JP2007105710A

JP2007105710A - 真空排気封止装置

Info

Publication number: JP2007105710A
Application number: JP2005325330A
Authority: JP
Inventors: Keiji Sakamoto; 慶二阪本
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2005-10-11
Filing date: 2005-10-11
Publication date: 2007-04-26

Abstract

【課題】真空形生体の真空排気封止に関する。
【解決手段】真空形成体において、真空形成体に固着して真空排気封止に用いる部品、すなわち、真空排気封止部品と、該部品内において真空封止材となるガスケット等と、真空封止に用いる封止部品、および、真空排気封止部品と真空ポンプを接続して真空排気と真空封止に用いる用具、すなわち、真空排気封止用具とにより構成する真空排気封止装置を用いて真空排気封止を良好にし、かつ正確に行う。
【選択図】図１

Description

発明の詳細な説明

真空排気封止装置

本発明は、金属製等のパイプ状、またはパネル状、および、容器状等の真空形成体において真空排気封止に用いる装置等に関するものである。

従来の真空排気封止に用いる装置の一つは、銅製等軟質材製のパイプを用いて排気し、封止のとき、パイプを圧接切断する方法、すなわち、排気パイプ圧接封止方法と、他に排気封止部を、ろう付け、またはブレージング、および電気ガス溶接等を行う方法、すなわち、溶接封止方法と、他に真空排気封止弁を用いる方法、すなわち、真空弁方法等がある。

発明が解決しようとする課題

しかしながら、従来の排気パイプ圧接封止方法においては、圧接切断したパイプ先端が破損しないように、また、鋭利な切断先で負傷しないように覆うなどの必要があり、溶接封止方法においては、排気孔が微小なため排気抵抗が大きく排気時間が長くなり、真空弁方法においても、テフロン製等のＯリングを用いた弁であるため、金属製等真空部形成体からのガス放出を少なくするための加熱処理、たとえば３００度以上の加熱処理を行うことができない。

課題を解決するための手段

金属製等のパイプ状またはパネル状等の真空断熱体等、および真空容器等、すなわち、真空形成体において、真空排気封止を行う場合、真空部形成体に固着して真空排気封止に用いる部品、すなわち、真空排気封止部品と、該部品内に装着して真空封止材となるガスケット等と、真空封止に用いる封止部品、および、真空排気封止部品と真空ポンプ間を接続する部品用具、図１の排気パイプ７から真空ポンプ接続パイプ１９の部品により構成する真空排気封止用具との４要素により構成する真空排気封止装置を用い真空排気封止を良好にし、安全で、かつ、比較的高温に耐えることが可能で、しかも正確に真空排気封止を行う。この際、ガスケットに代わり軟質金属の球を用いることが可能であり、また、真空排気封止部品と真空排気封止用具の排気パイプ接続に、溶接接続の他に図１における封止後分離位置２０の位置にＯリング等気密保持用品を用いての接続が可能である。

発明の効果

比較的簡単な装置で比較的簡単な操作により安全で良好、しかも、正確な真空排気封止を行い、大気圧下と真空内の両方において、真空形成体の真空部の真空排気封止を行うことが可能である。

真空形成体の真空排気を行う際真空排気封止部品と真空排気封止用具を結合して行い真空排気封止後、両者を容易に切り離す構造とする。

本発明を活用する真空断熱体等は真空で断熱性を有し省資源となり、しかも、断熱性能が良好で省エネルギー体である、よって、本発明の活用は多大である。

発明の実施の形態を実施例に基づき図面を参照して説明する。図１、図２は、本発明の実施例を示すものである。
図１において真空形生体２に排気孔５を設けた真空排気封止部品３を溶接取付け、３の内部に雌ねじを設け真空封止ガスケット４を装着し、真空排気封止部品３と排気パイプ７を溶接、または、Ｏリング等を使用して気密接続し、７の左方に右方Ｏリング１１、右方Ｏリング座金１２、および、右方Ｏリング締め付けナット１３を設けて排気パイプ７の端部を密閉し、排気パイプ７の左方端部に排気筒１４を接続し、１４の左端部に、左方Ｏリング１５、左方Ｏリング座金１６、および、左方Ｏリング締め付けナット１７を設けて排気筒１４間と真空排気封止操作棒１０間を密閉し、排気筒１４に真空ポンプ接続パイプ１９を取付け、真空排気を行う。

この際、排気パイプ７から真空ポンプ接続パイプ１９間の装置を真空排気封止用具とし、真空排気を行うに際して、真空排気封止操作棒１０の右先端に封止部品８を嵌め、８の外周に雄ねじを設け、真空排気封止部品３の内部に設けた雌ねじとのねじ合わせを可能にする。

真空排気を行うに際して封止部品８は、真空排気封止操作棒１０の操作により真空排気封止部品３と離れた場所に位置し、真空排気完了時において、ハンドルピン１８と真空排気封止操作棒１０の操作により封止部品８を雄ねじ９により真空排気封止部品３内の雌ねじ６にねじ込み、ガスケットを圧して排気孔を密封し真空封止を行う。

この際、真空排気封止操作棒１０と封止部品８との嵌め合わせは凹凸、ねじ等とし真空封止後、嵌め合わせを解除し両者を切り離すことを可能とし、真空封止完了後、真空排気封止部品３と排気パイプ７を分離する際、図１に示す封止後分離位置２０に設けたＯリング等気密接続部で分離し、真空排気封止部品と排気パイプを溶接接続時においては封止後分離位置２０を目安にして切断分離する等にして、真空排気封止部品３と排気パイプ７を分離して排気封止加工を完成するも、この際、分離後、真空排気封止部品と封止部品を接合溶接して気密性をより向上させることが可能である。

（ａ）真空形成体と真空排気封止装置の断面図で、真空排気時を示す図であり、（ｂ）ａ図のＡＡ’視図である。（ａ）真空形成体と真空排気封止装置の断面図で、真空封止時を示す図であり、（ｂ）ａ図のＢＢ’断面図である。

符号の説明

１真空部
２真空形成体
３真空排気封止部品
４真空封止ガスケット
５排気孔
６雌ねじ
７排気パイプ
８封止部品
９雄ねじ
１０真空排気封止操作棒
１１右方Ｏリング
１２右方Ｏリング座金
１３右方Ｏリング締め付けナット
１４排気筒
１５左方Ｏリング
１６左方Ｏリング座金
１７左方Ｏリング締め付けナット
１８ハンドルピン
１９真空ポンプ接続パイプ
２０封止後分離位置

Claims

金属製等のパイプ状またはパネル状等の真空断熱体等、および真空容器状等、すなわち、真空形成体において、真空形成体に固着して真空排気封止に用いる部品、すなわち、真空排気封止部品と、該部品内に装着して真空封止材となるガスケット等と、真空封止に用いる封止部品、および、真空排気封止部品と真空ポンプを接続して真空排気と真空封止に用いる用具、すなわち、真空排気封止用具との４要素により構成し真空排気封止を良好にし、かつ正確に行うことを特徴とする真空排気封止装置。