JPH0450555A - 真空容器等の密封構造 - Google Patents
真空容器等の密封構造Info
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- JPH0450555A JPH0450555A JP15679290A JP15679290A JPH0450555A JP H0450555 A JPH0450555 A JP H0450555A JP 15679290 A JP15679290 A JP 15679290A JP 15679290 A JP15679290 A JP 15679290A JP H0450555 A JPH0450555 A JP H0450555A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(発明の目的)
〈産業上の利用分野〉
本発明は例えば蓋体を有する真空容器において、容器と
蓋体との密閉性を向上する。ための密封構造に関するも
のである。
蓋体との密閉性を向上する。ための密封構造に関するも
のである。
〈発明の背景〉
従来の真空容器等における密封構造は、第8図に示すよ
うに容器Aの開放部側において蓋体Cとの接合部たるフ
ランジFを形成するとともに、このフランジFに溝部り
を形成して、ここにガスケラ)Gを半ば入れ込み、この
ガスケットGの弾性変形を利用して蓋体Cとの密閉を保
持しようとするものであった。しがし乍も このように
実質的な密封作用を担うガスケットGは、減圧処理初期
の漏れ込みを小さくするためには変形性の大きな軟質ガ
スケットを適用することが望ましいが、その一方軟質ガ
スヶットは大きな力が加わった場合に復元能力か弱く、
また高真空度下での密封性に劣るという欠点がある。逆
に硬質ガスケットは容器内が一旦高真空に保たれたとき
には高い密封性を有するが、減圧処理初期の密封性に劣
る。またガスケットを一つしか設けない密封構造では、
フランジや蓋板に歪みや取付は誤差があった場合にフラ
ンジと蓋板との密着が不完全となり外気の漏れ込みが多
く、目標の真空度に到達できない。またこのよ・うな場
合にフランジ等の歪みや取付は誤差をなくすためには加
工や組付けに手間が掛かつていた。
うに容器Aの開放部側において蓋体Cとの接合部たるフ
ランジFを形成するとともに、このフランジFに溝部り
を形成して、ここにガスケラ)Gを半ば入れ込み、この
ガスケットGの弾性変形を利用して蓋体Cとの密閉を保
持しようとするものであった。しがし乍も このように
実質的な密封作用を担うガスケットGは、減圧処理初期
の漏れ込みを小さくするためには変形性の大きな軟質ガ
スケットを適用することが望ましいが、その一方軟質ガ
スヶットは大きな力が加わった場合に復元能力か弱く、
また高真空度下での密封性に劣るという欠点がある。逆
に硬質ガスケットは容器内が一旦高真空に保たれたとき
には高い密封性を有するが、減圧処理初期の密封性に劣
る。またガスケットを一つしか設けない密封構造では、
フランジや蓋板に歪みや取付は誤差があった場合にフラ
ンジと蓋板との密着が不完全となり外気の漏れ込みが多
く、目標の真空度に到達できない。またこのよ・うな場
合にフランジ等の歪みや取付は誤差をなくすためには加
工や組付けに手間が掛かつていた。
(開発を試みた技術的事項〉
本発明はこのような背景に鑑みなされたものであって、
減圧処理の初期及び容器内が高真空に保たれた時のいず
れにおいても、高い密封性が得られるようにした真空容
器等の密封構造の改良を試みたものである。
減圧処理の初期及び容器内が高真空に保たれた時のいず
れにおいても、高い密封性が得られるようにした真空容
器等の密封構造の改良を試みたものである。
(発明の構成)
く目的達成の手段〉
即ち本出願に係る第一の発明たる真空容器等の密封構造
は、容器の開放部における他の被接合部材との接合部に
ガスケラ)・を介在させて他の被接合部材との密閉性を
保持する密封構造において、前記容器と被接合部材との
いずれか一方に、または双方に分けて軟質ガスケットと
硬質ガスケットとを設けたことを特徴として成るもので
ある。
は、容器の開放部における他の被接合部材との接合部に
ガスケラ)・を介在させて他の被接合部材との密閉性を
保持する密封構造において、前記容器と被接合部材との
いずれか一方に、または双方に分けて軟質ガスケットと
硬質ガスケットとを設けたことを特徴として成るもので
ある。
また本出願に係る第二の発明たる真空容器等の密封構造
