KR20170093893A - 기판 수납을 위한 일체형 코너 스프링을 구비한 수평 기판 용기 - Google Patents

기판 수납을 위한 일체형 코너 스프링을 구비한 수평 기판 용기 Download PDF

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KR20170093893A
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에릭 에이 커클랜드
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엔테그리스, 아이엔씨.
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Abstract

기판 용기는 기판 스택 내의 기판을 수납하도록 구성된, 동심 링들과 같은 기판 지지부를 포함한다. 용기는 기판 스택을 에워싸기 위해 기부 및 상부 커버를 포함한다. 잠금 메커니즘이 기부에 상부 커버를 잠그고 용기 내에서 기판 스택을 고정하도록 구성된다. 잠금 메커니즘은 용기의 외부 부분 상의 탄성 코너 플랜지를 포함하고, 플랜지는 커버 및 기판 스택 상에 편위력을 가하기 위한 스프링으로서 작용한다. 플랜지는 구성요소 가공 공차로 인한 불확실성의 축적에 기인하는 적층 불확실성을 수용하면서 용기 내에서 스택을 유지한다. 몇몇 실시예에서, 갭이 기판 스택의 압축을 보장하기 위해 상부 커버의 측벽과 용기의 기부 사이에 생성된다. 편향 제한기가 플랜지의 과편향을 방지하기 위해 구현될 수 있다.

Description

기판 수납을 위한 일체형 코너 스프링을 구비한 수평 기판 용기{HORIZONTAL SUBSTRATE CONTAINER WITH INTEGRAL CORNER SPRING FOR SUBSTRATE CONTAINMENT}
관련 출원에 대한 상호 참조
본 출원은 그의 개시내용이 본원에서 전체적으로 참조로 통합된 2014년 12월 8일자로 출원된 미국 가특허 출원 제62/089,103호에 기초하여 우선권을 주장한다.
대체로, 기판 용기 또는 캐리어는 실리콘 웨이퍼 또는 자기 디스크와 같은 기판의 배치(batch)를 기판의 처리 이전, 도중, 및 이후에 운반 및/또는 보관하기 위해 사용된다. 기판들은 집적 회로로 처리될 수 있고, 디스크들은 컴퓨터를 위한 자기 저장 디스크로 처리될 수 있다. 웨이퍼, 디스크, 및 기판이라는 용어는 본원에서 상호 교환 가능하게 사용되고, 이러한 용어들 중 임의의 하나가 달리 표시되지 않으면, 반도체 웨이퍼, 자기 디스크, 편평 패널 기판, 및 다른 그러한 기판을 지칭할 수 있다.
집적 회로 등이 제조되는 반도체 웨이퍼는 보편적으로 형상이 원형이고, 고도로 취성인 규소로부터 만들어진다. 그러한 웨이퍼는 반도체 웨이퍼를 집적 회로 구성요소로 변환할 때 다양한 처리 단계를 받는다. 다양한 처리 단계들은 웨이퍼들이 처리될 때 웨이퍼의 오염의 잠재성을 최소화하기 위해 초청정 상태 하에서 수행된다. 각각의 웨이퍼는 그의 처리 사이클에서 수백 개는 아니더라도 수십 개의 단계를 거칠 수 있다. 웨이퍼의 오염 및 파괴에 대한 잠재성 또는 수율의 감소는 다양한 처리 및 패키징 단계 전체에 걸쳐 항상 존재한다. 특히 제조 설비에서 발생하는 단계 중에, 임의의 미세 입자들이 그가 떨어지는 집적 회로를 파괴할 수 있다. 웨이퍼의 처리 단계들이 완료되면, 웨이퍼들은 대체로 여전히 웨이퍼 형태에서, 웨이퍼 상의 각각의 개별 회로를 집적 회로 패키징 내에서 다이싱 및 봉지하는 설비로 운송된다. 웨이퍼 용기, 캐리어, 운송기, 카세트, 운반/보관 통 등의 용어는 달리 표시되지 않으면 상호 교환 가능하게 사용된다.
전통적으로, 기판의 처리, 보관, 및 운송 중에, 기판은 그 위에 회로를 갖는 기판의 면에 대한 접촉과 가능한 손상 및 오염을 경감시키기 위해 그의 모서리에서 지지되고 구속된다.
기판들이 450밀리미터까지 스케일이 더 커지고 직경이 더 커지더라도, 구성요소들의 밀도는 현저하게 더 커진다. 아울러, 디스크들은 또한 더 얇아져서, 훨씬 더 얇은 완성된 집적 회로 패키지를 제공한다. 더 크고, 더 조밀하고, 더 얇은 기판으로의 경향에 수반하여, 기판들은 더 고가이고, 더 취성이며, 운송 중에 더 쉽게 손상된다. 더 얇고, 더 취약한 기판에 대해, 기판들이 중심 축 둘레에서 서로의 위에 적층되는 엔클로저가 이용된다.
자브카(Zabka) 등의 공동 양도된 미국 특허 제7,040,487호(이하에서, "자브카")는 잠금 메커니즘에 의해 함께 유지되는 커버 및 기부를 포함하는 보호식 운송기를 개시한다. 기부는 보관 포켓 내에서 반도체 웨이퍼 또는 다른 기판을 보호하도록 구성 가능하다. 기부는 보관 포켓을 형성하는 지지 벽을 포함하고, 커버는 보관 포켓을 에워싼다. 커버는 의도하지 않은 풀림을 최소화하도록 구성된 하나 이상의 잠금 개구를 포함한다. 보레스(Bores) 등의 공동 양도된 미국 특허 제6,550,619호(이하에서, "보레스")는 기부, 커버, 및 잠금 메커니즘을 갖는 다른 운송기를 개시한다. 자브카 및 보레스는 그에 포함된 명확한 정의 및 특허 청구범위를 제외하고 본원에서 전체적으로 참조로 통합되었다.
본 개시내용의 다양한 실시예들은 제조 공차와 관련된 치수 불확실성의 축적으로 인한 가변 높이의 기판 스택을 수용하는 용기를 포함한다. 즉, 기판 용기 내의 구성요소들은, 예를 들어, 지지 링의 두께 및 편평도의 규정된 정합 공차로 인한 치수 불확실성을 받는다. 이러한 구성요소들의 결과적인 치수 불확실성은 본원에서 "적층 불확실성"으로 지칭되는 것을 발생시킨다. 제조 비용을 상승시키는, 구성요소들의 치수 공차를 엄격하게 하는 것 이외에, 본 개시내용의 다양한 실시예들은 넓은 범위의 적층 불확실성을 쉽게 수용하는 기판 용기를 설명한다.
본 개시내용의 몇몇 실시예에 대해, 넓은 범위의 적층 불확실성을 가능케 하는 동일한 메커니즘은 또한 기판 캐리어 및 그의 내용물의 충격에 대한 효과적인 완충을 제공한다.
구조적으로, 본 개시내용의 다양한 실시예들은 스택 내의 기판들을 수납하도록 구성된 동심 링들의 형태인, 기판 지지부를 포함하는 기판 용기 또는 운송기를 제시한다. 용기는 기판 스택을 에워싸기 위한 기부 및 상부 커버를 포함한다. 잠금 메커니즘이 기부 및 상부 커버를 서로에 대해 잠그고, 용기 내에서 기판 스택을 고정하도록 구성된다. 잠금 메커니즘은 용기의 외부 부분 상의 편향 가능한, 편위된 코너 플랜지를 포함하고, 플랜지는 커버 및 기판 스택 상에 부하를 생성하기 위한 스프링으로서 작용한다. 플랜지는 적층 불확실성을 수용하면서 용기 내에서 스택을 유지한다. 갭이 상부 커버의 측벽과 용기의 기부 사이에 생성된다. 편향 제한기가 플랜지의 과편향을 방지한다. 본 개시내용의 실시예들은 복수의 상이한, 기판 크기, 몇몇을 열거하자면 예를 들어 150mm, 200mm, 300mm, 및 450mm 기판을 수용하는 용기와 함께 사용될 수 있다. 다른 양태들은 본 개시내용을 읽을 때 통상의 기술자에게 명백할 것이고, 본 요약은 제한적으로 간주되어서는 안 된다.
