KR101918687B1 - 펠리클 - Google Patents

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Abstract

펠리클은 프레임, 멤브레인 및 홀더를 포함한다. 프레임은 레티클을 고정한다. 프레임은 구배형 로킹홈을 갖는다. 멤브레인은 상기 레티클과 대향한다. 홀더는 상기 멤브레인을 고정한다. 홀더는 상기 구배형 로킹홈에 분리 가능하게 결합되는 로킹부를 갖는다. 따라서, 프레임에 고정된 레티클을 세정하는 작업이 요구되지 않으므로, 레티클 패턴의 손상이 방지될 수 있다.

Description

펠리클{PELLICLE}
본 발명은 펠리클에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 레티클을 보호하는 펠리클에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 기판 상에 패턴을 형성하기 위해서 레티클이 사용된다. 따라서, 레티클은 원하는 패턴과 대응하는 패턴을 갖는다. 레티클 패턴을 외부 환경으로부터 보호하기 위해서, 레티클이 사용된다.
관련 기술들에 따르면, 펠리클은 프레임 및 멤브레인을 포함한다. 레티클은 프레임에 고정된다. 멤브레인은 프레임에 고정된다. 멤브레인은 광을 레티클로 투과시키는 투명 재질을 포함한다.
펠리클을 장시간 사용하게 되면, 펠리클이 오염된다. 따라서, 펠리클 전체를 새로운 것으로 교체할 것이 요구된다. 또한, 펠리클 교체 중에, 레티클도 세정하는 작업이 요구된다. 이러한 레티클 세정 작업은 레티클 패턴에 손상을 줄 수 있다. 또한, 세정된 레티클을 새로운 펠리클에 설치할 때, 프레임의 장력 변화로 레티클 패턴이 왜곡될 수도 있다.
본 발명은 레티클의 손상을 방지할 수 있는 펠리클을 제공한다.
본 발명의 일 견지에 따른 펠리클은 프레임, 멤브레인 및 홀더를 포함한다. 프레임은 레티클을 고정한다. 프레임은 구배형 로킹홈을 갖는다. 멤브레인은 상기 레티클과 대향한다. 홀더는 상기 멤브레인을 고정한다. 홀더는 상기 구배형 로킹홈에 분리 가능하게 결합되는 로킹부를 갖는다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 프레임은 상기 구배형 로킹홈을 형성하는 구배형 로킹턱을 가질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 구배형 로킹턱은 상기 프레임의 외측면으로 갈수록 점진적으로 얇아지는 두께를 가질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 구배형 로킹턱은 라운드된 단부를 가질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 구배형 로킹턱과 상기 로킹부 사이에 갭이 형성될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 로킹부는 상기 구배형 로킹홈과 대응하는 구배 형상을 가질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 로킹부는 상기 로킹부가 상기 구배형 로킹홈으로부터 이탈될 수 있도록 상기 로킹부에 인가된 압력에 의해 구부러지는 탄성을 갖는 재질을 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 로킹부와 상기 홀더 사이의 연결부에 상기 구부러진 로킹부를 수용하는 수용홈이 형성될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 로킹부는 알루미늄 합금을 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 구배형 로킹홈은 상기 프레임의 대향하는 양측면에 배치될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 로킹부는 상기 홀더와 상기 프레임의 외측면들과 동일한 평면 상에 위치하는 외측면을 가질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 레티클은 극자외선 레티클을 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 견지에 따른 펠리클은 제 1 프레임, 제 2 프레임 및 멤브레인을 포함한다. 제 1 프레임은 레티클을 고정한다. 제 1 프레임은 구배형 로킹홈을 갖는다. 제 2 프레임은 상기 구배형 로킹홈에 분리 가능하게 결합되는 구배형 로킹부를 갖는다. 멤브레인은 상기 제 2 프레임에 고정된다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 로킹부는 상기 로킹부가 상기 구배형 로킹홈으로부터 이탈될 수 있도록 상기 로킹부에 인가된 압력에 의해 구부러지는 탄성을 갖는 재질을 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 로킹부와 상기 제 2 프레임 사이의 연결부에 상기 구부러진 로킹부를 수용하는 수용홈이 형성될 수 있다.
