 주식회사 filed Critical 삼성디스플레이 주식회사
Priority to KR1020150151005A priority Critical patent/KR20170051587A/ko
Publication of KR20170051587A publication Critical patent/KR20170051587A/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6734—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders specially adapted for supporting large square shaped substrates
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/67303—Vertical boat type carrier whereby the substrates are horizontally supported, e.g. comprising rod-shaped elements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/67303—Vertical boat type carrier whereby the substrates are horizontally supported, e.g. comprising rod-shaped elements
    • H01L21/67309—Vertical boat type carrier whereby the substrates are horizontally supported, e.g. comprising rod-shaped elements characterized by the substrate support

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 카세트는 기판이 놓여지는 지지면 및 복수의 홈을 갖는 지지부 및 상기 지지부 상에 위치하는 돌출부를 포함하며, 상기 돌출부는 상기 홈을 따라 상하 이동된다.

Description

기판 카세트{SUBSTRATE CASSETTE}
본 발명은 기판 카세트에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다양한 크기의 기판을 수용할 수 있는 카세트에 관한 것이다.
근래 급속하게 발전하고 있는 반도체 기술을 중심으로 하여, 소형 및 경량화되면서 성능이 더욱 향상된 표시 장치의 수요가 늘어나고 있으며, 소비자의 요구에 따라 표시 장치가 점차 대형화되고 있다.
표시 장치로는 액정 표시 장치(liquid crystal display, LCD), 플라스마 표시 장치(plasma display panel, PDP), 전계 방출표시 장치(flat emission display, FED), 형광 표시판(vacuum fluorescent display, VFD), 유기 발광 표시 장치(organiclight emitting display, OLED) 등이 사용되고 있다.
표시 장치의 제조 방법은 전부 다르지만, 일반적으로 표시 장치는 한 쌍의 기판을 포함한다.
이 때, 기판은 제조 공정 중의 이송을 위하여 기판 카세트에 적재된다. 기판 카세트에 적재된 기판은 핸들링용 로봇을 이용하여 흡착됨으로써 기판 카세트로부터 자유롭게 탈착될 수 있다. 기판들을 기판 카세트에 담아 운반하면 외부 노출된 기판들의 손상을 방지하고, 기판들을 쉽게 보관하거나 이송할 수 있다.
한편, 종래의 기판 카세트에서는 다양한 크기의 기판을 적재할 수 없었다.
이에 본 발명에서는 기판 카세트의 제조 비용을 감소시키기 위해, 다양한 크기의 기판을 적재할 수 있는 기판 카세트를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 카세트는 기판이 놓여지는 지지면 및 복수의 홈을 갖는 지지부 및 상기 지지부 상에 위치하는 돌출부를 포함하며, 상기 돌출부는 상기 홈을 따라 상하 이동된다.
상기 돌출부는 상기 홈에 삽입될 수 있다.
상기 돌출부는 상기 홈의 깊이 이하인 높이를 갖게 될 수 있다.
상기 기판이 상기 돌출부 상에 안착될 때, 상기 돌출부는 상기 홈에 삽입될 수 있다.
상기 돌출부에 연결된 탄성부재를 더 포함할 수 있다.
상기 돌출부에 연결된 압력 감지 센서를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 카세트는 수평 프레임, 상기 수평 프레임에 연결된 수직 프레임, 상기 수직 프레임에 연결되고, 상호 대향하여 연장된 제 1 지지부 및 제 2 지지부를 포함하는 지지부 및 상기 제 1 지지부 및 제 2 지지부 중 적어도 하나에 위치하는 돌출부를 포함하고, 상기 제 1 지지부 및 제 2 지지부 중 적어도 하나는 상기 돌출부에 대응하여 복수의 홈을 갖고, 상기 돌출부는 상기 홈을 따라 상하 이동될 수 있다.
상기 돌출부는 상기 홈에 삽입될 수 있다.
상기 돌출부는 상기 홈의 깊이 이하인 높이를 갖게 될 수 있다.
상기 기판이 상기 돌출부 상에 안착될 때, 상기 돌출부는 상기 홈에 삽입될 수 있다.
상기 복수의 홈은, 상기 지지부의 연장방향을 따라 배치될 수 있다.
상기 복수의 홈은, 상기 지지부의 연장방향과 평면상으로 수직한 방향을 따라 배치될 수 있다.
상기 돌출부에 연결된 탄성부재를 더 포함할 수 있다.
