JP2021168354A - 基板収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】略円形基板を収納するための基板収納容器１を利用して、種々の略矩形基板Ｐを好適に収納できるようにする。【解決手段】基板収納容器１は、前方に基板の出し入れを行う開口２１が設けられた容器本体２０と、その開口２１を閉じる蓋体４０と、を備え、開口２１を前方から見て容器本体２０内の左右の両側面にはそれぞれ、略円形基板を載置するための棚部２２が設けられている。これらの各棚部２２にそれぞれ、略矩形基板Ｐを載置するための左側および右側の各補助棚部材（サイドアダプタ３０）が着脱自在に取り付けられている。左右のサイドアダプタ３０の後部に係合するリヤアダプタ５０も設けてもよい。【選択図】図１

Description

本発明は基板収納容器に関し、特に、半導体ウェーハ等の略円形基板を収納するための容器に、略矩形状のガラスパネル等の基板を収納するための構造に関する。

従来より、略円形基板の収納容器として、前方に向かって開口するフロントオープン・タイプの容器本体と、この容器本体の開口を閉じる蓋体と、を備えたものが知られている。このものでは、前記開口を前方から見て、容器本体内の左右の両側面にそれぞれ、略円形基板を載置するための棚部が設けられていて、複数の棚板部が上下に等間隔に形成されている（例えば特許文献１を参照）。

ところで、液晶パネル用基板等のガラスパネルを扱う製造工程では、略矩形状の基板を工程間で移送したり、一時的に保管したりするために、それらを収納する容器が用いられている。また、近年では、ＩＣチップなどの電子部品のさらなる量産化を進めるために、矩形状のガラスパネル等に多数のベアチップを形成、実装することがあり、このために略矩形基板の使用が増える傾向にある。

特開２０１５−１６２４７６号公報

しかしながら、前記の如き略矩形基板を収納するためだけに専用の容器を製作することは、コスト面でのデメリットが大きい。一方で、略円形基板の収納容器にそのまま略矩形基板を収納しようとしても、例えば半導体ウェーハ等の略円形基板と略矩形基板とでは、形状や厚みが異なるだけでなく、好適な収納ピッチも異なるため、そのままでは収納することが難しい。

本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、略円形基板を収納するための容器を利用して、種々の略矩形基板を好適に収納できるようにすることにある。

（１）本発明に係る１つの態様は、基板収納容器であって、前方に基板の出し入れを行う開口が設けられた容器本体と、前記開口を閉じる蓋体と、を備え、前記開口を前方から見て前記容器本体内の左右の両側面にはそれぞれ、略円形基板を載置するための棚部が設けられ、前記左右の各棚部にそれぞれ、略矩形基板を載置するための左側および右側の各補助棚部材が着脱自在に取り付けられているものである。
（２）上記（１）の態様において、前記各棚部は、互いに上下に離間する複数の棚板部を有し、そのうちの上端および下端のそれぞれの棚板部には、前記各補助棚部材に設けられた上側および下側の各被固定部がそれぞれ係止される、上側および下側の各固定部が設けられていてもよい。
（３）上記（２）の態様において、前記各補助棚部材の上側および下側の少なくとも一方の被固定部が、上下方向に弾性変形可能に設けられていてもよい。
（４）上記（３）の態様において、前記各補助棚部材の上側の被固定部は、下側の被固定部に比べて高い剛性を有してもよい。
（５）上記（１）〜（４）のいずれかの態様において、前記各補助棚部材には、それぞれ前記略矩形基板を載置可能な複数の支持片が上下方向に等間隔に設けられていてもよい。
（６）上記（５）の態様において、前記容器本体内の後方寄りの部位に、前記左側および右側の各補助棚部材に係合された後側の補助棚部材が配設され、前記後側の補助棚部材における左右の中間部に、それぞれ前記略矩形基板を載置可能な複数の支持片が、前記左側および右側の各補助棚部材と同じ間隔で上下に並んで設けられていてもよい。
（７）上記（６）の態様において、前記後側の補助棚部材の左右両端部にそれぞれ、前記左側および右側の各補助棚部材に対し上下方向に位置決めされて係合する係合部が設けられていてもよい。
（８）上記（１）〜（７）のいずれかの態様において、前記左側および右側の各補助棚部材には、前記略矩形基板の前後方向の変位を規制する変位規制部が設けられていてもよい。
（９）上記（８）の態様において、前記変位規制部は、前記複数の支持片のそれぞれに載置された前記略矩形基板の前縁部における左右両端部に当接するように、前記左側および右側の各補助棚部材に設けられた壁部であり、前記壁部は、前記複数の支持片のそれぞれに対応して、載置された前記略矩形基板の厚みを超える高さに設けられ、前記左側および右側の各補助棚部材には、前記複数の支持片のそれぞれに対応して、載置された前記略矩形基板を視認可能に窓部が設けられていてもよい。
（１０）上記（１）〜（７）のいずれかの態様において、前記蓋体に、前記略矩形基板を保持するためのリテーナが設けられ、前記リテーナは、前記略矩形基板の前縁部に当接して保持する当接保持部と、前記当接保持部を前記蓋体に対し前後方向に変位可能に連結し、かつ後方に付勢する連結付勢部と、前記当接保持部が前方に所定量、変位したときに前記蓋体の後面に当接するよう、前記当接保持部の前部から前方に突出する凸部と、を備えていてもよい。
（１１）上記（１０）の態様において、前記リテーナの当接保持部は、前記略矩形基板の前縁部に当接する後端面が、上下方向の中心線を有する円弧面によって形成されていてもよい。
（１２）上記（１）〜（１１）のいずれかの態様において、前記左側および右側の各補助棚部材の下端部には、下方に向かって突出部が設けられ、その突出端面と対向する容器本体の底面との間に所定の隙間が形成されていてもよい。
（１３）上記（１２の態様において、前記左側および右側の各補助棚部材には、前記棚部に向かって突出しその先端側が上下に二股に分かれたリブが設けられており、その二股に分かれた部分に前記棚部のいずれか１つの棚板部が差し込まれて位置決めされてもよい。