상기된 본 발명에 따르면, 홀더의 로킹부가 프레임의 로킹홈에 분리 가능하게 결합되므로, 홀더와 멤브레인만을 새로운 것으로 교체하고, 프레임은 계속 사용할 수 있다. 따라서, 프레임에 고정된 레티클을 세정하는 작업이 요구되지 않으므로, 레티클 패턴의 손상이 방지될 수 있다. 또한, 구배형 로킹홈과 구배형 로킹부는 프레임과 레티클에 거의 영향을 주지 않으므로, 새로운 홀더와 멤브레인 설치 중에 프레임에 인가되는 외력을 최대한 억제할 수 있다. 그러므로, 레티클 패턴이 왜곡되는 것도 억제할 수가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 펠리클을 나타낸 분해 사시도이다.
도 2는 도 1의 펠리클을 나타낸 사시도이다.
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ' 선을 따라 나타낸 단면도이다.
도 4 내지 도 6은 도 1의 펠리클의 홀더를 프레임으로부터 분리하는 동작들을 순차적으로 나타낸 단면도들이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 펠리클을 나타낸 분해 사시도이다.
도 8은 도 7의 펠리클을 나타낸 사시도이다.
도 9는 도 8의 Ⅸ-Ⅸ' 선을 따라 나타낸 단면도이다.
도 10 내지 도 12는 도 7의 펠리클의 제 2 프레임을 제 1 프레임으로부터 분리하는 동작들을 순차적으로 나타낸 단면도들이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 펠리클을 나타낸 분해 사시도이고, 도 2는 도 1의 펠리클을 나타낸 사시도이며, 도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ' 선을 따라 나타낸 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 펠리클(100)은 프레임(110), 멤브레인(120) 및 홀더(130)를 포함한다.
본 실시예에서, 프레임(110)은 직사각틀 형상을 갖는다. 따라서, 직사각형의 개구부가 프레임(110)의 중앙부에 형성된다. 레티클이 프레임(110)의 하부면에 접착제를 매개로 부착된다. 따라서, 프레임(110)의 형상은 레티클의 형상에 따라 변경될 수 있다. 그러므로, 프레임(110)의 형상은 직사각틀 형상으로 국한되지 않는다. 특히, 본 실시예에서는, 노광 공정에서 계속적으로 사용하던 기존의 프레임(110)을 구조 변경없이 그대로 사용할 수 있다.
본 실시예에서, 프레임(110)은 홈을 갖는다. 홈은 프레임(110)의 외측면에 형성된다. 구배형 로킹턱(114)이 홈의 내측면 중간부에 형성된다. 따라서, 구배형 로킹턱(114)에 의해 홈은 상부 홈(113)과 하부 홈(112)으로 구획된다. 하부 홈(112)이 구배형 로킹홈(112)에 해당된다. 구배형 로킹턱(114)은 홈의 폭보다 짧은 길이를 갖는다. 따라서, 구배형 로킹턱(114)은 프레임(110)의 외측면보다 돌출되지 않는다.
본 실시예에서, 구배형 로킹턱(114)은 프레임(110)의 외측면으로 갈수록 점진적으로 얇아지는 두께를 갖는다. 그러므로, 구배형 로킹홈(112)도 프레임(110)의 외측면으로 갈수록 점진적으로 넓어지는 폭을 갖게 된다. 또한, 구배형 로킹턱(114)의 단부(116)는 라운드된 형상을 갖는다.
본 실시예에서, 구배형 로킹홈(112)과 구배형 로킹턱(114)은 프레임(110)의 대향하는 두 측면들에 형성될 수 있다. 부가적으로, 구배형 로킹홈(112)과 구배형 로킹턱(114)은 프레임(110)의 나머지 대향 측면들에도 형성될 수도 있다.
