JP2021168329A - 基板収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】略円形基板を収納するための基板収納容器１を利用して、種々の略矩形基板Ｐを好適に収納できるようにする。【解決手段】基板収納容器１は、前方に基板の出し入れを行う開口２１が設けられた容器本体２０と、その開口２１を閉じる蓋体４０と、を備え、開口２１を前方から見て容器本体２０内の左右の両側面にはそれぞれ、略円形基板を載置するための棚部３０が設けられている。これらの棚部３０はそれぞれ、互いに上下に離間する複数の棚板部３１を有し、左右両側の棚部３０において同じ高さにて対をなす棚板部３１の間に架け渡され、略矩形基板Ｐを支持するための支持補助部材（支持補助トレイ５０）が着脱自在に取り付けられている。【選択図】図１

Description

本発明は基板収納容器に関し、特に、半導体ウェーハ等の略円形基板を収納するための容器に、略矩形状のガラスパネル等の基板を収納するための構造に関する。

従来より、略円形基板の収納容器として、前方に向かって開口するフロントオープン・タイプの容器本体と、この容器本体の開口を閉じる蓋体と、を備えたものが知られている。このものでは、前記開口を前方から見て、容器本体内の左右の両側面にそれぞれ、略円形基板を載置するための棚部が設けられていて、複数の棚板部が上下に等間隔に形成されている（例えば特許文献１を参照）。

ところで、液晶パネル用基板等のガラスパネルを扱う製造工程では、略矩形状の基板を工程間で移送したり、一時的に保管したりするために、それらを収納する容器が用いられている。また、近年では、ＩＣチップなどの電子部品のさらなる量産化を進めるために、矩形状のガラスパネル等に多数のベアチップを形成、実装することがあり、このために略矩形基板の使用が増える傾向にある。

特開２０１５−１６２４７６号公報

しかしながら、前記の如き略矩形基板を収納するためだけに専用の容器を製作することは、コスト面でのデメリットが大きい。一方で、略円形基板の収納容器にそのまま略矩形基板を収納しようとしても、例えば半導体ウェーハ等の略円形基板と略矩形基板とでは、形状や厚みが異なるだけでなく、好適な収納ピッチも異なるため、そのままでは収納することが難しい。

本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、略円形基板を収納するための容器を利用して、種々の略矩形基板を好適に収納できるようにすることにある。

（１）本発明に係る１つの態様は、基板収納容器であって、前方に基板の出し入れを行う開口が設けられた容器本体と、前記開口を閉じる蓋体と、を備え、前記開口を前方から見て前記容器本体内の左右の両側面にはそれぞれ、略円形基板を載置するための棚部が設けられ、前記左右両側の棚部はそれぞれ、互いに上下に離間する複数の棚板部を有し、前記左右両側の棚部において同じ高さにて対をなす棚板部の間に架け渡され、略矩形基板を支持するための支持補助部材が着脱自在に取り付けられているものである。
（２）上記（１）の態様において、前記支持補助部材は、前記対をなす棚板部のそれぞれに取り付けられて前後方向に延びる一対の支持板部と、前記一対の支持板部の後端部同士を連結するように左右方向に延びる連結板部と、を有してもよい。
（３）上記（２）の態様において、前記各棚板部の上面または下面のいずれか一面には、段差面を形成するように起立する段部が少なくとも１箇所、設けられ、前記支持補助部材の各支持板部の幅方向の外側面には、該各支持板部の延び方向および厚み方向に互いにずれた位置に、第１および第２の係合片が設けられ、前記棚板部に前記支持板部が取り付けられたとき、前記第２係合片が前記段差面に当接しつつ前記棚板部の前記一面に当接する一方、前記第１係合片は棚板部の他面に当接するようにしてもよい。
（４）上記（２）または（３）の態様において、前記支持補助部材に載置された前記略矩形基板の前縁部における左右両端部に当接するように、前記一対の支持板部のそれぞれの前端部に前壁部が設けられていてもよい。
（５）上記（４）の態様において、前記支持補助部材に載置された前記略矩形基板の左右両側縁部に対向する側壁部が、前記一対の支持板部において前記略矩形基板の厚みを超える高さに設けられ、前記前壁部および前記側壁部の少なくとも一方に、前記略矩形基板を視認可能に窓部が設けられていてもよい。
（６）上記（１）〜（３）のいずれかの態様において、前記蓋体に、前記略矩形基板を保持するためのリテーナが設けられ、前記リテーナは、前記略矩形基板の前縁部に当接して保持する当接保持部と、前記当接保持部を前記蓋体に対し前後方向に変位可能に連結し、かつ後方に付勢する連結付勢部と、前記当接保持部が前方に所定量、変位したときに前記蓋体の後面に当接するよう、前記当接保持部の前部から前方に突出する凸部と、を備えていてもよい。
（７）上記（６）の態様において、前記リテーナの当接保持部は、前記略矩形基板の前縁部に当接する後端面が、上下方向の中心線を有する円弧面によって形成されていてもよい。

