KR101754835B1 - 펠리클 수납 용기 - Google Patents

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Abstract

[과제] 수송중의 발진이 지극히 적고 수납된 펠리클이 청정하게 유지되는 대형 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기를 제공한다.
[해결 수단] 하나 이상의 변 길이가 1000㎜를 초과하는 펠리클을 수납하는 대형 펠리클 수납 용기로서, 펠리클 수납 용기 본체는 금속제임과 아울러 둘레 가장자리에서 적재·고정되는 덮개체가 접촉되는 상기 펠리클 수납 용기의 표면에 보호 부재가 설치되고, 펠리클 수납 용기 본체와 덮개체는 상기 보호 부재를 통하여 적재·고정되는 것을 특징으로 한다. 상기 보호 부재는 2층 이상으로 이루어져 있으며, 그 덮개체와 접하는 층(상층)은 수지이고, 펠리클 수납 용기 본체와 접하는 층(하층)은 실리콘 점착제인 것이 바람직하며, 중간층으로서 탄성체층을 갖는 것이 더욱 바람직하다.

Description

펠리클 수납 용기{PELLICLE CONTAINER}
본 발명은 반도체 디바이스, 프린트 기판 또는 액정 디스플레이 등을 제조할 때의 먼지 막이로서 사용되는 리소그래피용 펠리클에 관한 것이다.
LSI 등의 반도체 디바이스 또는 액정 디스플레이 등의 제조에 있어서는 반도체 웨이퍼 또는 액정용 유리 원판에 광을 조사하여 패턴을 제작하지만, 이때 사용되는 포토마스크 또는 레티클(이하, 간단히 포토마스크라고 기술함)에 먼지가 부착되어 있으면 이 먼지가 광을 차단하거나 굴절시켜 버리므로 전사된 패턴이 손상된다는 문제가 있었다.
이 때문에, 이들 작업은 통상적으로 클린룸 내에서 행해지고 있지만, 그래도 포토마스크를 항상 청정하게 유지하는 것이 어렵다. 그래서, 포토마스크 표면에 먼지 막이로서 펠리클을 부착하는 방법이 취해지고 있다.
이 경우, 이물은 포토마스크의 표면 상에는 직접 부착되지 않고 펠리클 상에 부착되므로 리소그래피시에 초점을 포토마스크의 패턴 상에 맞추어 두면 펠리클 상의 이물은 전사에 무관하게 된다.
이 펠리클은 통상적으로 광을 잘 투과시키는 니트로셀룰로오스, 초산 셀룰로오스 또는 불소계 수지 등으로 이루어지는 투명한 펠리클막을 알루미늄, 스테인리스, 폴리에틸렌 등으로 이루어지는 펠리클 프레임의 상단면에 펠리클막의 양호 용매를 도포하고 바람 건조시켜 접착하거나 아크릴 수지나 에폭시 수지 등의 접착제로 접착하고, 또한 펠리클 프레임의 하단에는 포토마스크에 장착하기 위한 폴리부텐 수지, 폴리초산 비닐 수지, 아크릴 수지 등으로 이루어지는 점착층, 및 점착층의 보호를 목적으로 하는 이형층(세퍼레이터)이 형성된다.
또한, 펠리클을 포토마스크에 부착한 상태에 있어서 펠리클 내부에 둘러싸여진 공간과 외부의 기압차를 없애는 것을 목적으로 하여 펠리클 프레임의 일부에 기압 조정용의 작은 구멍을 개방하고, 작은 구멍을 통해서 이동되는 공기로부터의 이물 침입을 방지하기 위한 필터가 설치되는 것도 있다.
최근, 액정 디스플레이의 대형화에 따른 포토마스크의 대형화에 의해 펠리클 도 현저하게 대형화되고 있고, 당연히 거기에 따른 펠리클의 수납 용기도 대형이 된다.
