TWI624718B - 防塵薄膜組件收納容器 - Google Patents

Abstract

本發明的防塵薄膜組件收納容器包括防塵薄膜組件收納容器本體和嵌合於防塵薄膜組件收納容器本體而密閉的蓋體，且其收納無剝離片的防塵薄膜組件；在防塵薄膜組件收納容器本體上，設置支持遮罩具有黏著劑層塗布區域與未塗布區域的防塵薄膜組件框架的防塵薄膜組件框架支持裝置、及固定器保持裝置；防塵薄膜組件框架支持裝置於支持防塵薄膜組件框架的遮罩黏著劑層未塗布區域的同時，固定器保持裝置保持板狀的框架固定器，所述板狀的框架固定器插入設置於防塵薄膜組件框架的外側面的溝。

Description

防塵薄膜組件收納容器

本發明是有關於一種收納在半導體裝置、印刷基板、液晶面板或有機EL面板等的製造時作為防塵器使用的防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器。

在大型積體電路（Large Scale Integration，LSI），超LSI等的半導體製造或液晶面板等的製造中，要對半導體晶圓或液晶用原板進行光照射進行圖案的製作，此時，如使用的光遮罩或中間遮罩（reticle）（以下，統稱「光遮罩」）有微塵附著，由於該微塵會吸收光或使光彎曲，由此轉印的圖案就會變形，邊緣會不齊，還會使基底變黑髒汙等，由此尺寸、品質、外觀等會受損。

由此，這些操作通常在無塵室中進行，但是即使如此，也難以使保持光遮罩經常保持清潔，因此要在光遮罩表面貼附作為除塵器的防塵薄膜組件後再進行曝光。如此，異物就不會再光遮罩的表面上直接附著，而是在防塵薄膜組件上附著，這樣在光微影時只要將焦點對準光遮罩的圖案，防塵薄膜組件上的異物就與轉印沒有關係了。

防塵薄膜組件一般是將由透光良好的硝化纖維素、乙酸纖維素或氟樹脂等構成的透明的防塵薄膜組件膜，貼附或接著於鋁，鋼鐵，不鏽鋼，工程塑料等構成的防塵薄膜組件框架的上端面而形成。另外，在防塵薄膜組件框架的下端，設置為了將防塵薄膜組件貼於光遮罩的由聚丁烯樹脂，聚乙酸乙烯酯樹脂，丙烯酸樹脂，矽樹脂等構成的黏著劑層，以及以保護黏著劑層為目的離型層（剝離片）。

該剝離片，通常，為在聚對苯二甲酸乙二酯（polyethylene terephthalate，PET）樹脂等的100 μm~200 μm左右薄的薄膜上塗布離型劑，切斷加工成所希望的形狀來使用，但是，由於所述膜厚度薄，為了將其製成與框架的外形幾乎相同的框狀的形狀，故其變成繩狀，從而具有難以洗淨的問題。另外，在向遮罩黏著劑層的貼附等的操作中，其處理也極為不便。進而，在將防塵薄膜組件從容器中用自動裝置取出時，將剝離片剝離的步驟為必須，但是剝離片為薄膜狀，其形狀或動態不安定，從而也具有不宜用自動裝置來進行處理的問題。

具有所述問題的剝離片，其機能僅為了保護黏著劑，在防塵薄膜組件使用時會被剝掉廢棄，所以只要不使用剝離片，就不會發生所述問題。

由此，本發明者等人先前就發明了不使用剝離片的防塵薄膜組件以及收納該防塵薄膜組件的收納容器（例如，參照專利文獻1、專利文獻2）。這些在專利文獻1、2記載的防塵薄膜組件收納容器， 在防塵薄膜組件框架的外側形成有未塗布遮罩黏著劑層的未塗布區域，在以將所述未塗布區域設置在防塵薄膜組件收納容器本體上的防塵薄膜組件框架支持裝置進行支持的同時，向設置於防塵薄膜組件框架的外側面的非貫通孔中插入銷，從而將防塵薄膜組件固定（參照下述的比較例）。這樣，由於這些防塵薄膜組件收納容器所收納的防塵薄膜組件上不使用剝離片，不需要剝離剝離片，也就不用擔心剝離片剝離時接觸防塵薄膜組件膜，從而易於用自動裝置將防塵薄膜組件取出，這是一大優點。

