JPH02131131A - 真空断熱製品の真空封止方法 - Google Patents
真空断熱製品の真空封止方法Info
- Publication number
- JPH02131131A JPH02131131A JP28533788A JP28533788A JPH02131131A JP H02131131 A JPH02131131 A JP H02131131A JP 28533788 A JP28533788 A JP 28533788A JP 28533788 A JP28533788 A JP 28533788A JP H02131131 A JPH02131131 A JP H02131131A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- heat insulating
- vacuum chamber
- sealing
- gasket
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 title claims abstract description 35
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 8
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims abstract description 28
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 claims abstract description 26
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 22
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 19
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 3
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910001293 incoloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001026 inconel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/03—Pressure vessels, or vacuum vessels, having closure members or seals specially adapted therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Gasket Seals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は真空断熱製品の真空封止方法に関する。
従来の技術
従来、開口部を有する真空断熱製品の真空封止方法とし
ては、真空チャンバ内に、開口部を有した真空断熱製品
を配置し、上記真空チャンバ内を真空吸引して真空断熱
製品内部を上記開口部を介して真空排気し、次にたとえ
ば上記開口部の周囲に形成された環状の封止部にエラス
トマーガスケットを配置し、このエラストマーガスケッ
トに重ねて上記開口部を閉鎖する蓋部を配置し、その後
上記真空チャンバ内に空気を入れて大気圧雰囲気として
大気圧を上記蓋部に作用させて上記エラストマーガスケ
ットを押しつぶしなから仮封止し、さらに上記蓋部から
封止部にかけて設けられた締付は用ボルトを締付けて上
記エラストマーガスケットをさらに押しつぶしながら上
記蓋部を上記封止部に押付けるなどして本封止していた
。
ては、真空チャンバ内に、開口部を有した真空断熱製品
を配置し、上記真空チャンバ内を真空吸引して真空断熱
製品内部を上記開口部を介して真空排気し、次にたとえ
ば上記開口部の周囲に形成された環状の封止部にエラス
トマーガスケットを配置し、このエラストマーガスケッ
トに重ねて上記開口部を閉鎖する蓋部を配置し、その後
上記真空チャンバ内に空気を入れて大気圧雰囲気として
大気圧を上記蓋部に作用させて上記エラストマーガスケ
ットを押しつぶしなから仮封止し、さらに上記蓋部から
封止部にかけて設けられた締付は用ボルトを締付けて上
記エラストマーガスケットをさらに押しつぶしながら上
記蓋部を上記封止部に押付けるなどして本封止していた
。
発明が解決しようとする課題
しかしながらこの種の真空断熱製品の真空封止方法によ
れば、弾力性が非常に大きいエラストマーガスケットを
用いているため、このエラストマーガスケットから外部
空気などが流入して真空度が悪くなる問題があった。こ
の問題に対処するものとしてエラストマーガスケットの