종래, 펠리클 수납 용기는 비용이 낮은 것, 경량인 것, 일체 성형이 가능한 것, 형상의 자유도가 높은 것 등의 이유로 진공 성형 또는 접착 접합에 의한 수지제의 것이 이용되어 왔다.
그렇지만, 대형화했을 경우 수납물의 중량이 증대되는데다가 외력에 대한 변형량이 커지므로 수납 용기 내에서의 수납물 또는 수납 용기 자체에 이동이나 마찰이 발생한다.
그 때문에, 용기 내에서의 발진을 방지하기 위해서는 수납 용기의 강성을 높게 할 필요가 있다. 강성을 높이는 방법으로서는 종래의 수지제 펠리클 수납 용기의 외측에 보강체를 장착하는 방법 등이 알려져 있다(특허문헌 1 참조).
그러나, 이 방법은 보강체의 조립에 많은 공정수가 필요하게 되므로 이 밖에 알루미늄 합금, 마그네슘 합금, 또는 철강 등을 프레스 성형 또는 주조한 금속제 펠리클 수납 용기 또는 보강체도 제안되고 있다.
이들 금속제 펠리클 수납 용기는 중량이 무거워진다는 문제는 있지만, 필요한 강성을 확보할 수 있고 보강체를 장착하는 공정수까지 고려하면 수지제와 동등한 비용이 되므로 특히 펠리클의 변 길이가 1000㎜를 초과하는, 특히 대형의 품종에 대해서는 채용되는 예가 나와 있다.
그렇지만, 펠리클 수납 용기 본체에 금속제 것을 채용한 경우에도 수지제의 경우와 마찬가지로 수송중의 발진이 문제가 되고 있다. 발진 원인을 조사한 바, 발진은 주로 펠리클 수납 용기 본체와 덮개체의 접촉부에서 발생하고 있는 것을 알 수 있었다.
금속제 펠리클 수납 용기 본체는 세정성 향상을 위한 표면의 평활화, 부식 방지, 이물 시인성 향상을 위한 흑색화와 같은 이유로 산화 피막, 도금, 도장 등의 표면 처리를 시행하여 사용된다.
한편, 펠리클 수납 용기 본체와 조합되는 덮개체는 알루미늄 합금 또는 마그네슘 합금 등의 박판을 프레스 성형한 금속제나, 또는 PC, PMMA, ABS 등의 수지를 진공 성형한 것이 사용된다. 수지제의 것은 표면이 평활하므로 그대로 사용되지만, 금속제의 것에 대해서는 이들 덮개체도 펠리클 수납 용기 본체와 동일한 표면 처리를 시행하여 사용된다.
수송중의 발진은 덮개체가 수지제이여도 금속제이여도 마찬가지로 발견된다. 펠리클 수납 용기의 휨, 변형에 의한 마찰을 방지하기 위해서 강성을 높이는 것에도 불구하고 펠리클 수납 용기 본체와 덮개체 사이에서는 약간의 마찰이 발생된다는 것이며, 또한 상호의 표면을 평활하게 처리하고 있는 것에도 불구하고 발진이 완전히 방지되지 않는다는 것이다.
이것은 펠리클 수납 용기의 강성을 더욱 높이면 해결할 수 있을 가능성이 있다. 그렇지만, 강성 향상을 위해서 더욱 중량이 증가될 가능성이 있고, 취급가능한 중량을 고려하면 제한없이 강성을 높일 수는 없으므로 완전히 휨, 변형을 방지하는 것은 불가능하다.
이상으로부터, 금속제 펠리클 수납 용기 본체를 사용한 펠리클 수납 용기에 있어서 발진이 적은 펠리클 수납 용기는 얻을 수 없었다.