但是，即使這樣的防塵薄膜組件收納容器，在其管理・運用層面上也有若干問題，即例如專利文獻1的防塵薄膜組件收納容器中，防塵薄膜組件，在其垂直方向上以防塵薄膜組件框架支持裝置支持，其水平方向為向框架外側面的孔中插入銷來進行規制，從而將其固定在防塵薄膜組件收納容器上，故有如下的問題：銷和框架外側面的孔不能正確地相對，或者銷的軸方向的距離與設計不一樣，就不能將銷插入孔，從而不能將防塵薄膜組件良好地固定。

另外，大型的防塵薄膜組件收納容器的情況下，防塵薄膜組件收納容器整體的製造誤差大，並且在用樹脂製成的時，還會由於溫度變化及吸濕而發生尺寸變動，從而難以精密管控銷的組裝位置。由此，容器製作後的保管中，就需要對銷的位置進行再調整，從而發生在防塵薄膜組件的收納後由於尺寸變動而帶來的銷和防塵薄膜組件框架之間的摩擦而產生微塵的問題。 [先前技術文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2009-128635號公報 [專利文獻2]日本專利特開2011-34020號公報

[發明所欲解決之課題] 本發明鑒於所述問題點而成，本發明的目的為提供一種沒有剝離片的防塵薄膜組件的收納容器，其隨時間的變化以及由於製造而帶來的尺寸誤差的影響小，且便於管理・運用的防塵薄膜組件收納容器。 [解決課題之手段]

本發明為一種包括防塵薄膜組件收納容器本體和在防塵薄膜組件收納容器本體嵌合而密閉的蓋體、且收納沒有剝離片的防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器，其特徵在於：防塵薄膜組件收納容器本體上，設置支持具有遮罩黏著劑層塗布區域以及未塗布區域的防塵薄膜組件框架的防塵薄膜組件框架支持裝置、及固定器保持裝置，防塵薄膜組件框架支持裝置在支持防塵薄膜組件框架的遮罩黏著劑層未塗布區域的同時，固定器保持裝置保持插入設置於防塵薄膜組件框架的外側面的溝的板狀的框架固定器。

另外，本發明的特徵在於：所述固定器保持裝置具有與框架固定器嵌合的溝或孔，並且保持框架固定器可在大略水平方向移動。

然後，優選為本發明的框架固定器，其一部分為被蓋體從上方按壓，從而其位置被固定；本發明的框架固定器，其一部分亦可被配置於蓋體的內側上的彈性體從上方按壓，從而固定其位置。另外用黏著帶貼附固定也可。

另外，優選為本發明的框架固定器，其後端接觸蓋體的內面，而規制其水平方向的移動，或其後端接觸蓋體的內面上設置的彈性體，而規制其水平方向的移動。 [發明的效果]

根據本發明，藉由向設置於防塵薄膜組件框架的外側面的溝中插入板狀的框架固定器從而固定防塵薄膜組件之外，通過蓋體的內面或內面上設置的彈性體按壓固定框架固定器，對尺寸誤差的容許範圍亦大，因此，不易受到容器的隨時間的變化以及由製造引起的尺寸誤差的影響，從而具有管理・運用容易的優點。

以下，對本發明的一實施方式參照附圖進行詳細說明，但是本發明並不限於此。另外，本發明，適用於邊長為超過500 mm的大型的防塵薄膜組件時效果特別顯著，但是，但是本發明不被防塵薄膜組件的大小以及用途限定。

圖1～圖10，表示了本發明的一實施方式。圖1中，為了進行說明，將與防塵薄膜組件收納容器本體11在周緣部嵌合止動的蓋體12省略。在本發明的防塵薄膜組件收納容器本體11上，如圖1表示的那樣，設置了防塵薄膜組件框架支持裝置13，框架固定器14，固定器保持裝置15。另一方面，在收納的防塵薄膜組件20上，如圖4所示般，沿著防塵薄膜組件框架21成為框狀的下端面內周上設置遮罩黏著劑層22，在外周部具有遮罩黏著劑層未塗布區域23。然後，其相反面上介於防塵薄膜組件膜接著層24張設防塵薄膜組件膜25。