멤브레인(120)은 프레임(110)의 상부에 배치된다. 따라서, 멤브레인(120)은 레티클과 대향한다. 레티클을 투과한 광이 멤브레인(120)을 통해서 기판으로 조사되므로, 멤브레인(120)은 광을 투과시키는 투명 재질을 포함한다.
홀더(130)는 프레임(110)의 상부면에 배치된다. 본 실시예에서, 홀더(130)는 프레임(110)의 형상과 대응하는 형상을 갖는다. 본 실시예에서, 프레임(110)이 직사각틀 형상을 갖고 있으므로, 홀더(130)도 직사각틀 형상을 갖는다. 멤브레인(120)은 접착제를 매개로 홀더(130)의 상부면에 부착된다. 홀더(130)의 하부면은 프레임(110)의 상부면에 맞대어진다. 본 실시예에서, 홀더(130)의 외측면은 프레임(110)의 외측면과 실질적으로 동일한 수직 평면 상에 위치한다.
본 실시예에서, 홀더(130)는 로킹부(140)를 포함한다. 로킹부(140)는 로킹 몸체(142) 및 로커(144)를 포함한다. 로킹 몸체(142)는 홀더(130)의 하부면 가장자리로부터 하부를 향해 연장된다. 로커(144)는 로킹 몸체(142)의 내측면으로부터 수평하게 연장된다. 로커(144)는 구배형 로킹홈(112)에 삽입된다. 로커(144)가 구배형 로킹홈(112)에 삽입되는 것에 의해서, 멤브레인(120)이 부착된 홀더(130)가 프레임(110)에 견고하게 고정된다. 반면에, 도 6에 도시된 바와 같이, 로킹 몸체(142)에 압력을 인가하게 되면, 로킹 몸체(142)가 상부 홈(113) 내로 약간 구부러지게 되고, 로커(144)가 구배형 로킹홈(112)으로부터 이탈된다. 따라서, 로킹부(140)는 상기 압력에 의해 구부러질 수 있는 탄성 재질을 포함한다. 예를 들어서, 로킹부(140)는 탄성을 갖는 알루미늄 합금을 포함할 수 있다.
본 실시예에서, 로커(144)는 구배형 로킹홈(112)의 형상과 대응하는 형상을 갖는다. 따라서, 로커(144)도 구배형 로킹홈(112)의 내측면으로 갈수록 점진적으로 얇아지는 두께를 갖는 구배 형상이다.
본 실시예에서, 로킹부(140)는 프레임(110)과 홀더(130)의 외측면과 실질적으로 동일한 수직 평면 상에 위치하는 외측면을 갖는다. 만일 로킹부(140)의 외측면이 프레임(110)과 홀더(130)의 외측면들보다 돌출되면, 펠리클(100)을 이송하는 동작 중에 로킹부(140)의 돌출된 부분이 주변 설비들과 간섭할 소지가 있다. 따라서, 로킹부(140), 프레임(110) 및 홀더(130)의 외측면이 동일 수직 평면 상에 위치하게 되면, 로킹부(140)는 프레임(110)의 외측면으로부터 돌출된 부분을 갖지 않게 된다. 결과적으로, 펠리클(100)을 이송하는 동작 중에 펠리클(100)이 주변 설비들과 간섭하는 사고가 방지될 수 있다.
본 실시예에서, 멤브레인(120)이 부착된 홀더(130)는 멤브레인(120)의 수명에 따라 주기적으로 새로운 멤브레인이 부착된 새로운 홀더로 교체된다. 반면에, 레티클이 부착된 프레임(110)은 멤브레인(120)과 홀더(130)의 교체와는 상관없이 계속적으로 사용된다. 따라서, 홀더(130)를 프레임(110)으로부터 분리하는 작업, 및 새로운 홀더(130)를 프레임(110)에 결합하는 작업이 수행된다.
