KR20170098700A - 펠리클 수납 용기 - Google Patents
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- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims abstract description 22
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 53
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 claims description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 9
- 239000010408 film Substances 0.000 description 17
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 14
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 14
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 11
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 10
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 8
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 5
- 229920000122 acrylonitrile butadiene styrene Polymers 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 4
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 4
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 4
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 4
- RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,4,6,6-hexaphenoxy-1,3,5-triaza-2$l^{5},4$l^{5},6$l^{5}-triphosphacyclohexa-1,3,5-triene Chemical compound N=1P(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP=1(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 3
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000181 Ethylene propylene rubber Polymers 0.000 description 2
- 229920000459 Nitrile rubber Polymers 0.000 description 2
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 2
- 229920006311 Urethane elastomer Polymers 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N olefin Natural products CCCCCCCC=C JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 229920001084 poly(chloroprene) Polymers 0.000 description 2
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 2
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 2
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 2
- 229920002725 thermoplastic elastomer Polymers 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910000975 Carbon steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000861 Mg alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000020 Nitrocellulose Substances 0.000 description 1
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002216 antistatic agent Substances 0.000 description 1
- JUPQTSLXMOCDHR-UHFFFAOYSA-N benzene-1,4-diol;bis(4-fluorophenyl)methanone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1.C1=CC(F)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(F)C=C1 JUPQTSLXMOCDHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010962 carbon steel Substances 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 229920002301 cellulose acetate Polymers 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 1
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229920006351 engineering plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 229920001973 fluoroelastomer Polymers 0.000 description 1
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 229910001234 light alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 229920001220 nitrocellulos Polymers 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000012779 reinforcing material Substances 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000001721 transfer moulding Methods 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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Abstract
[과제] 본 발명의 목적은 세퍼레이터가 없는 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기로서, 그 경시 변화나 제조 기인에 의한 치수 오차의 영향이 작아 그 관리·운용이 용이한 펠리클 수납 용기를 제공하는 것이다.
[해결 수단] 본 발명은 펠리클 수납 용기 본체와 펠리클 수납 용기 본체에 감합해서 밀폐하는 덮개체로 구성되고, 세퍼레이터가 없는 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기로서, 펠리클 수납 용기 본체 상에는 마스크 점착층 도포 영역 및 미도포 영역을 갖는 펠리클 프레임을 지지하는 펠리클 프레임 지지 수단과 고정구 유지 수단이 설치되고, 펠리클 프레임 지지 수단은 펠리클 프레임의 마스크 점착층 미도포 영역을 지지함과 아울러, 고정구 유지 수단은 펠리클 프레임의 외측면에 형성된 홈에 삽입되는 판 형상의 프레임 고정구를 유지하는 것을 특징으로 하는 것이다.
[해결 수단] 본 발명은 펠리클 수납 용기 본체와 펠리클 수납 용기 본체에 감합해서 밀폐하는 덮개체로 구성되고, 세퍼레이터가 없는 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기로서, 펠리클 수납 용기 본체 상에는 마스크 점착층 도포 영역 및 미도포 영역을 갖는 펠리클 프레임을 지지하는 펠리클 프레임 지지 수단과 고정구 유지 수단이 설치되고, 펠리클 프레임 지지 수단은 펠리클 프레임의 마스크 점착층 미도포 영역을 지지함과 아울러, 고정구 유지 수단은 펠리클 프레임의 외측면에 형성된 홈에 삽입되는 판 형상의 프레임 고정구를 유지하는 것을 특징으로 하는 것이다.
Description
본 발명은 반도체 디바이스, 프린트 기판, 액정 디스플레이 또는 유기 EL 디스플레이 등을 제조할 때의 먼지막이로서 사용되는 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기에 관한 것이다.
LSI, 초 LSI 등의 반도체 제조 또는 액정 디스플레이 등의 제조에 있어서는 반도체 웨이퍼 또는 액정용 원판에 광을 조사해서 패턴을 제작하지만, 이때에 사용하는 포토마스크 또는 레티클(이하, 단지 「포토마스크」라고 기술함)에 먼지가 부착되어 있으면, 이 먼지가 광을 흡수하거나 광을 왜곡해버리기 때문에 전사된 패턴이 변형되거나, 에지가 매끄럽지 못한 것으로 되는 것 이외에 하지(下地)가 검게 오염되거나 하는 등, 치수, 품질, 외관 등이 손상된다고 하는 문제가 있었다.
이 때문에, 이들 작업은 통상 클린룸에서 행하여지고 있지만, 그럼에도 포토마스크를 항상 청정하게 유지하는 것이 어려우므로 포토마스크 표면에 먼지막이로서 펠리클을 부착한 후에 노광을 행하고 있다. 이 경우, 이물은 포토마스크의 표면에는 직접 부착되지 않고 펠리클 상에 부착되기 때문에, 리소그래피시에 초점을 포토마스크의 패턴 상에 맞춰 두면, 펠리클 상의 이물은 전사에 무관계하게 된다.
이와 같은 펠리클은 일반적으로 광을 잘 투과시키는 니트로셀룰로오스, 아세트산 셀룰로오스 또는 불소 수지 등으로 이루어지는 투명한 펠리클막을, 알루미늄, 철강, 스테인리스강, 엔지니어링 플라스틱 등으로 이루어지는 펠리클 프레임의 상단면에 부착 또는 접착해서 구성되어 있다. 또한, 펠리클 프레임의 하단에는 포토마스크에 장착하기 위한 폴리브덴 수지, 폴리아세트산 비닐 수지, 아크릴 수지, 실리콘 수지 등으로 이루어지는 점착층 및 점착층의 보호를 목적으로 한 이형층(세퍼레이터)이 형성되어 있다.