本発明の基板収納容器によれば、略円形基板を載置するための棚部に、略矩形基板を載置するための補助棚部材が着脱自在に取り付けられているので、本来は略円形基板を収納するための容器を利用して、種々の形状および厚みの略矩形基板を好適に収納することができる。

本発明に係る実施形態１の基板収納容器を示す分解斜視図である。 略矩形基板を載置する補助棚部材（サイドアダプタおよびリヤアダプタ）の斜視図である。 容器本体の棚部に取り付ける左側のサイドアダプタの斜視図である。 サイドアダプタの下側の固定構造を示す斜視図である。 サイドアダプタの下側の固定構造を示す模式図である。 リヤアダプタの支持片の近傍を拡大して、窓部を示す斜視図である。 蓋体を裏側から見て、リテーナを示す斜視図である。 リテーナの構造を示す斜視図である。 リテーナの構造を示す模式図である。 実施形態２の基板収納容器を、蓋体を取り外して示す斜視図である。 変位規制部を拡大して示す斜視図である。 右側のサイドアダプタを裏側から見た斜視図である。

以下、本発明の実施形態について添付の図面を参照して詳細に説明する。本明細書の実施形態においては全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。なお、添付図面では、見易さのために、複数存在する同一属性の部位には、一部のみしか参照符号が付されていない場合がある。

（実施形態１）
図１は、本発明の基板収納容器の実施形態１を示す分解斜視図である。基板収納容器１は、半導体ウェーハ等の略円形基板（図示せず）を収納して、製造ラインの工程内搬送や外部への出荷等に用いられるもので、所定枚数の略円形基板を収納する容器本体２０と、容器本体２０の正面（図の左側面）に形成される開口２１を開閉自在に覆う蓋体４０と、を備えている。

すなわち、容器本体２０は、その正面（前方）に基板の出し入れを行う開口２１が設けられた、いわゆるフロントオープンボックスタイプのものであり、前方から見て容器本体２０の左右の両内側面にはそれぞれ、略円形基板を載置するための棚部２２が設けられている（左側の棚部のみ図示）。左右の各棚部２２は左右対称形状であり、例えばインサート成形によって容器本体２０の側壁と一体になるように設けられる。

前記各棚部２２には、容器本体２０に収納する略円形基板の枚数（例えば、６枚、１２枚・・・２５枚）に対応して、複数の棚板部２２ａが上下方向に等間隔を空けて設けられている。そして、略円形基板は、容器本体２０の前方の開口２１から後方に向かって挿し入れられ、その周縁部を左右の棚板部２２ａに支持されて、略水平になるように載置され、容器本体２０の上下方向に並んで収納される。

なお、図示の容器本体２０の天板上面には、製造工程において天井搬送機構等に保持される搬送用のロボテックフランジ１１が取り付けられている一方、容器本体２０の底板下面にはボトムプレート１２が取り付けられている。また、容器本体２０の左右の側壁の外側面にはそれぞれ、搬送時に作業者が掴みやすいように傾斜させてマニュアルハンドル１３が取り付けられている。

蓋体４０は、概略矩形状とされ、図示しないガスケットを介して容器本体２０の開口２１を閉じるもので、その左右両側寄りの部位に施錠機構４１が内蔵されている。詳しくは図示しないが、施錠機構４１は、鍵穴に挿入される鍵の操作に応じて施錠位置と解錠位置とに変位するラッチを備え、ラッチが容器本体２０側の係合部に係合されたり、係合解除されたりすることで、蓋体４０の施錠および解錠が行われるものである。

また、蓋体４０には、後述するように容器本体２０内に収納した略矩形基板Ｐ（図２を参照）を保持するためのリテーナ６０（図６を参照）が配設されている。一方、容器本体２０には、その内部における左右両側面および後方寄りの部位にそれぞれ、略矩形基板Ｐを載置するための補助棚部材であるサイドアダプタ３０およびリヤアダプタ５０が配設されるようになっている。これらの構造については後述する。

容器本体２０および蓋体４０は、例えばポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマー、シクロオレフィンポリマーなどの合成樹脂から形成することができる。また、これらの樹脂に、カーボンパウダー、カーボン繊維、カーボンナノチューブなどを添加して、導電性を付与することもできる。