本発明の基板収納容器によれば、略円形基板を載置するために容器本体内の左右両側面に設けられた棚部に対して、略矩形基板を載置するための支持補助部材が着脱自在に取り付けられ、同じ高さにて対をなす左右の棚板部の間に架け渡されているので、本来は略円形基板を収納するための容器を利用して、種々の略矩形基板を好適に収納することができる。

本発明に係る実施形態１の基板収納容器を示す分解斜視図である。 本体容器を切断して、棚部に取り付けた支持補助トレイを示す斜視図である。 棚板部に支持補助トレイを取り付ける構造を拡大して示す斜視図である。 支持補助トレイに載置した略矩形基板を示す斜視図である。 容器本体に異なるピッチで収納した略矩形基板を示す斜視図であり、収納ピッチが狭い場合を示す。 容器本体に異なるピッチで収納した略矩形基板を示す斜視図であり、収納ピッチが広い場合を示す。 実施形態２の基板収納容器において蓋体の裏側に設けたリテーナを示す斜視図である。 実施形態２の基板収納容器において蓋体の裏側に設けたリテーナを示す模式図である。

以下、本発明の実施形態について添付の図面を参照して詳細に説明する。本明細書の実施形態においては全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。なお、添付図面では、見易さのために、複数存在する同一属性の部位には、一部のみしか参照符号が付されていない場合がある。

（実施形態１）
図１は、本発明の基板収納容器の実施形態１を示す分解斜視図である。基板収納容器１は、半導体ウェーハ等の略円形基板（図示せず）を収納して、製造ラインの工程内搬送や外部への出荷等に用いられるもので、所定枚数の略円形基板を収納する容器本体２０と、容器本体２０の正面（図の左側面）に形成される開口２１を開閉自在に覆う蓋体４０と、を備えている。

すなわち、容器本体２０は、その正面（前方）に基板の出し入れを行う開口２１が設けられた、いわゆるフロントオープンボックスタイプのものであり、前方から見て容器本体２０の左右の両内側面にはそれぞれ、略円形基板を載置するための棚部３０が設けられている（左側の棚部のみ図示）。左右の各棚部３０は左右対称形状であり、例えばインサート成形によって容器本体２０の側壁と一体になるように設けられる。

図２にも示すように各棚部３０には、容器本体２０に収納する略円形基板の枚数（例えば、６枚、１２枚・・・２５枚）に対応して、複数の棚板部３１が上下方向に並んで設けられている。そして、略円形基板は、容器本体２０の前方の開口２１から後方に向かって挿し入れられ、その周縁部を左右の棚板部３１に支持されて、略水平になるように載置され、容器本体２０の上下方向に並んで収納される。

そうして棚部３０が設けられている容器本体２０の左右の側壁の間隔は、棚部３０の後端近傍よりも後側の領域が前側の領域よりも狭くなっており、それらの領域の間には後方に向かって間隔が狭まるように傾斜する傾斜壁部２２が形成されている。この傾斜壁部２２には、図示はしないが、容器本体２０内の後方領域に臨んで略円形基板の後縁部に当接し、後方への移動を規制する進入規制部が設けられている。

なお、図示の容器本体２０の天板上面には、製造工程において天井搬送機構等に保持される搬送用のロボティックフランジ１１が取り付けられている一方、容器本体２０の底板下面にはボトムプレート１２が取り付けられている。また、容器本体２０の左右の側壁の外側面にはそれぞれ、搬送時に作業者が掴みやすいように傾斜させてマニュアルハンドル１３が取り付けられている。

蓋体４０は、概略矩形状とされ、図示しないガスケットを介して容器本体２０の開口２１を閉じるもので、その左右両側寄りの部位に施錠機構４１が内蔵されている。詳しくは図示しないが、施錠機構４１は、鍵穴に挿入される鍵の操作に応じて施錠位置と解錠位置とに変位するラッチを備え、ラッチが容器本体２０側の係合部に係合されたり、係合解除されたりすることで、蓋体４０の施錠および解錠が行われるものである。

また、蓋体４０には、前記のように容器本体２０内に収納した略円形基板の前縁部を保持するためのリテーナ（図示せず）も配設されている。一方、容器本体２０内には、略円形基板とは異なる形状の基板、例えばガラスパネル等の略矩形基板Ｐ（図４を参照）も収納できるように、左右両側の棚部３０に着脱自在に支持補助トレイ５０（支持補助部材）が取り付けられるようになっている。

なお、容器本体２０および蓋体４０、支持補助トレイ５０は、例えばポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマー、シクロオレフィンポリマーなどの合成樹脂から形成することができる。また、これらの樹脂に、カーボンパウダー、カーボン繊維、カーボンナノチューブなどを添加して、導電性を付与することもできる。

（支持補助トレイの取付構造）
本実施形態では、収納する略矩形基板Ｐの形状や寸法に対応する支持補助トレイ５０を準備し、これを容器本体２０の左右両側の棚部３０において同じ高さにて対をなす棚板部３１の間に架け渡すように取り付けている。以下、支持補助トレイ５０を棚板部３１に取り付ける構造について説明するが、便宜上、支持補助トレイ５０単独の説明においても、棚板部３１に取り付けた状態での前後、左右、上下を説明に用いることがある。