이 세퍼레이터는 통상, PET 수지 등의 100~200㎛ 정도의 얇은 필름 상에 이형제를 도포하여 소망의 형상으로 절단 가공해서 사용되고 있지만, 그 필름의 얇음에 추가하여 그 형상이 프레임의 외형과 거의 같은 프레임상의 형상을 하고 있기 때문에, 끈과 같이 되어서 청정하게 세정하는 것이 곤란하다고 하는 문제가 있다. 또한, 마스크 점착층으로의 부착 등의 작업 상에 있어서도 그 취급이 매우 불편하다고 하는 문제도 있다. 또한, 펠리클을 용기로부터 자동 장치에 의해 인출할 때에는 세퍼레이터를 박리하는 공정이 필요하지만, 세퍼레이터가 얇은 필름상이기 때문에 그 형상이나 거동이 불안정해서 자동 장치로 취급하기에는 알맞지 않다고 하는 문제도 있다.
이와 같은 문제가 있는 세퍼레이터는 점착제를 보호할 뿐인 것이고, 펠리클 사용시에는 이것을 박리해서 폐기되는 류의 것이기 때문에, 세퍼레이터 자체를 사용하지 않으면 이와 같은 문제는 발생하지 않게 된다.
그래서, 본 발명자들은 종래부터 세퍼레이터를 사용하지 않는 펠리클 및 이 펠리클을 수납하는 수납 용기를 제안해 왔다(예를 들면, 특허문헌 1, 2 참조). 이들 특허문헌 1, 2에 기재된 펠리클 수납 용기는 펠리클 프레임의 외측에 마스크 점착층이 도포되지 않은 미도포 영역을 형성하고, 그 미도포 영역을 펠리클 수납 용기 본체 상에 설치한 펠리클 프레임 지지 수단에 의해 지지함과 아울러, 펠리클 프레임의 외측면에 형성한 비관통 구멍에 핀을 삽입함으로써 펠리클을 고정한다고 하는 것이다(후술하는 비교예를 참조). 그리고, 이들 펠리클 수납 용기에 수납하는 펠리클에는 세퍼레이터가 사용되고 있지 않기 때문에, 세퍼레이터의 박리가 불필요하여 세퍼레이터 박리시에 펠리클막에 접촉할 염려도 없고, 자동 장치에 의해 펠리클을 인출하는 것이 용이하다고 하는 많은 이점이 있다.
그러나, 이와 같은 펠리클 수납 용기라도, 그 관리·운용의 면에서 약간의 문제가 있는 것이 명확해졌다. 즉, 예를 들면 특허문헌 1의 펠리클 수납 용기에서는, 펠리클은 그 수직 방향이 펠리클 프레임 지지 수단에 의해 지지되고, 그 수평 방향이 프레임 외측면의 구멍에 삽입된 핀에 의해 규제되어서 펠리클 수납 용기 상에 고정되어 있기 때문에, 핀과 프레임 외측면의 구멍이 정확하게 대향하고 있지 않거나 핀의 축 방향의 거리가 설계대로 되어 있지 않으면, 핀을 구멍에 삽입할 수 없어 펠리클을 확실히 고정할 수 없다고 하는 문제가 있다.
또한, 대형의 펠리클 수납 용기의 경우에는 펠리클 수납 용기 전체의 제조 오차가 크고, 그것이 수지제인 경우에는 온도 변화나 흡습에 의한 치수 변동도 발생하기 때문에, 핀의 부착 위치를 엄밀하게 관리하는 것이 곤란하다고 하는 문제가 있다. 그 때문에, 용기 제작 후의 보관 중에 핀의 위치의 재조정이 필요해지거나, 펠리클의 수납 후의 치수 변동에 의해 핀과 펠리클 프레임 사이에 물림이 발생하여 발진(發塵)한다고 하는 문제도 발생하게 된다.
본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 그 목적은 세퍼레이터가 없는 펠리클의 수납 용기로서 그 경시 변화나 제조 기인에 의한 치수 오차의 영향이 작고, 그 관리·운용이 용이한 펠리클 수납 용기를 제공하는 것이다.
본 발명은 펠리클 수납 용기 본체와 펠리클 수납 용기 본체에 감합해서 밀폐하는 덮개체로 구성되고, 세퍼레이터가 없는 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기로서, 펠리클 수납 용기 본체 상에는 마스크 점착층 도포 영역 및 미도포 영역을 갖는 펠리클 프레임을 지지하는 펠리클 프레임 지지 수단과 고정구 유지 수단이 설치되고, 펠리클 프레임 지지 수단은 펠리클 프레임의 마스크 점착층 미도포 영역을 지지함과 아울러, 고정구 유지 수단은 펠리클 프레임의 외측면에 형성된 홈에 삽입되는 판 형상의 프레임 고정구를 유지하는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명은 그 고정구 유지 수단이 프레임 고정구와 감합하는 홈 또는 구멍을 갖고, 프레임 고정구를 대략 수평 방향으로 이동 가능하게 유지하고 있는 것을 특징으로 하는 것이다.
그리고, 본 발명의 프레임 고정구는 그 일부가 덮개체에 의해 상방향으로부터 압박되어 그 위치가 고정되는 것이 바람직하고, 그 일부가 덮개체의 내측에 부착된 탄성체에 의해 상방향으로부터 압박되어 그 위치가 고정되어 있어도 좋고, 점착 테이프로 부착되어서 고정되어 있어도 좋다.
또한, 본 발명의 프레임 고정구는 그 후단이 덮개체의 내면에 접촉하여 수평 방향으로의 이동이 규제되거나, 또는 그 후단이 덮개체의 내면에 부착된 탄성체에 접촉하여 수평 방향으로의 이동이 규제되는 것이 바람직하다.
(발명의 효과)
본 발명에 의하면, 펠리클 프레임의 외측면에 형성된 홈에 판 형상의 프레임 고정구를 삽입해서 펠리클을 고정하는 것 외에, 덮개체의 내면 또는 내면에 부착한 탄성체에 의해 프레임 고정구를 압박해서 고정하므로 치수 오차에 대한 허용 범위가 크고, 따라서 용기의 경시 변화나 제조 기인에 의한 치수 오차의 영향을 받기 어려워, 관리·운용이 용이하다고 하는 메리트가 있다.