상기 돌출부에 연결된 압력 감지 센서를 더 포함할 수 있다.
상기 수직 프레임 사이에서 상기 수평 프레임 및 상기 수직 프레임 중 적어도 하나와 연결되는 보조 프레임을 더 포함할 수 있다.
상기 보조 프레임에 연결되며, 상기 복수의 지지부와 동일 평면상에 배치된복수의 보조 지지부를 더 포함할 수 있다.
상기 수평 프레임은, 상기 수직 프레임의 위치를 변경할 수 있는 체결구를 갖게 될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 카세트는 하나의 기판 카세트로 다양한 크기의 기판을 적재할 수 있으므로, 기판 카세트의 제조 비용을 감소시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 카세트의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 카세트의 정면도이다.
도 3은 도 2의 A부분을 확대하여 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예를 확대하여 도시한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 카세트의 사시도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 카세트의 사시도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 제 1 지지부의 평면도이다.
도 8은 도 2의 B부분을 확대하여 도시한 단면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 따라서, 몇몇 실시예에서, 잘 알려진 공정 단계들, 잘 알려진 소자 구조 및 잘 알려진 기술들은 본 발명이 모호하게 해석되는 것을 피하기 위하여 구체적으로 설명되지 않는다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 아래에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.
본 명세서에서 제 1, 제 2, 제 3 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이러한 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되는 것은 아니다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소들로부터 구별하는 목적으로 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 벗어나지 않고, 제 1 구성 요소가 제 2 또는 제 3 구성 요소 등으로 명명될 수 있으며, 유사하게 제 2 또는 제 3 구성 요소도 교호적으로 명명될 수 있다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않은 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
도 1 내지 도 2를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 카세트(10)를 설명한다.
도 1 은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 카세트(10)의 사시도이며, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 카세트(10)의 정면도이다.
도 1 내지 2는 다양한 크기의 기판을 적재한 기판 카세트(10)를 개략적으로 나타낸다. 도 1 에 도시한 기판 카세트(10)의 구조는 단지 본 발명을 예시하기 위한 것이며, 기판 카세트(10)의 구조는 다른 형태로 변형될 수 있다.
도 1 내지 2를 참조하면, 기판 카세트(10)는 육면체 형태일 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 카세트(10)는 육면체 형태로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않고 기판(G1, G2, G3)을 적재할 수 있는 모든 형태를 포함한다. 또한, 수직 프레임(200) 및 수평 프레임(100)은 필요하지 않은 범위 내에서 생략될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 카세트(10)는 수평 프레임(100), 수평 프레임(100)에 연결된 수직 프레임(200), 수직 프레임(200)에 연결되어 기판(G1, G2, G3)을 지지하는 지지부(300), 지지부(300)에 위치한 돌출부(400), 수직 프레임(200)사이에서 수평 프레임(100)과 연결된 보조 프레임(500), 보조 프레임(500)에 연결되어 기판(G1, G2, G3)을 지지하는 보조 지지부(600)를 포함한다.
수평 프레임(100)은 상부 프레임(110), 상부 프레임(110)에 대향되는 하부 프레임(120)을 포함한다.
상부 프레임(110)은 공지된 재료로 형성될 수 있다. 상부 프레임(110)은 알루미늄(AI), SUS(Steel Use Stainless, 스테인레스 강) 또는 탄소 섬유 복합 재료(탄소 섬유 강화 플라스틱) 등으로 구성될 수 있다. 이 경우, 기판 카세트(10)의 경량 및 강성은 높은 레벨로 동시에 실현될 수 있다. 다만 이에 한정되지 않고 기판(G1, G2, G3)을 적재할 수 있는 모든 재료를 포함한다.
하부 프레임(120)은 상부 프레임(110) 및 수직 프레임(200)을 지지하는 역할을 하며, 상부 프레임(110)에 대향된다. 하부 프레임(120) 하면에는 지지대(121)가 형성될 수 있고, 또한 기판 카세트(10)가 용이하게 이동할 수 있도록 지지대(121)를 대신하여 롤러가 배치될 수 있다.
하부 프레임(120)은 상부 프레임(110)과 동일한 재료로 형성될 수 있다.
도 1 내지 2를 참조하면, 상부 및 하부 프레임(110,120)은 가로바의 형태로 도시하였지만, 이에 한정되지 않고 상부(110) 및 하부 프레임(120)은 판 형태가 될 수 있다.