まず、図２、図３を参照して棚板部３１の構造について詳しく説明すると、図２には、容器本体２０を切断して左側の半分を示すように、棚部３０において上下に並ぶ複数の棚板部３１はそれぞれ、容器本体２０の内方（左側壁であれば右方）に向かって略水平に張り出しつつ、前後方向に延びている。棚板部３１の前端は、開口２１からやや後方に入った位置にあり、後端は側壁の傾斜壁部２２の付近に位置する。

なお、上下に並ぶ棚板部３１同士の間隔については、例えば半導体ウェーハのような薄板状の略円形基板の通常の撓み量を超える大きさに設定すればよいが、撓み量の２倍以上に設定することが好ましい。現在多く使われている直径２００ｍｍ厚さ７２５μｍのシリコンウェーハや、直径３００ｍｍ厚さ７７５μｍのシリコンウェーハは、その表面に電子回路を形成した後に裏面を研削して、その肉厚を半導体部品として使用させることがある。この場合、通常の撓み量は数ｍｍ〜１０ｍｍ前後である。

図３に拡大して示すように棚板部３１には、略円形基板の周縁部を支承する板状の支承部３１ａと、その上面から起立した段部３１ｂとが一体に設けられている。図示の例では支承部３１ａの上面に、略円形基板との接触を極力、少なくするために２つの突条３１ｃが前後に間隔をあけて突設されているが、この突条３１ｃを省略して支承部３１ａの上面に直接、略円形基板を載せるようにしてもよい。

また、前記段部３１ｂは、支承部３１ａの前端部上に設けられて、支承部３１ａの上面から上方（支承部３１ａの厚みの方向外方）に起立しており、このため、段部３１ｂの上面が支承部３１ａの上面よりも高くなっていて、両者間に段差面３１ｄが形成されている。図示の例では段差面３１ｄは、後方に向かうに従って棚板部３１の幅方向内側（容器本体２０の内方）から外側に近づくように円弧状に延びている。

このように形成された段差面３１ｄは、略円形基板を容器本体２０の開口２１から挿し入れて、棚板部３１の支承部３１ａに載せるときに、その略円形基板を案内する案内壁として機能し、また、支承部３１ａに載せた後は略円形基板の前方への移動を規制する規制壁として機能する。なお、略円形基板の後方への移動の規制は、その後縁部が上述した傾斜壁部２２の進入規制部に当接することにより行われる。

そして、前記の棚板部３１には、図２、３の他に図４にも示すように、支持補助トレイ５０が着脱可能に取り付けられる。支持補助トレイ５０は、前方に開放された平面視コ字状の枠体として形成されており、載置する略矩形基板Ｐの幅に対応する所定間隔を空けて略直線状に前後方向に延びる左右一対の支持板部５１と、これらの支持板部５１の後端部同士を連結する連結板部５２とを有している。

図３に表れているように、支持補助トレイ５０の支持板部５１は、前後方向に延びる長尺の本体板部５１ａと、その側縁から上方に延びる側壁部５１ｂとが一体に形成されて、横断面が概略Ｌ字状をなし、さらに側壁部５１ｂの近傍で本体板部５１ａの上面から起立した段部５１ｃが側壁部５１ｂに沿って長手方向の全体に設けられて、略矩形基板Ｐの側縁部を支承するようになっている。

また、支持板部５１の後端部においては側壁部５１ｂがクランク状に屈曲しており、この屈曲部分が、略矩形基板Ｐの後縁部における左右両端部にそれぞれ当接する後壁部を構成している。図示の例では後壁部の前面に前方への小さな膨出部５１ｄが設けられており、図４に示すように支持補助トレイ５０に略矩形基板Ｐが載置されたとき、その後縁部に当接してそれ以上の後方への移動を規制するようになる。

また、左右の支持板部５１の後端部同士を連結する連結板部５２も、支持板部５１と同じく長尺の本体板部５２ａを有し、左右方向に延びる本体板部５２ａの前側縁から上方に延びる前側壁部５２ｂが設けられている。図示の例では支持板部５１と連結板部５２とは一体に形成され、前側壁部５２ｂの左右両端部がそれぞれ支持板部５１の後端部においてクランク状に屈曲した後の側壁部５１ｂに連繋して、剛性の確保に寄与している。

また、連結板部５２の前側壁部５２ｂの左右両端部と、支持板部５１の本体板部５２ａの後端部との間には、斜交状に隅部を連繋する補強板部５１ｅも設けられて、剛性の確保に寄与している。さらに、連結板部５２の本体板部５２ａには、その上面から上方に突出しつつ、前側壁部５２ｂから後方に向かって延びる補強リブ５２ｃが左右方向に略等間隔で複数（図の例では３個）設けられている。

なお、支持板部５１の後端部において、前記のようにクランク状に屈曲した後の側壁部５１ｂの外側では、本体板部５１ａの後端部が後方に向かうほど幅の狭くなる台形状とされている。すなわち、この台形状の部分の外側縁は、支持補助トレイ５０を棚板部３１に取り付けたときに、容器本体２０の側壁の後端部と干渉しないように傾斜する形状とされている。

