CN202956584U

CN202956584U - 光罩定位结构及光罩盒

Info

Publication number: CN202956584U
Application number: CN 201220674128
Authority: CN
Inventors: 王猛
Original assignee: Semiconductor Manufacturing International Beijing Corp
Current assignee: Semiconductor Manufacturing International Beijing Corp
Priority date: 2012-12-07
Filing date: 2012-12-07
Publication date: 2013-05-29
Anticipated expiration: 2022-12-07

Abstract

本实用新型公开了一种光罩定位结构，用于防止位于光罩盒内的光罩发生位移，包括三个以上受压变形后能够挤压光罩侧壁的弹性定位件，所述三个以上弹性定位件环绕设置于所述光罩的四周。本实用新型还公开了一种光罩盒，包括由底板和侧板围成的一端具有开口的盒体、用于封住所述开口的封盖、以及用于支撑光罩的光罩支撑架，所述光罩盒还包括如上所述的光罩定位结构，所述弹性定位件放松状态时的高度大于所述封盖封住所述开口时封盖的内表面至所述底板的内表面之间的距离。通过采用三个以上受压后能够向侧向变形的弹性定位件，能够稳固地夹持住光罩的侧壁，达到光罩精确定位的目的，避免了光罩出现滑动和震动现象，无摩擦现象，避免产生微尘。

Description

光罩定位结构及光罩盒

技术领域

本实用新型半导体制造领域，尤其涉及一种光罩定位结构及光罩盒。

背景技术

在光刻工艺中，光罩是半导体光刻机所用图形掩模板，作为光刻图形掩模板要求极高，环境要求无尘等级较高。请参阅图1，图1所示为现有的光罩盒的结构示意图，由图1可见，现有的光罩盒包括由底板11和侧板12围成的一端具有开口的盒体、用于封住所述开口的封盖（未图示）、以及用于支撑光罩10的光罩支撑架13，采用固定设置的竖向挡板14对光罩10进行限位，由于制造和安装的精度问题，竖向挡板14和光罩10之间往往会出现间隙，由于该间隙的存在，在搬运光罩盒的过程中，其内的光罩10容易出现水平滑动和上下震动，产生位置偏移，位置偏离可能会造成以下后果：

(1)、摩擦产生微尘，产生光罩污染，引起产品返工或报废；

(2)、光罩震动，具有损害保护膜的风险。所述保护膜是指用于保护光罩底面的图形的一层薄膜，其极易损坏。一旦保护膜损害，光罩就非常容易受到损害，而光罩的损害对于光刻生产流程产生很大影响，甚至产生产品停线的风险；

(3)、机器传送手臂报警或部件损坏，甚至光罩掉落损坏，有可能引起产品停线，这对于半导体生产来说也是极大的风险。

因此，如何提供一种能够稳固地夹持住光罩，达到使光罩精确定位的目的，避免光罩出现滑动、震动或摩擦现象，能避免产生微尘的光罩定位结构及光罩盒是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光罩定位结构及光罩盒，通过采用三个以上受压后能够向侧向变形的弹性定位件，能够稳固地夹持住光罩的侧壁，达到使光罩精确定位的目的，避免了光罩出现滑动和震动，无摩擦现象，防止产生微尘。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种光罩定位结构，用于防止位于光罩盒内的光罩发生位移，包括三个以上受压变形后能够挤压光罩侧壁的弹性定位件，所述三个以上弹性定位件环绕设置于所述光罩的四周。

优选的，在上述的光罩定位结构中，所述弹性定位件包括弹性八面体。

优选的，在上述的光罩定位结构中，所述弹性定位件还包括弹簧轴、弹簧和压板，所述弹簧轴沿所述弹性八面体的竖向轴线设置，所述弹簧绕设于所述弹簧轴的外侧，所述弹簧轴的上端伸出所述弹性八面体后与所述压板固定连接。

