CN217806393U - 一种平面靶材的防护装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于金属靶材包装领域，公开了一种平面靶材的防护装置，包括载体和盖体，所述载体内设有靶材容纳腔，所述靶材容纳腔的四周设有至少一对相对布置的凹部，所述凹部为可供人手伸入的凹部，所述载体为在具有外部冲击时具有缓冲作用的材质制成的载体。该装置采用具有缓冲作用的材质制成的载体，其容纳位置设置凹部，方便人手深入，且不会降低固定稳定性，有效的提高了操作便捷性。

Description

一种平面靶材的防护装置

技术领域

本实用新型涉及金属靶材包装领域，具体为一种平面靶材的防护装置。

背景技术

目前，溅射靶材应用广泛，包括电子及信息产业和玻璃镀膜等领域。溅射靶材的要求较传统材料行业高，因此不仅在生产过程需要格外细心，在运输过程为了防止靶材被损坏，更是需要用心保护。在半导体制造溅射靶材的包装领域中，现有的溅射靶材外包装一般采用木箱或者金属制箱体。但是两种材料所制成的外箱其一成本较高，不适合企业的成本控制；其二，箱体自身质量较大，靶材的搬运增加一丝难度。

为了解决该问题，CN201320096627.2公开了一种高密度靶材包装装置。高密度靶材包装装置，包括盒体和盒盖，所述盒体的内底面和四个内侧面均设置有珍珠棉，所述盒盖的下面设置有珍珠棉。由于包装盒体底部和包装盒体内框都是用平整的珍珠棉做成的，当ITO块靶放入珍珠棉包装盒内后，在运输过程中，即便发生碰撞，由于珍珠棉具有较好的弹性及抗挤压缓冲性能，能对ITO高密度块靶起到很好的保护作用，能有效降低ITO块靶在运输中损坏的概率。

但是在实际使用中发现，要实现靶材的稳定固定，需要人小心翼翼的将其放到盒体里面，但是操作难度极大。

所以，本实用新型所要解决的问题在于：如何降低工人将靶材放到/取出靶材包装材料中的难度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种平面靶材的防护装置，该装置采用具有缓冲作用的材质制成的载体，其容纳位置设置凹部，方便人手深入，且不会降低固定稳定性，有效的提高了操作便捷性。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种平面靶材的防护装置，包括载体和盖体，所述载体内设有靶材容纳腔，所述靶材容纳腔的四周设有至少一对相对布置的凹部，所述凹部为可供人手伸入的凹部，所述载体为在具有外部冲击时具有缓冲作用的材质制成的载体。

在上述的平面靶材的防护装置中，所述盖体为在具有外部冲击时具有缓冲作用的材质制成的盖体。

在上述的平面靶材的防护装置中，所述凹部为两对，四个凹部均布在靶材容纳腔的四周。

在上述的平面靶材的防护装置中，所述靶材容纳腔为在水平面的投影为圆形，两个相对布置的凹部的连线经过靶材容纳腔的中心。

在上述的平面靶材的防护装置中，所述靶材容纳腔的内侧的下部设有环状凸台。

在上述的平面靶材的防护装置中，所述环状凸台朝向靶材容纳腔的一侧为坡面。

在上述的平面靶材的防护装置中，所述靶材容纳腔的上下两侧均为开放侧。

在上述的平面靶材的防护装置中，当平面靶材置于靶材容纳腔内且盖体盖合在靶材容纳腔上时，所述盖体和载体形成一个连续的平面。

在上述的平面靶材的防护装置中，所述载体为珍珠棉材质的载体，和/或，所述盖体为珍珠棉材质的盖体；所述载体在水平面的投影为正方形。

在上述的平面靶材的防护装置中，还包括箱体，所述箱体为PP材质制成的箱体，所述箱体用于容纳一个或多个载体

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型采用具有缓冲作用的材质制成的载体，其容纳位置设置凹部，方便人手深入，且不会降低固定稳定性，有效的提高了操作便捷性。

附图说明

图1是实施例1的立体图；

图2是实施例1的载体的俯视图；

附图中各组件标号如下：

1、载体；2、盖体；3、靶材容纳腔；4、凹部；5、环状凸台；6、坡面。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

参考图1-2，一种平面靶材的防护装置，包括载体1和盖体2，所述载体1内设有靶材容纳腔3，所述靶材容纳腔3的四周设有至少一对相对布置的凹部4，所述凹部4为可供人手伸入的凹部4，所述载体1为在具有外部冲击时具有缓冲作用的材质制成的载体1。