도 1은 본 발명의 펠리클 수납 용기의 일실시형태를 나타내는 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일실시형태를 나타내는 도 1의 A-A 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일실시형태를 나타내는 도 1의 B-B 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일실시형태를 나타내는 도 2의 C부 확대도이다.
도 5는 본 발명의 일실시형태를 나타내는 도 3의 D부 확대도이다.
도 6은 본 발명의 펠리클 수납 용기 전체를 나타내는 사시도이다.
도 7은 프레임 고정구를 고정구 유지 수단의 홈에 삽입해서 유지하는 상태를 나타내는 사시도이다.
도 8은 프레임 고정구를 고정구 유지 수단의 각구멍에 삽입해서 유지하는 상태를 나타내는 사시도이다.
도 9는 프레임 고정구를 고정구 유지 수단에 점착 테이프에 의해 유지하는 상태를 나타내는 사시도이다.
도 10은 프레임 고정구를 덮개체 내부의 탄성체로 압박해서 고정하는 상태를 나타내는 단면도이다.
도 11은 비교예의 핀을 사용한 펠리클 수납 용기의 평면도이다.
도 12는 비교예의 핀을 핀 유지 수단에 의해 유지하는 상태를 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일실시형태를 나타내는 도 1의 A-A 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일실시형태를 나타내는 도 1의 B-B 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일실시형태를 나타내는 도 2의 C부 확대도이다.
도 5는 본 발명의 일실시형태를 나타내는 도 3의 D부 확대도이다.
도 6은 본 발명의 펠리클 수납 용기 전체를 나타내는 사시도이다.
도 7은 프레임 고정구를 고정구 유지 수단의 홈에 삽입해서 유지하는 상태를 나타내는 사시도이다.
도 8은 프레임 고정구를 고정구 유지 수단의 각구멍에 삽입해서 유지하는 상태를 나타내는 사시도이다.
도 9는 프레임 고정구를 고정구 유지 수단에 점착 테이프에 의해 유지하는 상태를 나타내는 사시도이다.
도 10은 프레임 고정구를 덮개체 내부의 탄성체로 압박해서 고정하는 상태를 나타내는 단면도이다.
도 11은 비교예의 핀을 사용한 펠리클 수납 용기의 평면도이다.
도 12는 비교예의 핀을 핀 유지 수단에 의해 유지하는 상태를 나타내는 사시도이다.
이하, 본 발명의 일실시형태를 도면에 의거하여 상세하게 설명하지만, 본 발명은 이것에 조금도 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명은 변 길이가 500㎜를 초과하는 대형 펠리클에 적용했을 때에 특히 효과가 크지만, 펠리클의 크기나 용도로 한정되는 것은 아니다.
도 1~도 10은 본 발명의 일실시형태를 나타내는 것이다. 도 1에서는 설명을 위해서 펠리클 수납 용기 본체(11)와 둘레 가장자리부에서 감합 록킹하는 덮개체(12)는 생략되어 있다. 본 발명의 펠리클 수납 용기 본체(11) 상에는 도 1에 나타내는 바와 같이, 펠리클 프레임 지지 수단(13), 프레임 고정구(14), 고정구 유지 수단(15)이 설치되어 있다. 한편, 수납되는 펠리클(20)에는 도 4에 나타내는 바와 같이, 펠리클 프레임(21)의 프레임 형상을 이루는 하면 내주를 따라 마스크 점착층(22)이 형성되어 있고, 외주부에는 마스크 점착층 미도포 영역(23)이 있다. 그리고, 그 대면에는 펠리클막 접착층(24)을 통해서 펠리클막(25)이 장설(張設)되어 있다.
수납하는 펠리클(20)은 펠리클 프레임(21)의 마스크 점착층(22)이 형성되는 면의 외주에 적어도 1㎜의 폭을 갖는 마스크 점착층 미도포 영역(23)이 있으면 좋고, 이 외의 사양에 제한은 없다.
펠리클 프레임 지지 수단(13)은 펠리클 프레임(21)의 각 변에 적어도 1개소, 바람직하게는 2개소 이상 설치하는 것이 좋다. 위치나 개수는 펠리클 프레임(21)의 하방향으로의 자체 중량 휨 및 수송 중의 진동에 의한 흔들림을 고려해서 결정하면 좋다.
펠리클 프레임 지지 수단(13)은 도 4에 나타내는 바와 같이 계단상을 이루고 있고, 그 단차부(13a)에는 펠리클 프레임(21)의 마스크 점착층 미도포 영역(23)이 적재되어 있다. 이 계단 형상은 펠리클 프레임(21) 높이의 20% 이상의 높이가 있는 수직면(13b)을 갖는 것이 좋고, 그 상부는 5~45°의 각도로 외측으로 개방된 테이퍼면(13c)으로 하는 것이 좋다. 또한, 펠리클 프레임 지지 수단(13)의 최상부의 높이는 자동 장치, 또는 인출 지그에 의한 펠리클(20)의 인출 작업에 있어서, 그 장치와의 간섭을 피하기 위해서 펠리클막(25)의 면보다 낮게 되어 있는 것이 바람직하다.
이 펠리클 프레임 지지 수단(13)의 형상은 도 4에 나타내는 형상에 한정되는 것은 아니고, 펠리클 프레임(21)의 형상에 맞춰서 적당하게 변경이 가능하다. 또한, 다른 방법으로 펠리클(20)의 수평 방향으로의 이동을 규제할 수 있으면, 단차가 없는 평면 형상이라도 좋다.
펠리클 프레임 지지 수단(13)은 수지, 엘라스토머 등의 연질이고 또한 펠리클 프레임(21)과의 접촉에 있어서 발진하기 어려운 재질을 사용하는 것이 좋고, 사출 성형, 주형 성형, 광 조형 등의 일괄 성형할 수 있는 방법에 의해 제작되는 것이 바람직하다. 구체적인 재질로서는 스티렌계, 폴리에스테르계, 올레핀계, 폴리아미드계, 우레탄계 등의 열가소성 엘라스토머, 고무로서는 니트릴 고무, 불소 고무, 에틸렌프로필렌 고무, 클로로프렌 고무, 실리콘 고무 등을 들 수 있다. 이 중에서도, 스티렌계, 폴리에스테르계 엘라스토머는 표면 점착이 적어 적재된 펠리클 프레임(21)이 부착되기 어려운 이점이 있어 특히 바람직하다.
