JPH01312271A - 大型真空容器の真空シール構造 - Google Patents
大型真空容器の真空シール構造Info
- Publication number
- JPH01312271A JPH01312271A JP14372788A JP14372788A JPH01312271A JP H01312271 A JPH01312271 A JP H01312271A JP 14372788 A JP14372788 A JP 14372788A JP 14372788 A JP14372788 A JP 14372788A JP H01312271 A JPH01312271 A JP H01312271A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flange
- vacuum
- sealing material
- cover
- seal structure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000012856 packing Methods 0.000 abstract description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Gasket Seals (AREA)
- Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は真空容器に係り、特に高真空の大型真空容器の
真空シール構造に関するものである。
真空シール構造に関するものである。
従来は、０リング等のパツキンをフランジ面間にはさみ
込み、それ４締めることによって真空シール構造として
の性能を発揮するが、フランジが大型になると、フラン
ジ自身が自重でたわみ、また変形も大きく出てしまう。
込み、それ４締めることによって真空シール構造として
の性能を発揮するが、フランジが大型になると、フラン
ジ自身が自重でたわみ、また変形も大きく出てしまう。
真空シール構造としてはＪＩ８規格のＢ２２９０におい
て論じられている。
て論じられている。
従来の大型真空容器は、上記のように０リングのみを用
いて真空シールする構造となっていた。
いて真空シールする構造となっていた。
上記従来技術は、フランジが大型になったときの初期の
フランジを密着させることに対しての配慮がされておら
ず、大型フランジの場合のフランジ自身によるたわみ、
変形等により、７ランジ部の密着が困難になるという課
題があフた。
フランジを密着させることに対しての配慮がされておら
ず、大型フランジの場合のフランジ自身によるたわみ、
変形等により、７ランジ部の密着が困難になるという課
題があフた。
本発明の目的は、大型真空容器のフランジ部を容易に密
着できる大型真空容器の真空シール構造を提供すること
にある。
着できる大型真空容器の真空シール構造を提供すること
にある。
上記目的は、０リング等のパツキンの外周又は内周に、
柔軟性のあるシール材を設け、０リング等が密着できな
くても、外周に設けたシール材が、フランジ部になじん
で密着することにより、容器内を仮に真空引きすること
により、外圧によって洩 核力にフランジ部が密着する。すなわち、このときの仮
の真空引きを行なうときのシールが不完全でもシールが
ある程度できていれば、目的が達成される。
柔軟性のあるシール材を設け、０リング等が密着できな
くても、外周に設けたシール材が、フランジ部になじん
で密着することにより、容器内を仮に真空引きすること
により、外圧によって洩 核力にフランジ部が密着する。すなわち、このときの仮
の真空引きを行なうときのシールが不完全でもシールが
ある程度できていれば、目的が達成される。
ここで、真空容器内の圧力をＰ、内径なりとし、また、
フランジ面間に設けたシール材の必要締付力Ｗは、シー
ル材中Ｂ、シール材必要面圧Ｐ８゜シール材長Ｄ８とす
れば Ｗ−＝ａπＤｓＰ、９ となる。
フランジ面間に設けたシール材の必要締付力Ｗは、シー
ル材中Ｂ、シール材必要面圧Ｐ８゜シール材長Ｄ８とす
れば Ｗ−＝ａπＤｓＰ、９ となる。
ここでシール材が有効に作用するためにはＷくＦ であ
る必要がある。従って、Ｐｓは極力小さいものを使用す
べきである。
る必要がある。従って、Ｐｓは極力小さいものを使用す
べきである。
０リング等の外側に設けたシール材により、大型真空フ
ランジ部のシール面のたわみに、シール材が密着し、容
器内を仮に真空引きすることにより、フランジ面が密着
する。従って、容δに大型真空フランジ部を密着させる
ことができる。
ランジ部のシール面のたわみに、シール材が密着し、容
器内を仮に真空引きすることにより、フランジ面が密着
する。従って、容δに大型真空フランジ部を密着させる
ことができる。
この場合、真空による吸引力と真空フランジのボルト締
付けを併用することもできる。
付けを併用することもできる。
以下、本発明の一実施例を第１図〜第６図により説明す
る。
る。
図において、！］’！１図は１本発明を適用した大型の
真空容器を示す。真空容器ｌにカバー２が固定され容器
内が真空に保持されるものである。第１図のフランジ部
の詳細を第２図に示す。真空容器１側に本体フランジ３