（サイドアダプタ）
実施形態１の基板収納容器１には、本来、収納する半導体ウェーハ等の略円形基板とは異なる形状の基板、例えばガラスパネル等の略矩形基板Ｐ（図２を参照）も収納できるようになっている。そのために容器本体２０内には、その左右両側面の棚部２２にそれぞれ左側および右側のサイドアダプタ３０が着脱自在に取り付けられるとともに、それらの後端部に係合されて、容器本体２０内の後方寄りの部位にリヤアダプタ５０が配設される。

サイドアダプタ３０は、上下に長い長方形状の本体部３１と、その後側に連続する後方延長部３２と、を有しており、本体部３１の表面（容器本体２０内に臨む面）には、それぞれ略矩形基板Ｐを載置可能な複数の支持片３３が突設されている。図示の例では支持片３３は、本体部３１の前端、後端およびその中央の３グループに分かれて、それぞれ１６個の支持片３３が上下方向に等間隔に設けられている。

これにより、図２には一番下の１枚のみを示すが、略矩形基板Ｐはその左右の両側縁部をサイドアダプタ３０の前、中、後の３つの支持片３３によって支持され、略水平になるように載置される。図示の例では上下方向について１６個の支持片３３が設けられているので、略矩形基板Ｐは上下方向に並んで１６枚、載置することができる。なお、右側のサイドアダプタ３０は図２には示さず、図１０に裏側から見て示している。

より詳しくは、図３に左側のサイドアダプタ３０を示すように、その後方延長部３２はクランク状に屈曲し、上端から下端まで上下方向に延びる段差面３２ａが形成されている。この段差面３２ａは、略矩形基板Ｐの後縁部が当接すると、それ以上は後方に変位しないように規制する。なお、段差面３２ａの形成される屈曲部分は、クランク状ではなく、傾斜面状や曲面状であってもよい。また、段差面３２ａには、前記１６個の支持片３３と同じ間隔で上下方向に並ぶ１６個の載置片３４が突設されており、前記のように支持片３３に載置された略矩形基板Ｐの後縁部が載置される。

また、前記サイドアダプタ３０の本体部３１の上端および下端には、それぞれ、容器本体２０の内側面に設けられた棚部２２の最上位および最下位の２つの棚板部２２ａに嵌合固定される、上側および下側の被固定部３５，３６が設けられている。すなわち、左側のサイドアダプタ３０については図３に、また、右側のサイドアダプタ３０については図１０に、それぞれ示すように、本体部３１の上端にはその前方寄りおよび後方寄りの各部位からそれぞれ裏側に向かって突出する上側被固定部３５が設けられている。

これらの上側被固定部３５は、上方から見ると先細りの概略三角形状とされているが、厚みは先端側まで略一定で例えば３〜４ｍｍ程度と十分な厚みがある。このため上側被固定部３５は、以下に説明する下側被固定部３６に比べて剛性が高く、いわば剛体とみなすことができる。そして、これらの上側被固定部３５が、容器本体２０の内側面に設けられた棚部２２の最上位の棚板部２２ａに上側から重ね合わされる。

また、図１０にのみ示すように、前記上側被固定部３５の先端側には、その下面から下方に突出するボス部３５ａが形成されており、図示はしないが、前記ボス部３５ａに対応するように、棚部２２の最上位の棚板部２２ａには、その上面に開口する凹部（貫通穴でもよい）が形成されている。そして、それらボス部３５ａおよび凹部の嵌合によって、上側被固定部３５が最上位の棚板部２２ａに対して位置決めされるようになっている。

一方、本体部３１の下端には、左側のサイドアダプタ３０については図４Ａに、また、右側のサイドアダプタ３０については図１０に、それぞれ示すように、前方寄りおよび後方寄りの各部位からそれぞれ裏側に向かって突出する下側被固定部３６が設けられている。これらの各下側被固定部３６も上側被固定部３５と同じく、上方から見ると先細りの概略三角形状とされている。

また、図４Ｂには拡大して、一部を断面で示すように、下側被固定部３６は、その厚みが上側被固定部３５に比べてかなり薄くなっており、例えば１．５ｍｍ程度とされている。そして、下側被固定部３６の先端側には上方に突出するボス部３６ａが形成され、棚部２２の最下位の棚板部２２ａに形成された貫通穴２２ｂと嵌合して、位置決めするようになっている。

そうして薄く形成された下側被固定部３６の剛性は、上下方向について上側被固定部３５よりもかなり低くなっている。よって、サイドアダプタ３０を棚部２２に組み付ける際に、先に上側被固定部３５を棚部２２の最上位の棚板部２２ａに上側から重ねて、その後、下側被固定部３６を最下位の棚板部２２ａに下側から重ね合わせるようにすれば、このときに下側被固定部３６が容易に撓んで、嵌め合わせることができる。

また、その際に、下側被固定部３６のボス部３６ａを前記貫通穴２２ｂに嵌め込み易いように、ボス部３６ａの上方への突出高さは低め（例えば１．５ｍｍ程度に）設定とされ、さらに、その上面のうちでも下側被固定部３６の先端側に位置する半分は、先端側ほど低くなるテーパ面に形成されている。一方、下側被固定部３６の基端側に位置する半分については略同じ高さの平坦面とされて、貫通穴２２ｂからの脱落を防止するようになっている。

