JP2007187289A - 減圧容器および減圧処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ロードロック室20の内部空間を囲繞する容器本体21の上端面21aに形成された溝26内には、シール部材としてのOリング90が挿入され、その外側には、略L字形をした断面形状を有するスペーサー91が、その一部を溝26内に挿入し、L字形に屈曲した内角側の面を溝26の内壁面から容器本体21の上端面21aにかけて密着させた状態で配備される。スペーサー91によって、容器本体21と天板22を離間させることにより、ロードロック室20内が高真空状態にまで減圧された状態で天板22に撓みが生じても、容器本体21の内周側の角部21bと天板22との接触が回避される。
【選択図】 図7
Description
前記減圧容器を構成する一つの部材と他の部材との連結面の少なくとも一方側に溝を設け、該溝内にシール部材を配備することにより連結部の気密性を保つとともに、
前記溝内にその一部分が挿入されて前記シール部材と密着しつつ、前記溝外において前記一つの部材と他の部材との間に介在して離間させるスペーサーを配備したことを特徴とする、減圧容器を提供する。
前記減圧容器を構成する複数の部材と、
前記複数の部材のうちの一つの部材と、該部材に連結される他の部材との連結面の少なくとも一方側に形成された溝と、
前記溝内に配備されたシール部材と、
前記溝内にその一部分が挿入されて前記シール部材と密着しつつ、前記溝外において前記一つの部材と他の部材との間に介在して離間させるスペーサーと、
を備えたことを特徴とする、減圧容器を提供する。
上記第1の観点または第2の観点の減圧容器を備えたことを特徴とする、減圧処理装置を提供する。
従って、減圧容器内が真空状態に減圧された状態で容器構成部材に撓みが発生した場合でも、容器構成部材どうしの接触が回避される。よって、例えば、減圧容器内の圧力が真空と大気開放との間で繰り返されても、容器構成部材の接合部分の摩擦に起因するパーティクルが抑制される。
また、前記スペーサーを用いることにより、高精度の切削加工などを必要とせずに二つの容器構成部材を離間させることができるので、減圧容器の加工が容易であり、その加工工数も増加させることがない。
図1は、本発明の一実施形態に係る真空処理装置の外観を示す斜視図、図2は、図1の真空処理装置の水平断面図、図3は、真空処理装置における真空予備室の縦断面図、図4は、真空予備室に配備された基板搬送装置の基板搬送機構の構成例を示す斜視図、である。
まず、基板搬送機構70は、ロードロック室20内に縮退状態とされ、ゲートバルブ30の弁体32が閉じられ、真空処理室10の内部は真空ポンプ60にて必要な真空度に排気される。
以上のような物性を備えた材質として、具体的には、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、高分子量ポリエチレン(PE)などを例示することができる。
20…ロードロック室
21…本体
22…天板
23…底板
30…ゲートバルブ
40…ゲートバルブ
50…大気側搬送機構
51…搬送アーム
52…切欠部
55…基板ラック
60…真空ポンプ
70…基板搬送機構
70a…スライドモータ
71…ベースプレート
71c…ピン貫通孔
72〜74…第1〜第3のスライドプレート
72c〜74c…ピン貫通孔
80…基板受け渡し機構
81,82…バッファプレート
83,84…バッファ昇降機構
85…支持ピン
86…ピン昇降機構
90,93…Oリング
91,94…スペーサー
100,200…真空処理装置
Claims (11)
- 容器内部を減圧可能に構成した減圧容器であって、
前記減圧容器を構成する一つの部材と他の部材との連結面の少なくとも一方側に溝を設け、該溝内にシール部材を配備することにより連結部の気密性を保つとともに、
前記溝内にその一部分が挿入されて前記シール部材と密着しつつ、前記溝外において前記一つの部材と他の部材との間に介在して離間させるスペーサーを配備したことを特徴とする、減圧容器。 - 容器内部を減圧可能に構成した減圧容器であって、
前記減圧容器を構成する複数の部材と、
前記複数の部材のうちの一つの部材と、該部材に連結される他の部材との連結面の少なくとも一方側に形成された溝と、
前記溝内に配備されたシール部材と、
前記溝内にその一部分が挿入されて前記シール部材と密着しつつ、前記溝外において前記一つの部材と他の部材との間に介在して離間させるスペーサーと、
を備えたことを特徴とする、減圧容器。 - 前記スペーサーを、前記減圧容器の内部からみて前記シール部材よりも外側に配備したことを特徴とする、請求項1または請求項2に記載の減圧容器。
- 前記スペーサーの断面は、略L字形をしていることを特徴とする、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の減圧容器。
- 前記シール部材は、断面が略三角形をしたOリングであることを特徴とする、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の減圧容器。
- 前記スペーサーおよび前記シール部材の密着面に、凹凸を形成したことを特徴とする、請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の減圧容器。
- 前記スペーサーは、前記シール部材よりも硬い材質で形成されていることを特徴とする、請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の減圧容器。
- 前記スペーサーの硬度(JIS K6253 ショア硬さD)が、50〜70であることを特徴とする、請求項7に記載の減圧容器。
- 前記Oリングの硬度(JIS K6253 ショア硬さA)が、70〜90であることを特徴とする、請求項7または請求項8に記載の減圧容器。
- 前記一つの部材と前記他の部材は、減圧容器本体と蓋体、または減圧容器本体と底板であることを特徴とする、請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の減圧容器。
- 被処理体に対して減圧処理を行なう減圧処理装置であって、
請求項1から請求項10のいずれか1項に記載された減圧容器を備えたことを特徴とする、減圧処理装置。
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