상기 분리 작업과 결합 작업 중에, 외력이 프레임(110)으로 전달되는 것을 최대한 억제시킬 필요가 있다. 만일 외력이 프레임(110)으로 인가되면, 레티클을 지지하는 프레임(110)의 장력이 변화될 수 있다. 프레임(110)의 변화된 장력은 레티클의 패턴을 왜곡시킬 수 있다. 왜곡된 레티클 패턴은 반도체 기판 상에 비정상 패턴 형성을 야기하게 된다.
따라서, 분리 작업과 결합 작업 중에 외력이 프레임(110)으로 전달되는 것을 억제하기 위해서, 로킹홈(112)은 구배 형상을 갖고, 로커(144)도 로킹홈(112)과 대응하는 구배 형상을 갖는다. 또한, 로킹부(130)와 구배형 로킹턱(114) 사이에는 서로 간의 접촉 방지를 위한 갭이 형성될 수 있다. 결합 작업 중에는 로커(144)의 구배진 하부면이 로킹턱(114)의 구배진 상부면에 부드럽게 접촉하면서 하강하게 된다. 로커(144)의 구배진 하부면이 로킹턱(114)의 라운드된 단부(116)에 부드럽게 접촉한 이후, 로커(144)는 구배형 로킹홈(112) 내로 진입하게 된다. 따라서, 로커(144)로부터 프레임(110)으로 전달되는 외력을 최대한 억제시킬 수가 있다. 또한, 분리 작업 중에는 로킹 몸체(142)로 외력이 인가하게 되면, 로킹 몸체(142)는 상부 홈(113) 내로 구부러지고 반면에 로커(144)는 로킹홈(112)의 외측으로 돌출된다. 따라서, 분리 작업 중에, 로킹 몸체(142)와 로커(144)가 프레임(110)과 접촉하지 않게 되어, 프레임(110)으로의 외력 전달을 최대한 억제할 수가 있다.
또한, 본 실시예에서, 수용홈(132)이 홀더(130)와 로킹부(140) 사이의 연결부에 형성된다. 수용홈(132)은 홀더(130)의 외측면에 형성된다. 압력이 인가된 로킹 몸체(142)가 구부러질 때, 로킹 몸체(142)의 구부러짐을 수용홈(132)이 수용하게 된다. 따라서, 로킹 몸체(142)의 구부러짐에 의해 발생된 외력이 홀더(130)를 경유해서 프레임(110)으로 전달되는 것을 최대한 억제할 수가 있다.
부가적으로, 비록 구배형 로킹턱(114)과 로킹부(140) 사이에 갭이 형성되어 있지만, 결합 동작 중에 로킹부(130)가 구배형 로킹턱(114)의 단부(116)에 접촉할 수가 있다. 만일 로킹턱(114)의 단부(116)가 날카로운 형상을 갖고 있다면, 날카로운 단부(116)가 로킹부(140)를 긁어서, 레티클에 치명적인 악영향을 주는 파티클이 발생될 수도 있다. 따라서, 본 실시예에서는, 구배형 로킹턱(114)의 단부(116)는 라운드된 형상을 갖는다. 라운드된 단부(116)는 로킹부(140)에 부드럽게 접촉하게 되므로, 결합 동작 중에 파티클이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
도 4 내지 도 6은 도 1의 펠리클의 홀더를 프레임으로부터 분리하는 동작들을 순차적으로 나타낸 단면도들이다.
도 4를 참조하면, 로킹부(140)의 로커(144)가 구배형 로킹홈(112) 내에 삽입되어 있다. 로킹부(140)는 구배형 로킹턱(114)과 프레임(110)에는 접촉하지 않고 있다. 펠리클(100)을 장시간 사용하게 되면, 멤브레인(120)이 오염된다. 따라서, 멤브레인(120)이 부착된 홀더(130)를 새 것으로 교체할 것이 요구된다.