본 개시내용의 다양한 실시예에서, 복수의 적층된 기판들을 수납하도록 구성된 기판 보관 영역을 형성하는 기판을 위한 용기가 개시되고, 용기는 상방으로 연장하는 측벽을 갖는 기부를 포함하고, 측벽은 기판 보관 영역을 적어도 부분적으로 둘러싸도록 배치되고, 기부는 기부로부터 상방으로 연장하는 적어도 하나의 탄성 잠금 부재를 추가로 포함하고, 잠금 부재는 실질적으로 하방으로 향하는 맞물림 표면을 갖는 맞물림 부분을 포함한다. 커버는 하방으로 연장하는 측벽을 포함하고, 커버는 기판 보관 영역을 적어도 부분적으로 둘러싸도록 기부와 협동한다. 적어도 하나의 편향 가능한 코너 플랜지가 커버에 작동 가능하게 결합되고, 커버의 측벽에 대해 방사상 외측으로 연장하고, 편향 가능한 코너 플랜지는 커버에 대해 하방으로 편향 가능하도록 구성 및 배열되고, 편향 가능한 코너 플랜지는 잠금 부재를 수납하도록 구성된 개구를 형성한다. 편향 가능한 코너 플랜지는 기부에 대해 커버를 잠그기 위해 잠금 부재의 맞물림 부분과 맞물리도록 구성된 상위 표면을 형성한다. 편향 제한기가 편향 가능한 코너 플랜지의 하방 편향과 맞물려서 이를 제한하기 위해 편향 가능한 코너 플랜지 아래에서 잠금 부재 상에 적어도 부분적으로 배치될 수 있다.
몇몇 실시예에서, 적어도 하나의 편향 가능한 코너 플랜지는 커버 둘레에 분포된 적어도 4개의 편향 가능한 코너 플랜지를 포함하고, 적어도 하나의 잠금 부재는 기부 둘레에 분포되고 적어도 4개의 코너 플랜지와 대체로 정렬되는 적어도 4개의 잠금 부재를 포함한다. 잠금 부재는 기부에 대한 커버 및 코너 플랜지 함께의 하방 이동이 용기의 중심 축을 향해 잠금 부재를 편위시키기 위해 캠 표면에 힘을 인가하도록, 편향 가능한 코너 플랜지의 개구의 모서리와 맞물리도록 구성된 캠 표면을 갖는 후크 부분을 형성할 수 있다. 몇몇 실시예에서, 코너 플랜지는 커버에 대한 코너 플랜지의 편향이 후크 부분이 개구를 빠져나가게 하고 잠금 메커니즘이 잠금 위치로 방사상 외측으로 스냅핑하게 하도록 구성 및 배열된다. 잠금 부재의 맞물림 부분은 기부에 대해 커버를 잠그기 위해 코너 플랜지의 상위 표면과 맞물릴 수 있다. 소정의 실시예에서, 캠 표면은 상기 개구 모서리와 맞물리도록 구성된 2개의 캠 표면 부분들을 형성하고, 2개의 캠 표면 부분들을 그들 사이에 갭을 형성한다. 각각의 잠금 부재는 그의 상위 부분에서 측표면 및 기부 표면을 형성할 수 있고, 측표면 및 기부 표면은 2개의 캠 표면 부분들 사이에 갭을 형성하도록 배치된다. 몇몇 실시예에서, 기부 표면은 2개의 캠 표면 부분들 사이의 갭의 저면에 형성된 중심 개방부를 형성한다. 중심 개방부는 편향 제한기 바로 위에서 그와 일렬로 배치될 수 있다. 코너 플랜지는 코너 플랜지를 편향시키기 위한 하방력을 받도록 구성된 푸시 패드를 형성할 수 있다. 몇몇 실시예에서, 편향 가능한 코너 플랜지는 커버와 단일편으로서 성형된다.
본 개시내용의 다양한 실시예에서, 기판 용기가 개시되고, 이는 용기 내에 기판 스택 내의 기판들을 수납하도록 구성된 복수의 기판 지지부를 포함한다. 제1 및 제2 케이스 부분들이 용기의 외측 구조를 형성하고, 기판 지지부를 에워싼다. 잠금 메커니즘이 제1 및 제2 케이스 부분들을 서로에 대해 잠그고 용기 내에서 기판 스택들을 고정하도록 구성된다. 잠금 메커니즘은 제1 케이스 부분의 방사상 외측 위치에 고정되고 배치된 편향 가능한 탭을 포함하고, 잠금 메커니즘은 제2 케이스 부분의 방사상 외측 부분에 고정되고 배치된 잠금 부재를 포함한다. 편향 가능한 탭은 내부에 개방부를 형성할 수 있고, 개방부는 제1 및 제2 케이스 부분들을 함께 잠그기 위해 잠금 부재를 수납하도록 구성된다. 몇몇 실시예에서, 편향 가능한 탭은 기판 스택이 제1 및 제2 케이스 부분들 내에 고정 유지되도록, 케이스 부분들 중 하나를 통해 기판 스택에 대항하여 압축력을 인가하기 위해 잠금 부재에 대항하여 편위된다.
기판 스택은 제1 및 제2 케이스 부분들의 서로에 대한 이동에 대항하는 멈춤부(hard stop)를 생성할 수 있다. 기판 스택은 또한 제1 케이스 부분과 제2 케이스 부분 사이에 갭을 생성할 수 있다. 다양한 실시예에서, 편향 제한기가 탭의 편향을 제한하기 위해 잠금 부재에 적어도 부분적으로 부착된다. 편향 제한기는 잠금 부재 상에 배치된 힌지 둘레에서 회전 가능한 리브, 및 회전 가능한 리브를 수납하도록 구성된 편향 가능한 탭에 의해 형성된 포켓을 포함할 수 있다.
본 개시내용의 다양한 실시예에서, 기판 스택과 조합된 기판을 위한 용기가 개시된다. 용기는 주연부 및 측벽을 갖는 기부로서, 측벽은 주연부 내부에서 상방으로 연장하며 측벽 내부에서 기판 스택을 격납하는 보관 포켓을 형성하는, 기부를 포함하고, 기부는 주연부와 측벽 사이에 위치된 한 쌍의 탄성 잠금 부재를 포함하고, 각각의 잠금 부재는 하방으로 향하는 맞물림 표면을 갖는 후크 부분을 구비한 직립 부분을 갖는다. 몇몇 실시예에서, 커버는 주연부 및 주연부 내부에서 하방으로 연장하는 측벽을 갖고, 커버는 보관 포켓을 에워싸도록 기부 상에 배치 가능하고, 커버는 한 쌍의 잠금 개구를 형성하는 편향 가능한 플랜지를 포함한다. 플랜지들은 잠금 개구에 인접하여 각각의 하방으로 향하는 맞물림 표면을 수납하도록 구성된 표면을 각각 형성할 수 있고, 잠금 개구는 커버의 주연부와 커버의 측벽 사이에 위치되고, 잠금 부재들의 쌍에 대응하고, 잠금 부재들의 쌍이 개구들의 쌍에서 커버와 맞물릴 때, 커버는 기부에 대해 잠긴다. 몇몇 실시예에서, 기판 스택은 복수의 기판 및 복수의 기판 지지부를 포함한다. 몇몇 실시예에서, 편향 가능한 플랜지는 커버가 기부에 대해 잠길 때 편향되고, 편향된 플랜지는 기부를 향해 커버를 당기고 커버가 용기 내에서 스택을 유지하기 위해 스택에 압력을 인가하게 하도록, 잠금 부재에 압력을 인가한다. 몇몇 실시예에서, 커버는 스택과 접촉하며 그에 대항하여 압축력을 인가하고, 스택은 커버가 기부에 대해 잠길 때 기부를 향한 이동으로부터 커버를 정지시키도록 구성된다. 스택은 커버가 기부에 대해 잠길 때, 커버의 측벽이 기부와 커버의 측벽 사이의 갭을 폐쇄하는 것을 방지하도록 구성될 수 있다. 커버는 커버가 기부에 대해 잠길 때, 최상위 기판 지지부를 가압하여 그에 대해 밀봉할 수 있다. 플랜지의 편향은 스택마다의 적층 불확실성 높이 변동을 수용할 수 있다. 몇몇 실시예에서, 후크 부분의 각각의 하방으로 향하는 맞물림 표면을 수납하도록 구성된 플랜지 표면은 플랜지 내에 잠금 리세스를 형성한다. 잠금 리세스는 플랜지의 잔여부에 대해 하방으로 각도를 이룰 수 있고, 후크 부분의 맞물림 표면은 잠금 리세스에 대응하도록 하방으로 각도를 이룬다. 맞물림 표면의 하방 각도 및 잠금 리세스의 하방 각도는 커버가 기부에 대해 잠길 때, 플랜지를 하방으로 편향시키도록 구성된다.