一方、支持板部５１の前端部においては、側壁部５１ｂが本体板部５１ａの前縁に沿うように平面視でＬ字状に屈曲しており、この屈曲部分は、図４に示すように支持補助トレイ５０に略矩形基板Ｐが載置されたときに、その前縁部における左右両端部に当接する前壁部５１ｆとなる。この前壁部５１ｆの後面にも小さな膨出部（図示せず）が設けられ、ここに略矩形基板Ｐの前縁部が当接することで、前方への変位が規制される。

このようにして略矩形基板Ｐを支持補助トレイ５０に載置した状態で、支持板部５１の前端の前壁部５１ｆと略矩形基板Ｐの前縁（前面）との間には所定の隙間が残る。同様に、支持板部５１の後端部における側壁部５１ｂの屈曲部分（後壁部）と、略矩形基板Ｐの後縁（後面）との間にも所定の隙間が残る。つまり、略矩形基板Ｐは適切な隙間をもって前後方向に位置決めされることになる。

前記図４に表れているように略矩形基板Ｐを支持補助トレイ５０に載置したとき、この略矩形基板Ｐが通常の厚み（例えば０．２〜５．０ｍｍくらい）である場合、その上面の高さは支持板部５１の側壁部５１ｂおよび前壁部５１ｆの上端よりも低く位置づけられる。言い換えると、側壁部５１ｂおよび前壁部５１ｆは、略矩形基板Ｐの左右の側縁部を支持する段部５１ｃの上面からの高さが、略矩形基板Ｐの厚みを超えるように設定されている。

但し、そうして側壁部５１ｂおよび前壁部５１ｆによって略矩形基板Ｐを部分的に取り囲んでしまうと、例えば画像処理装置やレーザセンサによって略矩形基板Ｐの有無を側方から検知することが困難になる。そこで、本実施形態では側壁部５１ｂの前端近傍、前壁部５１ｆの近くに断面Ｕ字状の切欠部５１ｇを設けて、側方から略矩形基板Ｐを視認可能な窓部としている。

これにより、蓋体４０を取り外して、容器本体２０の開口２１の左端または右端に前方からカメラやレーザセンサを挿入し、切欠部５１ｇを介して略矩形基板Ｐの有無を検知することが可能になる。なお、切欠部５１ｇの形状はＵ字状に限らないし、切欠きではなく穴を設けてもよい。また、略矩形基板Ｐを視認可能な窓部であれば、前壁部５１ｆおよび側壁部５１ｂの少なくとも一方に設けることができる。

（取付部の構造）
図３に戻って、支持補助トレイ５０には、支持板部５１の延びる前後方向の中間部に、その側壁部５１ｂの外側面から外方に張り出して、棚板部３１に連結される取付板部５３が設けられている。この取付板部５３には、前後方向および上下方向（取付板部５３の厚み方向）に互いにずれた位置に、第１および第２の係合片５３ａ〜５３ｃが設けられて、間に棚板部３１の支承部３１ａを挟むようになっている。

詳しくは前記取付板部５３は、支持板部５１の本体板部５１ａと略同じ厚みを有して、略同じ高さに位置している。これに対して第１係合片５３ａは、本体板部５１ａよりも薄い板状とされ、その板面を上下方向に向けつつ、相対的に下側の位置で取付板部５３の外側面から外方に向かって張り出している。そして、棚板部３１に取り付けられたときに第１係合片５３ａは、その下面に当接することになる。

また、第２係合片５３ｂも第１係合片５３ａと同じ薄板状とされ、その板面を上下方向に向けつつ、相対的に上側の位置で取付板部５３の外側面から外方に向けて張り出しており、棚板部３１に取り付けられたときにはその支承部３１ａの上面に当接する。図示の例では第２係合片５３ｂは、第１係合片５３ａよりも後方に設けられており、棚板部３１の上面に設けられた突条３１ｃの前側に当接することになる。

つまり、前記二つの係合片５３ａ、５３ｂは互いに上下方向（本体板部５１ａの厚み方向）にずれていて、棚板部３１の支承部３１ａを挟み込むようになっており、これにより支持板部５１の棚板部３１に対する位置決め、即ち支持補助トレイ５０の棚部３０に対する上下方向の位置決めが行われる。また、第２係合片５３ｂが支承部３１ａの上面の突条３１ｃに当接することで、支持補助トレイ５０の後方への移動が規制される。

図示の例では、前記第２係合片５３ｂの他に、もう一つの第２係合片５３ｃが、第１係合片５３ａよりも前方に設けられている。この第２係合片５３ｃも、第１係合片５３ａや第２係合片５３ｂと同じ薄板状とされ、その板面を上下方向に向けつつ、第２係合片５３ｂと同じ高さで取付板部５３の外側面から外方に向かって張り出しており、棚板部３１に取り付けられたときにはその支承部３１ａの上面に当接するようになる。

