CN108107672A - 一种掩模版版盒 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种掩模版版盒，包括底板、设于所述底板上方的中框和设于所述中框上方的顶盖，所述底板、中框和顶盖围成具有一开口的容纳腔，所述开口处设有门板，所述底板上设有若干掩模版支座，所述掩模版支座与所述中框之间设有空隙，所述中框的纵截面为H型结构，所述H型结构的横档以及位于内侧的第一竖边的下表面与所述底板之间设有空隙。通过在掩模版支座与中框之间设置空隙，使版盒可同时适应于真空吸附式版叉和物理夹持式版叉取版，同时将中框的纵截面设置为H型结构，且H型结构的横档以及第一竖边的下表面与底板之间设置空隙，使版盒可同时适应于无掩模版保护的版叉和自带掩模版保护的版叉取版，大大提高了兼容性。

Description

一种掩模版版盒
技术领域
本发明涉及半导体制造领域，具体涉及一种掩模版版盒。
背景技术
在半导体领域通常使用版盒来存储与保护掩模版，目前常用的6寸掩模版版盒类型有NIKON(尼康)版盒、CANON(佳能)版盒和SMIF(标准机械接口)版盒三种。在实际生产过程中，掩模版的取放通过掩膜传输机械手版叉实现。受版盒结构的限制，特别是NIKON版盒，取放机械手版叉均采用真空吸附方式固定掩模版，而且取放机械手版叉上没有掩模版保护结构，因此在实际使用过程中，采用真空吸附方式固定掩模版存在可靠性不高，物料安全无法保障的问题。除此之外，在取放机械手版叉带版运动过程中，也存在撞版的可能性，严重危及物料安全。
发明内容
本发明提供了一种掩模版版盒，以解决现有技术中存在的物料安全无法保障的问题。
为了解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种掩模版版盒，包括底板、设于所述底板上方的中框和设于所述中框上方的顶盖，所述底板、中框和顶盖围成具有一开口的容纳腔，所述开口的一侧设有门板，所述底板上设有若干掩模版支座，所述掩模版支座与所述中框之间设有空隙，所述中框的纵截面为H型结构，所述H型结构的横档以及位于内侧的第一竖边的下表面与所述底板之间设有空隙。
进一步的，所述H型结构的横档与顶盖之间设有空隙。
进一步的，所述底板上设有若干底板安装柱，所述底板安装柱的位置与所述H型结构位于外侧的第二竖边对应。
进一步的，所述H型结构的第一竖边的底部与掩模版上表面的距离作为掩模版与版盒之间的定位基准。
进一步的，所述门板上还设有条码扫描区。
进一步的，所述中框包括相对设置的左、右侧面和两端分别连接所述左、右侧面的后侧面，所述左、右侧面上分别设有顶盖锁紧件。
进一步的，所述掩模版支座包括两个靠近所述开口一侧的第一支座和远离所述开口一侧的第二支座。
进一步的，两个所述第一支座与所述中框左、右侧面之间的最小距离相同。
进一步的，两个所述第二支座与所述中框的后侧面之间的距离相同。
进一步的，所述第二支座的掩模版定位面与所述中框的后侧面之间的距离大于取放掩模版时掩模版版叉的掩模版定位面与所述中框的后侧面之间的距离。
进一步的，所述第二支座的侧面与所述掩模版版叉的侧面之间的最小距离大于2mm。
进一步的，所述H型结构的第一竖边的底部与掩模版下表面的距离大于3mm，且小于所述掩模版的厚度。
进一步的，所述顶盖与所述中框后侧面的顶部活动连接。
进一步的，所述顶盖与所述门板之间活动连接。
进一步的，所述顶盖上表面设有标识区域。
本发明提供的掩模版版盒，包括底板、设于所述底板上方的中框和设于所述中框上方的顶盖，所述底板、中框和顶盖围成具有一开口的容纳腔，所述开口处设有门板，所述底板上设有若干掩模版支座，所述掩模版支座与所述中框之间设有空隙，所述中框的纵截面为H型结构，所述H型结构的横档以及位于内侧的第一竖边的下表面与所述底板之间设有空隙。通过底板、中框和顶盖围成具有一开口的容纳腔用于存储掩模版和版叉取放掩模版，在底板上设置若干掩模版支座对掩模版进行支撑，并在掩模版支座与中框之间设置空隙，使版盒可同时适应于真空吸附式版叉和物理夹持式版叉取版，同时将中框的纵截面设置为H型结构，且H型结构的横档以及第一竖边的下表面与底板之间设置空隙，使版盒可同时适应于无掩模版保护的版叉和自带掩模版保护的版叉取版，大大提高了兼容性。