본 개시내용의 다양한 실시예에서, 기판을 위한 용기 및 복수의 기판의 조합체가 개시되고, 조합체는 용기 기부, 용기 커버, 용기 내에 배치된 복수의 기판 지지부, 및 용기 내에서 기판 지지부 상에 실질적으로 동심으로 배치된 복수의 기판을 포함한다. 체결 메커니즘이 기부와 커버를 함께 고정하고 용기 내에서 복수의 기판을 고정하도록 구성될 수 있고, 체결 메커니즘은 커버와 결합되어 커버에 대해 굽힘 가능한, 굽힘 가능한 플랜지를 포함하고, 굽힘 가능한 플랜지는 개구를 형성한다. 체결 메커니즘은 기부에 연결된 편위된 체결 부재를 또한 포함할 수 있고, 편위된 체결 부재는 개구를 통해 연장하며, 기부에 대해 커버를 체결하기 위해 개구 내에서 체결 위치로 복원하도록 구성된다. 몇몇 실시예에서, 편위된 체결 부재는 개구에 인접하여 굽힘 가능한 플랜지의 대향 측면들과 접촉하고 대향 방향들로의 굽힘 가능한 플랜지의 굽힘을 제한하도록 구성된 제1 및 제2 맞물림 표면을 형성한다. 몇몇 실시예에서, 제1 및 제2 맞물림 표면들 중 하나만이 한 번에 굽힘 가능한 플랜지와 접촉하여, 대향 방향들 중 각각의 하나에서 굽힘 가능한 플랜지의 굽힘을 제한할 수 있다.
본 개시내용의 다양한 실시예에서, 기판은 반도체 웨이퍼이다.
도 1은 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 기판 용기의 사시도이다.
도 2는 도 1의 기판 용기의 사시 절결도이다.
도 3은 도 1의 기판 용기의 부분 분해도이다.
도 4는 도 1의 기판 용기의 잠금 부재의 상부 사시도이다.
도 5는 도 4의 잠금 부재의 하부 사시도이다.
도 6은 도 1의 기판 용기의 잠금 메커니즘의 하부 사시도이다.
도 7은 도 1의 기판 용기의 편향 가능한 플랜지의 상부 사시도이다.
도 8은 도 7의 편향 가능한 플랜지의 사시 단면도이다.
도 9는 방사상 내측으로 편위된 위치에서의 도 1의 기판 용기의 잠금 메커니즘의 부분 절결 측면도이다.
도 10은 잠금 위치에서의 도 1의 기판 용기의 잠금 메커니즘의 부분 절결 측면도이다.
도 11은 도 10의 잠금 메커니즘의 상부 사시도이다.
도 12는 예비 잠금 구성의 도 1의 기판 용기의 부분 절결 측면도이다.
도 13은 잠금 구성의 도 1의 기판 용기의 부분 절결 측면도이다.
도 14는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 방사상 내측으로 편위된 위치의 잠금 메커니즘의 부분 절결 측면도이다.
도 15는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 잠금 위치의 잠금 메커니즘의 부분 절결 측면도이다.
도 16은 본 개시내용의 일 실시예에 따른 편향 제한기의 저면 사시도이다.
도 17은 도 11의 제한기의 특징을 도시하는 상부 사시도이다.
도 18은 대안적인 위치에서의 도 11의 제한기를 도시하는 저면 사시도이다.
도 1 - 도 3을 참조하면, 용기(100)가 본 개시내용의 일 실시예로 도시되어 있다. 도시된 용기(100)는 본 개시내용의 실시예에 따른 반도체 웨이퍼 등과 같은 300mm 기판(105)을 운반, 보관, 및/또는 보호하기 위한 운송기이다. 300mm 운송기는 단지 예시적인 목적으로 도시되어 있고, 더 작거나 더 큰 기판을 위한 운송기가 본원에 포함됨을 이해하여야 한다. 용기(100)는 대체로 기부(110) 및 상부 커버(115)로서 구성된 2개의 협동식 부분들을 포함한다. 상부 커버(115)는 접속 영역(120)에서 기부(110)에 근접하여 진입하고, 상부 커버(115) 및 기부(110)는 잠금 메커니즘(125)에 의해 서로에 대해 고정된다. 4개의 잠금 메커니즘(125)이 도시되어 있지만, 본 기술 분야의 통상의 기술자는 2개, 6개, 또는 임의의 원하는 개수의 잠금 메커니즘이 또한 본 개시내용에 따라 고려됨을 인식할 것이다.
용기(100)는, 예를 들어, 용기(100)의 중심 축(134)을 따라 연장하는 기판 스택(133) 내의 기판(105)들을 지지하도록 구성된, 대체로 동심 링들 형태의, 복수의 실질적으로 아치형인 측방 기판 지지부(130)를 포함한다. 지지부(130)들은 커버(115)의 대체로 원통형인, 하방으로 연장하는 측벽(135)에 대해 측방향 내측으로 연장한다. 기판 지지부(130)의 비제한적인 예가, 예를 들어, 2015년 9월 3일자로 공개된 공동 양도된 국제 특허 출원 공개 WO 2015/130690호에 개시되어 있고, 이의 개시내용은 그에 포함된 명확한 정의 및 특허 청구범위를 제외하고 본원에서 전체적으로 참조로 통합되었다.
지지부(130)는 플라스틱 또는 다른 적합한 재료로 성형되거나 달리 형성될 수 있다. 다양한 실시예에서, 지지부(130)는 폴리프로필렌으로 만들어진다. 지지부(130)들은 폴리카르보네이트 또는 아세탈을 포함하지만 이들로 제한되지 않는 다른 재료로 구성될 수 있다. 몇몇 실시예에서, 재료는 정전기의 소산을 위한, 탄소 분말 충전제와 같은 정전기 소산 충전제를 포함한다.
측벽(135)은 대체로 기판 스택(133)을 수용하기 위한 기판 스택 포켓(138)을 형성한다. 측벽(135)은 커버(115)의 외부 부분(137) 둘레에서 하방으로 연장하고, 커버(115)의 외측 주연부(139)를 적어도 부분적으로 형성한다. 용기(100)의 바닥(140)은 포켓(138)의 저면에 위치된다. 추가로, 기부(110)는 기부(110)의 외부 부분 둘레에서 상방으로 연장하는 측벽(145)을 형성하고, 기부(110)의 외측 주연부(146)로부터 내측으로 이격된다. 측벽(145)은 대체로 아치형 또는 만곡형일 수 있고, 도시된 실시예에 따르면, 4개의 측벽 부분(147)으로 구획된다.