また、第２係合片５３ｃは、第２係合片５３ｂよりも幅の狭い形状とされ、上下方向には撓み易くなっている。第２係合片５３ｃの先端部は、棚板部３１の上面における段差面３１ｄの湾曲形状に対応して、外側に凸となる湾曲形状とされている。そして、棚板部３１に取り付けられたときに第２係合片５３ｃの先端面が段差面３１ｄに当接し、前方への移動が規制されることで、支持補助トレイ５０の前方への移動が規制される。

なお、二つの第２係合片５３ｂ，５３ｃの下面は同一の高さとされており、これら両第２係合片５３ｂ、５３ｃの下面と第１係合片５３ａの上面との間には、上下方向に所定の間隔が設けられている。一例として、この間隔は、棚板部３１の支承部３１ａの厚みよりも若干、大きく設定されているが、この間隔を支承部３１ａの厚みと略同じかそれよりも若干、小さく設定してもよい。

前記の第１、第２係合片５３ａ〜５３ｃに加えて、取付板部５３の前端部には棚板部３１の前端部と係合する前端段部５３ｄおよび受け部５３ｅが設けられている。受け部５３ｅの上面は、前記第１係合片５３ａの上面と同じ高さに位置し、棚板部３１の前端部を下側から支える。また、前端段部５３ｄは、受け部５３ｅの前側に連続して相対的に厚肉に形成され、その後面に棚板部３１の前端部が当接するようになっている。

一方、取付板部５３の後端部は、後方に向かうほど幅の狭くなる形状とされ、その外側縁の形状は、例えば半導体ウェーハ等の略円形基板を棚板部３１に載置したときに、その周縁部が構成する外凸の湾曲形状とされている。すなわち、取付板部５３の後端部の外側縁は、支持補助トレイ５０を棚板部３１に取り付けたときに、容器本体２０の側壁の傾斜壁部２２（進入規制部）と干渉しないように傾斜する形状とされている。

上述の如き支持補助トレイ５０は概略、以下のようにして棚板部３１に取り付けられる。先ず、作業者は支持補助トレイ５０を手に持ち、その連結板部５２の側（後側）から開口２１を介して容器本体２０内に挿し入れる。このとき、支持補助トレイ５０の後側がやや上になるように傾けた状態で、その左右両側の取付板部５３の後側の第２係合片５３ｂを棚板部３１上に載せて、支持補助トレイ５０を後方にスライドさせる。

そのスライドにより支持補助トレイ５０の左右両側の取付板部５３の第１係合片５３ａが棚板部３１の前端を通過すると、この棚板部３１の下面に第１係合片５３ａの上面が当接するようになり、さらに支持補助トレイ５０を後方へ挿し入れると、前側の第２係合片５３ｃが棚板部３１の上面の段部３１ｂ上に乗り上げる。このとき、第２係合片５３ｃは上方に撓むことになり、下方への復元力が生じる。

その後、さらに支持補助トレイ５０を後方へ挿し入れると、段部３１ｂ上をスライドした第２係合片５３ｃが段差面３１ｄに到達し、その復元力によって下方に変位する。これにより、第２係合片５３ｃの下面が棚板部３１の支承部３１ａの上面に当接するとともに、その先端部が段差面３１ｄに当接する。このとき、略同時に後側の第２係合片５３ｂも突条３１ｃに当接し、さらには前端段部５３ｄが棚板部３１の前端部に当接する。

これにより、取付板部５３の第１係合片５３ａと第２係合片５３ｂ、５３ｃとが棚板部３１の支承部３１ａを上下に挟持することになり、支持補助トレイ５０は、上下方向に移動規制された状態で取り付けられる。また、前記前側の第２係合片５３ｃと段差面３１ｄとの当接、後側の第２係合片５３ｂと突条３１ｃとの当接、および前端段部５３ｄと棚板部３１の前端部との当接によって、支持補助トレイ５０の前後方向への移動も規制される。

一方、前記のようにして取り付けられた支持補助トレイ５０を、棚板部３１から取り外すときには、作業者は、支持補助トレイ５０における左右の支持板部５１の前端部を掴んで、それらが近づくように撓ませながら前方へ引き出す。これにより、左右の支持板部５１の各取付板部５３においては、前側の第２係合片５３ｃの先端部が棚板部３１の段差面３１ｄに案内されて、前方に移動しながら互いに近づくようになる。

そうして前方に移動する前側の第２係合片５３ｃの先端部が棚板部３１の段差面３１ｄから外れた後に、支持補助トレイ５０をさらに前方へ引き出し、第１係合片５３ａが棚板部３１の前端を通過した後に、支持補助トレイ５０を少しだけ上に持ち上げながら引き出すようにする。こうすると、後側の第２係合片５３ｂが棚板部３１の段差面３１ｄと干渉しないようになって、支持補助トレイ５０が棚板部３１から取り外される。

以上のように支持補助トレイ５０の取り付け取り外しは、さほど大きな力を必要とせず、簡単に行うことができるので、作業者は、容器本体２０に収納する略矩形基板Ｐの枚数や望ましい収納ピッチに応じて、棚板部３１に支持補助トレイ５０を取り付ければよい。例えば略円形基板を２５枚、収容できる容器本体２０の場合、支持補助トレイ５０の厚みを考慮すると、棚板部３１を一つおきに利用するのが好ましい。