は、前記要件に加えて前記軟質ガスケットは、前記硬質
ガスケットより突出状態にあることを特徴として成るも
のである。
は、前記要件に加えて前記軟質ガスケットは、前記硬質
ガスケットより突出状態にあることを特徴として成るも
のである。
これら発明によって前記目的を達成しようとするもので
ある。
ある。
〈発明の作用〉
本発明では減圧処理の初期には軟質ガス炉、。
トが弾性変形して容器開口部において容器と被接合部材
との密封がなされ、また容器内の真空度が増すと硬質ガ
スケットも弾性変形して被接合部材との密封がなされる
ため、減圧処理の全過程において完全な密封を行なうこ
とができる。
との密封がなされ、また容器内の真空度が増すと硬質ガ
スケットも弾性変形して被接合部材との密封がなされる
ため、減圧処理の全過程において完全な密封を行なうこ
とができる。
〈実施例〉
以下本発明を図示の実施例に基づいて具体的に説明する
。符号1は本発明たる真空容器等の密封構造を適用した
連続真空乾燥装置であってこのものは真空に保った装置
内で原料を移送しながら、その途中において加熱と冷却
を行ない乾燥させるものである。この装置の構造を第2
図に基づき簡単に説明すると、両端が開放した円筒状の
容器2の内部を乾燥処理室3とし、この乾燥処理室3に
一例として三段のコンベアベルト4を具え、更にこの容
器2の両端には開閉自在で且つ閉鎖時には締め付は具で
締めることにより乾燥処理室3内を完全に密封すること
ができる被接合部材の一例たる蓋体5を具えて成る。乾
燥処理室3内には蒸気加熱ゾーン3a、温水加熱ゾーン
3b、冷却ゾーン3Cの三つのゾーンに分かれ、蒸気加
熱ゾーン3aの開放端側には各コンベアベルト4に対し
て原料供給ノズル6が設けられ、一方冷却ゾーン3Cの
終端部下方には製品排出装置7が設けられる。また容器
2には乾燥処理室3内の空気を排気するための空気排気
管8が設けられ、その他端が真空ポンプ9に接続される
。本発明はこのような連続真空乾燥装置1において、容
器2と蓋体5との密封構造にその特徴を有するものであ
る。以下この点について詳述する。まず容器2の端部に
は第1.3.7図に示すように蓋体5との接合部を構成
するフランジ13が形成され、そこには外側と内側とに
それぞれ大小二重の溝1415がリング状に形成される
。そして外側の溝14には比較的大きな径寸法を有する
軟質ガスケット16が嵌め込まれ、内側の溝15には軟
質ガスケット16よりも小径である硬質ガスケット17
が嵌め込まれる。このように二つのガスケットが設けら
れた状態では、外側に設けた軟質ガスケット16が内側
に設けた硬質ガスケット17よりもやや突出加減となっ
ている。因みにこのような構造は本発明の特徴的な構成
であって、このような構造をとることにより、容器2内
が低真空、高真空のいずれの場合にもそれぞれ軟質ガス
ケット16、硬質ガスケット17の作用により高い密封
性を保持できるのである。尚、軟質ガスケット16と硬
質ガスケット17との位置関係は、軟質ガスケットを外
側に配置した方が密封性の保持にはより効果的であるが
、そのいずれが内側または外側に位置するようにしても
よい。またガスケットの形状は断面が円形乃至楕円形の
他、例えば第4図に示すように断面が矩形状のものを適
用してもよい。
。符号1は本発明たる真空容器等の密封構造を適用した
連続真空乾燥装置であってこのものは真空に保った装置
内で原料を移送しながら、その途中において加熱と冷却
を行ない乾燥させるものである。この装置の構造を第2
図に基づき簡単に説明すると、両端が開放した円筒状の
容器2の内部を乾燥処理室3とし、この乾燥処理室3に
一例として三段のコンベアベルト4を具え、更にこの容
器2の両端には開閉自在で且つ閉鎖時には締め付は具で
締めることにより乾燥処理室3内を完全に密封すること
ができる被接合部材の一例たる蓋体5を具えて成る。乾
燥処理室3内には蒸気加熱ゾーン3a、温水加熱ゾーン
3b、冷却ゾーン3Cの三つのゾーンに分かれ、蒸気加
熱ゾーン3aの開放端側には各コンベアベルト4に対し
て原料供給ノズル6が設けられ、一方冷却ゾーン3Cの
終端部下方には製品排出装置7が設けられる。また容器
2には乾燥処理室3内の空気を排気するための空気排気
管8が設けられ、その他端が真空ポンプ9に接続される
。本発明はこのような連続真空乾燥装置1において、容
器2と蓋体5との密封構造にその特徴を有するものであ
る。以下この点について詳述する。まず容器2の端部に
は第1.3.7図に示すように蓋体5との接合部を構成