본원에서, "상방" 및 "상방으로"라는 용어는 임의의 원점의 원통 좌표계(143)에 따른, 양의 z-방향으로 연장하는 벡터를 갖는 방향을 지칭한다 (예컨대, 도 2 및 도 3). "하방" 및 "하방으로"라는 용어는 원통 좌표계(143)에 따른, 음의 z-방향으로 연장하는 벡터를 갖는 방향을 지칭한다. "외측" 및 "외측으로"라는 용어는 원통 좌표계(143)에 따른, 양의 r-방향으로 연장하는 벡터를 갖는 방향을 지칭한다. "내측" 및 "내측으로"라는 용어는 원통 좌표계(143)에 따른, 음의 r-방향으로 연장하는 벡터를 갖는 방향을 지칭한다.
몇몇 실시예에서, 기부(110)는 상위 표면(155)을 각각 형성하는 견부(150)로서 구성된 돌출 구조물을 형성한다. 각각의 견부(150)의 상위 표면(155)으로부터 상방으로, 잠금 메커니즘(125)의 일 부분을 구성하는 잠금 부재(160)가 연장된다.
커버(115)는 대응하는 견부(150) 바로 위에 배치되며 커버(115)의 외측 주연부(139)를 적어도 부분적으로 형성하는 편향 가능한 코너 탭 또는 플랜지(162)를 형성한다. 플랜지(162)는 커버(115)의 잔여부에 대해 하방으로 편향하도록 구성 및 배열된다. 그와 관련하여, 플랜지(162)는 그러한 편향을 방지 또는 억제하는 경향이 있는 리브 또는 다른 구조적 강화 양태가 없이 구성될 수 있다. 플랜지(162)들은 추가로 설명될 바와 같이, 상위 표면(163) 및 각각의 잠금 부재(160)를 수납하기 위한 개구(164)를 각각 형성하고, 따라서 각각의 잠금 메커니즘(125)의 일부를 형성한다. 각각의 개구(164)는 도 7 및 도 8을 참조하여 아래에서 설명되는 바와 같이, 외향 덴트(165)를 형성한다. 커버(115)의 각각의 편향 가능한 코너 플랜지(162)는 측벽(135) 내에 배치된 각각의 리세스 또는 홈(166) 내에 형성되거나 수용된다. 견부(150) 및 플랜지(162)의 4개의 세트가 도시되어 있지만, 본 기술 분야의 통상의 기술자는 본 개시내용을 읽으면, 2개, 6개, 또는 임의의 원하는 개수의 세트가 또한 본 개시내용에 따라 고려됨을 인식할 것이다.
소정의 실시예에서, 본 개시내용의 양태에 따르면, 견부(150) 및 잠금 부재(160)는 기부(110)와 단일편으로서 일체로 성형되고, 편향 가능한 플랜지(162)는 커버(115)와 단일편으로서 일체로 성형된다. 용기(100)의 기부(110), 커버(115), 및 다른 구성요소들을 성형하거나 달리 형성하는 데 적합한 플라스틱 또는 다른 재료가 본 개시내용을 읽을 때 통상의 기술자에게 명백할 것이다.
추가로 도 4 - 도 6을 참조하면, 각각의 잠금 메커니즘(125)의 잠금 부재(160)는 직립 또는 기립하여 배치되고, 기부(110)의 견부(150)에 대해 실질적으로 상방으로 연장한다. 잠금 부재(160)는 대응하는 잠금 개방부 또는 개구(164) 내에서의 더 용이한 삽입 및 로킹을 위해, 상위 단부(182)에서보다 기부(110)의 하위 단부(181)에서 더 넓은, 아래에서 위로 대체로 테이퍼진 형상을 선택적으로 형성한다. 잠금 부재(160)는 부재(160)의 상하 휨을 허용함으로써, 대체로 수직 방향으로, 즉 용기(100)의 중심 축(134)에 대해 대체로 평행한 방향으로, 잠금 부재(160)의 스프링 상수를 감소시키는 실질적으로 수평인 부분(170)에 의해 기부(110)에 연결되거나 그와 함께 성형될 수 있다. 부재(160)는 또한 부재(160)가 도 4에 도시된 성형시 위치로부터 방사상 내측으로 그리고 방사상 외측으로 휘도록, 화살표(175)에 의해 표시된 바와 같이, 대체로 중심 축(134)에 대해 횡방향으로, 용기(100)에 대해 방사상 방향으로 대체로 휠 수 있거나 회전할 수 있다.
도시된 실시예에서, 잠금 부재(160)는 용기(100)의 중심을 향해 내측으로 작동되는 것으로 도시되어 있다.　 외측으로 작동되는 잠금 부재가 도시되지는 않았지만, 또한 고려됨을 알아야 한다.
잠금 부재(160)는 하방으로 향하는 맞물림 표면(187)을 갖는 후크 부분(185)을 포함한다. 도 5에 도시된 바와 같은 몇몇 실시예에서, 성형시 또는 휘지 않은 위치에서, 맞물림 표면(187)은 수평선에 대해 하방으로, 즉 견부(150)의 상위 표면(155) 및 플랜지(162)의 상위 표면(163)에 대해 하방으로 각도를 이룬다. 맞물림 표면(187)은 2개의 맞물림 표면 부분(188, 189)들을 포함할 수 있다. 몇몇 실시예에서, 후크 부분(185)은 또한, 선택적으로 개재된 갭(194)을 형성하는 2개의 캠 표면 부분(191, 192)들로서 형성된 캠 표면(190)을 형성한다. 갭(194)은 후크 부분(185)의 대체로 직립인 표면(195) 및 대체로 만곡된 기부 부분(196)에 의해 경계를 이룬다.
다양한 실시예에서, 각각의 잠금 부재(160)는 그와 단일편으로서 일체로 성형될 수 있는 편향 제한기 또는 멈춤부(200)를 추가로 포함한다. 편향 제한기(200)는 잠금 부재(160)를 따라 중심에 배치될 수 있고, 기부(210) 및 각도를 이룬 측면(215)들을 갖는 상부 맞물림 표면(205)을 포함한다. 아울러, 기부(210) 및 측면(215)들은 맞물림 포켓 또는 리세스(218)를 형성한다. 다양한 실시예에서, 편향 제한기(200)는 도 5에 도시된 바와 같이, 위에서 아래로 테이퍼진다. 편향 제한기(200)는 성형 도구를 단순화하기 위해, 후크 부분(185)의 만곡된 기부 부분(196) 내에 형성된 갭(220) 바로 아래에 배치될 수 있다. 갭(220)은, 예를 들어, 잠금 부재(160)의 형성 중에 주형 작용에 대한 필요를 회피한다.
각각의 편향 가능한 플랜지(162)의 저면 표면(225)(도 6)은 개구(164)의 폭과 정렬되고 그를 따라 연장하는 돌출부 또는 리지(230)를 포함한다. 돌출부(230)는 편향 제한기(200)의 맞물림 리세스(218)의 기부(210) 및 측면(215)들에 대응할 수 있는 기부(235) 및 측면 모서리(240)들을 포함한다.
도 7 - 도 8을 참조하면, 커버(115)의 각각의 편향 가능한 플랜지(162)에 의해 형성된 개구(164)가 본 개시내용의 일 실시예에 따라 더 상세하게 도시된다. 개구(164)는 대체로 "T" 형상 개구를 생성하는 외향 덴트 또는 노치(165)를 포함한다. 각각의 플랜지(162)는 커버(115)의 잔여부에 대해 플랜지(162)를 편향시키기 위한 하방력을 받기 위한, 플랜지(162)의 잔여부에 대해 상승된 푸시 패드(245)를 또한 포함할 수 있다. 아울러, 각각의 플랜지(162)는 후크 부분(185)의 맞물림 표면(187)을 수납하기 위한 잠금 리세스(246)를 형성한다. 잠금 리세스(246)는 후크 부분(185)의 대응하는 하방으로 경사진 맞물림 표면(187)을 수납하기 위해, 수평선에 대해 또는 플랜지(162)의 상위 표면(163)에 대해 하방으로 선택적으로 경사진다. 몇몇 실시예에서, 잠금 리세스(246)의 형상 및 경사는 플랜지(162)의 저면 표면(225) 상의 돌출부(230)의 형상과 정합한다.