优选的，在上述的光罩定位结构中，所述弹性定位件均匀环绕设置于所述光罩的四周。

优选的，在上述的光罩定位结构中，所述弹性定位件的数量是3~8个。

本实用新型还公开了一种光罩盒，包括由底板和侧板围成的一端具有开口的盒体、用于封住所述开口的封盖、以及用于支撑光罩的光罩支撑架，还包括如上所述的光罩定位结构，所述弹性定位件放松状态时的高度大于所述封盖封住所述开口时封盖的内表面至所述底板的内表面之间的距离。

优选的，在上述的光罩盒中，所述弹性定位件包括弹性八面体。

优选的，在上述的光罩盒中，所述弹性定位件还包括弹簧轴、弹簧和压板，所述弹簧轴沿所述弹性八面体的竖向轴线设置，所述弹簧绕设于所述弹簧轴的外侧，所述弹簧轴的上端伸出所述弹性八面体后与所述压板固定连接，弹簧放松状态时所述压板的上表面至所述底板的内表面之间的距离大于所述封盖封住所述开口时封盖的内表面至所述底板的内表面之间的距离。

优选的，在上述的光罩盒中，所述弹性定位件均匀环绕设置于所述光罩的四周。

优选的，在上述的光罩盒中，所述弹性定位件的数量是3~8个。

本实用新型提供的光罩定位结构及光罩盒，结构简单，使用方便，通过将光罩的定位结构由原先的固定设置的垂向定位板改成弹性定位件，三个以上弹性定位件受压后能够向侧向变形，从而，稳固地夹持住光罩的侧壁；一方面，能够达到光罩精确定位的目的；另一方面，避免了光罩出现滑动和震动现象，再一方面，弹性定位件垂直接触光罩的侧面，无摩擦现象，避免产生微尘，从而有效保护光罩，降低光罩盒和设备运行风险，提高生产效率。

附图说明

本实用新型的光罩定位结构及光罩盒由以下的实施例及附图给出。

图1为现有的光罩定位结构及光罩盒的结构示意图。

图2为本实用新型一实施例的采用一种形式的弹性定位件的光罩盒的结构示意图。

图3为本实用新型一实施例的采用另一种形式的弹性定位件的光罩盒的结构示意图。

图中，10、20-光罩，11、21-底板、12、22-侧板、13、23-光罩支撑架、14-竖向挡板、24-弹性定位件、241-弹性八面体、242-弹簧轴、243-弹簧、244-压板。

具体实施方式

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有益效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

实施例一

请参阅图2，这种光罩定位结构，用于防止位于光罩盒内的光罩20发生位移，包括三个以上受压变形后能够挤压光罩20的侧壁的弹性定位件24，所述三个以上弹性定位件24环绕设置于所述光罩20的四周，也就是说，当三个以上弹性定位件受压时，能够发生变形从而对光罩20的侧壁进行挤压，实现对光罩20的稳固定位，一方面，能够达到光罩20精确定位的目的；另一方面，避免了光罩20出现滑动和震动现象；再一方面，弹性定位件24垂直接触光罩20的侧面，无摩擦现象，避免产生微尘，从而有效保护光罩20，降低光罩盒和设备运行风险，提高生产效率。

优选的，在上述的光罩定位结构中，所述弹性定位件24包括弹性八面体241、弹簧轴242、弹簧243和压板244，所述弹簧轴242沿所述弹性八面体241的竖向轴线设置，所述弹簧243绕设于所述弹簧轴242的外侧，所述弹簧轴242的上端伸出所述弹性八面体241后与所述压板244固定连接。当然，所述弹性定位件仅仅采用弹性八面体241也可以实现变形挤压的功能，如图3所示。

优选的，在上述的光罩定位结构中，所述弹性定位件24均匀环绕设置于所述光罩20的四周，从而可以使得光罩20均匀受到弹性定位件的夹持作用力。

优选的，所述弹性定位件24的数量可以是3~8个。本实施例中，所述弹性定位件的数量是4个。

实施例二

请继续参阅2，本实施例提供了一种光罩盒，包括由底板21和侧板22围成的一端具有开口的盒体、用于封住所述开口的封盖（未图示）、以及用于支撑光罩的光罩支撑架23，还包括实施例一所述的光罩定位结构，其中，所述弹性定位件24放松状态时的高度大于所述封盖封住所述开口时封盖的内表面至所述底板21的内表面之间的距离。