するフランジ13が形成され、そこには外側と内側とに
それぞれ大小二重の溝1415がリング状に形成される
。そして外側の溝14には比較的大きな径寸法を有する
軟質ガスケット16が嵌め込まれ、内側の溝15には軟
質ガスケット16よりも小径である硬質ガスケット17
が嵌め込まれる。このように二つのガスケットが設けら
れた状態では、外側に設けた軟質ガスケット16が内側
に設けた硬質ガスケット17よりもやや突出加減となっ
ている。因みにこのような構造は本発明の特徴的な構成
であって、このような構造をとることにより、容器2内
が低真空、高真空のいずれの場合にもそれぞれ軟質ガス
ケット16、硬質ガスケット17の作用により高い密封
性を保持できるのである。尚、軟質ガスケット16と硬
質ガスケット17との位置関係は、軟質ガスケットを外
側に配置した方が密封性の保持にはより効果的であるが
、そのいずれが内側または外側に位置するようにしても
よい。またガスケットの形状は断面が円形乃至楕円形の
他、例えば第4図に示すように断面が矩形状のものを適
用してもよい。
尚、ガスケットの断面形状によっては、フランジ13に
溝を形成せずに第4図に示す軟質ガスケット16のよう
に接着剤等で接着するようにしてもよい。次に軟質ガス
ケット16と硬質ガスケット17とを組み合わせた他の
密封構造について説明する。まず第5図(a)に示すも
のは、蓋体5側にガスケットを設けた実施例である。
溝を形成せずに第4図に示す軟質ガスケット16のよう
に接着剤等で接着するようにしてもよい。次に軟質ガス
ケット16と硬質ガスケット17とを組み合わせた他の
密封構造について説明する。まず第5図(a)に示すも
のは、蓋体5側にガスケットを設けた実施例である。
即ち蓋体5の外周縁であって容器2におけるフランジ1
3に対応する位置に大小二重の溝14.15をリング状
に形成して、そこにそれぞれ軟質ガスケット16と、こ
れより小径の硬質ガスケット17とを設けたものである
。また第5図(b)に示すものは容器2におけるフラン
ジ13と蓋体5とにそれぞれ軟質ガスケット16と硬質
ガスケット17とを分けて設けた実施例である。即ちフ
ランジ1,3側には大きめの溝14を形成して、そこに
軟質ガスケット16を設け、一方蓋体5側には溝14と
ずれる位置に小さめの溝15を形成して、そこに硬質ガ
スケット17を設けたものである。以上の実施例は軟質
ガスケット16と硬質ガスケット17との突出具合によ
り軟質ガスケット16が先に作用するようにしたもので
あるが 第5図(C)に示すようにガスケットが当接す
る側のくぼみ具合によりこれを調節するようにしてもよ
い。即ちフランジ13に同じ大きさの溝14.15を形
成し、そこにそれぞれ断面の径寸法が同一である軟質ガ
スケット16と硬質ガスケット17を設ける一方、軟質
ガスケット16が蓋体5と当接する部分を平面状態とし
、同じく硬質ガスケット17が蓋体5と当接する部分に
は浅溝状の凹陥部18を形成したものである。次に更に
種々の他の実施例について説明する。まず以上の実施例
はいずれも二つのガスケットを設けたものであるが、ガ
スケットの数は二つに限るものではなく1例えば第6図
(a)に示すように最も大きな径寸法を有する軟質ガス
ケット16をフランジ13の外側に設け、これよりやや
径寸法が小さくその硬度がやや硬い中間ガスケット16
aをその内側に設け、更にこの中間ガスケットより径寸
法を小さくした硬質ガスケット17を最も内側に設ける
というように三つのガスケットを組み合わせてもよい、
もちろん、更に複数のガスケットを適宜その硬さを異な
らせて設けるようにしてもよいし、この場合においても
前記第5図(a Hb Hc )に示す各種の態様でガ
スケットを組み合わせて設けることもできる。また第6
図(b)に示すものは、硬質ガスケット17から成り、
断面が矩形状の本体部19と屈曲自在なリップ部20と
を形成したガスケットをリップ部20が蓋体5側に臨む
ようにしてフランジ13側に設けたものである。因みに
このような構造のガスケットを採用した場合には、減圧
処理の初期には第6図(b)の仮想線で示すようにリッ
プ部20が蓋体5側に屈曲して蓋体5に密着する。また
減圧処理が更に進むと、蓋体5とフランジ13とが更に
接近することG4より第6図(b)の実線で示すように
蓋体5がガスケットの本体部19に密着して完全密封が
なされるのである。尚5本実施例の場合、リップ部20
が屈曲自在であるため、この部分が実質的に軟質ガスケ
ットとしての作用をなすものである。更に第6図(c)