도 5를 참조하면, 압력을 로킹 몸체(142)의 외측면에 인가한다. 로킹 몸체(142)는 상부 홈(11) 내로 구부러지게 되어, 로커(144)가 구배형 로킹홈(112)으로부터 이탈된다. 이러한 동작 중에, 로킹부(140)는 프레임(110)과 접촉하지 않는다. 또한, 로킹 몸체(142)의 구부러짐은 수용홈(132)이 수용하게 된다. 그러므로, 로킹 몸체(142)의 구부러짐으로 인해 발생된 힘이 홀더(130)를 통해서 프레임(110)으로 전달되는 것이 최대한 억제될 수 있다.
도 6을 참조하면, 멤브레인(120)이 부착된 홀더(130)를 상승시켜서, 홀더(130)를 프레임(110)으로부터 분리한다.
새로운 멤브레인(120)이 부착된 새로운 홀더(130)를 프레임(110)에 결합시킨다. 홀더(130)를 프레임(110)을 향해서 하강시키면, 로커(144)의 구배진 하부면이 로킹턱(114)의 구배진 상부면에 부드럽게 접촉하면서 로커(144)가 하강하게 된다. 로커(144)의 구배진 하부면이 로킹턱(114)의 라운드된 단부(116)에 부드럽게 접촉한 이후, 로커(144)는 그의 복원력에 의해 구배형 로킹홈(112) 내로 진입하게 된다. 따라서, 로커(144)로부터 프레임(110)으로 전달되는 외력을 최대한 억제시킬 수가 있다.
본 실시예에 따르면, 멤브레인이 오염되면, 멤브레인이 부착된 홀더만을 새로운 것으로 교체한다. 반면에, 레티클이 부착된 프레임은 멤브레인과 홀더의 교체와는 상관없이 계속적으로 사용한다. 따라서, 멤브레인 교체와 함께 수반되어야 했던 레티클 세정 작업이 필요하지 않게 된다. 결과적으로, 레티클 세정 작업으로 야기되는 레티클 패턴의 손상을 방지할 수 있다. 또한, 구배형 로킹홈과 구배형 로킹부는 분리 작업과 결합 작업 중에 프레임으로 인가되는 외력을 최대한 억제한다. 그러므로, 분리 작업과 결합 작업 이후 레티클 패턴이 왜곡되는 것도 방지할 수 있다. 결과적으로, 레티클의 수명이 연장될 수 있다. 특히, 홀더만을 추가하는 것에 의해서 노광 공정에서 계속 사용하던 프레임을 구조 변경없이 그대로 사용할 수가 있다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 펠리클을 나타낸 분해 사시도이고, 도 8은 도 7의 펠리클을 나타낸 사시도이며, 도 9는 도 8의 Ⅸ-Ⅸ' 선을 따라 나타낸 단면도이다.
도 7 내지 도 9를 참조하면, 본 실시예에 따른 펠리클(200)은 제 1 프레임(210), 멤브레인(220) 및 제 2 프레임(230)을 포함한다. 즉, 본 실시예의 펠리클(200)은 도 1의 프레임(110)이 2개로 분할된 제 1 및 제 2 프레임(210, 230)을 포함한다. 따라서, 제 1 프레임(210)과 제 2 프레임(230)을 합산한 두께는 도 1의 프레임(110)의 두께와 실질적으로 동일하다. 반면에, 본 실시예의 펠리클(200)은 도 1의 홀더(130)를 포함하지 않는다.
본 실시예에서, 제 1 프레임(210)은 직사각틀 형상을 갖는다. 따라서, 직사각형의 개구부가 제 1 프레임(210)의 중앙부에 형성된다. 레티클이 제 1 프레임(210)의 하부면에 접착제를 매개로 부착된다.
본 실시예에서, 제 1 프레임(210)은 구배형 로킹홈(212)을 갖는다. 구배형 로킹홈(212)은 제 1 프레임(210)의 외측면에 형성된다. 로킹홈(212)의 상부면은 제 1 프레임(210)의 외측으로 갈수록 점진적으로 상향하는 형상을 갖는다. 따라서, 구배형 로킹홈(212)은 제 1 프레임(210)의 외측으로 갈수록 점진적으로 넓어지는 폭을 갖는다.