すなわち、できるだけ多くの略矩形基板Ｐを収納する場合、具体例を図５Ａに示すように棚板部３１に一つおきに支持補助トレイ５０を取り付ければ、上下方向に等間隔に１３枚の略矩形基板Ｐを収納することができる。一方、より広いピッチで収納するのであれば、図５Ｂに示すように三つおきに支持補助トレイ５０を取り付けて、７枚の略矩形基板Ｐを収納することもできる。

また、支持補助トレイ５０に略矩形基板Ｐを載置するときには、例えばロボットアームなどにより略矩形基板Ｐを支持して、開口２１から容器本体２０に挿し入れる。この際、略矩形基板Ｐの周縁部が支持補助トレイ５０の支持板部５１の前壁部５１ｆと干渉しないように、この前壁部５１ｆよりも少し高い位置で挿し入れる。そして、前壁部５１ｆを越えた後に略矩形基板Ｐを下方に移動させる。

これにより、略矩形基板Ｐの左右両側縁部がそれぞれ支持補助トレイ５０の支持板部５１（その段部５１ｃ）上に載置されるとともに、この略矩形基板Ｐの前縁（前面）と前記の前壁部５１ｆの後面（その膨出部）との間に所定の隙間が残る。また、略矩形基板Ｐの後縁（後面）と支持補助トレイ５０の後壁部の膨出部５１ｄとの間にも所定の隙間が残り、略矩形基板Ｐは適切な余裕をもって前後方向に位置決めされる。

以上、説明したように実施形態１の基板収納容器１では、容器本体２０の左右の内側面に設けられた棚部３０において、同じ高さにて対をなす棚板部３１の間に架け渡すようにして、支持補助トレイ５０を取り付けている。よって、収納する略矩形基板Ｐの形状および大きさ、厚みなどに応じて支持補助トレイ５０を製作すれば、種々の形状および厚みの略矩形基板Ｐを好適に収納することができる。

また、そうして容器本体２０に取り付ける支持補助トレイ５０は、左右両側の取付板部５３によって棚板部３１に対し上下および前後方向に位置決めされるとともに、その取り付け、取り外しが容易に行えるので、略矩形基板Ｐの収納枚数や望ましい収納ピッチに応じて、支持補助トレイ５０を取り付け、取り外しすることにより、収納枚数や収納ピッチの調整が容易に行える。

（実施形態２）
次に、図６Ａ，Ｂを参照して実施形態２について説明する。
上述した実施形態１の基板収納容器１では、支持補助トレイ５０の一対の支持板部５１の前端に設けた前壁部５１ｆによって略矩形基板Ｐの前方への変位を規制するようにしているが、実施形態２では、蓋体４０に設けたリテーナ６０によって略矩形基板Ｐの前縁部を弾性的に保持するようにしている。

実施形態２の基板収納容器１は、支持補助トレイ５０の構造が少し異なっていることと、蓋体４０に略矩形基板Ｐのためのリテーナ６０が設けられていることとを除けば、実施形態１のものと同じ構造である。そして、実施形態２の支持補助トレイ５０は、前壁部５１ｆがないことを除けば実施形態１の支持補助トレイ５０と同じ構造なので、支持板部５１や連結板部５２などには同じ符号を付して、その説明は省略する。

実施形態２においては、上述した実施形態１と同様に容器本体２０内に略矩形基板Ｐを収納した場合に、これを前後方向に保持するために、図６Ａに示すように蓋体４０の裏面（容器本体２０内に臨む後面）にリテーナ６０が配設されている。図示の例では蓋体４０の裏側に、上下に長い長方形状の窪み４２が形成され、この窪み４２の左右両側に分かれて一対のリテーナ６０が配設されている。

詳しくは、左右一対のリテーナ６０はそれぞれ、上下方向に延在するリテーナ支持部６１を有し、これらのリテーナ支持部６１の上端同士および下端同士がそれぞれ連結されて矩形状の枠体とされ、蓋体４０の窪み４２に嵌め込まれている。そして、左右それぞれのリテーナ支持部６１が、窪み４２の左右両側縁に設けられた係合爪４３に係止されている。また、それぞれのリテーナ支持部６１から短冊状に分岐して左右いずれかに延びつつ、先端側が後方、即ち容器本体２０内に向かうよう斜めに延びる複数の弾性片６２が、上下に並んで設けられている。

図示の例では、容器本体２０内に収納される略矩形基板Ｐにそれぞれ対応するように、複数個の弾性片６２が上下方向に等間隔に設けられ、その先端にはそれぞれ略矩形基板Ｐの前縁部に当接して保持する当接保持部６３が設けられている。当接保持部６３は弾性片６２の撓みによって前後方向に変位可能であり、これにより略矩形基板Ｐの前縁部（蓋体側の縁部）を弾性的に保持するようになっている。

当接保持部６３は、図６Ｂに模式的に示すように扁平な直方体状とされ、その後端面（図の右端面）が上下方向の中心線Ｚを有する円弧面によって形成されている。これにより、略矩形基板Ｐの厚みが種々、異なっていても、また、許容範囲内の撓みや反り、うねりが生じていても、その略矩形基板Ｐの前縁部を安定して保持することができる。