단, 상부 프레임(110) 및 하부 프레임(120)은 필요하지 않은 범위 내에서 생략될 수 있다.
상부 프레임(110)과 하부 프레임(120)에, 각각 서로 대향하는 체결구(112,122)가 형성될 수 있다. 수평 프레임(100)은 수직 프레임(200)의 위치를 변경할 수 있는 체결구(112,122)를 갖는다. 즉, 수직 프레임(200) 단부에 위치한 나사(201)를 풀어 수직 프레임(200)을 이동할 수 있고, 나사(201)을 조여 고정부재(202) 및 수직 프레임(200)을 고정할 수도 있다. 따라서, 기판(G1, G2, G3)의 크기에 따라 각 지지부(300)간 거리를 자유롭게 조절할 수 있다.
수직 프레임(200)은 상부 프레임(110) 및 하부 프레임(120) 중 적어도 하나에 연결되며, 상부 및 하부 프레임(110, 120)과 수직으로 이루어진다. 수직 프레임(200)은 다수의 기판(G1,G2,G3)을 적재하기 위하여, 다수 배치될 수 있으며, 지지부(300)를 고정해준다.
수직 프레임(200)은 기판 카세트(10)의 양쪽 측면에 배치될 수 있고, 측면의 중간에 배치될 수도 있다.
지지부(300)는 수직 프레임(200)으로부터 연장되어 기판(G1, G2, G3)의 가장자리를 지지한다.
지지부(300)는 수직 프레임(200)을 복수 개의 층으로 구분할 수 있도록, 수직 프레임(200)에 하나 이상 배치된다. 즉, 수직 프레임(200)의 높이 방향으로 복수의 지지부(300)가 소정의 간격을 두고 배열될 수 있다. 이때, 소정의 간격이라 함은 적재되는 기판(G1, G2, G3)들끼리 서로 닿지 않을 정도의 간격을 말한다.
지지부(300)의 재료에 대해서 특별한 제한은 없으며, 상부 프레임(110) 등과 동일한 재료로 구성 될 수 있다. 이에 더하여, 지지부(300)는 탄소 섬유(carbon fieber)나 유리 섬유(glass fiber) 또는 폴리아미드 섬유(polyamide fiber)로 이루어진 복수 가닥의 섬유재를 구비하고, 그 복수 가닥으로 이루어져 공급된 각각의 섬유재의 표면에 점착되어 복수 가닥의 섬유재가 일체화된 하나의 프리프레그(prepreg) 상태로 성형시키기 위한 고분자 합성수지로 형성될 수도 있다.
또한, 섬유재에 고분자 합성수지가 점착되어 형성된 프리프레그 상태의 섬유를 일정온도가 유지되는 인발다이를 통과시켜 소정의 규격 및 형상으로 인발 및 경화시킨 후에 필요한 길이로 절단 가공된 지지부(300)의 표면에 일정 두께의 섬유재와 동일한 종류로 구성된 섬유시트재를 랩핑(wrapping)하여 이루어질 수 있다.
도 1 내지 도 2를 참조하면, 지지부(300)는 바(bar)의 형태로 도시하였지만, 이에 한정되지 않고 판 형태가 될 수 있다.
도 3은 도 2의 A부분을 확대하여 도시한 단면도이다.
지지부(300)는 제 1 지지부(310), 제 2 지지부(320)를 포함한다.
제 1 지지부(310) 및 제 2 지지부(320) 중 적어도 하나는 복수의 홈(312)을 갖는다.
도 3을 참조하면, 제 1 지지부(310)는 기판(G1, G2, G3)이 놓여지는 지지면(311) 및 복수의 홈(312)을 갖는다. 복수의 홈(312)은, 제 1 지지부(310)의 연장 방향을 따라 서로 이격되어 배치된다. 단, 홈(312) 사이의 간격이 일정해야 하는 것은 아니다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 홈(312)은 단면상으로 사각 형태로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않고 원형 등 다양한 형태로 변형될 수 있다.
한편, 제 2 지지부(320)는 기판(G1, G2, G3)을 기준으로 제 1 지지부(310)와 대칭될 수 있다.
다시 도 1 내지 도 2 를 참조하면, 돌출부(400)는 제 1 지지부(310) 및 제 2 지지부(320) 중 적어도 하나 상에 위치한다. 상세하게는, 돌출부(400)는 제 1 지지부(310) 및 제 2 지지부(320)에 형성된 홈(312) 에 삽입되어, 수용된 기판(G1, G2, G3)의 가장자리를 지지한다.