펠리클 프레임 지지 수단(13)의 크기는 펠리클 프레임(21)을 따른 길이로 10~50㎜ 정도로 하는 것이 좋고, 접착 등 공지의 방법에 의해 펠리클 수납 용기 본체(11)에 부착할 수 있다. 보다 바람직하게는, 도 4에 그 단면이 나타내어져 있는 바와 같이, 펠리클 프레임 지지 수단(13)의 하면에 암나사를 가공한 금속제 부재, 예를 들면 판 너트(17)를 인서트 성형하여 볼트(16)에 의해 펠리클 수납 용기 본체(11)의 외측으로부터 체결 고정하는 것이 좋다.
펠리클 프레임(21)의 외측면에 형성된 홈(26)에는, 도 5에 나타내는 바와 같이 판 형상을 이루는 프레임 고정구(14)가 삽입되어 있다. 이 프레임 고정구(14)는 도 7 및 도 8에 나타내는 바와 같이, 또한 펠리클 수납 용기 본체(11) 상에 설치된 고정구 유지 수단(15)의 수평 방향의 홈(15a) 또는 각구멍(15b)에 유지되어 있다. 도 7은 고정구 유지 수단(15)에 홈(15a)을 형성한 실시형태이며, 도 8은 고정구 유지 수단(15)에 각구멍(15b)을 형성한 실시형태이다. 이들 홈(15a) 또는 각구멍(15b)은 프레임 고정구(14)와 감합했을 때에, 스무스하게 빼고 꽂는 것이 가능한 공차로 하는 것이 좋다. 홈(15a) 쪽이 각구멍(15b)보다 치수 관리의 용이함, 성형성이나 세정성 등의 점에서 이점이 있다.
또한, 펠리클 고정구(14)는 그 선단이 단차(14a)를 갖는 형상으로 되어 있지만, 선단이 R 형상, 테이퍼상 또는 몇개의 조합 형상으로 되어 있어도 좋고, 기타 전체적인 형상에 대해서도 적당하게 변경을 더할 수 있다.
프레임 고정구(14) 및 고정구 유지 수단(15)은 ABS, PPS, POM, PEEK 등의 수지로 제작하는 것이 좋고, 필요에 따라서 필러 강화된 것을 사용하는 것도 좋다. 제조 방법으로서는 사출 성형, 트랜스퍼 성형 등의 용융 성형 또는 기계 절삭 가공 등을 들 수 있다.
펠리클 수납 용기 본체(11)에 부착하는 경우에는, 접착 이외에 펠리클 수납 용기 외측으로부터 볼트(도시하지 않음)로 체결하는 것이 좋다. 고정구 유지 수단(15)은 양산성, 작업성, 발진 방지의 점에서 암나사를 갖는 금속 부품을 인서트해서 사출 성형에 의해 제작하는 것이 가장 바람직하다.
프레임 고정구(14)는 도 1에 나타내는 바와 같이, 이 실시형태에서는 긴변의 모서리부 근방의 4개소에 설치되어 있지만, 이 설치 위치나 개수는 프레임의 고정하기 쉬움, 펠리클 인출 지그 또는 자동 장치와의 간섭을 고려하여, 적당하게 결정할 수 있다. 예를 들면, 짧은변의 모서리부 근방의 4개소라도 상관 없고, 또한 짧은변과 긴변 양쪽에 배치되어 있어도 좋다. 바람직한 설치 위치로서는 프레임의 강성이 높고 막 장력에 의한 프레임 휨이 작아서 치수가 안정되어 있는 프레임의 모서리 근방을 들 수 있지만, 프레임의 강성이 높으면 비교적 내측에 배치해도 문제는 없다.
펠리클(20)은 펠리클 프레임 측면의 홈(26)에 삽입된 프레임 고정구(14)가 수송 중에 빠져버리면, 펠리클 수납 용기(10) 내에서 이동하여 마스크 점착층(22)이 용기에 접착되거나, 오손 또는 파손될 우려가 있다. 그 때문에, 프레임 고정구(14)를 고정구 유지 수단(15) 상에서 확실히 고정하기 위해서, 덮개체(12)의 내면을 프레임 고정구(14)의 상면에 접촉 또는 압박시켜서 프레임 고정구(14)를 고정하는 구조로 하는 것이 좋다. 예를 들면, 도 5에 나타내는 바와 같이 덮개체(12)의 내측이 수지, 고무, 엘라스토머 등으로 이루어지는 탄성체(51)를 부착함과 아울러, 이 탄성체(51)를 통해서 프레임 고정구(14)를 압박 고정하는 것이 바람직하다. 이 실시형태에서는 탄성체(51)를 개재함으로써 보다 치수 오차의 영향을 배제할 수 있다.
탄성체(51)의 바람직한 재질로서는, 구체적으로는 스티렌계, 폴리에스테르계, 올레핀계, 폴리아미드계, 우레탄계 등의 열가소성 엘라스토머, 고무로서는 니트릴 고무, 불소 고무, 에틸렌프로필렌 고무, 클로로프렌 고무, 실리콘 고무, 우레탄 고무 등을 들 수 있다. 이 중에서도, 저경도인 것이 입수하기 쉽고, 저발진, 저발가스인 점에서 실리콘 고무, 우레탄 고무가 특히 바람직하다.
또한, 프레임 고정구(14)를 고정하기 위한 다른 실시형태로서는, 도 9에 나타내는 바와 같이 고정구 유지 수단(91)의 형상을 평면부가 있는 형상으로 하고, 프레임 고정구(14)를 점착 테이프(92)에 의해 고정구 유지 수단(91)에 부착하여 고정하는 형태도 들 수 있다. 이 실시형태에서는 점착 테이프(92)의 부착, 박리시에 작업자의 손 등으로부터 펠리클(20)에 이물이 부착될 우려는 있지만, 조작이 간편하고, 설계나 운용에 있어서 프레임 고정구(14)의 고정에 관해서 덮개체(12)와의 위치 관계를 고려하지 않아도 좋다는 이점이 있다.