代わりに金属ガスケットを用いることが考えられるが、
この場合には金属ガスケットでは真空状態にした真空チ
ャンバ内に空気を入れても仮封止はできないので、真空
状態のままで真空チャンバ内で締付は用ボルトを締付け
なければならず、この作業が非常に困難となる問題があ
った。
れば、弾力性が非常に大きいエラストマーガスケットを
用いているため、このエラストマーガスケットから外部
空気などが流入して真空度が悪くなる問題があった。こ
の問題に対処するものとしてエラストマーガスケットの
代わりに金属ガスケットを用いることが考えられるが、
この場合には金属ガスケットでは真空状態にした真空チ
ャンバ内に空気を入れても仮封止はできないので、真空
状態のままで真空チャンバ内で締付は用ボルトを締付け
なければならず、この作業が非常に困難となる問題があ
った。
本発明は上記問題を解決するもので、開口部を有する真
空断熱製品の封止を完全に行え、かつその封止作業が容
易に行うことのできる真空断熱製品の真空封止方法を得
ることを目的とするものである。
空断熱製品の封止を完全に行え、かつその封止作業が容
易に行うことのできる真空断熱製品の真空封止方法を得
ることを目的とするものである。
課題を解決するための手段
上記課題を解決するために本発明は、真空チャンバ内に
、開口部を有した真空断熱製品を配置し、上記真空チャ
ンバ内を真空吸引して真空断熱製品内部を上記開口部を
介して真空排気し、次に上記開口部周囲の環状封止部の
外周側に配置されたエラストマーガスケットと内周側に
配置された金属ガスケットとに重ねて上記開口部を閉鎖
する蓋部を配置し、その後上記真空チャンバ内に空気を
入れて大気圧雰囲気として大気圧を上記蓋部に作用させ
て上記エラストマーガスケットを押しつぶしながら仮封
止し、さらに上記蓋部から封止部にかけて設けられた締
付は用ボルトを締付けて上記金属ガスケットを押しつぶ
しながら上記蓋部を上記封止部に押付けて本封止するも
のである。
、開口部を有した真空断熱製品を配置し、上記真空チャ
ンバ内を真空吸引して真空断熱製品内部を上記開口部を
介して真空排気し、次に上記開口部周囲の環状封止部の
外周側に配置されたエラストマーガスケットと内周側に
配置された金属ガスケットとに重ねて上記開口部を閉鎖
する蓋部を配置し、その後上記真空チャンバ内に空気を
入れて大気圧雰囲気として大気圧を上記蓋部に作用させ
て上記エラストマーガスケットを押しつぶしながら仮封
止し、さらに上記蓋部から封止部にかけて設けられた締
付は用ボルトを締付けて上記金属ガスケットを押しつぶ
しながら上記蓋部を上記封止部に押付けて本封止するも
のである。
作用
上記構成により、金属ガスケットにより本封止するよう
にしたので、完全な封止ができ真空断熱製品内部の真空
状態を良好に保持することができ、またエラストマーガ
スケットにより仮封止するようにしたので、締付は用ボ
ルトの締付は作業は大気圧雰囲気で容易に行える。
にしたので、完全な封止ができ真空断熱製品内部の真空
状態を良好に保持することができ、またエラストマーガ
スケットにより仮封止するようにしたので、締付は用ボ
ルトの締付は作業は大気圧雰囲気で容易に行える。
実施例
以下、本発明の一実施例を図面に基づき説明する。
第1図(a)および(b)は本発明の一実施例に用いら
れる真空断熱製品の要部の部分切欠き平面図および部分
切欠き正面図である。まず、真空断熱製品の一例として
の真空断熱容器について第1図(a)および(b)によ
り説明すると、真空断熱、容器の殻壁部1の所定箇所に
は開口部2が形成された封止部としての環状のフランジ
3が溶接され、このフランジ3の端面には環状溝3aが
形成されている。この渭3aには、外周側にゴム製0リ
ングなどからなるエラストマーガスケット4が配置され
、また、内周側に金属ガスケット5が配置される。なお
、両ガスケット4,5とも圧縮されていない状態では溝
3aより突出する断面形状とされているが、エラストマ
ーガスケット4が金属ガスケット5よりも大きく突出す
る断面形状とされている。フランジ3の上方にはエラス
トマーガスケット4および金属ガスケット5に重ねてフ
ランジ3とほぼ同じ大きさの蓋部6が配置される。蓋部
6は複数の締付は用ボルト7によりフランジ3に取付け
られ、締付は用ボルト7は蓋部6の挿通孔6aを貫通し
て、フランジ3の溝3aより外周側に形成されたねじ孔
3bにねじ込まれる。
れる真空断熱製品の要部の部分切欠き平面図および部分
切欠き正面図である。まず、真空断熱製品の一例として
の真空断熱容器について第1図(a)および(b)によ
り説明すると、真空断熱、容器の殻壁部1の所定箇所に
は開口部2が形成された封止部としての環状のフランジ
3が溶接され、このフランジ3の端面には環状溝3aが
形成されている。この渭3aには、外周側にゴム製0リ