도 3을 참조하면, 돌출부(400)는 홈(312)의 깊이 이하인 높이를 갖는다. 따라서, 기판(G1, G2, G3)이 안착되어 돌출부(400)가 아래 방향으로 이동할 때, 돌출부(400)의 상부면은 제 1 지지부(310)의 지지면(311)과 수평이 될 수 있다. 돌출부(400)의 동작 과정에 대해서는 후술하기로 한다.
돌출부(400)는 기판(G1, G2, G3)을 지지 또는 고정할 수 있으며, 완충부재 등의 재료가 사용된다. 완충부재는 충격을 흡수할 수 있는 소재로 형성되며, PEEK(Polyetheretherketone) 수지, 폴리카보네이트 (polycarbonate), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethyleneterephthalate) 등 완충 역할을 하는 모든 부재를 포함한다.
도 3을 참조하면, 돌출부(400)의 상부면은 평면 형상이므로, 기판(G1, G2, G3)이 돌출부(400) 상에 안정적으로 안착될 수 있다.
탄성부재(420)는 돌출부(400)에 연결되며, 돌출부(400)를 상하로 이동시킬 수 있도록 수축/이완되는 수단이다. 본 발명의 일 실시예에 의한 탄성부재(420)는 스프링을 포함한다.
단, 도시되어 있지 않으나, 철질 재질로 이루어지는 스프링은 시간이 지남에 따라서 녹 등에 의하여 소음이 발생되므로 이를 방지할 수 있도록 홈(312)과 돌출부(400)에 각각 서로 같은 극이 대면되도록 배치되는 자석이 적용될 수 있다.
또한, 돌출부(400)를 상하이동시킬 수 있는 수단으로 탄성부재(420)가 설명되었으나, 돌출부(400)에 형성된 압력감지센서를 통하여 돌출부(400)를 상하이동시킬 수 있다.
압력감지센서는 돌출부(400)에 형성되어, 돌출부(400)에 가해지는 압력을 감지하여 수축부에 출력값을 전달한다. 이에 출력값을 전달받은 수축부는 돌출부(400)의 상부면과 제 1 지지부(310)의 지지면(311)이 수평이 될 때까지 돌출부(400)를 하강시킨다.
돌출부(400)에 연결된 수단으로 탄성부재(420) 및 압력감지센서/수축부를 설명하였으나 이에 한정되지 않고, 돌출부(400)를 상하로 이동시킬 수 있는 모든 수단을 포함한다.
보조 프레임(500)은 수직 프레임(200) 사이에서 상부 프레임(110) 및 하부 프레임(120) 중 적어도 하나에 수직으로 연결되며, 보조 지지부(600)를 고정한다.
보조 프레임(500)은 기판(G1,G2,G3)가 Y축 방향으로 삽입되거나 제거될 때, 기판(G1,G2,G3)가 기판 카세트(10)로부터 이탈하는 것을 방지하기 위해, 보조 프레임(500)은 스토퍼(stopper) 역할을 할 수 있다. 또한, 보조 프레임(500)은 다수의 스토퍼 역할을 하기 위하여, X축 또는 Y축 방향을 따라, 다수 배치될 수 있다.
보조 프레임(500)은 공지된 재료가 사용될 수 있다. 보조 프레임(500)은 알루미늄(AI), SUS(Steel Use Stainless, 스테인레스 강) 또는 탄소 섬유 복합 재료(탄소 섬유 강화 플라스틱) 등으로 구성될 수 있으며, 이러한 경우 기판 카세트(10)의 경량 및 강성이 높은 레벨로 동시에 실현될 수 있다. 다만 이에 한정되지 않고 기판(G1, G2, G3)을 적재할 수 있는 모든 재료를 포함한다.
보조 지지부(600)는 보조 프레임(500)에 소정의 간격으로 배치되며, 지지부(300)와 동일 평면상에 있다. 즉, 하부 프레임(120)을 기준으로 높이 방향으로 복수의 보조 지지부(600)가 소정의 간격을 두고 배열될 수 있다. 이 때, 소정의 간격이라 함은 적재되는 기판(G1, G2, G3)들끼리 서로 닿지 않을 정도의 간격을 말한다.
보조 지지부(600)는 기판(G1, G2, G3)의 중앙 영역을 지지할 수 있다. 보조 지지부(600)는 기판(G1, G2, G3)의 중앙 영역의 일부분을 지지할 수 있고, 기판(G1, G2, G3)의 중앙 영역의 전체를 지지할 수도 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 대한 단면도이며, 돌출부(400)의 변형 실시예이다.