기능적으로, 그리고 다시 도 4 - 도 6을 참조하면, 도시된 바와 같이 갭(194)에 의해 분리된 2개의 캠 표면 부분(191, 192) 및 2개의 맞물림 표면 부분(188, 189)을 구비한 후크 부분(185)을 형성하는 것은 본 개시내용의 양태에 따르면, 후크 부분(185)을 형성하는 플라스틱 또는 다른 재료의 더 일관된 두께를 유지하는 것을 돕고, 갭(194)이 재료로 충전되면 "싱크" 또는 다른 성형 결함의 가능성을 경감시키고, 캠 표면(190)과 개구(164) 사이 그리고 맞물림 표면(187)과 플랜지(162)의 상위 표면(163) 사이의 잠재적인 문지름 접촉, 및 결과적인 잠재적인 입자 발생을 감소시킨다. 돌출부(230) 및 맞물림 리세스(218)의 대응하는 형상들은 설명될 바와 같이, 커버(115)의 잔여부에 대한 플랜지(162)의 하방 편향 시에 맞물림 리세스(218) 내로 돌출부(230)를 안내하는 것을 돕는다. 대체로 "T"형상 개구의 외향 덴트(165)는 커버(115)가 기부(110)에 대해 회전되거나 달리 우발적으로 변위될 때 또는 잠금 부재(160)가 의도하지 않은 힘을 받을 때, 잠금 메커니즘(125)의 의도하지 않은 풀림을 방지하는 경향이 있다. 잠금 부재(160)는 중심 축(134)에 대해 대체로 직교하는 풀림력을 받고, 풀림이 발생하도록 외향 덴트(165)를 회피하여야 한다. 이와 관련된 개구(164)의 추가의 장점은 이전에 본원에서 참조로 통합된 미국 특허 제7,040,487호에 설명되어 있다. 편향 제한기(200)는 각각의 플랜지(162)를 하방 과편향으로부터 실질적으로 방지한다. 제한기(200)와 플랜지(162)의 저면 표면(225) 사이의 거리는, 예를 들어, 플랜지(162)의 두께 및 재료에 의존하여, 원하는 양의 최대 편향을 허용하도록 선택된다. 제한기(200)와 도면에 도시된 것 사이의 거리는 반드시 축척에 맞는 것은 아니다. 제한기(200)는 파단, 영구 변형, 허용 불가능하게 헐거운 잠금 맞춤, 및 플랜지(162)의 무제한 또는 과도한 편향으로부터 궁극적으로 생성되는 다른 문제점을 실질적으로 방지하기 위한 플랜지(162)를 위한 멈춤 위치를 생성한다.
편향을 제한하는 것은 작동 및 비작동 맥락 모두에서 이용성을 갖는다. 작동 맥락에서, 하방력이 잠금 부재(160)가 잠금 위치로 스냅핑하게 하도록 푸시 패드(245)에 인가될 때, 예를 들어, 돌출부(230)는 플랜지(162)의 하방 이동 한도가 도달되면, 제한기(200)의 맞물림 리세스(218) 내에 수납되어 정지될 것이다. 비작동 맥락에서, 편향 제한기(200)는 잠긴 용기(100)가, 예를 들어, 플라스틱 내에 진공 밀봉되거나, 운송 중의 충격 부하와 같은 다른 외부 편향력을 받을 때 발생할 수 있는 플랜지(162)의 편향을 제한할 수 있다.
도 9 - 도 13 및 다시 도 2를 참조하면, 용기(100)의 작동이 본 개시내용의 일 실시예로 도시되어 있다. 기판 스택(133)은 초기에 용기(100)의 기부(110) 및/또는 커버(115) 내에 위치된다. 커버(115)는 잠금 부재(160)가 편향 가능한 코너 플랜지(162)들 내의 각각의 개구(164)로 진입하도록, 잠금을 위해 기부(110) 위에 위치된다. 커버(115)와 플랜지(162)가 중심 축(134)을 따라 하방으로 병진 이동되면, 캠 표면(190)은 각각의 개구(164)와 맞물리고, 화살표(250)에 의해 도시된 바와 같이, 중심 축(134)을 향해 내측으로 각각의 잠금 부재(160)를 편향 또는 회전시킨다. 후크 부분(185)은 개구(164)의 상당 부분을 충전한다. 커버(115)의 하위 부분, 구체적으로 측벽(135)의 하위 단부는 기부(110)와 커버(115) 사이의 접속 영역(120)으로 실질적으로 진입한다. 소정의 실시예에 따르면, 커버(115)의 적합한 상위 내부 부분이 웨이퍼 스택(133), 구체적으로 그의 최상위 동심 링(130)과 접촉하여 그와 맞물린다.
플랜지(162) 및 잠금 부재(160)가, 예컨대, 도 9에 도시된 바와 같이, 초기 예비 잠금 위치에 있을 때, 사용자는 그 다음 도 10의 화살표(255)에 의해 표시된 바와 같이, 플랜지(162)의 푸시 패드(245)(도 11) 또는 다른 부분 상에 하방력을 인가하여, 커버(110)의 잔여부에 대한 각각의 플랜지(162)의 하방 편향, 굽힘, 또는 회전을 일으킨다. 계속되는 편향이 후크 부분(185)이 개구(164)를 실질적으로 빠져나가게 하면, 잠금 부재(160)의 그의 성형시 위치를 향한 편위는 화살표(260)에 의해 표시된 바와 같이, 잠금 부재(160)가 방사상 외측으로 스냅핑하게 한다. 후크 부분(185)의 하방으로 향하는 맞물림 표면(187)은 하방으로 편향된 플랜지(162)의 상위 표면(163) 위에서 활주하여 그 안으로 맞물리고, 대응하여 하방으로 경사진 잠금 리세스(246)에 의해 적어도 부분적으로 수용된다. 도 9 - 도 10의 정밀한 하방 경사는 예시의 목적으로 반드시 축척에 맞는 것은 아님을 알아야 한다. 도 11은 또한 잠금 부재(160)를 그의 잠금 위치에서 도시한다.
잠금 부재(160)가 플랜지(162)에 대한 잠금 위치에 도달하면 (도 10 - 도 11), 사용자는 푸시 패드(245) 상의 하방력을 해제하여, 하방으로 편향된 플랜지(162)가 화살표(255)에 의해 표시된 것과 반대되는 방향으로, 상방으로 적어도 부분적으로 복원하게 하고, 플랜지(162)와 맞물림 표면(187) 사이의 증가된 압력 및 로킹 접촉을 일으킨다. 맞물림 표면(187) 및 편향 리세스(246)의 하방으로 각도를 이룬 배치는 선택적으로 각각의 플랜지(162)를 부분적으로 하방으로 편향된 위치에 유지하는 경향이 있고, 이에 의해 플랜지(162)의 탄성이 자연적으로 성형시 위치로 복귀하는 경향이 있으므로, 후크 부분(185) 상에서 플랜지(162)에 의해 상방으로 지향되는 스프링 압력을 유지한다. 각각의 플랜지(162)는, 예를 들어, 용기(100)가 운반 중일 때 부분적으로 편향되어 유지될 수 있고, 결과적인 편향/스프링력은 기부(110)에 대한 커버(115)의 접촉 압력을 향상시키고 유지한다. 따라서, 커버(115)는 편향된 플랜지(162)의 연속적인 스프링 작용으로 인해 기부(110)에 대해 더 타이트한 접촉으로 당겨진다.
기부(110)에 대한 잠금 접촉으로부터 커버(115)를 해제하기 위해, 사용자는 화살표(260)에 반대되는 방향으로, 각각의 잠금 부재(160)를 내측으로 가압한다. 플랜지(162)가 여전히 부분적으로 편향된 경우에, 이러한 내향 압력은 맞물림 표면(187)이 개구(164) 내로/위에서 완전히 이동하고, 플랜지(162)의 리세스(246) 및 상위 표면(163)을 빠져나가면, 플랜지(162)가 화살표(255)의 방향과 반대되는 방향으로 후크 부분(185) 및 잠금 부재(160)에 대해 튀어 오르게 한다. 커버(115)와 기판 스택(133) 사이 그리고/또는 커버(115)와 기부(110) 사이의 압축 잠금 압력이 이에 의해 해제되고, 커버(115)는 쉽게 제거될 수 있다.