일본 특허 공개 2009-037269호 공보
본 발명은 상기와 같은 문제를 감안하여 이루어진 것이며, 하나 이상의 변 길이가 1000㎜를 초과하는 대형의 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기에 있어서, 수송중의 발진이 지극히 적고 수납된 펠리클이 청정하게 유지되는 펠리클 수납 용기를 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명의 펠리클 수납 용기는 하나 이상의 변 길이가 1000㎜를 초과하는 펠리클을 수납하는 대형 펠리클 수납 용기로서, 펠리클 수납 용기 본체는 금속제임과 아울러 둘레 가장자리에서 적재·고정되는 덮개체가 접촉되는 상기 펠리클 수납 용기의 표면에 보호 부재가 설치되고, 상기 펠리클 수납 용기 본체와 상기 덮개체는 그 보호 부재를 통하여 적재·고정되는 것을 특징으로 한다. 상기 보호 부재는 2층 이상으로 이루어져 있으며, 그 덮개체와 접하는 층은 수지이고, 상기 펠리클 수납 용기 본체와 접하는 층은 실리콘 점착제인 것이 바람직하며, 또한, 상기 보호 부재는 3층 이상으로 이루어져 있으며 그 덮개체와 접하는 층은 수지이고, 펠리클 수납 용기 본체와 접하는 층은 실리콘 점착제임과 아울러 그 중간층은 탄성체인 것이 바람직하다. 그리고, 상기 보호 부재 중 탄성체는 실리콘 수지인 것이 바람직하다.
또한, 상기 보호 부재의 덮개체와 접하는 층은 PET인 것이 바람직하다.
<발명의 효과>
본 발명에 의하면, 변 길이가 1000㎜를 초과하는 대형 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기에 있어서도 수납 용기 본체와 덮개체의 직접 접촉을 회피할 수 있어 수송중의 발진이 지극히 적고 수납된 펠리클이 청정하게 유지되는 펠리클 수납 용기를 얻을 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시형태를 나타내는 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시형태를 나타내는 정면도이다.
도 3은 본 발명의 실시형태를 나타내는 우측면도이다.
도 4는 본 발명의 실시형태를 나타내는 도 1 중의 A-A선 단면도이다.
도 5는 본 발명에서 사용되는 보호 부재의 일실시형태를 나타내는 단면 개략도이다.
도 6은 본 발명에서 사용되는 보호 부재의 다른 실시형태를 나타내는 단면 개략도이다.
도 7은 본 발명에서 사용되는 보호 부재의 또 다른 실시형태를 나타내는 단면 개략도이다.
도 8은 본 발명의 보호 부재의 배치의 일실시형태로서 전체에 배치된 예를 나타내는 개략도이다.
도 9는 본 발명의 보호 부재의 배치의 다른 실시형태로서 모서리의 접속부에 간극을 형성한 예를 나타내는 개략도이다.
도 10은 본 발명의 보호 부재의 배치의 또 다른 실시형태로서 간헐 배치로 한 예를 나타내는 개략도이다.
청구항 1에 규정되는 본 발명은 하나 이상의 변 길이가 1000㎜를 초과하는 펠리클을 수납하는 대형 펠리클 수납 용기로서, 펠리클 수납 용기 본체는 금속제임과 아울러 상기 펠리클 수납 용기와 둘레 가장자리에서 적재·고정되는 덮개체가 접촉되는 표면에 보호 부재가 설치되고, 펠리클 수납 용기 본체와 덮개체는 보호 부재를 통하여 적재·고정되는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기이다. 금속제 펠리클 수납 용기 본체와 덮개체의 직접 접촉이 없어져 발진량을 크게 저감시킬 수 있다.
여기서, 상기 보호 부재는 2층 이상으로 이루어져 있으며, 그 덮개체와 접하는 층은 수지이고, 펠리클 수납 용기 본체와 접하는 층, 즉 펠리클 수납 용기에 장착되는 층은 실리콘 점착제인 것이 바람직하다. 덮개체와 접하는 층을 수지로 함으로써 덮개체와의 마찰에 의한 발진량을 저감시킬 수 있다.
