TWI398390B - 玻璃基板運送用容器及玻璃基板運送用台車 - Google Patents

Description

玻璃基板運送用容器及玻璃基板運送用台車

本發明係關於一種用以運送玻璃基板的容器以及台車，更詳細地說，係關於一種在用以運送大型玻璃基板特別有效的運送技術，該大型玻璃基板係在製造液晶顯示器等時作為防塵裝置所使用之微影用防塵薄膜組件之製造用基板。

在大型積體電路等之半導體裝置或是液晶顯示器等的製造中，藉由光照射將描繪於光罩的圖案轉印至晶圓或是原板。若有雜質或微粒附著在此類的光微影步驟中所使用之光罩，因為此等附著物會吸收曝光的光，或使光折射。其結果，引起轉印圖案變形或圖案邊緣的清晰度降低等，而影響到圖案的尺寸、品質、外觀等，此皆為其問題點。

鑑於此類問題，與光微影相關的步驟通常是於無塵室內進行，但即使如此亦難以常保光罩之清潔。因此，於光罩表面貼附防塵薄膜組件，來防止雜質或微粒之類的異物附著，並使用此狀態的光罩進行曝光。

在此情形，因為異物不會直接附著於光罩的表面上，而是附著於防塵薄膜組件上，故在微影時若先使焦點對準於光罩之圖案上，防塵薄膜組件上的異物就不會影響到轉印。

通常，防塵薄膜組件係將以具有良好透光性的硝化纖維素、醋酸纖維素或是氟樹脂等所構成的透明防塵薄膜，貼附或黏著在由鋁合金、不鏽鋼、聚乙烯等所構成的防塵薄膜組件框架的上端面。又，在防塵薄膜組件框架下端，設有用以裝著在光罩上之由聚丁烯樹脂、聚醋酸乙烯樹脂、丙烯酸酯樹脂等所構成的黏著層，以及目的為保護黏著層之脫離層(分離部)。

雖然防塵薄膜組件在貼附於光罩後，對於異物從外部附著於光罩表面這點具有防止效果，但若異物附著在防塵薄膜組件本身，則該異物有附著在光罩上之疑慮。因此，防塵薄膜組件本身必須為潔淨者，且亦對製造防塵薄膜所使用的大型玻璃基板要求高潔淨性。

[習知技術文獻]

[專利文獻]

專利文獻1：日本特開2007－250688號公報

基於上述原因，吾人要求用於保管或運送防塵薄膜製造等所使用的大型玻璃基板之容器，具有維持收納於內部的玻璃基板表面之潔淨性且不損傷基板的構造。

具體而言，吾人要求一種容器：由抗靜電性能佳、即使於摩擦時也不產生灰塵的材質所構成，具有盡量防止基板與構成零件之間接觸的構造，且防止施加外力時的變形之高剛性的構造。

但是，習知的基板運送方法，係使用安裝於基板運送容器的腳輪等而垂直運送之方法，在運送大型玻璃基板時會與天花板發生干涉，因此無法垂直運送等，而確保收納於基板運送容器內的大型玻璃基板之潔淨性且不會對基板造成損傷而進行保管以及運送之要求，事實上難謂已充分滿足之(例如參照專利文獻1)。

本發明鑑於上述問題，其目的在於提供一種運送用容器以及運送用台車，其在保管或運送微影用防塵薄膜組件的製造等所使用的大型玻璃基板時，確保所收納的大型玻璃基板的潔淨性且不會對基板造成損傷。

為了解決上述課題，依本發明之玻璃基板運送用容器，係1邊邊長為1000mm以上，厚度為10mm以上的大型矩形玻璃基板的運送用容器，其特徵為具有：具有：矩形的下部本體，載置該玻璃基板，及矩形的上部本體，為嵌合於該下部本體以密封內部之蓋；該下部本體具有：下外框部，設置在周邊部；下嵌合部，設於該下外框部；基板載置部，設置在4邊的各個周邊部；基板固定部，設置在該各個基板載置部；以及旋轉夾具的安裝部，其為與該4邊的各周邊部中彼此對向的2邊之周邊部分別互相面對面設置的夾具安裝部，以連結設於該對向的周邊部之夾具安裝部的直線為旋轉軸，能使該容器相對於水平面傾斜，該上部本體，具有上外框部，其設有上嵌合部，藉由該上嵌合部與該下嵌合部之嵌合而密封該容器內部。