に示すものは、内側に硬質ガスケット17を有し、その
回りを軟質ガスケラ・ト16が被うようにした二重構造
のガスケットをフランジ13に設けたものである。因み
にこのような構造のガスケットでは、減圧処理の初期に
は軟質ガスケット16が蓋体5に密着し、その後減圧処
理の進行により軟質ガスケット16が更に変形して実質
的に硬質ガスケット17が作用するようになるものであ
る。
3に対応する位置に大小二重の溝14.15をリング状
に形成して、そこにそれぞれ軟質ガスケット16と、こ
れより小径の硬質ガスケット17とを設けたものである
。また第5図(b)に示すものは容器2におけるフラン
ジ13と蓋体5とにそれぞれ軟質ガスケット16と硬質
ガスケット17とを分けて設けた実施例である。即ちフ
ランジ1,3側には大きめの溝14を形成して、そこに
軟質ガスケット16を設け、一方蓋体5側には溝14と
ずれる位置に小さめの溝15を形成して、そこに硬質ガ
スケット17を設けたものである。以上の実施例は軟質
ガスケット16と硬質ガスケット17との突出具合によ
り軟質ガスケット16が先に作用するようにしたもので
あるが 第5図(C)に示すようにガスケットが当接す
る側のくぼみ具合によりこれを調節するようにしてもよ
い。即ちフランジ13に同じ大きさの溝14.15を形
成し、そこにそれぞれ断面の径寸法が同一である軟質ガ
スケット16と硬質ガスケット17を設ける一方、軟質
ガスケット16が蓋体5と当接する部分を平面状態とし
、同じく硬質ガスケット17が蓋体5と当接する部分に
は浅溝状の凹陥部18を形成したものである。次に更に
種々の他の実施例について説明する。まず以上の実施例
はいずれも二つのガスケットを設けたものであるが、ガ
スケットの数は二つに限るものではなく1例えば第6図
(a)に示すように最も大きな径寸法を有する軟質ガス
ケット16をフランジ13の外側に設け、これよりやや
径寸法が小さくその硬度がやや硬い中間ガスケット16
aをその内側に設け、更にこの中間ガスケットより径寸
法を小さくした硬質ガスケット17を最も内側に設ける
というように三つのガスケットを組み合わせてもよい、
もちろん、更に複数のガスケットを適宜その硬さを異な
らせて設けるようにしてもよいし、この場合においても
前記第5図(a Hb Hc )に示す各種の態様でガ
スケットを組み合わせて設けることもできる。また第6
図(b)に示すものは、硬質ガスケット17から成り、
断面が矩形状の本体部19と屈曲自在なリップ部20と
を形成したガスケットをリップ部20が蓋体5側に臨む
ようにしてフランジ13側に設けたものである。因みに
このような構造のガスケットを採用した場合には、減圧
処理の初期には第6図(b)の仮想線で示すようにリッ
プ部20が蓋体5側に屈曲して蓋体5に密着する。また
減圧処理が更に進むと、蓋体5とフランジ13とが更に
接近することG4より第6図(b)の実線で示すように
蓋体5がガスケットの本体部19に密着して完全密封が
なされるのである。尚5本実施例の場合、リップ部20
が屈曲自在であるため、この部分が実質的に軟質ガスケ
ットとしての作用をなすものである。更に第6図(c)
に示すものは、内側に硬質ガスケット17を有し、その
回りを軟質ガスケラ・ト16が被うようにした二重構造
のガスケットをフランジ13に設けたものである。因み
にこのような構造のガスケットでは、減圧処理の初期に
は軟質ガスケット16が蓋体5に密着し、その後減圧処
理の進行により軟質ガスケット16が更に変形して実質
的に硬質ガスケット17が作用するようになるものであ
る。
本発明たる真空容器等の密封構造は以上述べたような構
造を有するものであって、以下第7図に基づいて連続真
空乾燥装置1の始動時におけるこの密封構造の作用及び
乾燥処理について説明する。まず乾燥処理を行なうにあ
たっては、両方の蓋体5を閉鎖した状態で締め付は具で
締めて乾燥処理室3を密閉する。この状態で真空ポンプ
9を作動して空気排気管8から乾燥処理室3内の空気生
排気する。このようにして乾燥処理室3が減圧されてい
く過程では、まず第7図(a)に示す状態にあるが、減
圧処理がやや進むと第7図(b)に示すようにフランジ
13に設けた軟質ガスケット16が蓋体5側に密着する
が 硬質ガスケット17は蓋体5と接触していないか、
あるいは接触していても実質的に密閉作用をなさない状
態になっている。従って減圧処理の初期には軟質ガスケ
ット16のみが密封作用に寄与し、その変形性が大きな
ことから高い密封性が保たれる。また更に減圧処理が進