또한, 펠리클 수납 용기 본체와 접하는 층에 실리콘 점착제를 사용하면 접착 강도가 높은 동시에 경시 변화나 온도 등의 환경 변화에 의한 접착력의 열화가 지극히 적어 안정되어 있고, 접착 강도에 대한 신뢰성이 높아 바람직하다. 또한, 화학적으로 분해하여 내부의 펠리클을 오염시킬 우려가 작다는 이점도 있다. 또한, 이 보호 부재를 교환할 때에는 잔사(殘渣)가 남지 않게 박리될 수 있고, 세정, 재부착이 용이하게 된다.
또한, 더욱 바람직하게는, 상기 보호 부재는 3층 이상으로 이루어져 있으며, 그 덮개체와 접하는 층은 수지, 펠리클 수납 용기 본체와 접하는 층은 실리콘 점착제임과 아울러 그 중간층은 탄성체인 것이 바람직하다. 탄성체의 완충 효과에 의해 더욱 발진 방지를 도모할 수 있다.
이 탄성체로서는 특히 실리콘 수지를 사용하는 것이 좋다. 여기서 말하는 실리콘 수지란 실리콘 고무 또는 실리콘 겔 등의 탄성체를 가리킨다. 얇은 경우에도 완충 성능이 높고, 특히 효과가 높다.
또한, 덮개체와 접하는 수지는 PET인 것이 바람직하다. 표면 경도가 높아 발진되기 어려운 동시에 여러가지 재질에 대하여 마찰 계수가 낮고, 화학적으로도 안정되어 있어 특히 바람직하다.
이하, 본 발명의 실시형태를 설명하지만 본 발명은 이것에 한정되지 않는다.
도 1, 도 2, 도 3에 본 발명의 실시형태인 펠리클 수납 용기(10)의 외관을 나타낸다. 도 1은 평면도, 도 2는 정면도, 도 3은 우측면도이다.
도면 부호 10으로 펠리클 수납 용기의 전체를 나타내는 것으로 하고, 펠리클 수납 용기 본체(11)는 알루미늄 합금, 마그네슘 합금 등의 경합금을 주조하거나, 또는 알루미늄 합금, 마그네슘 합금, 스테인리스강 또는 탄소강 등의 박판을 프레스 성형하여 제작된다. 이때, 이 재질은 반드시 단일의 재질만으로 형성되어 있지 않아도 좋고, 보강 등의 목적으로 2종류 이상의 금속·합금을 조합시켜 사용하여도 좋다.
이 펠리클 수납 용기 본체(11)와 적재·고정되어 사용되는 덮개체(12)는 금속의 박판을 프레스 성형한 것이나 수지판을 진공 성형 또는 압공 성형하여 사용된다. 바람직하게는, 내부의 시인성을 확보하기 위해서 투명 또는 반투명의 PMMA, PC, ABS 등의 수지판을 진공 성형하여 사용하는 것이 좋고, 특히 바람직하게는 대전 방지 성능을 갖는 것이 좋다.
펠리클 수납 용기 본체(11)와 덮개체(12) 사이에는 평판 형상의 보호 부재(17)가 설치된다. 또한, 도면 부호 13은 다리부, 도면 부호 16은 펠리클 수납 용기 본체와 덮개체를 체결하는 버클이다.
도 4에 도 1의 A-A선에서의 단면 개략도를 나타낸다.
보호 부재(17)는 펠리클 수납 용기 본체(11)의 외주부에서 덮개체(12)가 적재·고정되어 접촉되는 면에 장착된다. 또한, 도면 부호 18은 내부에 수납된 펠리클이다.
도 5 ~ 도 7에 본 발명의 보호 부재(17)의 단면 구조의 예를 나타낸다.
도 5에 나타낸 일실시형태의 보호 부재(17)는 2층 구조로 되어 있고 상층(21)(보호층), 즉 덮개체와 접촉하는 층은 수지로 구성되는 것이 바람직하다.