較佳為具有：基板定位部，其設於該4邊的各周邊部中相鄰2邊的周邊部之基板載置部。又，可採用以下之態樣：安裝於該夾具安裝部的旋轉夾具係可裝卸。

依本發明之玻璃基板運送用台車，係用以運送本發明之玻璃基板運送用容器之玻璃基板運送用台車，該玻璃基板運送用台車具有：安裝於該夾具安裝部之旋轉夾具的支持部；以及用以維持該容器的主面與水平面所形成的傾斜角之傾斜角決定部。

較佳為本發明的玻璃基板運送用台車，係以水平面為基準可定於0~90度的範圍。

本發明係於玻璃基板運送用容器的4邊的各周邊部中對向的2邊之周邊部的中央部，分別設有用以使在收納玻璃基板的狀態之容器能對水平面傾斜之旋轉夾具，此旋轉夾具以設於運送用台車的框體的柱部的頂部之夾具所支持，能在既定的角度範圍傾斜。因此，即使在高度以及寬度方向皆受限制的通道亦可使容器傾斜而運送，而可確保收納於容器內的大型玻璃基板之潔淨性且不會對基板造成損傷而保管以及運送。

以下參照圖示，針對依本發明之玻璃基板運送用容器以及玻璃基板運送用台車進行說明。

圖1係顯示玻璃基板收納於本發明的玻璃基板運送用容器的下部本體的狀態之一態樣之俯視概略圖。玻璃基板11係1邊邊長為1000mm以上，厚度為10mm以上的大型矩形玻璃基板，此玻璃基板11載置於基板載置部15之上，該基板載置部15設於玻璃基板運送用容器的矩形的下部本體12的4邊之各個周邊部(周緣部)，以旋鈕16從上方將設於該各個基板載置部15的基板固定部(基板固定具)14鎖緊，藉此固定玻璃基板11。在此圖中，顯示基板載置部15設於4邊的各周邊部的3個地方的例子。

又，在設於4邊的各周邊部中的相鄰2邊的周邊部端之基板載置部15，設有夾具(基板定位部)13，其用以進行收納於下部本體12內的狀態的玻璃基板11的定位。此基板定位部13，係在使用搬運臂(未圖示)將玻璃基板11載置於基板載置部15上時，用以修正位置，例如以樹脂零件與金屬製的螺紋構件所構成。

再者，4邊的各周邊部之中對向的2邊的周邊部的中央部，分別設有旋轉夾具18a、b的安裝部17a、b，該旋轉夾具18a、b用以使收納玻璃基板11的狀態之容器能對水平面傾斜，旋轉夾具18a、b以互相面對面的狀態固定於此等安裝部17a、b。因此，連結旋轉夾具18a與18b的直線，成為使收納玻璃基板11的狀態之容器對於水平面傾斜時的旋轉軸。另外，安裝於旋轉夾具的安裝部17a、b之旋轉夾具18a、b，係可裝卸。

因為基板固定部14，會接觸到玻璃基板11的表面亦即防塵薄膜組件成膜的面，所以將其設置在固定玻璃基板11的盡量靠端部的部分(邊緣部)之位置。此等基板載置部15以及基板固定部14的配置或個數，或是其形狀，係按照在載置或是取出玻璃基板11時所用之搬運臂(未圖示)的形狀等，做適當設計即可，並不限定於本發明的圖示所例示之形態。

圖2係沿著圖1中的虛線A之剖面概略圖。於下部本體12，在周邊部(周緣部)，設置具有下嵌合部20之下外框部19。下嵌合部20，與形成於上外框部26的上嵌合部27嵌合，藉此密封容器內部，該上外框部26設於密封容器內部的蓋即矩形的上部本體21的周邊部。為了防止異物從外部侵入，嵌合部的間隙宜盡可能的狹窄。又，為了防止在上部本體21與下部本體12的嵌合部因接觸而產生灰塵，可在下嵌合部20的周緣部埋入密合墊(未圖示)。再者，為了提高容器內部的密封性，宜將上下本體以黏著膠帶(未圖示)密封，且以稱為搭扣的扣件等固定。