收納的防塵薄膜組件20，在防塵薄膜組件框架21設置遮罩黏著劑層22的面的外周至少具有1 mm的寬的未塗布遮罩黏著劑層的區域23者為佳，但是並不對其他的方式進行制限。

防塵薄膜組件框架支持裝置13，以設置在防塵薄膜組件框架21的各邊上至少1處，優選為2處以上為佳。其位置以及個數，以考慮向防塵薄膜組件框架21的向下方向的自重撓曲以及運輸中的振動而產生的振盪來決定為佳。

防塵薄膜組件框架支持裝置13，如圖4所示般的為階梯狀，在其段差部13a上，具有防塵薄膜組件框架21的遮罩黏著劑層未塗布區域23。該階梯形狀，具有高度為防塵薄膜組件框架21的高的20%以上的垂直面13b為佳，以其上部為以5°~45°的角度向外側張開的錐面13c為佳。另外，由於要用於自動裝置、或取出夾具的將防塵薄膜組件20的取出的操作中，為避免與其裝置相干擾，所以防塵薄膜組件框架支持裝置13的頂部的高度以比防塵薄膜組件膜25的面還低為優選。

該防塵薄膜組件框架支持裝置13的形狀，並不限定為圖4表示的形狀，可以根據防塵薄膜組件框架21的形狀作適宜變更。另外，如可以用其他的方法對防塵薄膜組件20的水平方向的移動進行規制的話，沒有段差的平面形狀也可。

防塵薄膜組件框架支持裝置13以使用樹脂，彈性體等的軟質並且在與防塵薄膜組件框架21接觸中難以發生微塵的材質為佳，以射出成形，澆鑄成形，光造形等的一次成形形成的方法來製作為優選。作為具體的材質，可以列舉苯乙烯系、聚酯系、烯烴系、聚醯胺系、聚胺酯系等的熱塑性彈性體；作為橡膠，丁腈橡膠、氟橡膠、乙烯丙烯橡膠、氯丁橡膠、矽橡膠等。其中，苯乙烯系、聚酯系彈性體，具有表面黏著力小，載置的防塵薄膜組件框架21不易貼附優點，特別優選。

防塵薄膜組件框架支持裝置13的大小，以沿著防塵薄膜組件框架21的長度為10 mm~50 mm左右為佳，可以用接著等公知的方法安裝於防塵薄膜組件收納容器本體11。更優選為如圖4其截面表示的那樣，防塵薄膜組件框架支持裝置13的下面為加工為內螺紋的金屬製部件，例如將板螺帽17插入成形，用螺栓16從防塵薄膜組件收納容器本體11的外側締結固定為佳。

防塵薄膜組件框架21的外側面設置的溝26中，如圖5表示的那樣，將成板狀的框架固定器14插入。如圖7以及圖8表示的那樣，該框架固定器14，進一步保持於設置於防塵薄膜組件收納容器本體11上的固定器保持裝置15的水平方向的溝15a或角孔15b。圖7為在固定器保持裝置15上設置溝15a的實施方式；圖8為，在固定器保持裝置15上設置角孔15b的實施方式。這些溝15a或角孔15b，以設置可使在與框架固定器14嵌合時可以順利地拔插的容許程度為佳。溝15a與角孔15b相比，在尺寸管理容易度，成形性以及洗淨性好等的點上有優勢。

另外，防塵薄膜組件固定器14，其先端為具有段差14a的形狀，但是也可為先端為R狀，錐狀或數個形狀的組合形狀，另外，整體的形狀也可以進行適宜地變更。

框架固定器14以及固定器保持裝置15，以用丙烯腈-丁二烯-苯乙烯（acrylonitrile-butadiene-styrene，ABS）、聚苯硫醚（polyphenylene sulfide，PPS），聚甲醛（polyoxymethylene，POM）、聚醚醚酮（polyetheretherketone，PEEK）等的樹脂製作為佳，可根據必要進行添加物強化。作為製造方法，可以列舉射出成型，傳遞模塑成形等的溶融成形或機械切削加工等。