본 개시내용의 다양한 실시예에 따르면, 커버(115)는 기판 스택(133) 상에 직접 압력을 가하여, 용기(100)의 바닥(140) 내로 또는 그를 향해 스택(133)을 가압하는 경향이 있다. 본 개시내용의 몇몇 실시예는 포괄적으로 5lbf(파운드-포스) 내지 10lbf의 범위 내의 기판 스택(133) 상에 가해지는 압축력을 생성한다. 본원에서, "포괄적으로"라고 말하는 범위는 기술된 범위의 종점 값을 포함한다. 몇몇 실시예에서, 압축력의 범위는 포괄적으로 7lbf 내지 9lbf이다. 몇몇 실시예는 약 8lbf의 압축을 생성한다.
몇몇 실시예에서, 플랜지(162)의 공차 또는 장기간 크리프로 인해, 플랜지(162)에 의해 인가되는 압축력이 항상 있는 것은 아닐 수 있다. 이는, 소정의 실시예에서, 내부에 조립된 기판 스택(133)을 구비한 용기(100)가 진공 백(도시되지 않음) 및/또는 2차 발포체 패키징(도시되지 않음) 내에서 운송되기 때문에, 기능적으로 허용 가능하다. 진공 백/2차 패키징은 용기(100)를 충분한 압축으로 유지할 수 있다.
하나의 실시예에서, 커버(115)는 스택(133)의 최상위 링 또는 지지부(130)와 강성 접촉을 이룬다. 미국 가특허 출원 제62/089,087호에 설명되어 있는 바와 같이, 이러한 강성 접촉은 스택(133) 및 특히 그의 최상위 기판(105)을 보호하기 위한 밀봉부 및 공기 쿠션을 생성할 수 있다. 기판 직경이 클수록, 특히 300mm 및 더 큰 직경의 기판, 이러한 방식으로 최상위 기판을 보하는 것이 더 중요할 수 있다. 따라서, 스택(133) 자체는 커버(115)에 대한 멈춤부로서 역할하여, 개별 기판(105)을 손상시키기 않고서 용기(100)의 포켓(138) 내에서의 기판 스택(133)의 안정성 및 고정성을 향상시킨다. 공동 양도된 미국 가특허 출원 제62/089,087호는 그에 포함된 특허 청구범위 및 명확한 정의를 제외하고는, 본원에서 전체적으로 참조로 통합되었다.
추가로, 링들의 적층 불확실성은 플랜지(162)의 스프링 작용으로 인해 쉽게 수용된다. 스택(133)이, 예를 들어, 26개의 링을 포함하는 실시예에서, 단지 0.001인치(1인치의 1/1000)의 링 성형 공차가 전체 스택의 높이에 걸쳐, 스택마다 상대적으로 현저한 링 높이 및 스택 높이 변동성을 일으킬 수 있다. 따라서, 그러한 적층 불확실성은, 예를 들어, 약 0.026인치 정도, 또는 포괄적으로 약 0.020인치 내지 약 0.032인치의 범위, 포괄적으로 약 0.026인치 내지 약 0.052인의 범위, 또는 포괄적으로 약 0.1인치까지 또는 그 이상의 범위 내일 수 있다. 더 크거나 더 작은 치수의 다른 적층 불확실성이 본 개시내용을 읽을 때 통상의 기술자에게 명백할 것이다. 선택적으로 이전에 설명된 수평 부분(170)과 조합하여, 용기(100)의 코너 플랜지(162)를 사용하여 편향을 형성함으로써, 그러한 불확실성 및 변동성은 쉽게 수용되어, 이전에 언급된 공기 밀봉이 쉽게 생성되도록 허용한다.
커버(115)가 스택(133)에 대한 멈춤부를 가지며 스택 상에서 압축 압력을 발생시키기 때문에, 커버(115) 및 기부(110)가 서로에 대해 완전히 잠길 때에도 존재하는 작은 갭(262)이 접속 영역(120) 내에서 커버(115)와 기부(110) 사이에서 생성될 수 있다. 스택(133)은 기부(110)와 커버(115) 사이에 고정되어, 이들이 서로 더 가까이 이동하는 것을 방지한다. 몇몇 실시예에서, 가스켓 또는 밀봉 조립체(도시되지 않음)가 갭(262) 내에 배치되어, 기부(110) 및 커버(115) 모두와 밀봉 접촉을 이룬다.
도 12 - 도 13을 참조하면, 장입된 용기(100)의 조립체가 본 개시내용의 일 실시예로 도시되어 있다. 도 12에서, 커버(115)는 접속 영역(120) 내로 이동한다. 도 13에서, 커버(115)는 그의 최상위 부분에서 스택(133)에 대해 가압하여 (예컨대, 도 2), 커버(115)의 저면, 구체적으로 그의 측벽(135)의 하위 단부에서 갭(262)을 남기고, 그렇지 않으면 기부(110)와 접촉한다. 갭(262)은 접촉이, 예를 들어, 용기(100) 내에서의 스택(133)의 더 헐거운 맞춤 및 흔들림을 일으킬 수 있는 커버(115)와 기부(110) 사이 대신에, 커버(115)와 스택(133) 사이에서 발생하도록 보장하는 것을 돕는다. 따라서, 스택(133), 커버(115), 및 기부(110)는, 예를 들어 우발적인 낙하에 기인하는, 용기(100) 상의 외부 충돌 충격에 대항하여 기판(105)의 보호 및 격납을 위해 모두 함께 작동한다. 다른 관련 특징 및 장점은 위에서 참조로 통합된, 위에서 식별된 공동 양도된 미국 가특허 출원 제62/089,087호에 설명되어 있다. 대안적인 실시예에 따르면, 커버(115)는 접속 영역(120)에서 기부(110)와 직접 접촉하도록 당겨질 수 있고, 스택(133)은 대안적인 방법을 사용하여 용기(100) 내에 타이트하게 고정될 수 있음을 알아야 한다.
도 14 - 도 15를 참조하면, 잠금 메커니즘(125)이 본 개시내용의 일 실시예에 따라 도시되어 있다. 예시의 목적으로, 각각의 플랜지(162)의 잠금후 사용시 편향은 반드시 축척에 맞는 것은 아니다. 이러한 실시예에 따르면, 도 9 및 도 10의 편향 리세스(246)가 제거되거나 깊이가 감소되어, 도 10에 도시된 편향에 대해 증가된 편향 각도를 일으킨다. 하방으로 경사진 맞물림 표면(187)에 대한 일치가 또한 도시된 바와 같이 플랜지(162)의 국소적인 비틀림을 일으킬 수 있다. 다른 특징은 이전에 설명된 바와 같다.
도 16 - 도 18을 참조하면, 편향 제한기(300)가 본 개시내용의 일 실시예로 도시되어 있다. 제한기(300)는 플랜지(162) 아래에서 커버(115)로부터 외측으로 연장하는 리브(305)를 포함한다. 정합 구조물(340)이 방사상 방향(r)으로 실질적으로 정렬되는 전개 배향에서 리브(305)를 고정하기 위해 플랜지(162)의 저면 표면(225) 상에 배치될 수 있다. 도시된 실시예에서, 정합 구조물(340)은 기울어진 표면(320) 및 멈춤 블록(325)을 갖는 램프 블록(315)을 포함한다. 슬롯(330)이 램프 블록(315)과 멈춤 블록(325) 사이에 형성되고, 슬롯(330)은 램프 블록(315)과 멈춤 블록(325) 사이에 리브(305)를 포착하도록 크기 설정된다.