そして、蓋体４０を閉じたときにリテーナ６０の当接保持部６３が、略矩形基板Ｐの前縁部と当接する。このとき当接保持部６３は、弾性片６２の撓みによって蓋体４０に対し相対的には前方に変位し、その反力が略矩形基板Ｐに作用するようになる。これにより略矩形基板Ｐは後方に押圧され、その後縁部が支持補助トレイ５０の後部の膨出部５１ｄに当接するようになる。

このように弾性片６２は、当接保持部６３を蓋体４０に対し前後方向に変位可能に連結し、かつ後方に付勢する連結付勢部として機能する。この付勢力によって略矩形基板Ｐの前縁部を弾性的に押圧することで、仮に撓みや反り、うねりが生じていても、その程度に拘わらず略矩形基板Ｐを安定して保持することができる。よって、搬送時のがたつきによる移動あるいは振動を適切に抑制し、破損や汚染を回避することができる。

本実施形態では、前記のように略矩形基板Ｐを保持するための弾性片６２の撓みによる付勢力が小さめに設定されている。これは、当接保持部６３を介して後方に付勢される略矩形基板Ｐの後縁部が支持補助トレイ５０の後部の膨出部５１ｄに当接し、前後から押さえ付けられることを考慮して、薄いガラスパネルのような略矩形基板Ｐであってもダメージを与えないようにするためである。

但し、そうして弾性片６２の撓みによる付勢力（略矩形基板Ｐを後方に押圧する弾性力）が小さいと、厚いガラスパネルのように重量のある略矩形基板Ｐの場合は後方への付勢力が不足してしまい、移動させることが困難になる。そこで、本実施形態では、蓋体４０を容器本体２０の開口に取り付ける際に、その力を利用してリテーナ６０の当接保持部６３を後方に変位させ、略矩形基板Ｐを移動させるようにしている。

すなわち、図６Ｂには模式的に示すが、蓋体４０の後面（窪み４２の底面）から後方に離間するリテーナ６０の当接保持部６３には、その前端から前方に突出するように、言い換えると蓋体４０に向かうように突出する円柱状の凸部６４が一体に形成されている。そして、この凸部６４の先端面（前端面）と対向する蓋体４０の窪み４２の底面との間に、所定量の間隔ｄが形成されるようになっている。

これにより、上述したように蓋体４０を容器本体２０の開口２１に取り付け、リテーナ６０の弾性片６２が撓んで、当接保持部６３が前方に前記所定量だけ変位すると、その凸部６４の先端面（前端面）が対向する蓋体４０の後面（窪み４２の底面）に当接するようになる。そして、当接保持部６３が蓋体４０と一体的に後方に変位して、その後端面に当接する略矩形基板Ｐも容器本体２０内へと移動することになる。

よって、略矩形基板Ｐの前縁部は、蓋体４０の後面から容器本体２０内に向かって、少なくとも当接保持部６３および凸部６４の長さ分だけ後方に位置付けられる。このとき、略矩形基板Ｐの後縁部は、未だ支持補助トレイ５０の後部の膨出部５１ｄに当接しておらず、ダメージを受ける心配はない。換言すれば、収納する略矩形基板Ｐの前後方向の長さ寸法を基準として、当接保持部６３および凸部６４の寸法が決められている。

前記リテーナ支持部６１および複数の弾性片６２、当接保持部６３、凸部６４は全て一体成形されており、その材料は、容器本体２０や蓋体４０、支持補助トレイ５０等と同じく、例えばポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトンなどの各種の熱可塑性樹脂、あるいはポリエステル系やポリオレフィン系などの各種の熱可塑性エラストマーが挙げられる。導電性を付与するためにカーボンパウダー等を添加することもできる。

なお、当接保持部６３や凸部６４は別体で形成されて、弾性片６２に取り付けられてもよい。この場合、当接保持部６３や凸部６４の材料は、熱可塑性エラストマー、あるいはゴム材などからなる弾性部材によって形成するのが好ましい。すなわち、当接保持部６３や凸部６４は、フッ素ゴム、ニトリルゴム、シリコンゴム、クロロプレンゴム、エチレンプロピレンゴムのうちから選択されるものを含んで構成すればよい。

また、当接保持部６３や凸部６４は、発泡ゴムスポンジで形成してもよく、或いは、フッ素ゴムスポンジ、クロロプレンゴムスポンジ、シリコンゴムスポンジ、ニトリルゴムスポンジ、クロロプレンゴムスポンジ、エチレンプロピレンゴムスポンジのうちから選択されるものを含んで構成してもよい。さらに、導電性を付与するためにカーボンパウダー等を添加することもできる。

以上、説明したように実施形態２では、蓋体４０の裏側に設けたリテーナ６０によって、略矩形基板Ｐの前縁部を弾性的に保持することで、その撓みや反り、うねりの程度に拘わらず、搬送時の振動による破損や汚染を回避できるとともに、当接保持部６３に凸部６４を設けたことで、蓋体４０を容器本体２０に取り付ける際に凸部６４および当接保持部６３を介して略矩形基板Ｐを後方に移動させて、容器本体２０内の適切な位置に収納できる。