つまり、本実施形態では、容器本体２０の棚部２２の最上位および最下位の棚板部２２ａを、サイドアダプタ３０の上側被固定部３５および下側被固定部３６によって挟み込むように嵌め合わせており、それらの棚板部２２ａが被固定部３５，３６を固定する固定部となる。また、それら固定部の貫通穴２２ｂと上側３５および下側被固定部３５，３６のボス部３５ａ，３６ａとの嵌合によって、前後左右の位置決めがなされる。

そうして被固定部３５，３６を固定する際に、下側被固定部３６に比べて上側被固定部３５の剛性が高いことから、棚部２２に対するサイドアダプタ３０の上下方向の位置決めは、上側被固定部３５と最上位の棚板部２２ａとの間でなされてもよい。上述したようにサイドアダプタ３０の支持片３３に略矩形基板Ｐが載置されるので、棚部２２、即ち容器本体２０に対するサイドアダプタ３０の上下方向の位置決めは重要である。

例えばガラスパネルのような略矩形基板Ｐは半導体ウェーハ等に比べて厚みがあり、重量が嵩むので、これを受けるサイドアダプタ３０の位置が棚部２２に対して下方にずれるおそれがある。そこで、図１０に示すように、サイドアダプタ３０の裏面から突出し、その先端側が上下に二股に分かれた位置決めのためのリブ３１ａを形成し、このリブ３１ａの先端側（二股に分かれた部分）に棚板部２２ａを差し込むようにしている。

こうしてサイドアダプタ３０の３１ａと棚板部２２ａとを係合させることによって、位置決めおよび重量の支持がなされるが、本実施形態のように１６枚の略矩形基板Ｐを収納できる容器では、衝撃荷重が加わったときのサイドアダプタ３０の瞬間的な変形も考慮しなくてはならない。そこで、図３、図４Ａ、図１０に表れているようにサイドアダプタ３０の下端部には下方に向かって突出する突出支持部３７が設けられている。

図示の例では２つの突出支持部３７が、サイドアダプタ３０の本体部３１の前方寄りの部位と後方延長部３２とにそれぞれ設けられており、いずれも下方に向かって先細りの逆三角形状とされている。そして、その下方への突出寸法は、サイドアダプタ３０が棚部２２に取り付けられ、上側被固定部３５において位置決めがなされたときに、容器本体２０の底壁の上面との間に例えば１〜１．５ｍｍ程度の間隔が空くように設定されている。

このように突出支持部３７の突出端面と対向する容器本体２０の底壁上面（底面）との間に所定の隙間が形成されているので、上下方向の位置決めに悪い影響を及ぼすことはない。一方、前記のように１６枚の略矩形基板Ｐを収納した状態で搬送中などに衝撃荷重が加わり、サイドアダプタ３０が一瞬、変形したとしても、その下端の突出支持部３７が容器本体２０の底面に接触することで、大きな変形を生じることがない。

（リヤアダプタ）
上述の如く容器本体２０内の左右両側に配設される２つのサイドアダプタ３０の後端部同士を連結するようにして、図２に表れているようにリヤアダプタ５０が配設される。このリヤアダプタ５０は、容器本体２０の開口２１を前方から見ると、概略矩形状、好ましくは長方形状の本体部５１を有し、その左右両側部にそれぞれ、上下方向に離間する３か所から外方に突出するように係合片５２（係合部）が形成されている。

それらの係合片５２に対応してサイドアダプタ３０の後方延長部３２には、図２に表れているように、その後端部の近傍において上下方向に離間する３か所に上下に長いスリット孔３２ｂが形成されている。このスリット孔３２ｂはそれぞれ、リヤアダプタ５０の３か所の係合片５２が嵌入可能な位置および大きさとされており、各係合片５２がスリット孔３２ｂに嵌め込むことで、リヤアダプタ５０が上下方向に位置決めされる。

また、それらの係合片５２のそれぞれに対応して、リヤアダプタ５０の本体部５１における左右両側部には、概略半円形状の切欠き部５１ａが形成されている。図示の例では切欠き部５１ａは、上側の係合片５２の下側に連続し、下側の係合片５２の上側に連続し、また、それらの中間の係合片５２の上下両側にそれぞれ連続して形成されており、その大きさは容器を組み立てる作業者の指先が挿入できる程度に設定されている。

これにより、左右両側のサイドアダプタ３０にリヤアダプタ５０を組み付けるときには、まず、容器本体２０の後方寄りの部位にリヤアダプタ５０を仮置きし、左右両側の棚部２２にそれぞれ上述したようにサイドアダプタ３０を組み付けた後に、リヤアダプタ５０の切欠き部５１ａに指先を引っ掛けて手前に引くことにより、その切欠き部５１ａに対応する係合片５２をサイドアダプタ３０のスリット孔３２ｂに嵌め込むことができる。