附图说明
图1是本发明掩模版版盒的结构示意图；
图2是本发明掩模版版盒的爆炸图；
图3是本发明第一支座和第二支座的布置图；
图4是本发明中框的结构示意图；
图5是本发明中框的剖视尺寸图。
图中所示：1、底板；11、底板安装柱；2、中框；21、横档；22、第一竖边；23、第二竖边；24、左侧面；25、右侧面；26、后侧面；27、顶盖锁紧件；3、顶盖；4、门板；41、条码扫描区；51、第一支座；52、第二支座；6、标识区域；7、掩模版；8、弹簧组件。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作详细描述：
如图1-5所示，本发明提供了一种掩模版版盒，包括底板1、设于所述底板1上方的中框2和设于所述中框2上方的顶盖3，所述底板1、中框2和顶盖3围成具有一侧开口的容纳腔，用于存储掩模版7，掩模版7的尺寸可以是5寸或6寸，容纳腔的大小与掩模版7的尺寸相适配，所述开口的一侧设有门板4，所述底板1上设有若干掩模版支座，所述掩模版支座与所述中框2之间设有空隙，使版盒可同时适应于真空吸附式版叉和物理夹持式版叉取版；所述中框2的纵截面为H型结构，所述H型结构的横档21以及位于内侧的第一竖边22的下表面与所述底板1之间设有空隙，用于提供具有自带掩模版保护的版叉中的版叉保护部的活动空间，可同时适应于无掩模版保护的版叉和自带掩模版保护的版叉取版。
优选的，所述H型结构的横档21与顶盖3之间设有空隙，用于保证弹簧组件8的活动空间，弹簧组件8设于顶盖3与底板1之间，所述弹簧组件8为倒L型结构，横边活动设于顶盖3的左、右侧，下端与掩模版7对应，用于压紧掩模版7。
优选的，所述底板1上设有若干底板安装柱11，所述底板安装柱11的位置与所述H型结构位于外侧的第二竖边23对应，相比现有技术，将底板安装柱11的位置由中间移动至边缘，给版叉伸入伸出时提供足够的空间。
优选的，所述H型结构内侧的第一竖边22的下表面与掩模版7上表面的距离作为掩模版7与版盒之间的定位基准。
如图5所示，本实施例中横档21与顶盖3之间的距离为d1＝12mm，横档21的下表面与底板1之间的距离为d2，优选为17mm，以保证具有掩模版保护的版叉取放版高位到低位的活动空间，掩模版7的支撑高度为d8，优选为10mm，以保证版叉取放版工位的厚度和取放版低位版叉下表面的活动空间，第一竖边22的下表面与掩模版7上表面的距离为d3，优选为11mm，作为掩模版7与版盒之间的定位基准，第一竖边22的下表面与掩模版7下表面的距离为d4>3mm，且小于所述掩模版7的厚度，作为版叉取放版高位和取放版余量空间。
优选的，所述门板4上还设有条码扫描区41，便于物料监控和管理。
优选的，所述中框2包括相对设置的左、右侧面24、25和两端分别连接所述左、右侧面24、25的后侧面26，所述左、右侧面24、25上分别设有顶盖锁紧件27，用于对顶盖3进行锁紧。
如图3所示，所述掩模版支座包括两个靠近所述开口一侧的第一支座51和远离所述开口一侧的第二支座52。优选的，两个所述第一支座51与所述中框2左、右侧面24、25之间的最小距离相同，即左侧的第一支座51与左侧面24之间的距离d3与右侧的第一支座51与右侧面25之间的距离d5相同。优选的，两个所述第二支座52与所述中框2的后侧面26之间的距离相同。
优选的，所述第二支座52的掩模版定位面与所述中框的后侧面26之间的距离大于取放掩模版7时掩模版版叉的掩模版定位面与所述中框2的后侧面26之间的距离。图4中第二支座52的定位面与所述中框的后侧面26之间的距离为a1＝12mm，版叉取放版伸入最远位置时掩模版7的定位面距中框2的后侧面26之间的距离为a3＝11mm，本实施例中a3-a1＝1mm。第二支座52侧面距离中框2左侧面24的距离为a2，要求该距离能使版叉取放版伸入伸出版盒时，掩模版版叉侧面距离后第二支座52侧面的距离为a4＞2mm，本实施例中a4＝14.5mm。