상층(21)에서 사용되는 수지로서는 예를 들면, PE, PET, PVC, PTFE 등의 필름 형상으로 형성가능한 수지를 들 수 있지만, 그 중에서도 PET가 특히 바람직하다. 표면 경도가 있고 마찰 계수가 작으므로 발진하기 어렵고 화학적으로도 안정되어 있다는 이점이 있다. 또한, 저가이다는 것, 접착제층(22)에 사용가능한 여러가지 접착제, 점착제에 대하여 접착성이 좋다는 것도 바람직한 점이다.
하층(접착층)(22), 즉 펠리클 수납 용기 본체로의 접착제층은 아크릴 점착제, 실리콘 점착제 등의 점착제, 또는 핫멜트 접착제, 에폭시 접착제, 고무계 접착제 등의 접착제로 구성되는 것이 바람직하다. 그 중에서도 특히 바람직하게는 실리콘 점착제이다.
실리콘 점착제의 경우에는 접착력이 강할 뿐만 아니라 경시 변화나 온도, 습도 등의 환경 변화에 의한 점착력의 변화가 적으므로 접착력에 대한 신뢰성이 높다는 이점이 있다.
또한, 화학적으로 안정되어 분해 등에 의해 화학 물질을 펠리클 수납 용기 내부에 방출할 우려가 적다. 또한, 보호 부재(17)는 표면의 더러움, 손상이 발생한 경우에는 교환할 필요가 있지만, 그 분리시에는 점착제가 잡아 찢어지기 어려우므로 펠리클 수납 용기 본체(11) 상에 잔사가 남기 어렵고 세정이 지극히 용이하다는 이점이 있다. 그 결과, 보호 부재(17)를 용이하게 교환할 수 있다.
도 6에는 보호 부재(17)의 다른 실시형태이며, 3층 구조로 한 예를 나타낸다. 이 경우, 상층(보호층)(21)은 상기 2층 구조의 경우와 같이 수지, 특히는 PET 등으로 구성되는 것이 바람직하다. 그리고, 하층(접착층)(22)도 마찬가지로 아크릴 점착제, 실리콘 점착제 등의 점착제, 또는 핫멜트 접착제, 에폭시 접착제, 고무계 접착제 등의 접착제로 구성되는 것이 바람직하고, 특히 실리콘 점착제를 사용하는 것이 바람직하다. 그리고, 중간층(완충층)(23)은 수지 발포체, 고무 등의 탄성체를 사용하는 것이 바람직하다.
도 6에 나타낸 중간층(23)은 상술한 2층 구조의 것보다 더욱 완충성을 향상시켜 보다 발진를 저감시키는 효과를 얻기 위한 것이다.
발포체로서는 아크릴계, 우레탄계 등의 여러가지 것을 사용할 수 있지만, 이 때 독립 기포의 발포체로 되어 있는 것이 세정시의 세정수 침윤을 방지할 수 있어 바람직하다.
또한, 고무계 재료로서는 니트릴 고무, EP 고무, 실리콘 고무, 불소 고무 등을 이용할 수 있지만, 특히 실리콘 고무, 실리콘 겔 등의 실리콘 수지가 바람직하다. 발포체가 아니므로 표면의 청정성이 우수하다는 것 이외에 얇아도 완충 성능이 높다는 것, 복원력이 높아 변형이 어렵다는 것, 화학적으로 안정되어 있다는 것이라는 이점이 있다.
중간층(23)(완충층)은 상층(보호층)(21) 상에 캐스팅 등을 하여 직접 형성할 수 있는 경우는 그것으로 좋지만, 재질에 따라서는 개별로 형성한 상층(완충층)(21)과 중간층(완충층)(23)을 접합하고 또한 거기에 하층(접착층)을 형성하는 것도 있다. 그러한 경우에는 상층(21) 또는 중간층(23)에 접착제 또는 점착제를 얇게 도포하여 접합하는 것이 필요하게 된다.