본 발명의 다른 일 실시예에 관한 설명 가운데 본 발명의 일 실시예에 따른 발명과 중복되는 내용은 생략한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 돌출부(400)의 상부면은 볼록면일 수 있다. 이는 기판(G1, G2, G3) 안착시, 돌출부(400)와 기판(G1, G2, G3)의 충돌로 발생할 수 있는 기판(G1, G2, G3)의 긁힘 현상을 방지하기 위함이다.
또한, 기판(G1, G2, G3)과의 접촉 면적을 최소화할 수 있으므로, 기판(G1, G2, G3) 표면의 긁힘이나 손상을 방지할 수 있다.
도 3 내지 도 4에서 도시하는 돌출부(400)의 구조는 예시에 지나지 않을 뿐, 이에 한정되지 않고 다양한 형태로 변형될 수 있다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 카세트(10)의 사시도이다.
본 발명의 다른 실시예에 관한 설명 가운데 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 카세트(10)에 관한 설명과 중복되는 내용은 생략한다.
도 5는 다양한 크기의 기판(G1,G2,G3)를 적재한 기판 카세트(10)를 개략적으로 나타낸다. 도 5 에 도시한 기판 카세트(10)의 구조는 단지 본 발명을 예시하기 위한 것이며, 기판 카세트(10)의 구조는 다른 형태로 변형될 수 있다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 카세트(10)는 수평 프레임(100), 수평 프레임(100)에 연결된 수직 프레임(200), 수직 프레임(200)에 연결되어 기판(G1, G2, G3)을 지지하는 지지부(300), 지지부(300)에 형성된 돌출부(400), 수직 프레임(200) 사이에 연결된 보조 프레임(500), 보조 프레임(500)에 연결되어 기판(G1, G2, G3)을 지지하는 보조 지지부(600)를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 카세트(10)는 육면체 형태로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않고 기판(G1, G2, G3)을 적재할 수 있는 모든 형태를 포함한다. 또한, 수직 프레임(200) 및 수평 프레임(100)은 필요하지 않은 경우, 생략될 수 있다.
지지부(300)는 제 1 지지부(310) 및 제 2 지지부(320)를 포함하며, 제 1 지지부(310) 및 제 2 지지부(320)는 수직 프레임(200)으로부터 연장되어, 상호 대향하여 연장되어 기판(G1, G2, G3)이 가장자리를 지지한다.
제 1 지지부(310) 및 제 2 지지부(320) 중 적어도 하나는 복수의 홈(312)을 갖는다.
제 1 지지부(310)는 지지면(311) 및 복수의 홈(312)을 갖는다. 복수의 홈(312)은, 제 1 지지부(310)의 연장방향을 따라 서로 이격되어 배치된다. 단, 홈(312) 사이의 간격이 일정해야 하는 것은 아니다.
돌출부(400)는 제 1 지지부(310) 및 제 2 지지부(320) 중 적어도 하나에 위치한다.
돌출부(400)는 제 1 지지부(310) 상에 위치한다. 자세하게는, 돌출부(400)는 제 1 지지부(310)에 형성된 홈(312)에 삽입되어, 홈(312)을 따라 상하 이동되므로, 기판(G1, G2, G3)을 지지 또는 고정 할 수 있다.
돌출부(400)는 홈(312)의 깊이보다 작은 높이를 갖는다. 따라서, 기판(G1, G2, G3)이 안착되어 돌출부(400)가 아래 방향으로 이동할 때, 돌출부(400)의 상부면은 지지부(300)의 지지면(311)과 수평이 될 수 있다. 돌출부(400)의 동작 과정에 대해서는 후술하기로 한다.
돌출부(400)는 기판(G1, G2, G3)을 지지 또는 고정할 수 있으며, 완충부재 등의 재료가 사용된다
한편, 돌출부(400)는 제 2 지지부(320)상에 위치하지 않는다. 따라서, 돌출부(400) 없는 제 2 지지부(320)가 기판(G1, G2, G3)의 가장자리를 지지하게 된다.
여기서, 제 1 지지부(310)와 제 2 지지부(320)의 형상은 본 발명의 실시예에 한정되지 않고 위치가 바뀔 수 있다.