제조 시에, 리브(305)는 플랜지(162)를 형성하는 주형의 부분 내에서의 통과 코어(도시되지 않음)의 사용에 의해 형성될 수 있다. 통과 코어는 플랜지(162)의 저면 표면(225)과 리브(305)의 상위 모서리(350) 사이에 간극(345)을 제공한다. 몇몇 실시예에서, 통과 코어의 인위적 생성물은 성형시 구성에서 리브(305) 위에 정렬되는 플랜지(162) 내에 형성된 슬롯(335)이다.
기능적으로, 리빙 힌지(310)가 잠금 부재(160)에 대한 리브(305)의 선택적인 수동 회전을 가능케 한다. 편향 가능한 플랜지(162)의 저면 표면(225) 상에 성형된다. 간극(345)은 작동 위치에서의 설정을 위해, 리브(305)가 필요하다면 리빙 힌지(310) 둘레에서 회전하는 것을 가능케 한다. 간극(345)은 또한 플랜지(162)가 제한기(300)와 맞물리기 전에 겪는 편향의 양을 한정한다.
사용 시에, 작업자는 리브(305)를 램프 블록(315) 위로 그리고 위에서 활주하는 도 16에 도시된 그의 성형시 초기 위치로부터 도 18에 도시된 바와 같은 슬롯(330) 내의 작동 위치 내로 클립핑하도록 회전시킨다. 편향 제한기(300)는 선택적인 전개의 추가의 장점과 함께, 실질적으로 본원에서 이전에 설명된 방식으로 그리고 장점을 가지고 플랜지(162)의 하방 편향을 제한한다. 통과 코어의 사용은 또한 더 타이트한 편향 제어를 위해 플랜지(162)와 제한기(300) 사이에 더 작은 편향 간극을 정확하게 제공할 수 있다.
위에서 설명된 실시예는 예시적이며 제한적이지 않도록 의도된다. 추가의 실시예가 청구범위 내에 있다. 본 개시내용이 특정 실시예를 설명하지만, 본 기술 분야의 통상의 기술자는 변화가 본 개시내용의 사상 및 범주로부터 벗어남이 없이 형태 및 본질에 있어서 이루어질 수 있음을 인식할 것이다.
본원에서 개시되는 추가의 도면 및 방법 각각은 그를 만들고 사용하기 위한 개선된 장치 및 방법을 제공하기 위해, 분리되어 또는 다른 특징 및 방법과 함께 사용될 수 있다. 그러므로, 본원에서 개시되는 특징 및 방법의 조합은 본 개시내용을 그의 가장 넓은 의미에서 실시하기 위해 필수적인 것은 아니고, 대신에 대표적이며 바람직한 실시예를 구체적으로 설명하기 위해서만 개시된다.
실시예에 대한 다양한 변형예가 본 개시내용을 읽을 때 본 기술 분야의 통상의 기술자에게 명백할 수 있다. 예를 들어, 관련 기술 분야의 통상의 기술자는 상이한 실시예들에 대해 설명된 다양한 특징들이 다른 특징들과 함께, 단독으로, 또는 상이한 조합으로, 적합하게 조합, 조합 해제, 및 재조합될 수 있음을 인식할 것이다. 유사하게, 위에서 설명된 다양한 특징들은 모두 본 개시내용의 범주 또는 사상에 대한 제한이 아닌, 예시적인 실시예로서 간주되어야 한다.
관련 기술 분야의 통상의 기술자는 다양한 실시예가 위에서 설명된 임의의 개별 실시예에 도시된 것보다 더 적은 특징을 포함할 수 있음을 인식할 것이다. 본원에서 설명되는 실시예는 다양한 특징들이 조합될 수 있는 방식의 한정 나열적인 제시인 것으로 의미되지 않는다. 따라서, 실시예들은 특징들의 상호 배타적인 조합이 아니고; 오히려, 청구범위는 본 기술 분야의 통상의 기술자에 의해 이해되는 바와 같이, 상이한 개별 실시예들로부터 선택된 상이한 개별 특징들의 조합을 포함할 수 있다.
상기 문헌들의 임의의 참조적 통합은 본원의 명확한 개시내용과 대조적인 보호 대상이 포함되지 않도록 제한된다. 상기 문헌들의 임의의 참조적 통합은 아울러 문헌에 포함된 청구범위가 본원에서 참조로 통합되지 않도록 제한된다. 상기 문헌들의 임의의 참조적 통합은 아울러 문헌 내에 제공된 임의의 정의가 명확하게 본원에 포함되지 않으면 본원에서 참조로 통합되지 않도록 제한된다.
본원에 포함된 "실시예(들)", "개시내용", "본 개시내용", "개시내용의 실시예(들)", "개시되는 실시예(들)" 등의 언급은 허용된 종래 기술이 아닌 본 특허 출원의 명세서(청구범위 및 도면을 포함하는 텍스트)를 지칭한다.
청구범위를 해석할 목적으로, 35 U.S.C. 112(f)의 규정은 "~을 위한 수단" 또는 "~을 위한 단계"의 구체적인 용어가 각각의 청구범위에서 언급되지 않으면 적용되지 않음이 명확하게 의도된다.

Claims (26)

  1. 복수의 적층된 기판을 수납하도록 구성된 기판 보관 영역을 형성하는, 기판을 위한 용기이며, 상기 용기는
    상방으로 연장하는 측벽을 포함하는 기부로서, 상기 측벽은 기판 보관 영역을 적어도 부분적으로 둘러싸도록 배치되고, 기부는 기부로부터 상방으로 연장하는 적어도 하나의 탄성 잠금 부재를 포함하고, 잠금 부재는 실질적으로 하방으로 향하는 맞물림 표면을 갖는 맞물림 부분을 포함하는, 기부;
    하방으로 연장하는 측벽을 포함하는 커버로서, 상기 커버는 기판 보관 영역을 적어도 부분적으로 둘러싸기 위해 기부와 협동하는, 커버; 및
    상기 커버에 작동식으로 결합되고 커버의 측벽에 대해 방사상 외측으로 연장하는 적어도 하나의 편향 가능한 코너 플랜지로서, 상기 편향 가능한 코너 플랜지는 커버에 대해 하방으로 편향 가능하도록 구성 및 배열되고, 편향 가능한 코너 플랜지는 잠금 부재를 수납하도록 구성된 개구를 형성하고, 편향 가능한 코너 플랜지는 기부에 대해 커버를 잠그기 위해 잠금 부재의 맞물림 부분과 맞물리도록 구성된 상위 표면을 형성하는, 코너 플랜지
    를 포함하는, 용기.
  2. 제1항에 있어서,
    적어도 하나의 편향 가능한 코너 플랜지는 커버 둘레에 분포된 적어도 4개의 편향 가능한 코너 플랜지를 포함하고;
    적어도 하나의 잠금 부재는 기부 둘레에 분포되고 적어도 4개의 코너 플랜지와 대체로 정렬되는 적어도 4개의 잠금 부재를 포함하는, 용기.
  3. 제1항에 있어서,
    잠금 부재는, 기부에 대한 커버 및 코너 플랜지 함께의 하방 이동이 용기의 중심 축을 향해 잠금 부재를 편위시키기 위해 캠 표면에 힘을 인가하도록, 편향 가능한 코너 플랜지의 개구의 모서리와 맞물리도록 구성된 캠 표면을 갖는 후크 부분을 형성하고;
    코너 플랜지는, 커버에 대한 코너 플랜지의 편향이 후크 부분이 개구를 빠져나가게 하고 잠금 메커니즘이 잠금 위치로 방사상 외측으로 스냅핑하게 하도록, 구성 및 배열되고;
    잠금 부재의 맞물림 부분은 기부에 대해 커버를 잠그기 위해 코너 플랜지의 상위 표면과 맞물리는, 용기.
  4. 제3항에 있어서, 캠 표면은 상기 개구 모서리와 맞물리도록 구성된 2개의 캠 표면 부분을 형성하고, 2개의 캠 표면 부분들은 그들 사이에 갭을 형성하는, 용기.