在本实施例中，在具有外部冲击时具有缓冲作用的材质可选为珍珠棉、发泡聚氨酯、泡沫板等，更为优选为珍珠棉。优选地，所述盖体2也为珍珠棉材质。

在放置平面靶材时，双手小心翼翼的将靶材抬起，移动到靶材容纳腔3的上方，缓缓的将靶材放到靶材容纳腔3内，此时双手位于凹部4内。放好之后，将手抽出即可。

在取出靶材操作时，也是同样的操作。

最后将盖体2盖在靶材容纳腔3上，盖体2和靶材容纳腔3的上侧开放侧的形状匹配，厚度根据靶材的厚度、靶材容纳腔3的厚度去设计，最后盖体2和载体1形成一个连续的平面。

优选地，还包括箱体(附图未示出)，所述箱体为PP材质制成的箱体，所述箱体用于容纳一个或多个载体1，PP材质的箱体具有强度高、防水的优势，采用本装置，易于靶材的放置和取出、安全性好不易损坏、防水防尘。

本实施例的靶材容纳腔3为在水平面的投影为圆形，所述凹部4为两对，四个凹部4均布在靶材容纳腔3的四周，两个相对布置的凹部4的连线经过靶材容纳腔3的中心。这样有利于双手的放入，无需刻意调整双手持靶的角度。

在本实施例中，所述靶材容纳腔3的内侧的下部设有环状凸台5，所述环状凸台5朝向靶材容纳腔3的一侧为坡面6。这样的设计是和平面靶材的形状相匹配的，其可实现靶材和靶材容纳腔3的完全吻合，提高存储的稳定性。

优选地，所述靶材容纳腔3的上下两侧均为开放侧，同理，凹部4也为上下两侧均为开放侧，所述载体1在水平面的投影为正方形，对应的箱体在水平面的投影为正方形，这样载体1可以和箱体吻合，较为稳定的实现运输和存储。

综上所述，本案具有如下优势：

1.操作人员的双手可从一对凹部4内放入，靶材取放更为容易；

2.PP材质的箱体不论是从结构稳定性、抗冲击性、防水性能都优于纸箱，和珍珠棉材质的载体1结合，其抗冲击性更优；

3.凹部为4个，其利于操作人员无论冲那个角度都可以将靶材置入载体中，降低操作人员的操作难度；

4.环状凸台的设计是和本公司制造的平面靶材的形状相匹配，其支撑平面靶材时更为契合和稳定。

Claims (10)

1.一种平面靶材的防护装置，包括载体和盖体，所述载体内设有靶材容纳腔，其特征在于，所述靶材容纳腔的四周设有至少一对相对布置的凹部，所述凹部为可供人手伸入的凹部，所述载体为在具有外部冲击时具有缓冲作用的材质制成的载体。

2.根据权利要求1所述的平面靶材的防护装置，其特征在于，所述盖体为在具有外部冲击时具有缓冲作用的材质制成的盖体。

3.根据权利要求1所述的平面靶材的防护装置，其特征在于，所述凹部为两对，四个凹部均布在靶材容纳腔的四周。

4.根据权利要求3所述的平面靶材的防护装置，其特征在于，所述靶材容纳腔为在水平面的投影为圆形，两个相对布置的凹部的连线经过靶材容纳腔的中心。

5.根据权利要求1所述的平面靶材的防护装置，其特征在于，所述靶材容纳腔的内侧的下部设有环状凸台。

6.根据权利要求5所述的平面靶材的防护装置，其特征在于，所述环状凸台朝向靶材容纳腔的一侧为坡面。

7.根据权利要求1所述的平面靶材的防护装置，其特征在于，所述靶材容纳腔的上下两侧均为开放侧。

8.根据权利要求1所述的平面靶材的防护装置，其特征在于，当平面靶材置于靶材容纳腔内且盖体盖合在靶材容纳腔上时，所述盖体和载体形成一个连续的平面。

9.根据权利要求1-8任一所述的平面靶材的防护装置，其特征在于，所述载体为珍珠棉材质的载体，和/或，所述盖体为珍珠棉材质的盖体；所述载体在水平面的投影为正方形。

10.根据权利要求1-8任一所述的平面靶材的防护装置，其特征在于，还包括箱体，所述箱体为PP材质制成的箱体，所述箱体用于容纳一个或多个载体。

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