优选的，在上述的光罩定位结构中，所述弹性定位件24包括弹性八面体241、弹簧轴242、弹簧243和压板244，所述弹簧轴242沿所述弹性八面体241的竖向轴线设置，所述弹簧243绕设于所述弹簧轴242的外侧，所述弹簧轴242的上端伸出所述弹性八面体241后与所述压板244固定连接，弹簧243放松状态时所述压板244的上表面至所述底板21的内表面之间的距离大于所述封盖封住所述开口时封盖的内表面至所述底板21的内表面之间的距离。当然，所述弹性定位件仅仅采用弹性八面体241也可以实现变形挤压的功能，如图3所示。

优选的，在上述的光罩盒中，所述侧板22的横截面是圆形的，从而可以减小光罩盒的外径以及材料的使用量，达到节能的目的。

优选的，在上述的光罩盒中，所述光罩支撑架23为环状体结构，所述光罩支撑架23的结构与被支撑对象（即光罩20）的形状相对应，起到稳固支撑的作用。

综上所述，本实用新型提供的光罩定位结构及光罩盒，结构简单，使用方便，通过将光罩的定位结构由原先的固定设置的垂向定位板改成弹性定位件，三个以上弹性定位件受压后能够向侧向变形，从而，稳固地夹持住光罩的侧壁，一方面，能够达到光罩精确定位的目的；另一方面，避免了光罩出现滑动和震动现象；再一方面，弹性定位件垂直接触光罩的侧面，无摩擦现象，避免产生微尘，从而有效保护光罩，降低光罩盒和设备运行风险，提高生产效率。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims

1.一种光罩定位结构，用于防止位于光罩盒内的光罩发生位移，其特征在于：包括三个以上受压变形后能够挤压光罩侧壁的弹性定位件，所述三个以上弹性定位件环绕设置于所述光罩的四周。

2.根据权利要求1所述的光罩定位结构，其特征在于，所述弹性定位件包括弹性八面体。

3.根据权利要求2所述的光罩定位结构，其特征在于，所述弹性定位件还包括弹簧轴、弹簧和压板，所述弹簧轴沿所述弹性八面体的竖向轴线设置，所述弹簧绕设于所述弹簧轴的外侧，所述弹簧轴的上端伸出所述弹性八面体后与所述压板固定连接。

4.根据权利要求1所述的光罩定位结构，其特征在于，所述弹性定位件均匀环绕设置于所述光罩的四周。

5.根据权利要求4所述的光罩定位结构，其特征在于，所述弹性定位件的数量是3~8个。

6.一种光罩盒，包括由底板和侧板围成的一端具有开口的盒体、用于封住所述开口的封盖、以及用于支撑光罩的光罩支撑架，其特征在于，还包括如权利要求1所述的光罩定位结构，所述弹性定位件放松状态时的高度大于所述封盖封住所述开口时封盖的内表面至所述底板的内表面之间的距离。

7.根据权利要求6所述的光罩盒，其特征在于，所述弹性定位件包括弹性八面体。

8.根据权利要求7所述的光罩盒，其特征在于，所述弹性定位件还包括弹簧轴、弹簧和压板，所述弹簧轴沿所述弹性八面体的竖向轴线设置，所述弹簧绕设于所述弹簧轴的外侧，所述弹簧轴的上端伸出所述弹性八面体后与所述压板固定连接，弹簧放松状态时所述压板的上表面至所述底板的内表面之间的距离大于所述封盖封住所述开口时封盖的内表面至所述底板的内表面之间的距离。

9.根据权利要求6所述的光罩盒，其特征在于，所述弹性定位件均匀环绕设置于所述光罩的四周。

10.根据权利要求9所述的光罩盒，其特征在于，所述弹性定位件的数量是3~8个。