  5. 제4항에 있어서, 각각의 잠금 부재는 그의 상위 부분에서 측표면 및 기부 표면을 형성하고, 측표면 및 기부 표면은 2개의 캠 표면 부분들 사이에 갭을 형성하도록 배치되는, 용기.
  6. 제5항에 있어서, 기부 표면은 2개의 캠 표면 부분들 사이의 갭의 저면에 형성된 중심 개방부를 형성하는, 용기.
  7. 제6항에 있어서, 편향 가능한 코너 플랜지의 하방 편향과 맞물려서 이를 제한하기 위해 편향 가능한 코너 플랜지 아래에서 잠금 부재 상에 적어도 부분적으로 배치된 편향 제한기를 포함하고, 중심 개방부는 편향 제한기 바로 위치서 그와 일렬로 배치되는, 용기.
  8. 제1항에 있어서, 편향 가능한 코너 플랜지는 커버와 단일편으로서 성형되는, 용기.
  9. 제1항에 있어서, 코너 플랜지는 코너 플랜지를 편향시키기 위한 하방력을 받도록 구성된 푸시 패드를 형성하는, 용기.
  10. 기판 용기이며, 상기 기판 용기는
    용기 내에 기판 스택 내의 기판들을 수납하도록 구성된 복수의 기판 지지부;
    용기의 외측 구조를 형성하고 기판 지지부를 에워싸는 제1 및 제2 케이스 부분; 및
    제1 및 제2 케이스 부분을 서로에 대해 잠그고, 용기 내에서 기판 스택을 고정하도록 구성된 잠금 메커니즘으로서, 상기 잠금 메커니즘은 제1 케이스 부분의 방사상 외측 위치에 고정되고 배치된 편향 가능한 탭을 포함하고, 잠금 메커니즘은 제2 케이스 부분의 방사상 외측 부분에 고정되고 배치된 잠금 부재를 포함하는, 잠금 메커니즘
    을 포함하고,
    편향 가능한 탭은 내부에 개방부를 형성하고, 개방부는 제1 및 제2 케이스 부분들을 함께 잠그기 위해 잠금 부재를 수납하도록 구성되고;
    편향 가능한 탭은, 기판 스택이 제1 및 제2 케이스 부분 내에 고정 유지되도록, 케이스 부분들 중 하나를 통해 기판 스택에 대항하여 압축력을 인가하도록 잠금 부재에 대항하여 편위되는,
    용기.
  11. 제10항에 있어서, 기판 스택은 제1 및 제2 케이스 부분들의 서로에 대한 이동에 대항하는 멈춤부를 생성하는, 용기.
  12. 제11항에 있어서, 기판 스택은 제1 케이스 부분과 제2 케이스 부분 사이에 갭을 생성하는, 용기.
  13. 제10항에 있어서, 탭의 편향을 제한하기 위해 잠금 부재에 적어도 부분적으로 부착된 편향 제한기를 포함하는 용기.
  14. 제13항에 있어서, 편향 제한기는 잠금 부재 상에 배치된 힌지 둘레에서 회전 가능한 리브, 및 회전 가능한 리브를 수납하도록 구성된 편향 가능한 탭에 의해 형성된 포켓을 포함하는, 용기.
  15. 기판 스택과 조합된 기판을 위한 용기이며, 상기 용기는
    주연부 및 측벽을 갖는 기부로서, 상기 측벽은 주연부 내부에서 상방으로 연장하며 측벽 내부에서 기판 스택을 격납하는 보관 포켓을 형성하고, 기부는 주연부와 측벽 사이에 위치된 한 쌍의 탄성 잠금 부재를 포함하고, 각각의 잠금 부재는 하방으로 향하는 맞물림 표면을 갖는 후크 부분을 구비한 직립 부분을 갖는, 기부; 및
    주연부 및 측벽을 갖는 커버로서, 상기 측벽은 주연부 내부에서 하방으로 연장하고, 커버는 보관 포켓을 에워싸도록 기부 상에 배치 가능하고, 커버는 한 쌍의 잠금 개구를 형성하는 편향 가능한 플랜지를 포함하고, 플랜지들은 잠금 개구에 인접하여 각각의 하방으로 향하는 맞물림 표면을 수납하도록 구성된 표면을 각각 형성하고, 잠금 개구는 커버의 주연부와 커버의 측벽 사이에 위치되며 잠금 부재들의 쌍에 대응하고, 잠금 부재들의 쌍이 개구들의 쌍에서 커버와 맞물릴 때, 커버는 기부에 대해 잠기는, 커버
    를 포함하고,
    기판 스택은 복수의 기판 및 복수의 기판 지지부를 포함하는,
    용기.
  16. 제15항에 있어서, 커버는 스택과 접촉하고, 스택은 커버가 기부에 대해 잠길 때, 커버를 기부를 향한 이동으로부터 정지시키도록 구성되는, 조합체.
  17. 제16항에 있어서, 커버는 커버가 기부에 대해 잠길 때, 최상위 기판 지지부에 대항하여 밀봉하는, 조합체.
  18. 제15항에 있어서, 후크 부분의 각각의 하방으로 향하는 맞물림 표면을 수납하도록 구성된 플랜지 표면은 플랜지 내에 잠금 리세스를 형성하는, 조합체.
  19. 제18항에 있어서,
    잠금 리세스는 플랜지의 잔여부에 대해 하방으로 각도를 이루고;
    후크 부분의 맞물림 표면은 잠금 리세스에 대응하도록 하방으로 각도를 이루는, 조합체.
  20. 제19항에 있어서, 맞물림 표면의 하방 각도 및 잠금 리세스의 하방 각도는 커버가 기부에 대해 잠길 때, 플랜지를 하방으로 편향시키도록 구성되는, 조합체.
  21. 제15항 내지 제20항 중 어느 한 항에 있어서, 편향 가능한 플랜지는 커버가 기부에 대해 잠길 때 편향되고, 편향된 플랜지는 기부를 향해 커버를 당기고 커버가 용기 내에 스택을 유지하기 위해 스택에 압력을 인가하게 하도록, 잠금 부재에 압력을 인가하는, 조합체.
  22. 제21항에 있어서, 스택은 커버가 기부에 대해 잠길 때, 커버의 측벽이 기부와 커버의 측벽 사이의 갭을 폐쇄하는 것을 방지하도록 구성되는, 조합체.
  23. 제21항에 있어서, 플랜지의 편향은 스택마다의 적층 불확실성 높이 변동을 수용하는, 조합체.
  24. 기판을 위한 용기 및 복수의 기판의 조합체이며,
    용기 기부;
    용기 커버;
    용기 내에 배치된 복수의 기판 지지부;
    용기 내에서 기판 지지부 상에 실질적으로 동심으로 배치된 복수의 기판;
    기부 및 커버를 함께 고정하고 용기 내에서 복수의 기판을 고정하도록 구성된 체결 메커니즘으로서, 체결 메커니즘은 커버와 결합되고 커버에 대해 굽힘 가능한 굽힘 가능한 플랜지를 포함하고, 굽힘 가능한 플랜지는 개구를 형성하고, 체결 메커니즘은 기부에 연결된 편위된 체결 부재를 포함하고, 편위된 체결 부재는 개구를 통해 연장하며 기부에 대해 커버를 체결하기 위해 개구 내에서 체결 위치로 복원하도록 구성되고, 편위된 체결 부재는 개구에 인접하여 굽힘 가능한 플랜지의 대향 측면들과 접촉하고 대향 방향들로의 굽힘 가능한 플랜지의 굽힘을 제한하도록 구성된 제1 및 제2 맞물림 표면들을 형성하는, 체결 메커니즘
    을 포함하는, 조합체.
  25. 제24항에 있어서, 제1 및 제2 맞물림 표면들 중 하나만이 한 번에 굽힘 가능한 플랜지와 접촉하여, 대향 방향들 중 각각의 하나에서 굽힘 가능한 플랜지의 굽힘을 제한할 수 있는, 조합체.
  26. 제24항에 있어서, 상기 기판은 반도체 웨이퍼인, 조합체.
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