在向防塵薄膜組件收納容器本體11安裝時，接著之外另外從防塵薄膜組件收納容器外側以螺栓（未圖示）締結為佳。固定器保持裝置15，從量產性、操作性、防止發生微塵的點來看，插入具有內螺紋的金屬部品以射出成形製作為最優選。

如圖1表示的那樣在該實施方式中，框架固定器14被設置於長邊的角部近傍的4處，但是，該設置位置以及個數，可以考慮框架的固定的容易性，與防塵薄膜組件取出夾具或自動裝置的相互影響，進行適宜決定。例如，在短邊的角部近傍的4處也沒有問題，另外，在短邊和長邊的兩方配置也可。作為優選設置位置，可列舉為框架的剛性高、膜張力造成的框架撓曲小、尺寸安定的框架的角近傍，但是，如框架的剛性高的話，在較為內側配置也沒問題。

如果防塵薄膜組件框架側面的溝26中所插入的框架固定器14在運輸間拔出的話，防塵薄膜組件20有在收納容器10內移動而遮罩黏著劑層22與容器接著，造成汙損或破損之虞。由此，為了將框架固定器14在固定器保持裝置15上良好地固定，較佳為使蓋體12的內面接觸或按壓於框架固定器14的上面，而固定框架固定器14的結構。例如，如圖5表示的那樣，在蓋體12的內側設置樹脂、橡膠、彈性體等構成的彈性體51的同時，優選為藉由該彈性體51按壓固定框架固定器14。該實施方式中，藉由彈性體51可以更進一步排除尺寸誤差的影響。

作為適用於彈性體51的材質，具體而言，有苯乙烯系、聚酯系，烯烴系，聚醯胺系，聚胺酯系等的熱可塑性彈性體，作為橡膠可以列舉丁腈橡膠，氟橡膠，乙烯丙烯橡膠，氯丁橡膠，矽橡膠，聚胺酯橡膠等。其中，低硬度者從易於取得、發生微塵性低、低發氣性的點來看，以矽橡膠，聚胺酯橡膠為特別優選。

另外，作為固定框架固定器14的其他的實施方式，有如圖9所示般，可列舉固定器保持裝置91的形狀為具有平面部的形狀，且將框架固定器14藉由黏著帶92貼附固定在固定器保持裝置91上的方式。在該實施方式中，雖然在黏著帶92的組裝卸下時，有從操作人的手等向防塵薄膜組件20附著異物之虞，但是，具有操作簡便，在設計以及運用中，關於框架固定器14的固定，具有可以不用考慮與蓋體12的位置關係的優點。

另外，作為其他的實施方式，可以列舉使框架固定器14的後端與蓋體12的內面接觸，對向水平方向（從溝拔出的方向）的移動進行規制的方式。在該實施方式中，如圖10表示的那樣，將彈性體101安裝在蓋體12內面上而進行接觸者為優選。該實施方式中，是藉由彈性體101對框架固定裝置14進行規制，由此可以進一步吸收各部件的尺寸誤差，從而消除由尺寸誤差造成的不合適。

防塵薄膜組件收納容器本體11以及蓋體12，以用厚度2 mm~8 mm左右的丙烯酸、ABS、聚氯乙烯（polyvinylchloride，PVC）、聚碳酸酯（polycarbonate，PC）等的樹脂板進行真空成型或壓空成形來製作為優選。一個邊為200 mm以下的小型的情況下，也可用射出成型製作，該情況，為了剛性以及提高平面度，可以設置適宜的加強筋等。

防塵薄膜組件收納容器本體11，為了提高附著的異物的可視性，以黑色為優選。蓋體12，為了使收納的防塵薄膜組件20可視，以透明或有色半透明為優選，從耐氣候性等的理由，有時也可以為黑色。另外，防塵薄膜組件收納容器本體11以及蓋體12，兩者都為對樹脂本身賦予帶電防止功能或在其表面進行帶電防止塗裝，從異物的附著防止的觀點而言合適。進一步，在樹脂本身中添加難燃材料或使用難燃性樹脂，而賦予難燃性，從安全性的點來看更優選。