容器的下部本體12以及上部本體21和設置於下部本體12的基板定位部13、基板載置部15、基板固定部14的材質，可從尼龍或聚縮醛等之工程塑料中做適當選擇。另外，為了減少由靜電所造成的異物附著，適宜使用抗靜電材料。又，此等樹脂構件的顏色，宜為黑色以便於確認異物。

於樹脂製的上部本體21的上面以及下部本體12的背面，分別設有用以防止變形的補強材22、23。又，因為在使容器傾斜而裝載於運送用台車時，於成為下方側之下部本體12的側面承載負荷，所以於下部本體12的側面設有補強材24。若以搭扣的底座零件(未圖示)分別連結補強材23、24，則能提升作為補強材的剛性。補強材的材質，雖然可以選擇不鏽鋼、鋁合金等，但從維持玻璃基板運送用容器的強度且盡量減輕總重量之觀點來看，宜使用比強度大的材料。另外，圖中符號25表示容器的腳部。

圖3以及圖4，分別為沿著圖1中的虛線B以及虛線C之剖面概略圖。如圖3所示，於基板載置部15，設有用以將收納於下部本體12內的狀態之玻璃基板11定位之基板定位部13。

圖5係顯示將本發明的玻璃基板運送用容器裝載於運送用台車的狀態之立體圖。關於將運送容器運送時的姿態，吾人可設想使容器的主面於水平狀態下運送或於垂直豎立的狀態下運送，但前者在高度方向有限制的情形有利，另一方面，在寬度方向有限制的情形則為不利；後者則與其相反。在設置有空氣浴塵室或是製造裝置之實際的無塵室內的運送通道中，高度以及寬度方向皆受限制的情況並不少見。因此，宜可使玻璃基板運送用容器10傾斜而運送，俾於在即使高度以及寬度方向皆受限制之情況下，亦能運送。

圖5所示之態樣的運送用台車30，於框體31的柱部的頂部的2個面對面的位置，設有旋轉夾具的支持部32，該旋轉夾具設於容器10的對向的2邊的中央部並可裝卸，於此支持部32，設有傾斜角決定機構(未圖示)，用以使容器10的主面與水平面所形成之傾斜角呈維持的狀態。

另外，關於傾斜角決定機構(亦即，使容器10傾斜時的固定機構)，可舉出例如金屬線、螺紋旋鈕、搭扣等扣具。另外，從安全性的觀點來看，宜設有即使在傾斜角決定機構脫落的情形下容器10不會旋轉的止動部(未圖示)。再者，於框體31的下部設有車輪33。

於旋轉夾具支持部32設有樹脂製輥(未圖示)，能容易地使容器10順利地傾斜。容器10的傾斜可能範圍(傾斜角範圍)，係按照運送通道的高度以及寬度做適當設計即可，並不受到此圖的形態之任何限制。另外，在一般的運送通道，此傾斜角係以水平面為基準，宜可維持於0~90度的範圍。

[實施例]

以下說明本發明的實施例，但本發明不限於此。

使用聚丙烯睛系的非晶性熱可塑性樹脂板(商品名：Sunbarex，三協化成(股)製造)，藉由黏接製成圖1至圖4所示之容器下部本體12以及上部本體21。上部本體12與下部本體21的內寸為1940mm×1800mm，組合各個本體的容器10的外型尺寸為2020mm×1880mm，厚度為195mm。另外，此外型尺寸，係包含補強材，但不包含突起部之值。

補強材22、23、24係將鋁合金製擠製材料組合使用，採用防止變形之高剛性的構造。又，玻璃基板11的大小，為1780mm×1620mm，厚度為17mm。

基板載置部15、基板固定部14以及基板定位部13，係將耐磨耗性、抗靜電性能優良的超高分子量聚乙烯(商品名：U-PE300，Nippon Polypenco Limited製造)以機械加工方式製成，配置於圖1所示之玻璃基板11的周圍各邊的3個地方。