탄성부재(420)는 돌출부(400)에 연결되며, 돌출부(400)를 상하로 이동시킬 수 있도록 수축/이완되는 수단이다. 본 발명의 일 실시예에 의한 탄성부재(420)는 스프링을 포함한다.
단, 도시되어 있지 않으나, 철질 재질로 이루어지는 스프링은 시간이 지남에 따라서 녹 등에 의하여 소음이 발생되므로 이를 방지할 수 있도록 홈(312)과 돌출부(400)에 각각 서로 같은 극이 대면되도록 배치되는 자석이 적용될 수 있다.
또한, 돌출부(400)를 상하이동시킬 수 있는 수단으로 탄성부재(420)가 설명되었으나, 다른 수단으로, 돌출부(400)는 돌출부(400), 압력감지센서, 수축부를 포함할 수 있다.
단, 돌출부(400)에 연결된 수단으로 탄성부재(420), 압력감지센서/수축부를 설명하였으나 이에 한정되지 않고, 돌출부(400)에 형성된 압력감지센서를 통해 돌출부(400)를 상하이동시킬 수 있다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 카세트(10)의 사시도이다. 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 지지부(300)를 나타낸 평면도이다.
본 발명의 다른 실시예에 관한 설명 가운데 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 카세트(10)에 관한 설명과 중복되는 내용은 생략한다. 도 6 에 도시한 기판 카세트(10)의 구조는 단지 본 발명을 예시하기 위한 것이며, 기판 카세트(10)의 구조는 다른 형태로 변형될 수 있다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 카세트(10)는 수평 프레임(100), 수평 프레임(100)에 연결된 수직 프레임(200), 수직 프레임(200)에 연결되어 기판(G1, G2, G3)을 지지하는 지지부(300), 지지부(300)에 형성된 돌출부(400), 수직 프레임(200) 사이에서 수평 프레임(100)과 연결된 보조 프레임(500), 보조 프레임(500)에 연결되어 기판(G1, G2, G3)을 지지하는 보조 지지부(600)를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 카세트(10)는 육면체 형태로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않고 기판(G1, G2, G3)을 적재할 수 있는 모든 형태를 포함한다. 또한, 수직 프레임(200) 및 수평 프레임(100)은 필요하지 않은 범위 내에서 생략될 수 있다.
지지부(300)는 제 1 지지부(310) 및 제 2 지지부(320)를 포함하며, 제 1 지지부(310) 및 제 2 지지부(320)는 수직 프레임(200)으로부터 연장되어, 상호 대향되는 방향으로 연장되어 기판(G1, G2, G3)이 가장자리를 지지한다.
지지부(300)는 수직 프레임(200)을 복수 개의 층으로 구분할 수 있도록, 수직 프레임(200)에 하나 이상 배치된다. 즉, 수직 프레임(200)의 높이 방향으로 복수의 지지부(300)가 소정의 간격을 두고 배열될 수 있다. 이때, 소정의 간격이라 함은 적재되는 기판(G1, G2, G3)들끼리 서로 닿지 않을 정도의 간격을 말한다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 제 1 지지부(310)의 평면도이다.
제 1 지지부(310)는 기판(G1, G2, G3)이 놓여지는 지지면(311) 및 복수의 홈(312)을 갖는다. 복수의 홈(312)은, 제 1 지지부(310)의 연장방향을 따라 서로 이격되어 배치된다.
또한, 복수의 홈(312)은, 평면상으로 제 1 지지부(310)의 연장방향과 수직하는 방향을 따라 배치되므로 복수의 홈(312)은 평면상으로 볼 때, 바둑판식 배열을 갖는다.
단, 홈(312) 사이의 간격이 일정해야 하는 것은 아니다.
한편, 제 2 지지부(320)는 기판(G1, G2, G3)을 기준으로 제 1 지지부(310)와 대칭될 수 있다.
돌출부(400)는 제 1 지지부(310) 및 제 2 지지부(320) 상에 위치한다. 상세하게는, 돌출부(400)는 제 1 지지부 및 제 2 지지부(310,320)에 형성된 홈(312) 에 삽입되어, 수용된 기판(G1, G2, G3)의 가장자리를 지지한다.
도 7을 참조하면, 평면상으로 돌출부(400)는 지지면(311)에 바둑판식 배열을 하고 있어, 기판(G1, G2, G3)에 접촉하는 면적이 많아 기판(G1, G2, G3)을 더 안정적으로 지지할 수 있다.