优选的，所述顶盖3上表面设有标识区域6，即logo区域，降低了操作人员版盒混用的风险。
请重点参照图2，所述顶盖3与所述中框2后侧面26的顶部活动连接，所述顶盖3与所述门板4之间活动连接，顶盖3可绕中框2转动，从而实现顶盖3的打开和关闭，门板4也可绕顶盖3转动，以实现门板4的打开或关闭，从而便于掩模版7的取放。
综上所述，本发明提供的掩模版版盒，包括底板1、设于所述底板1上方的中框2和设于所述中框2上方的顶盖3，所述底板1、中框2和顶盖3围成具有一开口的容纳腔，所述开口处设有门板4，所述底板1上设有若干掩模版支座，所述掩模版支座与所述中框2之间设有空隙，所述中框2的纵截面为H型结构，所述H型结构的横档21以及位于内侧的第一竖边22的下表面与所述底板1之间设有空隙。通过底板1、中框2和顶盖3围成具有开口的容纳腔，用于存储掩模版7和版叉取放掩模版7，在底板1上设置若干掩模版支座对掩模版7进行支撑，并在掩模版支座与中框2之间设置空隙，使版盒可同时适应于真空吸附式版叉和物理夹持式版叉取版，同时将中框2的纵截面设置为H型结构，且H型结构的横档21以及第一竖边22的下表面与底板1之间设置空隙，使版盒可同时适应于无掩模版保护的版叉和自带掩模版保护的版叉取版，大大提高了兼容性。
虽然说明书中对本发明的实施方式进行了说明，但这些实施方式只是作为提示，不应限定本发明的保护范围。在不脱离本发明宗旨的范围内进行各种省略、置换和变更均应包含在本发明的保护范围内。

Claims (15)

1.一种掩模版版盒，其特征在于，包括底板、设于所述底板上方的中框和设于所述中框上方的顶盖，所述底板、中框和顶盖围成具有一开口的容纳腔，所述开口的一侧设有门板，所述底板上设有若干掩模版支座，所述掩模版支座与所述中框之间设有空隙，所述中框的纵截面为H型结构，所述H型结构的横档以及位于内侧的第一竖边的下表面与所述底板之间设有空隙。
2.根据权利要求1所述的掩模版版盒，其特征在于，所述H型结构的横档与顶盖之间设有空隙。
3.根据权利要求1所述的掩模版版盒，其特征在于，所述底板上设有若干底板安装柱，所述底板安装柱的位置与所述H型结构位于外侧的第二竖边对应。
4.根据权利要求1所述的掩模版版盒，其特征在于，所述H型结构的第一竖边的底部与掩模版上表面的距离作为掩模版与版盒之间的定位基准。
5.根据权利要求4所述的掩模版版盒，其特征在于，所述H型结构的第一竖边的底部与掩模版下表面的距离大于3mm，且小于所述掩模版的厚度。
6.根据权利要求1所述的掩模版版盒，其特征在于，所述门板上还设有条码扫描区。
7.根据权利要求1所述的掩模版版盒，其特征在于，所述中框包括相对设置的左、右侧面和两端分别连接所述左、右侧面的后侧面，所述左、右侧面上分别设有顶盖锁紧件。
8.根据权利要求7所述的掩模版版盒，其特征在于，所述掩模版支座包括两个靠近所述开口一侧的第一支座和远离所述开口一侧的第二支座。
9.根据权利要求8所述的掩模版版盒，其特征在于，两个所述第一支座与所述中框左、右侧面之间的最小距离相同。
10.根据权利要求8所述的掩模版版盒，其特征在于，两个所述第二支座与所述中框的后侧面之间的距离相同。
11.根据权利要求8所述的掩模版版盒，其特征在于，所述第二支座的掩模版定位面与所述中框的后侧面之间的距离大于取放掩模版时掩模版版叉的掩模版定位面与所述中框的后侧面之间的距离。
12.根据权利要求8所述的掩模版版盒，其特征在于，所述第二支座的侧面与所述掩模版版叉的侧面之间的最小距离大于2mm。
13.根据权利要求7所述的掩模版版盒，其特征在于，所述顶盖与所述中框后侧面的顶部活动连接。
14.根据权利要求1所述的掩模版版盒，其特征在于，所述顶盖与所述门板之间活动连接。
15.根据权利要求1所述的掩模版版盒，其特征在于，所述顶盖上表面设有标识区域。
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