이 접합후의 단면은 도 7에 나타낸 바와 같이 되어 상층(21)과 중간층(23) 사이에 중간 접착층(24)이 끼이는 구조가 된다. 이때, 하층(22)은 적어도 30㎛, 바람직하게는 50㎛ 이상의 두께가 있는 것이 펠리클 수납 용기 본체와의 접착성 향상의 관점에서 좋지만 중간 접착층(24)은 가로 방향으로 하중이 걸렸을 때의 상층(21)의 가로 방향 어긋남 방지의 관점에서 접착력을 유지한 상태에서 가능한 한 얇게, 바람직하게는 30㎛ 이하로 하는 것이 좋다.
또한, 다른 방법으로서는 양면 테이프 형상의 것을 라미네이팅하여 접합하는 것도 가능하다(도시되지 않음). 그 경우, 전체의 층수는 5층 또는 6층 이상으로도 되지만, 양면 테이프 부분의 재료 두께를 가능한 한 얇아지도록 고려하면 가로 하중시의 가로 방향 어긋남 등을 방지할 수 있고 실용에 제공할 수 있다.
도 8, 도 9 및 도 10은 펠리클 수납 용기 본체(11) 상의 보호 부재(17)의 배치 형태를 나타낸 평면도이고, 도 8은 둘레 전체에 배치한 실시형태, 도 9은 둘레 전체에서 연속시키지 않고 모서리부에 간극을 만든 실시형태, 도 10은 둘레 전체에 간헐 배치한 것이다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 덮개체(12)는 둘레 가장자리부 전체에서 펠리클 수납 용기 본체(11)에 적재·고정되도록 되어 있으므로 거의 전역에 보호 부재가 개재되는 것으로 어느 실시형태의 경우에도 발진 방지라는 소망의 효과가 얻어진다. 간극을 형성하는 경우에는 덮개체를 개방할 때에 펠리클 수납 용기 내로 외부 공기가 유입되기 쉬워지므로 펠리클 수납 용기 내가 부압이 되어서 이물이 말려 들어가는 정도를 완화하는 효과가 기대될 수 있다.
보호 부재(17)의 접착력의 안정성 및 제작시의 작업성 등도 고려될 필요가 있으므로 펠리클 수납 용기의 크기, 작업에 걸리는 공정수를 감안하여 적절한 배치를 선택하는 것이 바람직하다. 간극을 형성하는 경우에는 적어도 펠리클 수납 용기 본체(11)에 덮개체(12)를 고정하는 버클(16)로 체결하는 부분에는 보호 부재가 설치되도록 배려해야 한다.
이하, 본 발명의 실시예를 설명하지만 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.
[실시예 1]
도 1, 도 2, 도 3에 나타낸 바와 같은 펠리클 수납 용기(10)를 제작하였다. 이 펠리클 수납 용기의 크기는 외측 치수 1950×1750 × 높이 190㎜[다리부(13)를 포함하지 않음], 중량은 대략 80㎏이다.
펠리클 수납 용기 본체(11)는 알루미늄 합금 AC4C를 사형 주조한 후 표면을 연마포로 마무리하고, 외주부 및 펠리클이 탑재되는 면에 대해서 프라이스반에 의한 절삭 가공을 행하였다. 기계 가공이 종료된 후, 표면의 블로홀(blowhole) 등의 주조 결함을 퍼티(putty)로 마무리하고 퍼티를 자연 건조하여 경화시키고 도전성 도료를 도포하여 오븐에서 베이킹 건조를 시행하였다.
다리부(13)는 SUS304 냉간 압연판을 굽힘 가공하여 제작한 것이며, 펠리클 수납 용기 본체(11)의 저면에 볼트(도시되지 않음)에 의해 장착되어 있다. 또한, 외면에는 취급을 위해 알루미늄 합금제 핸들(14) 및 덮개체(12)를 고정하기 위한 버클(16)이 볼트(도시되지 않음)로 부착되어 있다.
이와 같이 완성된 펠리클 수납 용기 본체(11)의 바깥 가장자리부에 보호 부재(17)를 장착하였다. 보호 부재(17)의 제작 공정은 다음과 같다.
