CN210687109U - 一种一拖二真空设备用三向真空阀门 - Google Patents
一种一拖二真空设备用三向真空阀门 Download PDFInfo
- Publication number
- CN210687109U CN210687109U CN201920413881.8U CN201920413881U CN210687109U CN 210687109 U CN210687109 U CN 210687109U CN 201920413881 U CN201920413881 U CN 201920413881U CN 210687109 U CN210687109 U CN 210687109U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- vacuum
- valve
- cylinder
- equipment
- valve plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- KVNRLNFWIYMESJ-UHFFFAOYSA-N butyronitrile Chemical compound CCCC#N KVNRLNFWIYMESJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001291 vacuum drying Methods 0.000 description 1
- 238000009461 vacuum packaging Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Valve Housings (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种一拖二真空设备用三向真空阀门,能够方便的分别控制两个管路的连通和关闭。为了达成上述目的,本实用新型采用了如下技术方案,一拖二真空设备用三向真空阀门由气缸、阀板、阀体、接管等部分组成,所述的一个接管连接真空泵,另外两个接管连接两台真空应用设备。本真空阀门采用丁腈胶圈密封,漏气率小于1.3×10‑6Pa·L/s,适用范围1×10‑ 5Pa~1×105Pa。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空设备,具体涉及的是一套真空泵同时连接两台真空设备,即“一拖二”真空设备用的三向真空阀门。
背景技术
真空在工业上的工作应用很广泛,如真空镀膜、真空热处理、真空干燥、真空包装、真空吸盘、真空绝热板、真空玻璃、真空压缩袋、真空断路器、真空管等等。
在实际应用中常常需要在一套真空泵后面连接两台或两台以上的真空设备,在一些应用场合就需要设计一种三向真空阀门可以分别控制两个管路的连通和关闭。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种一拖二真空设备用三向真空阀门,能够方便的分别控制两个管路的连通和关闭。
为了达成上述目的,本实用新型采用了如下技术方案,一拖二真空设备用三向真空阀门由气缸、阀板、阀体、设备接管和真空接口等部分组成,所述三向真空阀门分为上下两个阀体,所述的每个阀体内都有相应的气缸控制阀板开合,所述的上下两个阀体分别通过左右两个设备接管与左右两台需要抽真空的设备连接,所述的一个真空接口连接真空泵。
所述的气缸提供动力,控制阀板的开启和关闭,可以分别或同时对两侧的设备抽真空。
本真空阀门采用丁腈胶圈密封(漏气率小于1.3×10-6Pa·L/s,适用范围1×10- 5Pa~1×105Pa),这是本发明采用的一个特例,如果也可采用聚四氟、三元乙丙等材质的胶圈密封。
附图说明
图1为本实用新型一种一拖二真空设备用三向真空阀门的结构示意图。
图中:1-左设备接管;2-上阀体;3-上气缸;4-上阀板;5-下阀体;6-下气缸;7-下阀板;8-右设备接管;9-真空接口。
具体实施方式
有关本实用新型的详细说明及技术内容,配合附图说明如下,然而附图仅提供参考与说明之用,并非用来对本实用新型加以限制。
参考图1所示,一种一拖二真空设备用三向真空阀门,包括上阀体、上气缸、上阀板,下阀体、下气缸、下阀板,左设备接管、右设备接管、真空接口。所述的真空接口9与真空泵即真空获得设备连接。所述的上阀体2通过左设备接管1与左侧的真空应用设备连接,所述的下阀体5通过右设备接管8与右侧的真空设备连接。所述的上气缸3通过气缸的缸杆与上阀板4连接,所述的下气缸6通过缸杆与下阀板7连接。
其工作过程:一、在真空获得设备开启后,通过上气缸3向上拉起上阀板4,此时可以单独对左侧的设备抽真空;二、通过下气缸6向左拉起下阀板7,此时可以单独对右侧的设备抽真空。三、同时启动上气缸3和下气缸6,可以同时对左右两侧的设备抽真空。
以上所述上下阀门的组合仅为本实用新型的较佳实施例,非用以限定本实用新型的专利范围,其他运用本实用新型的专利精神的等效变化,均应俱属本使用新型的专利范围。
Claims (2)
1.一种一拖二真空设备用三向真空阀门,其特征在于,由接管1、阀体1、气缸1、阀板1、阀体2、气缸2、阀板2、接管2、接管3组成,所述的阀体1通过接管1与左侧的真空设备连接,所述的阀体2通过接管2与右侧的真空设备连接,所述的气缸1通过气缸的杠杆与阀板1连接,所述的气缸2通过杠杆与阀板2连接,因此通过操作气缸分别对两侧真空设备抽真空。
2.根据权利要求1所述的一种一拖二真空设备用三向真空阀门,其特征在于,所述的接管3与真空系统即真空获得设备连接。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201920413881.8U CN210687109U (zh) | 2019-03-29 | 2019-03-29 | 一种一拖二真空设备用三向真空阀门 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201920413881.8U CN210687109U (zh) | 2019-03-29 | 2019-03-29 | 一种一拖二真空设备用三向真空阀门 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN210687109U true CN210687109U (zh) | 2020-06-05 |
Family
ID=70900380
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201920413881.8U Expired - Fee Related CN210687109U (zh) | 2019-03-29 | 2019-03-29 | 一种一拖二真空设备用三向真空阀门 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN210687109U (zh) |
-
2019
- 2019-03-29 CN CN201920413881.8U patent/CN210687109U/zh not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN210687109U (zh) | 一种一拖二真空设备用三向真空阀门 | |
CN210372523U (zh) | 一种管道封堵装置 | |
CN103644558B (zh) | 一种led洗墙灯密封装置 | |
CN203770832U (zh) | 一种超真空阀门装置 | |
CN207502129U (zh) | 一种阀门密闭性检测装置 | |
CN203376114U (zh) | 一种用于气密检漏仪的内置正负压气源 | |
CN204175999U (zh) | 一种真空隔离阀 | |
CN203609380U (zh) | 真空泵与吸盘之间的管路连接系统 | |
CN205858125U (zh) | 用于隔离器密封门密封的气密封装置 | |
CN200940713Y (zh) | 双通高真空阀门装置 | |
CN102444634A (zh) | 用于工件夹持的气动控制系统 | |
CN205022013U (zh) | 一种复合材料零件成型模具导气结构 | |
CN205374017U (zh) | 阀门水压试验系统 | |
CN205021882U (zh) | 一种真空双向阀管材成型装置的改进结构 | |
CN211288791U (zh) | 一种自动化生产用大流量真空通断快速切换装置 | |
CN102773910B (zh) | 一种真空外载荷绝热板的制造方法 | |
CN204692593U (zh) | 一种抽空阀 | |
CN105697904A (zh) | 一种压缩空气铝合金管路的密封连接装置 | |
CN220972132U (zh) | 一种密封性好的真空吸附装置 | |
CN205069609U (zh) | 一种手动晶圆转贴装置 | |
CN209935027U (zh) | 一种喷涂机械臂喷控内压防爆系统 | |
CN212960318U (zh) | 一种自动化车间的真空容器的管道连接头 | |
CN211651976U (zh) | 一种TFT设备Anode Bar装置部件检漏治具 | |
JP2007105710A (ja) | 真空排気封止装置 | |
CN211535746U (zh) | 一种高温灭菌柜的门槽密封系统 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20200605 |