또한, 다른 실시형태로서는 프레임 고정구(14)의 후단을 덮개체(12)의 내면에 접촉시켜서 수평 방향(홈으로부터 빠지는 방향)으로의 이동을 규제하는 형태도 들 수 있다. 이 실시형태에서는 도 10에 나타내는 바와 같이, 덮개체(12) 내면에 탄성체(101)를 부착해서 이것에 접촉시키는 것이 바람직하다. 이 실시형태에서는 탄성체(101)를 통해서 프레임 고정 수단(14)을 규제함으로써 각 부재의 치수 오차를 보다 흡수하기 쉬워지기 때문에, 치수 오차에 의한 문제를 해소할 수 있다.
펠리클 수납 용기 본체(11) 및 덮개체(12)는 두께 2~8㎜ 정도의 아크릴, ABS, PVC, PC 등의 수지판을 이용하여 진공 성형 또는 압공 성형에 의해 제작하는 것이 바람직하다. 한변이 200㎜ 이하의 소형인 것은 사출 성형에 의해 제작해도 좋고, 이 경우, 강성이나 평면도의 향상을 목적으로 해서 적당하게 리브 등을 설치할 수 있다.
펠리클 수납 용기 본체(11)는 부착된 이물의 시인성의 향상을 위해서 흑색인 것이 바람직하다. 덮개체(12)는 수납한 펠리클(20)을 시인하는 것이 가능하도록 투명 또는 유색 반투명인 것이 바람직하지만, 내후성 등의 이유로 때로는 흑색이라도 좋다. 또한, 펠리클 수납 용기 본체(11) 및 덮개체(12)는, 모두 수지 자체에 대전 방지 성능을 부여하거나 또는 그 표면에 대전 방지 도장을 실시하는 것도 이물의 부착 방지의 관점에서 바람직하다. 또한, 수지 자체에 난연재를 첨가하거나 또는 난연성 수지를 사용하는 등에 의해 난연성이 부여되어 있으면, 안전성의 점에서 보다 바람직하다.
펠리클 수납 용기 본체(11)는 그 변 길이가 1000㎜를 초과하는 특히 대형의 경우에는, 수지 성형품의 외측에 금속이나 섬유 강화 수지로 이루어지는 보강재를 부착하거나 또는 수납 용기 자체를 금속으로 제작하는 것이 바람직하다. 수납 용기자체를 금속으로 했을 때에 사용하는 재료로서는, 알루미늄 합금, 마그네슘 합금 등의 경합금이 바람직하지만, 스테인리스강이나 탄소강의 박판을 사용해도 좋다. 성형 방법으로서는 주조 등의 일체 성형이 바람직하지만, 프레스 성형 등에 의해 각 구성 부재를 제작한 후에, 용접이나 접착, 나사 체결 등의 방법에 의해 각 구성 부재를 접합해서 구성해도 좋다. 또한, 경량화를 위해서는 그 내부를 공동으로 해도 좋다.
또한, 펠리클 수납 용기 본체(11) 및 덮개체(12)는 모두 사용시의 편리성을 고려하여, 핸들이나 덮개체를 고정하기 위한 버클을 설치할 수 있다(도시하지 않는다). 또한, 펠리클 수납 용기 본체(11)에는 포크리프트 등에 의한 반송을 고려한 다리부 등을 설치할 수도 있다(도시하지 않는다).
[실시예]
이하, 본 발명의 실시예에 대해서 도면에 의거하여 상세하게 설명한다.
최초에, 도 1~6에 나타내는 바와 같은 펠리클 수납 용기(10)를 제작했다. 펠리클 수납 용기 본체(11)는 두께 5㎜의 흑색 난연 대전 방지 ABS 수지판을 진공 성형하여 제작했다. 한편, 펠리클 수납 용기 본체(11)와 둘레 가장자리부에서 감합하는 덮개체(12)는 두께 5㎜의 투명 폴리카보네이트 수지판을 진공 성형해서 제작한 것으로, 성형 가공 후에 그 전면에 대전 방지제(신에쓰 폴리머(주)제, 상품명 세플지다)를 도장했다. 조합시킨 후의 외측 치수는 1350x1535x120㎜이다.
펠리클 프레임 지지 수단(13)은 재질로서 폴리에스테르계 엘라스토머(도레이·듀퐁(주)제, 상품명; 하이트렐)를 사용하여 내부에 스테인리스강으로 제작한 판 너트(17)를 삽입하고, 사출 성형에 의해 제작했다. 그리고, 이와 같이 제작한 펠리클 프레임 지지 수단(13)을 펠리클 수납 용기 본체(11) 상에 배치하고, 이면으로부터 각 2개의 볼트(16)로 부착했다.
펠리클 프레임 지지 수단(13)의 부착 위치는, 도 1에 나타내는 바와 같이 긴변, 짧은변 모두 4개소이다. 이와 같은 위치는 펠리클 인출시에 펠리클을 파지하는 핸들링 지그 또는 자동 장치의 펠리클 파지 기구와 간섭하지 않도록 고려해서 결정된다.
또한, 펠리클 수납 용기 본체(11) 상에는 ABS 수지를 사출 성형해서 제작한 고정구 유지 수단(15)이 이면으로부터 볼트(도시하지 않음)로 고정되어 있다. 이 고정구 유지 수단(15)을 고정할 경우, 고정구 유지 수단(15)에 삽입되는 펠리클 고정구(14)가 펠리클 프레임(21) 외측면에 형성한 도 5에 나타내는 홈(26)에 감합되도록 그 위치의 조정을 행하였다.
그리고, 이 펠리클 수납 용기(10)를 클래스 10의 클린룸에 반입하여 계면활성제와 순수로 잘 세정하고, 완전히 건조시켰다.