돌출부(400)는 홈(312)의 깊이보다 작은 높이를 갖는다. 따라서, 기판(G1, G2, G3)이 안착되어 돌출부(400)가 아래 방향으로 이동할 때, 돌출부(400)의 상부면은 지지부(300)의 지지면(311)과 수평이 될 수 있다. 돌출부(400)의 동작 과정에 대해서는 후술하기로 한다.
돌출부(400)는 기판(G1, G2, G3)을 지지 또는 고정할 수 있으며, 완충부재 등의 재료가 사용된다.
탄성부재(420)는 돌출부(400)에 연결되며, 돌출부(400)를 상하로 이동시킬 수 있도록 수축/이완되는 수단이다. 본 발명의 일 실시예에 의한 탄성부재(420)는 스프링을 포함한다.
단, 도시되어 있지 않으나, 철질 재질로 이루어지는 스프링은 시간이 지남에 따라서 녹 등에 의하여 소음이 발생되므로 이를 방지할 수 있도록 홈(312)과 돌출부(400)에 각각 서로 같은 극이 대면되도록 배치되는 자석이 적용될 수 있다.
또한, 돌출부(400)를 상하이동시킬 수 있는 수단으로 탄성부재(420)가 설명되었으나, 이에 한정되지 않고, 돌출부(400)에 형성된 압력감지센서를 통해 돌출부(400)를 상하이동시킬 수 있다.
단, 돌출부(400)에 연결된 수단으로 탄성부재(420), 압력감지센서/수축부를 설명하였으나 이에 한정되지 않고, 돌출부(400)를 상하로 이동시킬 수 있는 모든 수단을 포함한다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 카세트(10)에 있어, 기판(G1, G2, G3)을 안착시킬 때 작용을 설명한다.
도 8은 도 2의 B부분을 확대하여 도시한 단면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 카세트(10)에 있어서, 기판(G1, G2, G3)이 안착된 상태를 나타낸 상기 도 2의 B의 확대 단면도이다.
도 1 및 도 2 와 동일 또는 유사한 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고 이에 대한 반복적인 설명은 생략한다.
기판(G1, G2, G3)이 안착될 때, 기판(G1, G2, G3)의 중앙 영역은 보조 지지부(600)가 지지하며, 기판(G1, G2, G3)의 가장자리 영역은 지지부(300) 및 돌출부(400)에 의해 지지된다.
도 8을 참조하면, 돌출부(400)는 기판(G1)을 지지하는 돌출부(400)와 기판(G1)을 고정하는 돌출부(400)로 나뉠 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의한 기판 카세트(10)에서, 기판(G1, G2, G3)을 지지하는 돌출부(400)는 기판(G1, G2, G3)의 아래에서 기판(G1, G2, G3)을 지지한다. 기판(G1, G2, G3)이 기판 카세트(10)에 안착될 때, 탄성부재(420)는 기판(G1, G2, G3)의 무게에 의해 수축되며, 돌출부(400)는 홈(312)을 따라 아래 방향으로 이동된다.
이 때, 기판(G1, G2, G3)을 지지하는 돌출부(400)의 상부면은 지지부(300)의 상면과 수평이 될 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 의한 기판 카세트(10)에서, 기판(G1, G2, G3)을 고정하는 돌출부(400)는, 기판(G1, G2, G3)의 무게를 받지 않으므로 아래 방향으로 이동되지 않는다. 즉, 돌출부(400)는 지지면(311)으로부터 돌출된 상태이므로 기판(G1, G2, G3)을 측면에서 고정할 수 있다.
한편, 지지부(300) 및 돌출부(400)에 안착된 기판(G1, G2, G3)이 제거되면 돌출부(400)는 도 3에 도시된 것과 같이 다시 복원된다.
기판(G1, G2, G3)의 크기에 따라 돌출부(400)의 역할이 고정 또는 지지로 바뀌어 기판(G1, G2, G3)을 안정적으로 안착시킬 수 있으므로, 기판 카세트(10)는 다양한 크기의 기판(G1, G2, G3)을 수용할 수 있다.
10: 기판 카세트, 300: 지지부,
400: 돌출부, 420: 탄성부재

Claims (17)

  1. 기판이 놓여지는 지지면 및 복수의 홈을 갖는 지지부; 및
    상기 지지부 상에 위치하는 돌출부; 를 포함하며,
    상기 돌출부는 상기 홈을 따라 상하 이동되는 기판 카세트.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 돌출부는 상기 홈에 삽입된 기판 카세트.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 돌출부는 상기 홈의 깊이 이하인 높이를 갖는 기판 카세트.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 기판이 상기 돌출부 상에 안착될 때,
    상기 돌출부는 상기 홈에 삽입되는 기판 카세트
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 돌출부에 연결된 탄성부재를 더 포함하는 기판 카세트.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 돌출부에 연결된 압력 감지 센서를 더 포함하는 기판 카세트.
