JP2013197513A

JP2013197513A - 電子材料の保管・運搬用ケース

Info

Publication number: JP2013197513A
Application number: JP2012065965A
Authority: JP
Inventors: Michio Okamoto; 美智雄岡本; Masanori Abe; 昌則阿部; Shuji Takato; 修二高東
Original assignee: Tosoh Corp
Current assignee: Tosoh Corp
Priority date: 2012-03-22
Filing date: 2012-03-22
Publication date: 2013-09-30

Abstract

【課題】
電子材料の保管及び運搬の際にケースからのアウトガスが発生し、アウトガスが材料表面へ付着し、成膜ムラや欠陥が発生している。
【解決の手段】
電子材料の保管・運搬用ケースのパッキン材としてフッ化ビニリデン系合成ゴムを用いることで、アウトガスの発生が少なく、シール面を隙間なく密封でき、長期間高い清浄度を維持することを可能とした。
【選択図】なし

Description

本発明は、電子材料の保管及び輸送のために用いられるケースに関するものである。

近年の液晶ディスプレーのフォトマスク基板は、ディスプレーの大型化に比例して大型化しており、許容される欠陥も微細なものとなっている。また、液晶マスク基板の清浄度は成膜ムラや欠陥の発生等の露光品質に大きな影響を与えるため、液晶マスク基板は製品として最終洗浄を行った後にケースに保管・運搬される。そのケースは微細異物の付着等を防止するため、パッキン材を使用し、密封できる構造になっているのが一般的である。

しかしながら、液晶マスク基板はサイズが大きく、気密性を確保するためのパッキン材も大型化し、パッキン材から発生するアウトガスによって基板表面が汚染されて、クロムの密着力が低下し、剥離や成膜ムラを起こしやすくなるという問題があった。

これに対して、基板の保管・運搬時にケース内部に吸着剤を取り付け、ケース部材からのアウトガスがガラス基板表面へ吸着するよりも先に活性炭等の表面積の大きい物質に吸着させて、基板表面への吸着を防止する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。しかし、この方法の場合、表面への吸着は防止できる可能性はあるが吸着剤の管理が必要となり、輸送の際に振動等により、固定部分が外れ、基板表面に接触しキズ等を発生させる可能性が懸念される。

また、ケースの気密性を確保するために用いるパッキン材としてはシリコーンゴムを使用することが一般的であるがアウトガスが多く、そのアウトガスにより保管中の基板表面に吸着し汚染されることが知られている。エチレン・プロピレン・ジエン等のオレフィン系ゴムでその課題が軽減できることが報告されているが（例えば、特許文献２参照）、未だ吸着ガスによる成膜ムラが発生する問題が残っている。

特開２００９−５５００５号公報特開平９−３１６２５５号公報

本発明の目的は、材料表面へアウトガスが付着することを抑制する電子材料の保管・運搬用ケースを提供することにある。

本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、電子材料の保管・運搬ケースに、アウトガスの発生が非常に少なく、シール面を隙間なく密封できる硬さの材質を用いることで気密性を保ち、外部からガスが侵入しないことを見出し、本発明を完成するに至った。

以下、本発明の電子材料の保管・運搬用ケースについて詳細に説明する。

本発明における電子材料とは、液晶マスク基板やシリコンウエハー、その他の電子部品を指すが、アウトガスへの対策が特に必要である液晶マスク基板にとって本発明はことさら好適である。

本発明は、電子材料の保管・運搬用ケースであって、パッキン材としてフッ化ビニリデン系合成ゴムを用いたことを特徴とする電子材料の保管・運搬用ケースに関するものである。

本発明における電子材料の保管・運搬用ケースの構造及び保管・運搬の方法として、一般的な液晶マスク基板の保管・運搬用ケースを例に説明する。図１に示すように、液晶マスク基板の保管・運搬用ケースは、ケース本体１、ケース蓋部２、基板固定具３及び基板固定具に取り付ける固定具ネジ４から構成されている。基板固定具３は、ケース本体１の底部と液晶マスク基板５が平行になるようにケース本体１の内部に設置されている。液晶マスク基板を保管・運搬する際は、液晶マスク基板５を基板固定具３に取り付けた後、固定具ネジ４で液晶マスク基板５を固定し、ケース本体１にケース蓋部２を被せて、ケース本体１とケース蓋部２の間にパッキン材６を設けて気密性を確保する。なお、ケース蓋部が外れないようにケース本体１とケース蓋部２をクランプで固定してもよい。