이어서, 이 펠리클 수납 용기(10)를 평가하기 위해서 펠리클(20)을 제작했다. 최초에 외측 치수 1366x1136㎜, 프레임 폭 12㎜, 프레임 높이 5.8㎜의 A5052 알루미늄 합금제 프레임을 기계 절삭 가공해서 펠리클 프레임(21)을 제작했다. 또한, 이 펠리클 프레임(21)의 각 긴변에는 통기 구멍으로서 직경 1.5㎜의 관통 구멍(도시하지 않음)을 4개소 형성함과 아울러, 긴변의 모서리부 근방에는 높이 3㎜, 깊이 2.3㎜, 길이 40㎜의 홈(26)을 형성했다. 그리고, 그 표면을 Ra 0.6 정도로 샌드블라스트 처리한 후에 흑색 알루마이트 처리를 실시했다.
또한, 이 펠리클 프레임(21)의 프레임 형상을 이루는 한면에는, 톨루엔으로 희석한 실리콘 점착제(신에쓰 가가꾸 고교(주)제)를 에어 가압식 디스펜서로 도포하고, 그 내주를 따라 높이 1.2㎜, 폭 5㎜의 마스크 점착층(22)의 도포 영역을 형성했다. 그 때문에, 프레임 폭이 12㎜인 펠리클 프레임(21)에는 그 외주에 폭 7㎜의 마스크 점착층이 도포되어 있지 않은 미도포 영역(23)이 형성되어 있다.
또한, 펠리클 프레임(21)의 마스크 점착층(22)을 형성한 면의 대면에는, 톨루엔으로 희석한 실리콘 점착제(신에쓰 가가꾸 고교(주)제)를 에어 가압식 디스펜서로 도포하여 펠리클막 접착층(24)을 형성했다. 그리고, 이 펠리클막 접착층(24) 상에 펠리클막(25)으로서 불소계 수지(아사히가라스(주)제, 상품명 사이톱)로 이루어지는 두께 4.1㎛의 것을 장설함과 아울러, 각 긴변에 형성한 통기 구멍을 PTFE막으로 이루어지는 필터로 덮어서(도시하지 않음) 펠리클(20)을 완성시켰다.
이어서, 이와 같이 제작한 펠리클(20)을 암실 내에서 이물 검사 후, 세정한 펠리클 수납 용기 본체(11) 상의 펠리클 프레임 지지 수단(13) 상에 적재하고, 도 5에 나타내는 바와 같이 프레임 고정구(14)를 고정구 유지 수단(15) 상에서 슬라이드시켜서 펠리클 프레임(21)의 외측면의 홈(26)에 삽입했다. 그리고, 그 후에 덮개체(12)를 펠리클 수납 용기 본체(11)에 씌워서 밀폐함과 아울러, 그 둘레 가장자리부를 점착 테이프(도시하지 않음)로 밀봉하여 펠리클(20)을 펠리클 수납 용기(10)에 수납했다.
이 펠리클(20)의 수납시에 4개소의 프레임 고정구(14) 근방의 덮개체(12)의 내측에는, 도 5에 나타내는 바와 같이 경도 50(쇼어A)의 실리콘 고무제의 탄성체(51)를 부착해 두었다. 이 탄성체(51)는 덮개체(12)를 펠리클 수납 용기 본체(11) 상에 적재했을 때에, 프레임 고정구(14)의 상부에 접촉하여 0.2~1㎜의 변형마진으로 찌부러지도록 조정되어 있기 때문에, 프레임 고정구(14)는 이 탄성체(51)에 의해 고정구 유지 수단(15) 상에서 압박 고정되어 있는 상태로 된다.
마지막에, 본 발명의 펠리클 수납 용기(10)의 평가로서, 종래의 세퍼레이터를 사용하지 않는 펠리클(20)이 수납된 펠리클 수납 용기(10)를 작업자 2명이 약 허리 높이까지 들어 올려서 수평으로부터 대략 수직으로 기울이는 동작을 각 변(4방향)에 대해서 5회, 합계 20회 행하였다. 그 후, 클린룸 내에서 오픈하여 암실에서 펠리클(20)의 손상이나 이물의 부착 상황을 검사한 결과, 펠리클(20)은 펠리클 수납 용기 본체(11) 상에서 전혀 움직이고 있지 않고, 펠리클(20)에 부착되어 있는 이물의 증가도 전혀 보이지 않았다.
또한, 펠리클 프레임(21)에 대해서도 검사한 결과, 펠리클 프레임 지지 수단(13)에 접촉하고 있던 부분의 이물 부착이나 마찰 등의 흔적은 보이지 않고, 마스크 점착층(22)에 대해서도 접촉 흔적 등의 결함은 전혀 보이지 않았다.
이어서, 이 사용한 펠리클 수납 용기(10)를 습도 40~70%, 온도 20~30℃의 환경에서 1년간 보관하고, 1년 후에 이 펠리클 수납 용기(10)를 다시 오픈하여 같은 펠리클(20)을 1년 전의 시험과 마찬가지로 수납한 결과, 펠리클 프레임 지지 수단(13) 상에 펠리클 프레임(21)을 적재해서 홈(26)에 펠리클 고정구(14)를 삽입할 수 있었으므로, 경시적인 변화도 없고 운용상 및 관리상의 문제는 조금도 보이지 않았다.
[비교예]
비교예에서는, 최초에 실시예의 펠리클 수납 용기(10)의 프레임 고정구(14), 고정구 유지 수단(15) 대신에, 도 11의 평면도에 나타내는 바와 같은 핀(112)과 핀 유지 수단(113)으로 이루어지는 고정 수단을 사용한 펠리클 수납 용기(110)를 제작했다. 도 12는 핀(112)과 핀 유지 수단(113)을 조합시킨 상태를 나타내는 사시도이다. 도 11에서는 펠리클 수납 용기 본체의 설명을 위해서 덮개체에 대한 기재를 생략하고 있지만, 덮개체의 구조는 기본적으로 실시예와 동일하다.