一方、リヤアダプタ５０の本体部５１における左右の略中央位置（中間部）には、前方に向かって段差状に膨出する断面台形状の膨出部５１ｂが形成され、その前端面には、それぞれ略矩形基板Ｐを載置可能な複数の（図示の例では１６個の）支持片５３が突設されている。これら複数の支持片５３は、サイドアダプタ３０の支持片３３と同じ間隔で上下方向に互いに等間隔に設けられている。

そして、前記のように係合片５２をスリット孔３２ｂに嵌め込んで、リヤアダプタ５０をサイドアダプタ３０に対し上下方向に位置決めして係合させると、リヤアダプタ５０の支持片５３はそれぞれ、サイドアダプタ３０の支持片３３と略同じ高さか少しだけ低い位置になる。よって、図２に表れているように、リヤアダプタ５０の支持片５３により略矩形基板Ｐの後縁部における左右の中間部を支持して、撓みを抑制することができる。

また、図２のv-v線における断面を図５に拡大して示すように、リヤアダプタ５０の支持片５３のそれぞれについて、その付け根部分の上方から膨出部５１ｂの前壁を貫通して断面が楕円形の穴５４（以下、窓部５４と呼ぶ）が設けられている。この窓部５４は、支持片５３に載置されている略矩形基板Ｐを視認し得るものであり、例えば画像処理装置などのセンサによって略矩形基板Ｐを検知するために設けられている。

なお、サイドアダプタ３０およびリヤアダプタ５０は、上述した容器本体２０や蓋体４０と同様の樹脂から形成し、導電性を付与するためにカーボンパウダー等を添加することができる。特にリヤアダプタ５０の後方に位置する容器本体２０の後壁は、容器本体２０内を目視することができるような透明な樹脂材料（例えばアクリル樹脂、ポリカーボネート、またはシクロオレフィンポリマー等）で形成することができる。

（フロントリテーナ）
上述の如く容器本体２０内に収納した略矩形基板Ｐを前後方向に保持するために、図６に示すように蓋体４０の裏面（容器本体２０内に臨む後面）にはリテーナ６０が配設されている。図示の例では蓋体４０の裏側に、上下に長い長方形状の窪み４２が形成され、この窪み４２の左右両側に分かれて一対のリテーナ６０が配設されている。

詳しくは、左右一対のリテーナ６０はそれぞれ、上下方向に延在するリテーナ支持部６１を有し、これらのリテーナ支持部６１の上端同士および下端同士がそれぞれ連結されて矩形状の枠体とされ、蓋体４０の窪み４２に嵌め込まれている。そして、左右それぞれのリテーナ支持部６１が、窪み４２の左右両側縁に設けられた係合爪４３に係止されている。また、それぞれのリテーナ支持部６１から短冊状に分岐して左右いずれかに延びつつ、先端側が後方、即ち容器本体２０内に向かうよう斜めに延びる複数の弾性片６２が、上下に並んで設けられている。

図示の例では、容器本体２０内に収納される略矩形基板Ｐにそれぞれ対応して、上下方向に１６個の弾性片６２が等間隔に設けられ、その先端には、図７Ａ，Ｂにも示すようにそれぞれ略矩形基板Ｐの前縁部に当接して保持する当接保持部６３が取り付けられている。当接保持部６３は弾性片６２の撓みによって前後方向に変位可能であり、これにより略矩形基板Ｐの前縁部（蓋体側の縁部）を弾性的に保持するようになっている。

当接保持部６３は、図７Ｂに模式的に示すように扁平な直方体状とされ、その後端面（図の右端面）が上下方向の中心線ｚを有する円弧面によって形成されている。これにより、略矩形基板Ｐの厚みが種々、異なっていても、また、撓みや反り、うねりが生じていても、それらが許容範囲内であれば、略矩形基板Ｐの前縁部を安定して保持することができる。

そして、図７Ａ，Ｂに表れているように蓋体４０を閉じると、その裏側に配設されたリテーナ６０の当接保持部６３が、略矩形基板Ｐの前縁部と当接する。このとき当接保持部６３は、弾性片６２の撓みによって蓋体４０に対し相対的には前方に変位し、その反力が略矩形基板Ｐに作用するようになる。これにより略矩形基板Ｐは後方に押圧され、その後縁部がサイドアダプタ３０の後部の段差面３２ａに当接すれば、それ以上の移動が規制される。

このように弾性片６２は、当接保持部６３を蓋体４０に対し前後方向に変位可能に連結し、かつ後方に付勢する連結付勢部として機能する。この付勢力によって略矩形基板Ｐの前縁部を弾性的に押圧することで、仮に撓みや反り、うねりが生じていても略矩形基板Ｐを安定して保持することができる。よって、搬送時のがたつきによる移動あるいは振動を適切に抑制し、破損や汚染を回避することができる。

本実施形態では、前記のように略矩形基板Ｐを保持するための弾性片６２の撓みによる付勢力が小さめに設定されている。これは、当接保持部６３を介して後方に付勢される略矩形基板Ｐの後縁部がサイドアダプタ３０の後部の段差面３２ａに当接し、前後から押さえ付けられることを考慮して、薄いガラスパネルのような略矩形基板Ｐであってもダメージを与えないようにするためである。