行すると、第7図(C)に示すように軟質ガスケット1
6は更に変形するとともに、硬質ガスケット17が蓋体
5に密着するようになり一層の密封性が得られるように
なる。このようにして乾燥処理室3内の真空が維持され
た状態で原料供給ノズル6から各コンベアベルト4上に
原料を供給し、コンベアベルト4の進行により蒸気加熱
ゾーン3a、温水加熱ゾーン3b、冷却ゾーン3cをそ
れぞれ通過させることにより原料を通過させ、このもの
を製品排出装置7から回収して製品とする。
造を有するものであって、以下第7図に基づいて連続真
空乾燥装置1の始動時におけるこの密封構造の作用及び
乾燥処理について説明する。まず乾燥処理を行なうにあ
たっては、両方の蓋体5を閉鎖した状態で締め付は具で
締めて乾燥処理室3を密閉する。この状態で真空ポンプ
9を作動して空気排気管8から乾燥処理室3内の空気生
排気する。このようにして乾燥処理室3が減圧されてい
く過程では、まず第7図(a)に示す状態にあるが、減
圧処理がやや進むと第7図(b)に示すようにフランジ
13に設けた軟質ガスケット16が蓋体5側に密着する
が 硬質ガスケット17は蓋体5と接触していないか、
あるいは接触していても実質的に密閉作用をなさない状
態になっている。従って減圧処理の初期には軟質ガスケ
ット16のみが密封作用に寄与し、その変形性が大きな
ことから高い密封性が保たれる。また更に減圧処理が進
行すると、第7図(C)に示すように軟質ガスケット1
6は更に変形するとともに、硬質ガスケット17が蓋体
5に密着するようになり一層の密封性が得られるように
なる。このようにして乾燥処理室3内の真空が維持され
た状態で原料供給ノズル6から各コンベアベルト4上に
原料を供給し、コンベアベルト4の進行により蒸気加熱
ゾーン3a、温水加熱ゾーン3b、冷却ゾーン3cをそ
れぞれ通過させることにより原料を通過させ、このもの
を製品排出装置7から回収して製品とする。
尚以上の説明においては、容器2に対する被接合部材と
して蓋板5を例として説明したが容器2が直列に連結さ
れる場合等についても、その接合部位に本発明を適用し
得る。
して蓋板5を例として説明したが容器2が直列に連結さ
れる場合等についても、その接合部位に本発明を適用し
得る。
(発明の効果)
本発明では減圧処理の初期には軟質ガスケットが弾性変
形し、容器内の真空度が増すと硬質ガスケットも弾性変
形するため減圧処理の全過程において完全な密封を行な
うことができる。
形し、容器内の真空度が増すと硬質ガスケットも弾性変
形するため減圧処理の全過程において完全な密封を行な
うことができる。
従って接合部たるフランジ13や被接合部材たる蓋板5
に歪みや取付は誤差があった場合でも完全な密封状態が
維持できるので、フランジ面の精度や部材の精度を向上
させるための加工も必要なくなる。
に歪みや取付は誤差があった場合でも完全な密封状態が
維持できるので、フランジ面の精度や部材の精度を向上
させるための加工も必要なくなる。
またフランジ13と蓋板5との締め付は具の個数を減ら
しても密封状態を維持できるためその分、蓋板5の開閉
操作が簡単になる。
しても密封状態を維持できるためその分、蓋板5の開閉
操作が簡単になる。
第1図は本発明の真空容器等の密封構造を適用した連続
真空乾燥装置並びにその一部を拡大して示す斜視図、第
2図は同上側面図、第3図は同上一部を拡大して示す縦
断面図、第4図はガスケットの形状を異ならせた実施例
を示すフランジ付近の骨格的断面図、第5図はガスケッ
トの設置箇所を異ならせた2種の実施例並びにガスケッ
トの大きさを共通とし、蓋体に凹陥部を設けた実施例を
示すフランジ付近の骨格的断面図、第6図は三つのガス
ケットを設けた実施例並びにガスケットの形状、構造を
異ならせた各実施例を示すフランジ付近の骨格的断面図
第7図は減圧が進むにつれてガスケットが変形していく
過程を示すフランジ付近の骨格的断面図、第8図は従来
の真空容器等の密封構造を示す骨格的断面図である。 1;連続真空乾燥装置 2;容器 ;乾燥処理室 a;蒸気加熱ゾーン b;温水加熱ゾーン C;冷却ゾーン コンベアベルト 蓋体 原料供給ノズル 製品排出装置 空気排気管 真空ポンプ フランジ 15;溝 ;軟質ガスケット a;中間ガスケット ;硬質ガスケット ;凹陥部 ;本体部 ;リップ部 14 、 (a) 第6図 (b) り (C)
真空乾燥装置並びにその一部を拡大して示す斜視図、第
2図は同上側面図、第3図は同上一部を拡大して示す縦