비교예의 핀(112)과 핀 유지 수단(113)의 재질은 모두 ABS 수지로 하고, 사출 성형에 의해 제작했다. 핀(112)은 핀 축(112a), 돌기(112b), 한층 굵어진 조작부(112c)로 구성됨과 아울러, 핀 유지 수단(113)에 지지되어 있다. 또한, 핀(112)은 빼고 꽂는 것이 가능한 간격으로 감합함과 아울러, 선회 조작에 의해 돌기(112b)가 핀 유지 수단의 오목부(113a)에 맞물려서 삽입한 위치에서 고정되도록 되어 있다. 그리고, 핀 축(112a)의 선단에는 펠리클 프레임(121)과의 마찰에 의한 발진 방지를 목적으로, 불소 고무로 이루어지는 탄성체(114)가 부착되어 있다.
이어서, 비교예에서도 실시예와 동 치수의 펠리클 프레임(121)을 제작하고, 그 긴변 외측면에는 직경 2㎜, 깊이 2.5㎜의 비관통의 둥근 구멍(122)을 프레임 모서리부로부터 30㎜의 위치에 합계 4개소 형성했다. 그리고, 펠리클 프레임(121)을 펠리클 수납 용기 본체(111) 상의 펠리클 프레임 지지 수단(13) 상에 적재했을 때에, 핀(112)이 펠리클 프레임(121)의 외측면의 구멍(122)에 삽입될 수 있도록 핀 유지 수단(113)은 그 위치가 조정됨과 아울러, 볼트(도시하지 않음)에 의해 펠리클 수납 용기 본체(111) 상에 고정되어 있다.
그리고, 실시예와 마찬가지로 이 펠리클 수납 용기(110)를 클래스 10의 클린룸에 반입하여 계면활성제와 순수로 세정하고, 완전히 건조시켰다.
이어서, 비교예에서도 이 펠리클 수납 용기(110)를 평가하기 위해서 펠리클 프레임(121)을 사용한 점 이외에는 실시예와 완전히 같은 재료와 제작 공정으로 펠리클(120)을 제작했으므로, 비교예의 펠리클 프레임(121)에도 마스크 점착층이 도포된 영역과 그 외주에는 마스크 점착층이 도포되어 있지 않은 미도포 영역이 형성되어 있다. 따라서, 비교예의 펠리클(120)과 실시예의 펠리클(20)은 실시예의 펠리클 프레임(21)의 외측면에서는 홈(26)을 갖고 있던 것에 대해서, 펠리클 프레임(121)의 외측면에서는 비관통의 둥근 구멍(122)을 갖고 있는 점 이외에는 완전히 같은 구성이다.
이와 같은 펠리클(120)을 암실 내에서 이물 검사 후, 펠리클 수납 용기(110)내에 수납하고, 둘레 가장자리부를 점착 테이프로 밀봉하여(도시하지 않음) 펠리클 수납 용기(110)를 완성시켰다.
마지막에, 비교예의 펠리클 수납 용기(110)의 평가로서, 실시예와 마찬가지로 펠리클(120)이 수납된 펠리클 수납 용기(110)를 작업자 2명이 약 허리 높이까지 들어 올려서 수평으로부터 대략 수직으로 기울이는 동작을 각 변(4방향)에 대해서 5회, 합계 20회 행하였다. 그 후, 클린룸 내에서 오픈하여 암실에서 펠리클(120)의 손상이나 이물의 부착 상황을 검사한 결과, 펠리클(120)은 펠리클 수납 용기 본체(111) 상에서 전혀 움직이고 있지 않고, 펠리클(120)에 부착되어 있는 이물의 증가도 전혀 보이지 않았다.
또한, 펠리클 프레임(121)에 대해서도 검사한 결과, 펠리클 프레임 지지 수단(13)에 접촉하고 있던 부분의 이물 부착이나 마찰 등의 흔적은 전혀 보이지 않았다.
그러나, 이어서 이 사용한 펠리클 수납 용기(110)를 실시예와 같이 습도 50%, 온도 20~30℃의 환경에서 1년간 보관하고, 1년 후에 이 펠리클 수납 용기(110)를 다시 오픈하여 같은 펠리클(120)을 수납하려고 한 결과, 펠리클 프레임(121)의 구멍(122)과 핀(112)의 위치가 정대향하고 있지 않고, 수평 방향으로 약 1.5㎜의 어긋남이 발생하고 있었기 때문에 핀(112)을 삽입할 수 없었다. 이 이유로서는, 펠리클 수납 용기 본체(111)의 경시 치수 변화에 의해 핀(112)의 위치가 벗어나 버렸기 때문으로 생각되며, 펠리클(120)의 수납에는 핀 위치의 재조정이 필요했다.