を設け、カバー２側にカバー７ランジ４を設けている。
真空容器を示す。真空容器ｌにカバー２が固定され容器
内が真空に保持されるものである。第１図のフランジ部
の詳細を第２図に示す。真空容器１側に本体フランジ３
を設け、カバー２側にカバー７ランジ４を設けている。
本体７ランジ３とカバーフランジ４との間に、真空シー
ル用の０リング６が設けられ、二〇〇リング６を、本体
７ランジ３とカバーフランジ４との間で密着させて使用
するものである。ここで、小径の容器であれば、ボルト
７で０リング６を密着させることができるが、大径の容
器になると本体７ランジ３や、カバーフランジ４のパツ
キン面が自重等により変形を起こしたり、大径が故にｆ
Ｌ量が重く、取扱いが非常に雌しく、パブキン面にすき
まがおいてしまう。
ル用の０リング６が設けられ、二〇〇リング６を、本体
７ランジ３とカバーフランジ４との間で密着させて使用
するものである。ここで、小径の容器であれば、ボルト
７で０リング６を密着させることができるが、大径の容
器になると本体７ランジ３や、カバーフランジ４のパツ
キン面が自重等により変形を起こしたり、大径が故にｆ
Ｌ量が重く、取扱いが非常に雌しく、パブキン面にすき
まがおいてしまう。
その状態を示したのが第３図である、この状態で、すき
まを締めるためにボルト７で締めつけるには、大変難し
いことになる。ここで、この課題を解決するために、柔
軟性のあるパツキン５を設けると、二の箇所で本体フラ
ンジ３とカバーフランジ４間とを仮にシールすることが
できるようになる。従って、この状態で１缶内側を徐々
に真空引きしていくと、パツキン５の部分から空気が缶
内にもれながらも、缶内な真空にしてい鳴ために、外圧
により徐々にカバ−２全体が本体フランジ３側へ密着す
るように動いていく。最後にはパツキン５を押しつぶし
て、本来の真空シール用の０リング６を密着することに
なる。その状態が第２図である。
まを締めるためにボルト７で締めつけるには、大変難し
いことになる。ここで、この課題を解決するために、柔
軟性のあるパツキン５を設けると、二の箇所で本体フラ
ンジ３とカバーフランジ４間とを仮にシールすることが
できるようになる。従って、この状態で１缶内側を徐々
に真空引きしていくと、パツキン５の部分から空気が缶
内にもれながらも、缶内な真空にしてい鳴ために、外圧
により徐々にカバ−２全体が本体フランジ３側へ密着す
るように動いていく。最後にはパツキン５を押しつぶし
て、本来の真空シール用の０リング６を密着することに
なる。その状態が第２図である。
このようにして、大型真空容器でも、非常に安全且つ、
確実にフランジ部が密着でき、真空保持が可納になる。
確実にフランジ部が密着でき、真空保持が可納になる。
第４因は本発明の他の実施例を示すもので、第３図のパ
ブキン５の代りに、シール８をフランジ部の外周に設け
たものである。
ブキン５の代りに、シール８をフランジ部の外周に設け
たものである。
第５図も本発明の他の実施例を示すもので、第３図のパ
ツキン５の代りにチューブ９を設けたものである。これ
は、缶内な真空に引くと、チューブ９は徐々に圧縮され
るが、圧縮されるに従つてチューブ内の空気を適度に抜
いてやるとチューブの圧縮に対する反立が弱まり、カバ
ー２が徐々に本体７ランジ３側に動いていくようにした
ものである。
ツキン５の代りにチューブ９を設けたものである。これ
は、缶内な真空に引くと、チューブ９は徐々に圧縮され
るが、圧縮されるに従つてチューブ内の空気を適度に抜
いてやるとチューブの圧縮に対する反立が弱まり、カバ
ー２が徐々に本体７ランジ３側に動いていくようにした
ものである。
第６図は、第４図のシール８を、フランジ部の外周でな
（、缶内側へ設けたものである。
（、缶内側へ設けたものである。
本実施例によれば、大型真空容器において、フランジ部
が自重等で変形やたわみを生じていても、フランジ部が
密着できるので、ボルト等を多数段め けて締み付ける必要がなく、安全かつ確実にフランジ部
が容易に密着できる。さらに、フランジ部を剛体に形成
する必要がないために、より安価に真空シール構造を構
成できる効果がある。
が自重等で変形やたわみを生じていても、フランジ部が
密着できるので、ボルト等を多数段め けて締み付ける必要がなく、安全かつ確実にフランジ部
が容易に密着できる。さらに、フランジ部を剛体に形成
する必要がないために、より安価に真空シール構造を構
成できる効果がある。
本発明によれば、大型真空容器において、フランジ部が
、自重等で変形やたわみを生じていても、安全かつ確実
にフランジ部が容易に密着できる大型真空容器の真空シ
ール構造が形成できる効果がある。
、自重等で変形やたわみを生じていても、安全かつ確実
にフランジ部が容易に密着できる大型真空容器の真空シ
ール構造が形成できる効果がある。
第１図は本発明の一実施例の大型真空容器の正面図、第
２図は第１図のフランジ部の詳細図、第３図は第２図の
フランジ締結ｎσのフランジ部の詳細図、第４図は本発
明の他の実施例のフランジ部の詳細図、第５図は同じ曵
他の実施例のフランジ部の詳細図、第６図は同じく他の
実施例のフランジ部の詳細図である。 ｌ・・・・・・真空容器、２・・・・・・カバー、３・
・−・・本体フランジ、４・・・・・・カバーフランジ