ングなどからなるエラストマーガスケット4が配置され
、また、内周側に金属ガスケット5が配置される。なお
、両ガスケット4,5とも圧縮されていない状態では溝
3aより突出する断面形状とされているが、エラストマ
ーガスケット4が金属ガスケット5よりも大きく突出す
る断面形状とされている。フランジ3の上方にはエラス
トマーガスケット4および金属ガスケット5に重ねてフ
ランジ3とほぼ同じ大きさの蓋部6が配置される。蓋部
6は複数の締付は用ボルト7によりフランジ3に取付け
られ、締付は用ボルト7は蓋部6の挿通孔6aを貫通し
て、フランジ3の溝3aより外周側に形成されたねじ孔
3bにねじ込まれる。
次に、この真空断熱容器の真空封止方法について説明す
る。まず、予めフランジ3の渭3aに、外周側にエラス
トマーガスケット4を、内周側に金属ガスケット5を入
れておき、その状態で、真空チャンバ(図示せず)内に
真空断熱容器を入れて真空吸引して真空断熱容器内部を
開口部2を介して真空排気する。次に、フランジ3の溝
3aに配設された両ガスケット4,5に重ねて蓋部6を
配置する。その後、上記真空チャンバ内に空気を入れて
大気圧雰囲気とすることにより、真空断熱容器の蓋部6
は、開口部2の開口面積と大気圧との積に相当する力で
真空断熱容器内部側に吸引されてエラストマーガスケッ
ト4はこの力により押しつぶされて仮封止される。この
時点で、エラストマーガスケット4は金属ガスケット5
に比べて圧縮方向に例えば0,2闇程厚い状態となり、
蓋部6は金属ガスケット5には接触していない。次に、
締付は用ボルト7を均等に締付けることにより、エラス
トマーガスケット4がさらに蓋部6に押しつぶされて圧
縮変形を増し、やがて金属ガスケット5にも蓋部6から
圧縮力が作用してこの金属ガスケット5は圧縮変形し、
これにより本封止される。
る。まず、予めフランジ3の渭3aに、外周側にエラス
トマーガスケット4を、内周側に金属ガスケット5を入
れておき、その状態で、真空チャンバ(図示せず)内に
真空断熱容器を入れて真空吸引して真空断熱容器内部を
開口部2を介して真空排気する。次に、フランジ3の溝
3aに配設された両ガスケット4,5に重ねて蓋部6を
配置する。その後、上記真空チャンバ内に空気を入れて
大気圧雰囲気とすることにより、真空断熱容器の蓋部6
は、開口部2の開口面積と大気圧との積に相当する力で
真空断熱容器内部側に吸引されてエラストマーガスケッ
ト4はこの力により押しつぶされて仮封止される。この
時点で、エラストマーガスケット4は金属ガスケット5
に比べて圧縮方向に例えば0,2闇程厚い状態となり、
蓋部6は金属ガスケット5には接触していない。次に、
締付は用ボルト7を均等に締付けることにより、エラス
トマーガスケット4がさらに蓋部6に押しつぶされて圧
縮変形を増し、やがて金属ガスケット5にも蓋部6から
圧縮力が作用してこの金属ガスケット5は圧縮変形し、
これにより本封止される。
このように、金属ガスケット5による封止であるため、
完全な封止状態が良好に保持され、また締付はボルト7
の締付は作業は大気圧雰囲気で行うため容易に行え、こ
の際エラストマーガスケット4により仮封止されている
ため真空状態は保持される。
完全な封止状態が良好に保持され、また締付はボルト7
の締付は作業は大気圧雰囲気で行うため容易に行え、こ
の際エラストマーガスケット4により仮封止されている
ため真空状態は保持される。
なお、仮封止用のエラストマーガスケット4としてはゴ
ム製0リングに限るものではなく、大気圧雰囲気で蓋部
が真空断熱容器内部側に押し付けられた際、十分な封止
性が得られる弾力性を有するものであればよい。また、
金属ガスケット5としては、比較的得度の高くない雰囲
気で使用し、かつ普通の耐食性でよい場合は、圧縮され
ることにより比較的容易に塑性変形し、封止部に密着で
きるような軟質で展性に富むアルミ系、銅系、金、銀な
どの材質で断面形状が円形、平角形、菱形、半丸形及び
圧縮面に凸状部を形成したものなどを用いればよく、ま
た上記以外の温度雰囲気で、優れた耐食性が必要とされ
る場合は、ステンレス、インコネル、インコロイなどの
高強度で耐熱性および耐食性に優れた材質のもので断面
形状を中空又は折り曲げ成形して圧縮力が作用した際に
比較的容易に弾性・塑性変形できるものを用いればよい
。また、真空断熱製品としては容器に限るものではなく
、二重管、パネル、ブロックなどに用いることもでき、
金属ガスケットを使用しているため、−250℃程度の
極低温から1000℃程度の高温の湯度帯で使用するこ
とができ、かつ超高真空度を要するものにも適する。ま
た、真空断熱製品の開口部の寸法は、この開口部を気体
の排気のみに用いる場合には一般に直径10m+以下で
十分であるが、粉体断熱真空容器のように排気だけでな
く粉体の充填を兼ねる場合には501w+を超える場合
があり、この大口径の開口部を有する場合に、この真空