폭 500㎜, 두께 180㎛의 PET제 필름(상품명;루미러, 도레이 카부시키가이샤제)에 건조후의 두께가 50㎛가 되도록 실리콘 점착제(상품명;KR3700, 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤제)를 바 코터(bar coater)로 도포하고 가열하여 큐어(cure)시켰다.
이 PET 필름을 이형지와 맞추면서 직경 75㎜의 PE제 권심에 권취한 후, 폭 20㎜의 테이프 형상으로 되도록 재단하였다. 완성된 보호 부재(17)의 단면 구조는 도 5에 나타낸 바와 같으며 상층(21)은 PET, 하층(22)은 실리콘 점착제이다.
그리고, 펠리클 수납 용기 본체(11)의 외주부를 크리닝하여 기포, 이물이 들어가지 않도록 배려하면서 이 보호 부재(17)를 고무 롤러로 압착하고, 도 9에 나타낸 바와 같은 배치로 부착하였다. 또한, 모서리부에 있어서의 각 보호 부재 사이의 이음매는 대략 20㎜의 간극이 되도록 하였다.
이어서, 두께 3㎜의 PMMA판에 에폭시계의 대전 방지 도장을 시행한 후 진공 성형하여 덮개체(12)를 제작하였다. 그 외주는 펠리클 수납 용기 본체의 외주와 동일 치수가 되도록 NC 루터로 절삭 가공하였다. 그리고, 외면에 취급을 위해서 나일론제의 핸들(15)을 볼트(도시되지 않음)로 장착하였다.
이와 같이 하여 완성된 펠리클 수납 용기 본체(11)와 덮개체(12)를 클래스 10의 클린룸 내에 반입하고 계면 활성제와 순수로 잘 세정한 후 완전히 건조시켰다.
이 완성된 펠리클 수납 용기(10)에 대해서 클린룸 내의 조명을 소등하고 집광 램프(광량 40만 럭스)를 조사하면서 펠리클 수납 용기 본체 및 덮개체의 내면측의 이물 검사를 행하여 부착 이물이 없는 것을 확인하였다.
이어서, 덮개체(12)를 정밀하게 펠리클 수납 용기 본체(11)에 감합시켜 피복하고 둘레 가장자리부를 점착 테이프로 시일함과 아울러 각 변에 배치된 버클(16)로 덮개체(12)와 펠리클 수납 용기 본체(11)를 고정하였다. 또한, 대전 방지 PE제 시트(도시되지 않음)로 전체를 포장하고 개구부는 히트 시일로 밀봉하였다. 그 후, 다시 클린룸으로부터 반출하여 저부에 쿠션재를 배치한 곤포 상자(도시되지 않음)에 수납하였다. 그리고, 이 곤포 상자를 트럭편으로 발송하여 대략 1000km의 거리를 주행시켰다.
수송이 종료된 펠리클 수납 용기(10)에 대해서 다시 상기 클린룸 내로 반입하고 외면을 순수로 닦아 세정한 후, 덮개체를 개방하여 내부의 발진 상황을 확인하였다. 클린룸의 조명을 소등한 상태에서 덮개체와 펠리클 수납 용기 본체 각각의 내측면을 집광 램프(광량 40만 럭스)로 조사하면서 이물의 부착 상황을 관찰하였다.
그 결과, 펠리클 수납 용기 본체(11)에서는 보호 부재(17)의 표면 및 그 아주 근방에 크기 10∼50㎛ 정도의 이물 4개의 부착이 발견되었다. 한편, 덮개체(12)에서는 보호 부재와의 접촉부에 크기 10∼50㎛ 정도의 이물 3개가 발견되었다. 이들의 부착 장소는 보호 부재(17)의 주변에 한정되어 있고, 펠리클이 탑재되는 내측에는 전혀 발견되지 않았다. 또한, 보호 부재의 표면 및 점착층에 손상은 전혀 발견되지 않았다.