以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態１、２に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。

例えば上述した実施形態１では、略矩形基板Ｐを載置する支持補助トレイ５０の支持板部５１の前端部に、略矩形基板Ｐを超える高さの前壁部５１ｆを設けており、そのために側壁部５１ｂの前端近傍に切欠部５１ｇのような窓部を設けているが、前壁部５１ｆの高さを標準的な略矩形基板Ｐの厚みよりも低くすれば、窓部は設けなくてもよい。また、前壁部５１ｆの膨出部や支持補助トレイ５０の後部の膨出部５１ｄも設けなくてもよい。

さらに、上述の実施形態１、２の支持補助トレイ５０はいずれも、左右一対の支持板部５１と、その後端部同士を連結する連結板部５２とを有し、前方に開放された平面視コ字状の枠体として形成されているが、この形状にも限定されない。例えば、一対の支持板部５１の前後方向の中間部同士を連結するように連結板部を設けてもよいし、それらの前端部同士を連結するように連結板部を設けてもよい。

また、上述の実施形態２では、蓋体４０に設けるリテーナ６０として、それぞれの略矩形基板Ｐの前縁部に当接する当接保持部６３と、弾性片６２と、凸部６４とを有する構成としているが、これにも限定されず、例えば凸部６４は設けなくてもよい。また、略矩形基板Ｐのそれぞれに対応して当接保持部６３や弾性片６２を設けるのではなく、複数の略矩形基板Ｐに跨って当接するように上下方向に長い当接保持部を設けてもよい。

１ 基板収納容器
２０ 容器本体、２１ 開口
３０ 棚部、
３１ 棚板部、３１ａ 支承部、３１ｂ 段部、３１ｃ 段差面、
４０ 蓋体
５０ 支持補助トレイ（支持補助部材）、
５１ 支持板部、５１ａ 本体板部、５１ｂ 側壁部、５１ｆ 前壁部、
５１ｇ 切欠部（窓部）
５２ 連結板部
５３ 取付板部、５３ａ 第１係合片、５３ｂ，５３ｃ 第２係合片
６０ リテーナ、６２ 弾性片（連結付勢部）、６３ 当接保持部、６４ 凸部

Claims (7)

1. 基板収納容器であって、
   前方に基板の出し入れを行う開口が設けられた容器本体と、
   前記開口を閉じる蓋体と、を備え、
   前記開口を前方から見て前記容器本体内の左右の両側面にはそれぞれ、略円形基板を載置するための棚部が設けられ、
   前記左右両側の棚部はそれぞれ、互いに上下に離間する複数の棚板部を有し、
   前記左右両側の棚部において同じ高さにて対をなす棚板部の間に架け渡され、略矩形基板を支持するための支持補助部材が着脱自在に取り付けられている、
   ことを特徴とする基板収納容器。
2. 前記支持補助部材は、前記対をなす棚板部のそれぞれに取り付けられて前後方向に延びる一対の支持板部と、該一対の支持板部の後端部同士を連結する連結板部と、を有する、
   ことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
3. 前記各棚板部の上面または下面のいずれか一面には、段差面を形成するように起立する段部が少なくとも１箇所、設けられ、
   前記支持補助部材の各支持板部の幅方向の外側面には、該各支持板部の延び方向および厚み方向に互いにずれた位置に、第１および第２の係合片が設けられ、
   前記棚板部に前記支持板部が取り付けられたとき、前記第２係合片が前記段差面に当接しつつ前記棚板部の前記一面に当接する一方、前記第１係合片は棚板部の他面に当接する、
   ことを特徴とする請求項２に記載の基板収納容器。
4. 前記支持補助部材に載置された前記略矩形基板の前縁部における左右両端部に当接するように、前記一対の支持板部のそれぞれの前端部に前壁部が設けられている、
   ことを特徴とする請求項２または３のいずれかに記載の基板収納容器。
5. 前記支持補助部材に載置された前記略矩形基板の左右両側縁部に対向する側壁部が、前記一対の支持板部において前記略矩形基板の厚みを超える高さに設けられ、
   前記前壁部および前記側壁部の少なくとも一方に、前記略矩形基板を視認可能に窓部が設けられている、
   ことを特徴とする請求項４に記載の基板収納容器。
6. 前記蓋体に、前記略矩形基板を保持するためのリテーナが設けられ、
   前記リテーナは、前記略矩形基板の前縁部に当接して保持する当接保持部と、前記当接保持部を前記蓋体に対し前後方向に変位可能に連結し、かつ後方に付勢する連結付勢部と、前記当接保持部が前方に所定量、変位したときに前記蓋体の後面に当接するよう、前記当接保持部の前部から前方に突出する凸部と、を備える、
   ことを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
7. 前記リテーナの当接保持部は、前記略矩形基板の前縁部に当接する後端面が、上下方向の中心線を有する円弧面によって形成されている、
   ことを特徴とする請求項６に記載の基板収納容器。

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