但し、そうして弾性片６２の撓みによる付勢力（略矩形基板Ｐを後方に押圧する弾性力）が小さいと、厚いガラスパネルのように重量のある略矩形基板Ｐの場合は後方への付勢力が不足してしまい、移動させることが困難になる。そこで、本実施形態では、蓋体４０を容器本体２０の開口に取り付ける際に、その力を利用してリテーナ６０の当接保持部６３を後方に変位させ、略矩形基板Ｐを移動させるようにしている。

すなわち、図７Ｂには模式的に示すが、蓋体４０の後面（窪み４２の底面）から後方に離間するリテーナ６０の当接保持部６３には、その前端から前方に突出するように、言い換えると蓋体４０に向かうように突出する円柱状の凸部６４が一体に形成されている。そして、この凸部６４の先端面（前端面）と対向する蓋体４０の窪み４２の底面との間に、所定量の間隔ｄが形成されるようになっている。

これにより、上述したように蓋体４０を容器本体２０の開口２１に取り付け、リテーナ６０の弾性片６２が撓んで、当接保持部６３が前方に前記所定量だけ変位すると、その凸部６４の先端面（前端面）が対向する蓋体４０の後面（窪み４２の底面）に当接するようになる。そして、当接保持部６３が蓋体４０と一体的に後方に変位して、その後端面に当接する略矩形基板Ｐも容器本体２０内へと移動することになる。

よって、略矩形基板Ｐの前縁部は、蓋体４０の後面から容器本体２０内に向かって、少なくとも当接保持部６３および凸部６４の長さ分だけ後方に位置付けられる。このとき、略矩形基板Ｐの後縁部は、未だサイドアダプタ３０の後部の段差面３２ａに当接しておらず、ダメージを受ける心配はない。換言すれば、収納する略矩形基板Ｐの前後方向の長さ寸法を基準として、当接保持部６３および凸部６４の寸法が決められている。図７Ｂには略矩形基板Ｐの前縁部を角形状として表しているが、これはＲ形状であってもよい。

なお、リテーナ支持部６１、複数の弾性片６２および当接保持部６３、凸部６４は全て一体成形されており、その材料は、容器本体２０やサイドアダプタ３０、蓋体４０等と同じく、例えばポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトンなどの各種の熱可塑性樹脂、あるいはポリエステル系やポリオレフィン系などの各種の熱可塑性エラストマーが挙げられる。導電性を付与するためにカーボンパウダー等を添加することもできる。

また、当接保持部６３や凸部６４は別体で形成されて、弾性片６２に取り付けられていてもよい。この場合に当接保持部６３や凸部６４の材料は、熱可塑性エラストマー、あるいはゴム材などからなる弾性部材によって形成するのが好ましい。すなわち、当接保持部６３や凸部６４は、フッ素ゴム、ニトリルゴム、シリコンゴム、クロロプレンゴム、エチレンプロピレンゴムのうちから選択されるものを含んで構成すればよい。

また、当接保持部６３や凸部６４は、発泡ゴムスポンジで形成してもよく、或いは、フッ素ゴムスポンジ、クロロプレンゴムスポンジ、シリコンゴムスポンジ、ニトリルゴムスポンジ、クロロプレンゴムスポンジ、エチレンプロピレンゴムスポンジのうちから選択されるものを含んで構成してもよい。さらに、導電性を付与するためにカーボンパウダー等を添加することもできる。

以上、説明したように本実施形態の基板収納容器１では、容器本体２０内の左右両側面に設けられた棚部２２に、略矩形基板Ｐを載置するための補助棚部材であるサイドアダプタ３０が着脱自在に取り付けられている。よって、収納する略矩形基板Ｐの形状および厚み、収納枚数、収納ピッチなどに応じてサイドアダプタ３０のみ製作すれば、種々の形状および厚みの略矩形基板Ｐを好適に収納することができる。

また、そうして容器本体２０の棚部２２に取り付けるサイドアダプタ３０の上側及び下側被固定部３５，３６のうち、上側被固定部３５の剛性を高くするとともに、リブ３１ａを形成して、棚部２２に対するサイドアダプタ３０の上下方向の位置決め精度を確保している。一方、下側被固定部３６は上下に撓みやすい構造とすることで、サイドアダプタ３０を容易に棚部２２に組み付けることができる。

さらに、サイドアダプタ３０に設けたスリット孔３２ｂに、リヤアダプタ５０の係合片５２を嵌め込んで、上下方向に位置決めして係合させるようにしており、これにより、リヤアダプタ５０の支持片５３をサイドアダプタ３０の支持片３３と略同じ高さか少しだけ低く位置づけることができる。このリヤアダプタ５０の支持片５３によって略矩形基板Ｐの後縁部における左右の中間部を支持し、撓みを抑制することができる。

また、本実施形態では蓋体４０の裏側に設けたリテーナ６０によって、略矩形基板Ｐの前縁部を弾性的に保持することで、その撓みや反り、うねりの程度に拘わらず、搬送時の振動による破損や汚染を回避できるとともに、当接保持部６３に凸部６４を設けたことで、蓋体４０を容器本体２０に取り付ける際に、凸部６４および当接保持部６３を介して略矩形基板Ｐを後方に移動させ、容器本体２０内の適切な位置に収納できる。