  7. 수평 프레임;
    상기 수평 프레임에 연결된 수직 프레임;
    상기 수직 프레임에 연결되고, 상호 대향하여 연장된 제 1 지지부 및 제 2 지지부를 포함하는 지지부; 및
    상기 제 1 지지부 및 제 2 지지부 중 적어도 하나에 위치하는 돌출부; 를 포함하고,
    상기 제 1 지지부 및 제 2 지지부 중 적어도 하나는 상기 돌출부에 대응하여 복수의 홈을 갖고,
    상기 돌출부는 상기 홈을 따라 상하 이동되는 기판 카세트.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 돌출부는 상기 홈에 삽입된 기판 카세트.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 돌출부는 상기 홈의 깊이 이하인 높이를 갖는 기판 카세트.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 기판이 상기 돌출부 상에 안착될 때,
    상기 돌출부는 상기 홈에 삽입되는 기판 카세트
  11. 제 7 항에 있어서,
    상기 복수의 홈은,
    상기 지지부의 연장방향을 따라 배치된 기판 카세트.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 복수의 홈은,
    상기 지지부의 연장방향과 평면상으로 수직한 방향을 따라 배치된 기판 카세트.
  13. 제 7 항에 있어서,
    상기 돌출부에 연결된 탄성부재를 더 포함하는 기판 카세트.
  14. 제 7 항에 있어서,
    상기 돌출부에 연결된 압력 감지 센서를 더 포함하는 기판 카세트.
  15. 제 7 항에 있어서,
    상기 수직 프레임 사이에서 상기 수평 프레임 및 상기 수직 프레임 중 적어도 하나와 연결되는 보조 프레임을 더 포함하는 카세트.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 보조 프레임에 연결되며, 상기 복수의 지지부와 동일 평면상에 배치된복수의 보조 지지부를 더 포함하는 카세트.
  17. 제 7 항에 있어서,
    상기 수평 프레임은, 상기 수직 프레임의 위치를 변경할 수 있는 체결구를 갖는 카세트.
KR1020150151005A 2015-10-29 2015-10-29 기판 카세트 KR20170051587A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150151005A KR20170051587A (ko) 2015-10-29 2015-10-29 기판 카세트

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150151005A KR20170051587A (ko) 2015-10-29 2015-10-29 기판 카세트

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20170051587A true KR20170051587A (ko) 2017-05-12

Family

ID=58740025

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150151005A KR20170051587A (ko) 2015-10-29 2015-10-29 기판 카세트

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20170051587A (ko)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20060226093A1 (en) Glass cassette for loading glass substrates of display panels
JP5336157B2 (ja) 板状物品搬送用トレイ
US9376251B2 (en) Substrate storage container
US9329419B2 (en) Image display apparatus
US9758298B2 (en) Packing box for liquid crystal glass panel
US10065793B2 (en) Packaging structure and packaging method for display panel
JP2006168749A (ja) ガラス搬送用枠体
US20200122913A1 (en) Tray for carrying display panel
US20160216729A1 (en) Display device
JPWO2010038553A1 (ja) 基板収納トレイ
JP5186340B2 (ja) 板材搬送用トレイの緩衝部材、およびその緩衝部材が取付けられた板材搬送用トレイ
JP4893579B2 (ja) 板状物用トレイと板状物の積層方法
KR102304976B1 (ko) 기판 카세트
JP2011042384A (ja) 搬送トレイ
KR20170051587A (ko) 기판 카세트
JP5145203B2 (ja) 板状物品搬送用トレイ
JP5357261B2 (ja) 収納トレイ
JP2014072274A (ja) 基板保持部材
US9557592B2 (en) Display device having a display panel
JP4675601B2 (ja) 大型精密シート状製品および半製品用密封容器
KR20080049257A (ko) 평판표시패널용 글라스 카세트
JP2016013874A (ja) 基板用トレイ
KR102519862B1 (ko) 광학시트 및 이를 갖는 디스플레이 장치
JP5665526B2 (ja) 被運搬板状物品の搬送用トレイ
TWI448409B (zh) 承載盤