封止方法は特に適する。
ム製0リングに限るものではなく、大気圧雰囲気で蓋部
が真空断熱容器内部側に押し付けられた際、十分な封止
性が得られる弾力性を有するものであればよい。また、
金属ガスケット5としては、比較的得度の高くない雰囲
気で使用し、かつ普通の耐食性でよい場合は、圧縮され
ることにより比較的容易に塑性変形し、封止部に密着で
きるような軟質で展性に富むアルミ系、銅系、金、銀な
どの材質で断面形状が円形、平角形、菱形、半丸形及び
圧縮面に凸状部を形成したものなどを用いればよく、ま
た上記以外の温度雰囲気で、優れた耐食性が必要とされ
る場合は、ステンレス、インコネル、インコロイなどの
高強度で耐熱性および耐食性に優れた材質のもので断面
形状を中空又は折り曲げ成形して圧縮力が作用した際に
比較的容易に弾性・塑性変形できるものを用いればよい
。また、真空断熱製品としては容器に限るものではなく
、二重管、パネル、ブロックなどに用いることもでき、
金属ガスケットを使用しているため、−250℃程度の
極低温から1000℃程度の高温の湯度帯で使用するこ
とができ、かつ超高真空度を要するものにも適する。ま
た、真空断熱製品の開口部の寸法は、この開口部を気体
の排気のみに用いる場合には一般に直径10m+以下で
十分であるが、粉体断熱真空容器のように排気だけでな
く粉体の充填を兼ねる場合には501w+を超える場合
があり、この大口径の開口部を有する場合に、この真空
封止方法は特に適する。
発明の効果
以上のように本発明によれば、金属ガスケットにより本
封止するようにしたので、完全な封止ができて真空断熱
製品内部の真空状態を良好に保持することができ、また
エラストマーガスケットにより仮封止するようにしたの
で、締付は用ボルトの締付は作業は大気圧雰囲気で容易
に行え、特に本発明は大口径の開口部を有する真空断熱
製品に適する。また、金属ガスケットを圧縮力のみで変
形させるので、封止部と金属ガスケットとは摺動するこ
とはなく、したがって摺動の際に生じる、表面粗度など
によるガスケット表面の不均一な摩滅は発生せず、これ
による封止不良を招くことはない。
封止するようにしたので、完全な封止ができて真空断熱
製品内部の真空状態を良好に保持することができ、また
エラストマーガスケットにより仮封止するようにしたの
で、締付は用ボルトの締付は作業は大気圧雰囲気で容易
に行え、特に本発明は大口径の開口部を有する真空断熱
製品に適する。また、金属ガスケットを圧縮力のみで変
形させるので、封止部と金属ガスケットとは摺動するこ
とはなく、したがって摺動の際に生じる、表面粗度など
によるガスケット表面の不均一な摩滅は発生せず、これ
による封止不良を招くことはない。
第1図(a)および(b)は本発明の一実施例に用いら
れる真空断熱製品の要部の部分切欠き平面図および部分
切欠き正面図である。 2・・・開口部、3・・・フランジ(封止部)、4・・
・エラストマーガスケット、5・・・金属ガスケット、
6・・・蓋部、7・・・締付は用ボルト。 代理人 森 本 義 弘
れる真空断熱製品の要部の部分切欠き平面図および部分
切欠き正面図である。 2・・・開口部、3・・・フランジ(封止部)、4・・
・エラストマーガスケット、5・・・金属ガスケット、
6・・・蓋部、7・・・締付は用ボルト。 代理人 森 本 義 弘
Claims (1)
- 1、真空チャンバ内に、開口部を有した真空断熱製品を
配置し、上記真空チャンバ内を真空吸引して真空断熱製
品内部を上記開口部を介して真空排気し、次に上記開口
部周囲の環状封止部の外周側に配置されたエラストマー
ガスケットと内周側に配置された金属ガスケットとに重
ねて上記開口部を閉鎖する蓋部を配置し、その後上記真
空チャンバ内に空気を入れて大気圧雰囲気として大気圧
を上記蓋部に作用させて上記エラストマーガスケットを
押しつぶしながら仮封止し、さらに上記蓋部から封止部
にかけて設けられた締付け用ボルトを締付けて上記金属
ガスケットを押しつぶしながら上記蓋部を上記封止部に
押付けて本封止する真空断熱製品の真空封止方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28533788A JP2672131B2 (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | 真空断熱製品の真空封止方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28533788A JP2672131B2 (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | 真空断熱製品の真空封止方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02131131A true JPH02131131A (ja) | 1990-05-18 |