、５・・・・・・パツキン、６・・・・・・０リング、
７・・・・・・ボルト、８・・曲シール、９・・・・・
・チューブ 代理人 弁理士 小 川 勝 男 １． 、、、、
、’１ｆ−−−−ｔへ、Ａン
２図は第１図のフランジ部の詳細図、第３図は第２図の
フランジ締結ｎσのフランジ部の詳細図、第４図は本発
明の他の実施例のフランジ部の詳細図、第５図は同じ曵
他の実施例のフランジ部の詳細図、第６図は同じく他の
実施例のフランジ部の詳細図である。 ｌ・・・・・・真空容器、２・・・・・・カバー、３・
・−・・本体フランジ、４・・・・・・カバーフランジ
、５・・・・・・パツキン、６・・・・・・０リング、
７・・・・・・ボルト、８・・曲シール、９・・・・・
・チューブ 代理人 弁理士 小 川 勝 男 １． 、、、、
、’１ｆ−−−−ｔへ、Ａン
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、相対するフランジ面間にＯリング等のシール部材を
設けて成る大型真空容器の真空シール構造において、 前記フランジ間に前記シール部材の他に柔軟性のあるシ
ール材を設け、該柔軟性のあるシール材がフランジ部の
変形や傾きに対して追従し、かつ、真空引きによりフラ
ンジ間に密着するように構成したことを特徴とする大型
真空容器の真空シール構造。 ２、相対するフランジ面間にＯリング等のシール部材を
設けて成る大型真空容器の真空シール構造において、 前記フランジ面間に前記シール部材の他に柔軟性のある
シール材を備え、該柔軟性のあるシール材がフランジ部
の変形や傾きに対して追従し、かつ真空引きによりフラ
ンジ面間に密着し、前記Ｏリング等のシール部で真空シ
ールさせるように構成したことを特徴とする大型真空容
器の真空シール構造。 ３、相対するフランジ面間にＯリング等のシール部材を
設けて成る大型真空容器の真空シール構造において、 前記フランジ面間に前記シール部材と柔軟性のあるシー
ル材を設け、該柔軟性のあるシール材を用いて真空引き
により、前記フランジ面を密着締結し、前記シール部材
で真空シールさせるように構成したことを特徴とする大
型真空容器の真空シール構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14372788A JPH01312271A (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | 大型真空容器の真空シール構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14372788A JPH01312271A (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | 大型真空容器の真空シール構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01312271A true JPH01312271A (ja) | 1989-12-18 |
Family
ID=15345597
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14372788A Pending JPH01312271A (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | 大型真空容器の真空シール構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01312271A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04138311U (ja) * | 1991-06-20 | 1992-12-25 | 株式会社光彩工芸 | 装身具用止金具 |
| JPH0643418U (ja) * | 1992-11-18 | 1994-06-10 | 矢崎総業株式会社 | パッキンのシール構造 |
| WO2010089986A1 (ja) * | 2009-02-06 | 2010-08-12 | 株式会社アルバック | チャンバ及びその製造方法 |
-
1988
- 1988-06-13 JP JP14372788A patent/JPH01312271A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04138311U (ja) * | 1991-06-20 | 1992-12-25 | 株式会社光彩工芸 | 装身具用止金具 |
| JPH0643418U (ja) * | 1992-11-18 | 1994-06-10 | 矢崎総業株式会社 | パッキンのシール構造 |
| WO2010089986A1 (ja) * | 2009-02-06 | 2010-08-12 | 株式会社アルバック | チャンバ及びその製造方法 |
| JP5158994B2 (ja) * | 2009-02-06 | 2013-03-06 | 株式会社アルバック | チャンバ |
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