본 실시예에서, 구배형 로킹홈(212)은 제 1 프레임(210)의 대향하는 두 측면들에 형성될 수 있다. 부가적으로, 구배형 로킹홈(212)은 제 1 프레임(210)의 나머지 대향 측면들에도 형성될 수도 있다.
제 2 프레임(230)은 제 1 프레임(210)의 상부면에 배치된다. 본 실시예에서, 멤브레인(220)은 접착제를 매개로 제 2 프레임(230)의 상부면에 부착된다. 제 2 프레임(230)은 접촉부(232) 및 플랜지부(234)를 포함한다. 접촉부(232)는 제 1 프레임(210)과 대응하는 직사각틀 형상을 갖는다. 접촉부(232)의 하부면은 제 1 프레임(210)의 상부면에 맞대어진다. 플랜지부(234)는 접촉부(232)의 외측면으로부터 수평 방향을 따라 연장된다. 따라서, 플랜지부(234)의 하부면, 접촉부(232)의 외측면 및 제 1 프레임(210)의 상부면 사이에 홈(233)이 형성된다. 상기 홈(233)이 도 1의 상부 홈(113)에 해당된다. 플랜지부(234)는 제 1 프레임(210)의 외측면과 실질적으로 동일 수직 평면 상에 위치하는 외측면을 갖는다. 수용홈(236)이 플랜지부(234)의 외측면에 형성된다.
본 실시예에서, 제 2 프레임(230)은 로킹부(240)를 포함한다. 로킹부(240)는 도 4의 로킹부(230)와 실질적으로 동일한 구조 및 재질을 포함한다. 따라서, 로킹부(240)에 대한 반복 설명은 생략한다. 로킹부(240)는 제 1 및 제 2 프레임(210, 230)의 외측면과 실질적으로 동일한 수직 평면 상에 위치하는 외측면을 갖는다.
도 10 내지 도 12는 도 7의 펠리클의 제 2 프레임을 제 1 프레임으로부터 분리하는 동작들을 순차적으로 나타낸 단면도들이다.
도 7을 참조하면, 로킹부(240)의 로커(244)가 구배형 로킹홈(212) 내에 삽입되어 있다. 로킹부(240)는 제 1 프레임(110)에는 접촉하지 않고 있다. 펠리클(200)을 장시간 사용하게 되면, 멤브레인(220)이 오염된다. 따라서, 멤브레인(220)이 부착된 제 2 프레임(230)을 새 것으로 교체할 것이 요구된다.
도 8을 참조하면, 압력을 로킹 몸체(242)의 외측면에 인가한다. 로킹 몸체(242)는 홈(233) 방향으로 구부러지게 되어, 로커(244)가 구배형 로킹홈(212)으로부터 이탈된다. 이러한 동작 중에, 로킹부(240)는 프레임(210)과 접촉하지 않는다. 또한, 로킹 몸체(242)의 구부러짐은 수용홈(232)이 수용하게 된다. 그러므로, 로킹 몸체(242)의 구부러짐으로 인해 발생된 힘이 제 2 프레임(230)을 통해서 제 1 프레임(210)으로 전달되는 것이 최대한 억제될 수 있다.
도 10을 참조하면, 멤브레인(220)이 부착된 제 2 프레임(230)을 상승시켜서, 제 2 프레임(230)을 제 1 프레임(210)으로부터 분리한다.
새로운 멤브레인(220)이 부착된 새로운 제 2 프레임(230)을 제 1 프레임(210)에 결합시킨다. 제 2 프레임(230)을 제 1 프레임(210)을 향해서 하강시키면, 로커(244)의 구배진 하부면이 로킹턱(214)의 라운드된 단부(216)에 부드럽게 접촉한 이후, 로커(244)는 그의 복원력에 의해 구배형 로킹홈(212) 내로 진입하게 된다. 따라서, 로커(244)로부터 제 1 프레임(210)으로 전달되는 외력을 최대한 억제시킬 수가 있다.