[실시예 2]
상기 실시예 1과 완전히 동일하게 하여 펠리클 수납 용기를 제작하였다. 단, 여기서 사용된 보호 부재의 구조는 도 7에 나타낸 바와 같으며 상층(21)은 PET(상품명:루미러, 도레이 카부시키가이샤제), 중간 접착층(24)은 실리콘 점착제(두께 20㎛, 상품명;KR-3700, 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤제), 중간층(23)은 실리콘 고무(경도 듀로미터 A31, 상품명:KE-931-U, 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤제), 하층(22)은 실리콘 점착제(두께 50㎛, 상품명;KR-3700, 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤제)이다.
이 펠리클 수납 용기에 대해서 실시예 1과 동일하게 하여 수송 시험을 행하고 내부의 발진 상황을 확인하였다. 그 결과, 펠리클 수납 용기 본체(11)에 대해서는 50㎛ 정도의 이물 3개의 부착이 발견되었다. 또한, 덮개체에 대해서는 10㎛ 정도의 이물 1개의 부착이 발견되었다. 실시예 1과 마찬가지로, 이들의 부착 장소는 보호 부재(17)의 주변에 한정되어 있고 펠리클이 탑재되는 내측에는 전혀 발견되지 않고 보호 부재(17)에도 특별히 손상은 발견되지 않았다.
[비교예]
상기 실시예 1, 2와 동일하게 하여 펠리클 수납 용기 본체(11) 및 덮개체(12)를 제작하였다. 단, 이 펠리클 수납 용기 본체(11) 상에는 보호 부재(17)를 장착하지 않았다. 이 보호 부재(17)가 없는 펠리클 수납 용기에 대해서 상기 실시예와 완전히 동일하게 하여 수송 시험을 행하고 내부의 발진 상황을 확인하였다.
그러자, 펠리클 수납 용기 본체 상에서 크기 10∼100㎛의 이물이 몇백개, 덮개체 상에서도 몇십개의 이물이 발견되었다. 이들의 부착 장소는 외주부 뿐만 아니라 내면 전체로 확대되어 있었다. 또한, 펠리클 수납 용기 본체(11) 상에는 덮개체(12)와의 접촉에 의한 마찰 흔적이 곳곳에 발견되었다.
10: 펠리클 수납 용기(전체) 11: 펠리클 수납 용기 본체
12: 덮개체 13: 다리부
14: 핸들 15: 핸들
16: 버클 17: 보호 부재
18: 펠리클 21: 상층(보호층)
22: 하층(접착층) 23: 중간층(완충층)
24: 중간 접착층

Claims (5)

  1. 하나 이상의 변 길이가 1000㎜를 초과하는 펠리클을 수납하는 대형 펠리클 수납 용기로서,
    펠리클 수납 용기 본체는 금속제임과 아울러 적재·고정되는 덮개체가 접촉되는 상기 펠리클 수납 용기의 둘레 가장자리부 표면에 보호 부재가 설치되고, 상기 펠리클 수납 용기 본체와 상기 덮개체는 상기 보호 부재를 통하여 적재·고정되며,
    상기 보호 부재는 2층 이상으로 이루어져 있으며, 그 덮개체와 접하는 층은 수지이고, 상기 펠리클 수납 용기 본체와 접하는 층은 실리콘 점착제이고,
    상기 보호 부재는 상기 펠리클 수납 용기 본체 상에 간극을 두고 설치된 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 보호 부재는 3층 이상으로 이루어져 있으며, 그 덮개체와 접하는 층은 수지이고, 상기 펠리클 수납 용기 본체와 접하는 층은 실리콘 점착제임과 아울러 그 중간층은 탄성체인 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 보호 부재 중 탄성체는 실리콘 수지인 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.
  5. 제 1 항, 제 3 항, 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 보호 부재의 덮개체와 접하는 층은 PET인 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.
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