JP2672131B2 JP2672131B2 (ja) | 1997-11-05 |
Family
ID=17690246
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28533788A Expired - Lifetime JP2672131B2 (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | 真空断熱製品の真空封止方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2672131B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100417957B1 (ko) * | 2002-03-28 | 2004-02-11 | 위니아만도 주식회사 | 자동차용 수냉식 오일쿨러 |
WO2011076704A1 (de) * | 2009-12-22 | 2011-06-30 | Basf Se | Dichtanordnung für einen prozessgasturboverdichter |
-
1988
- 1988-11-10 JP JP28533788A patent/JP2672131B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100417957B1 (ko) * | 2002-03-28 | 2004-02-11 | 위니아만도 주식회사 | 자동차용 수냉식 오일쿨러 |
WO2011076704A1 (de) * | 2009-12-22 | 2011-06-30 | Basf Se | Dichtanordnung für einen prozessgasturboverdichter |
CN102711976A (zh) * | 2009-12-22 | 2012-10-03 | 巴斯夫欧洲公司 | 用于工业气体涡轮压缩机的密封装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2672131B2 (ja) | 1997-11-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH04269822A (ja) | 熱処理装置の封止構造 | |
US3794363A (en) | Flange | |
US3240501A (en) | Gastight gasket joint | |
JPH04228996A (ja) | 真空−熱絶縁要素の接合方法 | |
CN104260114B (zh) | 手套箱箱体及其制作方法 | |
US3298719A (en) | Ultra-high vacuum coupling and gasket subassembly therefor | |
JP3747324B2 (ja) | 真空シール構造 | |
JP2672131B2 (ja) | 真空断熱製品の真空封止方法 | |
US9581245B2 (en) | Metal seal for ultra high vacuum system | |
JP2003314785A5 (ja) | ||
KR20080045699A (ko) | 유체 유동 장치 | |
US3937478A (en) | Coining seal | |
JP3418680B2 (ja) | 加熱プレス用チャンバ | |
US6412821B1 (en) | Device for the vacuum-tight connecting of two bodies of different materials | |
JP2893588B2 (ja) | 真空炉の蓋の固定方法 | |
JPH08219291A (ja) | 金属被覆型ガスケット | |
US4795134A (en) | Valve with improved sealing properties | |
JP2007105710A (ja) | 真空排気封止装置 | |
JPH0450555A (ja) | 真空容器等の密封構造 | |
JP2009222206A (ja) | 金属製容器又は金属製管の密閉シール方法 | |
JPH0226396A (ja) | 真空用フランジ | |
JPH08145183A (ja) | 真空シール用ガスケット及び真空シール構造 | |
JPH01312271A (ja) | 大型真空容器の真空シール構造 | |
JPH04262169A (ja) | 真空フランジ用メタルガスケット | |
US3234708A (en) | Seal-off apparatus |