본 실시예에 따르면, 멤브레인이 오염되면, 멤브레인이 부착된 제 2 프레임만을 새로운 것으로 교체한다. 반면에, 레티클이 부착된 제 1 프레임은 멤브레인과 제 2 프레임의 교체와는 상관없이 계속적으로 사용한다. 따라서, 멤브레인 교체와 함께 수반되어야 했던 레티클 세정 작업이 필요하지 않게 된다. 결과적으로, 레티클 세정 작업으로 야기되는 레티클 패턴의 손상을 방지할 수 있다. 또한, 구배형 로킹홈과 구배형 로킹부는 분리 작업과 결합 작업 중에 프레임으로 인가되는 외력을 최대한 억제한다. 그러므로, 분리 작업과 결합 작업 이후 레티클 패턴이 왜곡되는 것도 방지할 수 있다. 결과적으로, 레티클의 수명이 연장될 수 있다.
한편, 본 실시예들의 펠리클로 보호되는 마스크에 적용할 수 있는 광원은 특정 파장으로 제한되지 않는다. 예를 들어서, 마스크는 극자외선(Extreme UltraViolet : EUV) 마스크를 포함할 수도 있다.
상술한 바와 같이 본 실시예들에 따르면, 홀더의 로킹부가 프레임의 로킹홈에 분리 가능하게 결합되므로, 홀더와 멤브레인만을 새로운 것으로 교체하고, 프레임은 계속 사용할 수 있다. 따라서, 프레임에 고정된 레티클을 세정하는 작업이 요구되지 않으므로, 레티클 패턴의 손상이 방지될 수 있다. 또한, 구배형 로킹홈과 구배형 로킹부는 프레임과 레티클에 거의 영향을 주지 않으므로, 새로운 홀더와 멤브레인 설치 중에 프레임에 인가되는 외력을 최대한 억제할 수 있다. 그러므로, 레티클 패턴이 왜곡되는 것도 억제할 수가 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
110 ; 프레임 112 ; 구배형 로킹홈
114 ; 구배형 로킹턱 116 ; 라운드 단부
120 ; 멤브레인 130 ; 홀더
132 ; 수용홈 140 ; 로킹부
142 ; 로킹 몸체 144 ; 로커
150, 152 ; 접착제

Claims (10)

  1. 레티클이 고정되고, 구배형 로킹홈을 갖는 프레임;
    상기 레티클과 대향하는 멤브레인; 및
    상기 멤브레인이 고정되고, 상기 구배형 로킹홈에 분리 가능하게 결합되는 로킹부를 갖는 홀더를 포함하고,
    상기 로킹부는 상기 로킹부가 상기 구배형 로킹홈으로부터 이탈될 수 있도록 상기 로킹부에 인가된 압력에 의해 구부러지는 탄성을 갖는 재질을 포함하며, 상기 로킹부와 상기 홀더 사이의 연결부에 상기 로킹부를 수용하는 수용홈이 형성된 펠리클.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 프레임은 상기 구배형 로킹홈을 형성하는 구배형 로킹턱을 갖는 펠리클.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 구배형 로킹턱은 상기 프레임의 외측면으로 갈수록 점진적으로 좁아지는 두께를 갖는 펠리클.
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 구배형 로킹턱은 라운드된 단부를 갖는 펠리클.
  5. 제 2 항에 있어서, 상기 구배형 로킹턱과 상기 홀더 사이에 갭이 형성된 펠리클.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 로킹부는 상기 구배형 로킹홈과 대응하는 구배 형상을 갖는 펠리클.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 로킹부는 상기 홀더와 상기 프레임의 외측면들과 동일한 평면 상에 위치하는 외측면을 갖는 펠리클.
  10. 제 1 항에 있어서, 상기 레티클은 극자외선 레티클을 포함하는 펠리클.
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