本発明は、電子材料の保管・運搬用ケースのパッキン材としてフッ化ビニリデン系合成ゴムを用いることを特徴とする。電子材料の保管、運搬用ケースのパッキン材は通常、シリコーンゴム（ショアＡ５６度）が使用されるが、シロキサンの発生が多く、大型液晶マスク基板の保管、運搬用ケースには不向きであり、ポリオレフィン系ゴムでも効果は認められるが、フッ化ビニリデン系ゴムが最も好ましい。

本発明における気密性において、シール面を隙間なく密封できるパッキンの素材としては、硬さ（ショアＡ）は６０度以上８０度以下が好ましく、６５度以上７５度以下がより好ましい。硬さ（ショアＡ）が６０度以上であれば、ケースの蓋と底を組み合わせて閉めた際につぶれることもなく、他の部分への許容寸法に悪影響を生じる可能性も少ない。また、硬さ（ショアＡ）が８０度以内であれば、ケースのゆがみ等で生じる不均一な隙間に対しても充分に気密性を確保することができる。

本発明によれば、ケース内部の電子材料にアウトガスが付着することなく、高い清浄度を維持することができる。清浄度を測定する方法としては、接触角が一般的に使用されており、接触角が３５度を超えると、洗浄性の悪化や成膜ムラが発生しやすいランクと判断される。

本発明によれば、電子材料の保管・運搬用ケースのパッキン材にアウトガスの発生が非常に少ない部材を用いることで、簡便な形状で部材からのアウトガスで材料表面を汚染することのない電子材料の保管・運搬用ケースを提供できる。

液晶マスク基板の保管・運搬用ケースの概略図を示したものである。接触角の測定箇所を示した図である。

以下では、本発明の実施例について説明する。なお、本発明は以下の実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、任意に変更可能であることは言うまでもない。

なお、今回、接触角の測定は、接触角計（協和界面科学株式会社製、商品名「ＣＡ−Ｓ１５０型」）を用いて、ＪＩＳＲ３２５７の手法に基づき測定を行った。ただし、基板のサイズ上、接触角の測定位置は図２に示すとおりそれぞれの辺より１０ｍｍ内側となる部分の４点とし、その平均値を接触角とした。

（実施例１）
１２２０ｍｍ×１４００ｍｍ×１３ｍｍｔの大型液晶マスク基板２枚を洗浄処理し、保管前の汚染度を調べるため接触角測定を行った。その後、ケース本体及びケース蓋部がポリアクルロニトルからなる大型液晶マスク基板用の保管・運搬ケース（ネットプラスチック社製、商品名「ＢＸＡＬ−１２１４１ＳＳＮ８」）にそれぞれの基板を入れて、硬さ（ショアＡ）が６７度のＦＫＭ（フッ化ビニリデン）系合成ゴムであるタイガースポリマー製のフロンチューブをパッキン材として用い、シールした。保管期間を３ヶ月と６ヶ月に設定し、それぞれ室温にて保管した。

保管期間に達した後、それぞれの基板をケースより取り出し、保管する前と同様に接触角を測定したところ、３ヶ月保管した基板では、接触角は２３度、６ヶ月保管した基板が２６度であり、保管前の値が５度であるのに対し、高い清浄度が保たれていた。

（比較例１）
パッキン材を硬さ（ショアＡ）が５６度のシリコ−ンゴム製チューブに変更した以外は実施例１と同様の条件で大型液晶マスク基板を保管した。保管期間は３ヶ月に設定した。

保管期間に達した後、基板をケースより取り出し、保管する前と同様に接触角を測定したところ、接触角は４０度であり、保管前の値が５度であるのに対し、清浄度が悪化していた。

（比較例２）
パッキン材を硬さ（ショアＡ）７４度のオレフィン系ゴムに変更した以外は実施例１と同様の条件で大型液晶マスク基板を保管した。保管期間を３ヶ月と６ヶ月に設定した。

保管期間に達した後、それぞれの基板をケースより取り出し、保管する前と同様に接触角を測定したところ、３ヶ月保管した基板では、接触角は２４度、６ヶ月保管した基板が３６度であり、保管前の値が５度であるのに対し、保管期間が６ヶ月の場合は清浄度が悪化していた。

実施例１及び比較例１、２の結果について下記の表１に示す。

１：ケース本体
２：ケース蓋部
３：基板固定具
４；固定具ネジ
５：液晶マスク基板
６：パッキン材
７：接触角測定箇所

Claims

電子材料の保管・運搬用ケースであって、パッキン材としてフッ化ビニリデン系合成ゴムを用いたことを特徴とする電子材料の保管・運搬用ケース。
パッキン材が硬さ（ショアＡ）が６０以上８０度以下の素材を含んでなることを特徴とする請求項１に記載の電子材料の保管・運搬用ケース。