（実施形態２）
次に、図８および図９を参照して実施形態２について説明する。
上述した実施形態１の基板収納容器１では蓋体４０に設けたリテーナ６０によって略矩形基板Ｐを保持するようにしているが、実施形態２ではサイドアダプタの前端部に、略矩形基板Ｐの前後方向の変位を規制する変位規制部を設けている。

すなわち、実施形態２の基板収納容器１は、蓋体４０にリテーナ６０がないことと、サイドアダプタの構造が異なることを除けば、実施形態１のものと同じ構造である。そして、実施形態２のサイドアダプタ７０は、前方延長部３８があることを除けば実施形態１のサイドアダプタ３０と同じ構造なので、本体部３１や支持片３３などには同じ符号を付して、その説明は省略する。

図８には、蓋体４０を取り外して実施形態２の基板収納容器１を示す。図に表れているようにサイドアダプタ７０には、本体部３１の前側に連続して前方延長部３８が設けられており、この前方延長部３８の表面（容器本体２０内に臨む面）における前縁付近に、それぞれ本体部３１の支持片３３と同じ間隔で上下方向に並ぶ１６個の支持当接片３９が突設されている。

図９に拡大して示すように支持当接片３９は断面Ｌ字状とされ、略矩形基板Ｐを載置するために、本体部３１の１６個の支持片３３とそれぞれ同じ高さに設けられた支持部３９ａと、その前端から上方に折れ曲がって、略矩形基板Ｐの厚みを超える高さまで延びる立壁部３９ｂと、を備えている。この立壁部３９ｂに、支持部３９ａに載置された略矩形基板Ｐの前縁部が当接することで、前方への変位が規制される。

この実施形態２の場合、略矩形基板Ｐを開口２１から容器本体２０に収納する際に、その後縁部が支持当接片３９の立壁部３９ｂと干渉しないように、この立壁部３９ｂよりも少し高い位置で挿し入れる。そして、立壁部３９ｂを乗り越えた後に、略矩形基板Ｐを下方に移動させ、その左右両側縁部を支持当接片３９の支持部３９ａおよびサイドアダプタ７０の本体部３１の支持片３３に載置する。

こうして略矩形基板Ｐを支持片３３や支持当接片３９の支持部３９ａに載置した状態で、その支持当接片３９の立壁部３９ｂの後面と略矩形基板Ｐの前縁（前面）との間には所定の隙間が残る。また、略矩形基板Ｐの後縁部とサイドアダプタ３０の後部の段差面３２ａとの間にも所定の隙間が残る。つまり、略矩形基板Ｐは適切な隙間をもって、容器本体２０内に前後方向に位置決めされる。

また、それぞれの支持当接片３９の近傍においてサイドアダプタ３０の前方延長部３８には、断面が楕円形の貫通穴３８ａ（以下、窓部３８ａと呼ぶ）が設けられている。この窓部３８ａは、支持当接片３９の支持部３９ａに載置されている略矩形基板Ｐを視認し得るものであり、例えば画像処理装置などのセンサによって略矩形基板Ｐを検知するために設けられている。

以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。

例えば上述した実施形態１，２では、サイドアダプタ３０の上側および下側の被固定部３５，３６によって、棚部２２の最上位および最下位の棚板部２２ａを挟み込んで固定するようにしており、特に、上側被固定部３５を高剛性にして、上下方向の位置決め精度を確保する一方、下側被固定部３６は上下に撓み易くして、棚板部２２ａに容易に嵌め合わせできるようにしている。

しかしながら、前記の構成には限定されず、例えばサイドアダプタ３０の下側被固定部３６を高剛性にして、上側被固定部３５を上下に撓み易く構成してもよい。また、上側および下側被固定部３５，３６の両方を上下に撓み易い構成としてもよく、この場合は、両方の被固定部３５，３６の先端側の剛性は低くしつつ、その基端側に剛性の高い部分を設けて、位置決め精度を担保することが好ましい。

また、上述した実施形態１，２では、サイドアダプタ３０の下端部に突出支持部３７を設けて、衝撃荷重によってサイドアダプタ３０が一瞬、変形したとしても、その下端の突出支持部３７が容器本体２０の底面に接触することで、変形を抑制するようにしているが、これにも限定されず、突出支持部３７は設けなくてもよい。

また、上述した実施形態１，２では、サイドアダプタ３０の他にリヤアダプタ５０を設け、このリヤアダプタ５０の支持片５３によって略矩形基板Ｐの後縁部における左右の中間部を支持して、撓みを抑制するようにしているが、これにも限定されず、リヤアダプタ５０は設けなくてもよい。

さらに、上述した実施形態１では、蓋体４０に設けるリテーナ６０として、それぞれの略矩形基板Ｐの前縁部に当接する当接保持部６３と、弾性片６２と、凸部６４とを有する構成としているが、これにも限定されず、例えば凸部６４は設けなくてもよい。また、略矩形基板Ｐのそれぞれに対応して当接保持部６３や弾性片６２を設けるのではなく、複数の略矩形基板Ｐに跨って当接するように上下方向に長い当接保持部を設けてもよい。