又，製成如圖5所示之運送用台車30，其容器10與水平面的最大傾斜角度為65度，總高度(a)約1920mm，前後距離(b)約1000mm，框體最低高度(c)為96mm。

首先，玻璃基板11的收納方法記載於下方。預先使基板定位部13讓避，使用搬運臂等將玻璃基板11置於基板載置部15上，旋轉基板定位部13的螺紋部，以推壓玻璃基板11的端面來修正位置。

接下來，將讓避之基板定位部13的段差部引導至玻璃基板11的邊緣部，以旋鈕16將基板定位部13鎖緊，固定玻璃基板11。

其後，將上部本體21與下部本體12重疊，以黏著膠帶密封周圍，並以搭扣將上部本體21與下部本體12鎖緊。

接下來，將旋轉夾具18a、18b安裝於容器10的對向的2邊的中央部，將該旋轉夾具載置於設於運送用台車30的頂部之旋轉夾具支持部32，並將容器10傾斜至既定的角度，而以傾斜角決定機構即螺紋旋鈕將容器10鎖固於運送用台車30。

[產業上利用性]

如上所述，根據本發明，可提供一種確保收納於容器內的大型玻璃基板之潔淨性且不會對基板造成損傷之保管以及運送的方法。

10．．．玻璃基板運送用容器

11．．．玻璃基板

12．．．下部本體

13．．．基板定位部

14．．．基板固定部(基板固定具)

15．．．基板載置部

16．．．旋鈕

17a、b．．．安裝部

18a、b．．．旋轉夾具

19．．．下外框部

20．．．下嵌合部

21．．．上部本體

22、23、24．．．補強材

25．．．腳部

26．．．上外框部

27．．．上嵌合部

30．．．運送用台車

31．．．框體

32．．．旋轉夾具支持部

33．．．車輪

a．．．總高度

b．．．前後距離

c．．．框體最低高度

圖1係顯示玻璃基板收納於容器的下部本體的狀態之一態樣之俯視概略圖。

圖2係沿著圖1中的虛線A之剖面概略圖。

圖3係沿著圖1中的虛線B之剖面概略圖。

圖4係沿著圖1中的虛線C之剖面概略圖。

圖5係顯示將本發明的玻璃基板運送用容器裝載於運送用台車的狀態之立體圖。

10．．．玻璃基板運送用容器

30．．．運送用台車

31．．．框體

32．．．旋轉夾具支持部

33．．．車輪

a．．．總高度

b．．．前後距離

c．．．框體最低高度

Claims (5)

1. 一種玻璃基板運送用容器，係1邊邊長為1000mm以上，厚度為10mm以上的大型矩形玻璃基板的運送用容器，其特徵為，具有：矩形的下部本體，載置該玻璃基板，及矩形的上部本體，為嵌合於該下部本體以密封內部之蓋；該下部本體具有：下外框部，設置在周邊部；下嵌合部，設於該下外框部；基板載置部，設置在4邊的各個周邊部；基板固定部，設置在該各個基板載置部；以及旋轉夾具的安裝部，其為與該4邊的各周邊部中彼此對向的2邊之周邊部分別互相面對面設置的夾具安裝部，以連結設於該對向的周邊部之夾具安裝部的直線為旋轉軸，能使該容器相對於水平面傾斜，該上部本體，具有上外框部，其設有上嵌合部，藉由該上嵌合部與該下嵌合部之嵌合而密封該容器內部。
2. 如申請專利範圍第1項之玻璃基板運送用容器，包含：基板定位部，其設於該4邊的各周邊部中之相鄰2邊的周邊部之基板載置部。
3. 如申請專利範圍第1或2項之玻璃基板運送用容器，其中，安裝於該夾具安裝部的旋轉夾具係可裝卸者。
4. 一種玻璃基板運送用台車，其用以運送如申請專利範圍第1至3項中任一項之玻璃基板運送用容器，該玻璃基板運送用台車具有：旋轉夾具的支持部，安裝於該夾具安裝部；以及傾斜角決定部，用以維持該容器的主面與水平面所形成的傾斜角。
5. 如申請專利範圍第4項之玻璃基板運送用台車，其中，該傾斜角係以水平面為基準可定於0~90度的範圍。