10 : 펠리클 수납 용기 11 : 펠리클 수납 용기 본체
12 : 덮개체 13 : 펠리클 프레임 지지 수단
13a : 단차부 13b : 수직면
13c : 테이퍼면 14 : 프레임 고정구
14a : 선단 단차부 15 : 고정구 유지 수단
15a : 홈 15b : 각구멍
16 : 볼트 17 : 판 너트
20 : 펠리클 21 : 펠리클 프레임
22 : 마스크 점착층 23 : 마스크 점착층 미도포 영역
24 : 펠리클막 접착층 25 : 펠리클막
26 : 홈 51 : 탄성체
91 : 고정구 유지 수단 92 : 점착 테이프
101 : 탄성체 110 : 펠리클 수납 용기
111 : 펠리클 수납 용기 본체 112 : 핀
112a : 핀 축 112b : 돌기
112c : 조작부 113 : 핀 유지 수단
113a : 오목부 114 : 탄성체
120 : 펠리클 121 : 펠리클 프레임(비교예)
122 : 구멍
12 : 덮개체 13 : 펠리클 프레임 지지 수단
13a : 단차부 13b : 수직면
13c : 테이퍼면 14 : 프레임 고정구
14a : 선단 단차부 15 : 고정구 유지 수단
15a : 홈 15b : 각구멍
16 : 볼트 17 : 판 너트
20 : 펠리클 21 : 펠리클 프레임
22 : 마스크 점착층 23 : 마스크 점착층 미도포 영역
24 : 펠리클막 접착층 25 : 펠리클막
26 : 홈 51 : 탄성체
91 : 고정구 유지 수단 92 : 점착 테이프
101 : 탄성체 110 : 펠리클 수납 용기
111 : 펠리클 수납 용기 본체 112 : 핀
112a : 핀 축 112b : 돌기
112c : 조작부 113 : 핀 유지 수단
113a : 오목부 114 : 탄성체
120 : 펠리클 121 : 펠리클 프레임(비교예)
122 : 구멍
Claims (7)
- 펠리클 수납 용기 본체와 그 펠리클 수납 용기 본체에 감합해서 밀폐하는 덮개체로 구성되며, 세퍼레이터가 없는 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기로서, 상기 펠리클 수납 용기 본체 상에는 마스크 점착층 도포 영역 및 미도포 영역을 갖는 펠리클 프레임을 지지하는 펠리클 프레임 지지 수단과 고정구 유지 수단이 설치되고, 상기 펠리클 프레임 지지 수단은 상기 펠리클 프레임의 마스크 점착층 미도포 영역을 지지함과 아울러, 상기 고정구 유지 수단은 상기 펠리클 프레임의 외측면에 형성된 홈에 삽입되는 판 형상의 프레임 고정구를 유지하는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.
- 제 1 항에 있어서,
상기 고정구 유지 수단은 상기 프레임 고정구와 감합하는 홈 또는 구멍을 갖고, 상기 프레임 고정구를 대략 수평 방향으로 이동 가능하게 유지하고 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기. - 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 프레임 고정구는 그 일부가 상기 덮개체에 의해 상방향으로부터 압박되어 그 위치가 고정되는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기. - 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 프레임 고정구는 그 일부가 상기 덮개체의 내측에 부착된 탄성체에 의해 상방향으로부터 압박되어 그 위치가 고정되는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기. - 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 프레임 고정구는 점착 테이프에 의해 부착됨으로써 상기 고정구 유지 수단에 고정되는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기. - 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 프레임 고정구는 그 후단이 상기 덮개체의 내면에 접촉하여 수평 방향으로의 이동이 규제되는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기. - 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 프레임 고정구는 그 후단이 상기 덮개체의 내면에 부착된 탄성체에 접촉하여 수평 방향으로의 이동이 규제되는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JPJP-P-2016-030677 | 2016-02-22 | ||
| JP2016030677A JP6604651B2 (ja) | 2016-02-22 | 2016-02-22 | ペリクル収納容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20170098700A true KR20170098700A (ko) | 2017-08-30 |
Family
ID=59674680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020170019417A KR20170098700A (ko) | 2016-02-22 | 2017-02-13 | 펠리클 수납 용기 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6604651B2 (ko) |
| KR (1) | KR20170098700A (ko) |
| CN (1) | CN107102512B (ko) |
| TW (1) | TWI624718B (ko) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11104496B2 (en) * | 2019-08-16 | 2021-08-31 | Gudeng Precision Industrial Co., Ltd. | Non-sealed reticle storage device |
| JP7442291B2 (ja) * | 2019-10-09 | 2024-03-04 | 信越化学工業株式会社 | ペリクルとその専用ペリクルケースからなるアセンブリ |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH036915Y2 (ko) * | 1986-03-07 | 1991-02-21 | ||
| US5305878A (en) * | 1993-04-01 | 1994-04-26 | Yen Yung Tsai | Packaged optical pellicle |
| JP3023612U (ja) * | 1995-10-06 | 1996-04-23 | 信越化学工業株式会社 | ペリクルのペリクル収納容器への固定構造 |
| JP3938224B2 (ja) * | 1997-08-04 | 2007-06-27 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | ペリクルの収納構造 |
| JP2005326634A (ja) * | 2004-05-14 | 2005-11-24 | Mitsui Chemicals Inc | ペリクルの収納方法 |
| JP4581681B2 (ja) * | 2004-12-27 | 2010-11-17 | 株式会社ニコン | レチクル保護装置および露光装置 |
| JP4391435B2 (ja) * | 2005-03-22 | 2009-12-24 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル収納容器 |
| JP5052106B2 (ja) * | 2006-11-22 | 2012-10-17 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | ペリクルの収納方法 |
| KR101264571B1 (ko) * | 2007-07-06 | 2013-05-14 | 아사히 가세이 이-매터리얼즈 가부시키가이샤 | 대형 펠리클 프레임체 및 그 프레임체의 파지 방법 |
| JP5051840B2 (ja) * | 2007-11-22 | 2012-10-17 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル収納容器内にペリクルを保管する方法 |
| JP2011034020A (ja) * | 2009-08-06 | 2011-02-17 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | ペリクル収納容器 |
| KR200469200Y1 (ko) * | 2010-05-10 | 2013-09-26 | 아사히 가세이 이-매터리얼즈 가부시키가이샤 | 펠리클 수납 용기 |
| JP5864399B2 (ja) * | 2012-10-22 | 2016-02-17 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル収納容器 |
| JP2014190998A (ja) * | 2013-03-26 | 2014-10-06 | Dainippon Printing Co Ltd | 基板収納ケース |
-
2016
- 2016-02-22 JP JP2016030677A patent/JP6604651B2/ja active Active
-
2017
- 2017-02-13 KR KR1020170019417A patent/KR20170098700A/ko not_active Application Discontinuation
- 2017-02-16 TW TW106105014A patent/TWI624718B/zh active
- 2017-02-16 CN CN201710083586.6A patent/CN107102512B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2017151130A (ja) | 2017-08-31 |
| CN107102512B (zh) | 2020-12-18 |
| TWI624718B (zh) | 2018-05-21 |
| TW201730667A (zh) | 2017-09-01 |
| CN107102512A (zh) | 2017-08-29 |
| JP6604651B2 (ja) | 2019-11-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E902 | Notification of reason for refusal |