また、上述した実施形態２では、蓋体４０にリテーナ６０を設けず、サイドアダプタ７０の前端部（前方延長部３８）に設けた立壁部３９ｂによって、略矩形基板Ｐの前方への変位を規制するようにしている。この立壁部３９ｂの高さが略矩形基板Ｐの厚みを超える高さを有することに対応して、実施形態２では、サイドアダプタ７０の前端部に略矩形基板Ｐを視認し得る貫通穴（窓部３８ａ）を設けているが、貫通穴ではなく切欠き部を設けてもよいし、それらを立壁部３９ｂに設けてもよい。

１ 基板収納容器
２０ 容器本体、２１ 開口、２２ 棚部、２２ａ 棚板部（固定部）
３０ サイドアダプタ（補助棚部材）、３３ 支持片、３５ 上側被固定部、
３６ 下側被固定部、３７ 突出支持部
４０ 蓋体
５０ リヤアダプタ（補助棚部材）、５２ 係合片（係合部）、５３ 支持片
６０ リテーナ、６２ 弾性片（連結付勢部）、６３ 当接保持部、６４ 凸部
７０ サイドアダプタ（補助棚部材）、３８ 前方延長部、３８ａ 窓部、
３９ 支持当接片、３９ｂ 立壁部（壁部：変位規制部）

Claims (13)

1. 基板収納容器であって、
   前方に基板の出し入れを行う開口が設けられた容器本体と、
   前記開口を閉じる蓋体と、を備え、
   前記開口を前方から見て前記容器本体内の左右の両側面にはそれぞれ、略円形基板を載置するための棚部が設けられ、
   前記左右の各棚部にそれぞれ、略矩形基板を載置するための左側および右側の各補助棚部材が着脱自在に取り付けられている、
   ことを特徴とする基板収納容器。
2. 前記各棚部は、互いに上下に離間する複数の棚板部を有し、そのうちの上端および下端のそれぞれの棚板部には、前記各補助棚部材に設けられた上側および下側の各被固定部がそれぞれ係止される上側および下側の各固定部が設けられている、
   ことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
3. 前記各補助棚部材の上側および下側の少なくとも一方の被固定部が、上下方向に弾性変形可能に設けられている、
   ことを特徴とする請求項２に記載の基板収納容器。
4. 前記各補助棚部材の上側の被固定部は、下側の被固定部に比べて高い剛性を有する、
   ことを特徴とする請求項３に記載の基板収納容器。
5. 前記各補助棚部材には、それぞれ前記略矩形基板を載置可能な複数の支持片が上下方向に等間隔に設けられている、
   ことを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
6. 前記容器本体内の後方寄りの部位に、前記左側および右側の各補助棚部材に係合された後側の補助棚部材が配設され、
   前記後側の補助棚部材における左右の中間部に、それぞれ前記略矩形基板を載置可能な複数の支持片が、前記左側および右側の各補助棚部材と同じ間隔で上下に並んで設けられている、
   ことを特徴とする請求項５に記載の基板収納容器。
7. 前記後側の補助棚部材の左右両端部にそれぞれ、前記左側および右側の各補助棚部材に対し上下方向に位置決めされて係合する係合部が設けられている、
   ことを特徴とする請求項６に記載の基板収納容器。
8. 前記左側および右側の各補助棚部材には、前記略矩形基板の前後方向の変位を規制する変位規制部が設けられている、
   ことを特徴とする請求項１から７までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
9. 前記変位規制部は、前記複数の支持片のそれぞれに載置された前記略矩形基板の前縁部における左右両端部に当接するように、前記左側および右側の各補助棚部材に設けられた壁部であり、
   前記壁部は、前記複数の支持片のそれぞれに対応して、載置された前記略矩形基板の厚みを超える高さに設けられ、
   前記左側および右側の各補助棚部材には、前記複数の支持片のそれぞれに対応して、載置された前記略矩形基板を視認可能に窓部が設けられている、
   ことを特徴とする請求項８に記載の基板収納容器。
10. 前記蓋体に、前記略矩形基板を保持するためのリテーナが設けられ、
    前記リテーナは、前記略矩形基板の前縁部に当接して保持する当接保持部と、前記当接保持部を前記蓋体に対し前後方向に変位可能に連結し、かつ後方に付勢する連結付勢部と、前記当接保持部が前方に所定量、変位したときに前記蓋体の後面に当接するよう、前記当接保持部の前部から前方に突出する凸部と、を備える、
    ことを特徴とする請求項１から７までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
11. 前記リテーナの当接保持部は、前記略矩形基板の前縁部に当接する後端面が、上下方向の中心線を有する円弧面によって形成されている、
    ことを特徴とする請求項１０に記載の基板収納容器。
12. 前記左側および右側の各補助棚部材の下端部には、下方に向かって突出部が設けられ、その突出端面と対向する容器本体の底面との間に所定の隙間が形成されている、
    ことを特徴とする請求項１から１１までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
13. 前記左側および右側の各補助棚部材には、前記棚部に向かって突出しその先端側が上下に二股に分かれたリブが設けられており、その二股に分かれた部分に前記棚部のいずれか１つの棚板部が差し込まれて位置決めされる、
    ことを特徴とする請求項１２に記載の基板収納容器。

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