防塵薄膜組件收納容器本體11，在其邊長為超過1000 mm的特別大型時，以在樹脂成形品的外側裝上包含金屬或纖維強化樹脂的補強材料或收納容器本身用金屬製作為優選。收納容器本身為金屬時使用的材料，以鋁合金、鎂合金等的輕合金為佳，但是，也可使用不鏽鋼以及碳鋼的薄板。作為成形方法，鑄造等的一體成形優選，但是也可用在加壓成型等將各結構部件製作後，以溶接、接著、螺釘締結等的手法將各結構部件接合構成也可。另外為了輕量化，將其內部做成空洞也可。

另外，防塵薄膜組件收納容器本體11以及蓋體12，考慮一起使用時的利便性，可以設置把手以及用於將蓋體固定的扣（未圖示）。進一步，防塵薄膜組件收納容器本體11上，也可設置考慮了用叉車等搬送的腳部等（未圖示）。 [實施例]

以下，基於附圖對本發明的實施例進行詳細說明。 首先，製作如圖1~圖6表示的那般的防塵薄膜組件收納容器10。防塵薄膜組件收納容器本體11為用厚度5 mm的黑色難燃帶電防止ABS樹脂板真空成形而製作的。另一方面，與防塵薄膜組件收納容器本體11在周緣部嵌合蓋體12，為用厚度5 mm的透明聚碳酸酯樹脂板真空成形而製作，成形加工後，將其全面用帶電防止劑（信越聚合物股份有限公司製，商品名SEPLEGYDA）塗裝。安裝後的外部尺寸為，1350 mm×1535 mm×120 mm。

防塵薄膜組件框架支持裝置13，作為材質使用聚酯系彈性體（東麗・杜邦股份有限公司製，商品名；Hytrel），向內部插入不鏽鋼製作的板螺帽17，射出成型製作。然後，將如此製作的防塵薄膜組件框架支持裝置13配置於防塵薄膜組件收納容器本體11上，從裡面用各2個螺栓16組裝。

防塵薄膜組件框架支持裝置13的組裝位置，如圖1表示的那樣，長邊、短邊都為4處。其位置，要考慮取出防塵薄膜組件時、以不干擾夾住防塵薄膜組件的處理夾具或自動裝置的防塵薄膜組件夾持機構的方式而進行決定。

另外，防塵薄膜組件收納容器本體11上，將ABS樹脂射出成型製作的固定器保持裝置15從裡面用螺栓（未圖示）固定。該固定器保持裝置15被固定時，調整插入至固定器保持裝置15的防塵薄膜組件固定器14的位置，使防塵薄膜組件固定器14與設置於防塵薄膜組件框架21外側面的圖5表示的溝26嵌合。

然後，將該防塵薄膜組件收納容器10搬入10級的無塵室，用表面活性劑和純水好好地洗淨，完全乾燥。

然後，為了對該防塵薄膜組件收納容器10進行評價，製作防塵薄膜組件20。首先，將外部尺寸1366 mm×1136 mm，框架寬12 mm，框架高5.8 mm的A5052鋁合金製框架進行機械切削加工，製作防塵薄膜組件框架21。另外，在該防塵薄膜組件框架21的各長邊上，設置4處直徑1.5 mm的貫通孔（未圖示）作為通氣孔的同時，於長邊的角部近傍設置高3 mm，深2.3 mm，長度40 mm的溝26。然後，進行噴砂處理使其表面為Ra 0.6左右，然後進行黑色陽極氧化處理。

另外，該防塵薄膜組件框架21成為框狀的一個面上，將以甲苯稀釋的矽黏著劑（信越化學工業股份有限公司製）用空氣加壓式分佈器塗布，沿著其內周形成高1.2 mm，寬5 mm的遮罩黏著劑層22的塗布區域。在框架寬為12 mm的防塵薄膜組件框架21上，在其外周形成未塗布遮罩黏著劑層的寬7 mm的未塗布區域23。