断面図、第4図はガスケットの形状を異ならせた実施例
を示すフランジ付近の骨格的断面図、第5図はガスケッ
トの設置箇所を異ならせた2種の実施例並びにガスケッ
トの大きさを共通とし、蓋体に凹陥部を設けた実施例を
示すフランジ付近の骨格的断面図、第6図は三つのガス
ケットを設けた実施例並びにガスケットの形状、構造を
異ならせた各実施例を示すフランジ付近の骨格的断面図
第7図は減圧が進むにつれてガスケットが変形していく
過程を示すフランジ付近の骨格的断面図、第8図は従来
の真空容器等の密封構造を示す骨格的断面図である。 1;連続真空乾燥装置 2;容器 ;乾燥処理室 a;蒸気加熱ゾーン b;温水加熱ゾーン C;冷却ゾーン コンベアベルト 蓋体 原料供給ノズル 製品排出装置 空気排気管 真空ポンプ フランジ 15;溝 ;軟質ガスケット a;中間ガスケット ;硬質ガスケット ;凹陥部 ;本体部 ;リップ部 14 、 (a) 第6図 (b) り (C)
Claims (2)
- (1)容器の開放部における他の被接合部材との接合部
にガスケットを介在させて他の被接合部材との密閉性を
保持する密封構造において、前記容器と被接合部材との
いずれか一方に、または双方に分けて軟質ガスケットと
硬質ガスケットとを設けたことを特徴とする真空容器等
の密封構造。 - (2)前記軟質ガスケットは、前記硬質ガスケットより
突出状態にあることを特徴とする請求項1記載の真空容
器等の密封構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15679290A JPH0450555A (ja) | 1990-06-15 | 1990-06-15 | 真空容器等の密封構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15679290A JPH0450555A (ja) | 1990-06-15 | 1990-06-15 | 真空容器等の密封構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0450555A true JPH0450555A (ja) | 1992-02-19 |
Family
ID=15635412
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15679290A Pending JPH0450555A (ja) | 1990-06-15 | 1990-06-15 | 真空容器等の密封構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0450555A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0643418U (ja) * | 1992-11-18 | 1994-06-10 | 矢崎総業株式会社 | パッキンのシール構造 |
JP2007187289A (ja) * | 2006-01-16 | 2007-07-26 | Tokyo Electron Ltd | 減圧容器および減圧処理装置 |
KR100926114B1 (ko) * | 2007-12-13 | 2009-11-11 | 한국항공우주연구원 | 열 진공 챔버 장치 |
JP2011043358A (ja) * | 2009-08-19 | 2011-03-03 | Yamatake Corp | 電磁流量計 |
-
1990
- 1990-06-15 JP JP15679290A patent/JPH0450555A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0643418U (ja) * | 1992-11-18 | 1994-06-10 | 矢崎総業株式会社 | パッキンのシール構造 |
JP2007187289A (ja) * | 2006-01-16 | 2007-07-26 | Tokyo Electron Ltd | 減圧容器および減圧処理装置 |
KR100926114B1 (ko) * | 2007-12-13 | 2009-11-11 | 한국항공우주연구원 | 열 진공 챔버 장치 |
JP2011043358A (ja) * | 2009-08-19 | 2011-03-03 | Yamatake Corp | 電磁流量計 |
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