進一步，在形成有防塵薄膜組件框架21的遮罩黏著劑層22面的相對面上，將以甲苯稀釋的矽黏著劑（信越化學工業股份有限公司製）用空氣加壓式分佈器塗布，形成防塵薄膜組件膜接著層24。然後，在該防塵薄膜組件膜接著層24上，張設包含氟系樹脂（旭硝子股份有限公司製，商品名Cytop）構成的、厚度4.1μm的膜作為防塵薄膜組件膜25，同時，將設置於各長邊的通氣孔用包含PTFE膜構成的過濾器覆蓋（未圖示），而完成防塵薄膜組件20。

然後，對這樣製作的防塵薄膜組件20在暗室內進行異物檢査，然後，在洗淨的防塵薄膜組件收納容器本體11上的防塵薄膜組件框架支持裝置13上載置，如圖5表示的那樣，將框架固定器14在固定器保持裝置15上滑動，插入防塵薄膜組件框架21的外側面的溝26。然後，將蓋體12蓋在防塵薄膜組件收納容器本體11上進行密閉，同時將其周緣部用黏著帶（未圖示）密封，完成防塵薄膜組件20在防塵薄膜組件收納容器10中的收納。

在收納該防塵薄膜組件20時，在4處的框架固定器14近傍的蓋體12的內側上，如圖5表示的那樣，將硬度50（蕭氏A）的矽橡膠製的彈性體51裝上。該彈性體51，在將蓋體12在防塵薄膜組件收納容器本體11上載置時，進行調整使其與框架固定器14的上部接觸而得到0.2 mm~1 mm壓潰般的變形，故藉於該彈性體51的作用，框架固定器14成為被按壓固定於固定器保持裝置15上的狀態。

最後，作為本發明的防塵薄膜組件收納容器10的評價，將收納不使用以往的剝離片的防塵薄膜組件20的防塵薄膜組件收納容器10由2名操作人員抬起至大約腰部高度，從水平到略垂直傾斜的動作對各邊（4方向）各進行5回，合計20回。其後，在無塵室內開梱，在暗室對防塵薄膜組件20的損傷以及異物的附著狀況進行檢査，防塵薄膜組件20，在防塵薄膜組件收納容器本體11上完全未移動，也完全沒有發現防塵薄膜組件20上附著的異物增加。

另外，對防塵薄膜組件框架21也進行了檢査，與防塵薄膜組件框架支持裝置13接觸的部分的異物附著或擦傷等的痕跡均沒有看到，遮罩黏著劑層22也完全沒有發現接觸痕跡等的缺陷。

然後，將該防塵薄膜組件收納容器10保持在濕度40%~70%，溫度20℃~30℃的環境中保管1年，1年後將該防塵薄膜組件收納容器10再次開梱，對該防塵薄膜組件20與1年前的試驗同樣地收納，在防塵薄膜組件框架支持裝置13上將防塵薄膜組件框架21載置，由於能夠將防塵薄膜組件固定器14向溝26中插入，任何隨時間的變化或運用上以及管理上的問題都沒有發現。 [比較例]

比較例中，首先，將實施例的防塵薄膜組件收納容器10的框架固定器14，固定器保持裝置15替換，如圖11的平面圖表示的那樣的，製作使用包括銷112和銷保持裝置113的固定裝置的防塵薄膜組件收納容器110。圖12為，銷112和銷保持裝置113組合的狀態的斜視圖。圖11中，為了對防塵薄膜組件收納容器本體進行說明，對蓋體的記載加以省略，蓋體的結構基本上與實施例相同。

比較例的銷112和銷保持裝置113的材質，都為ABS樹脂，射出成型製作。銷112，由銷軸112a，突起112b，更粗的操作部112c構成，同時被銷保持裝置113支持。另外，銷112，以拔插可能之間隙嵌合的同時，由旋回操作使突起112b與銷保持裝置的凹部113a咬合，以插入的位置固定。然後，為了防止與防塵薄膜組件框架121滑擦而發生微塵，銷軸112a的先端上設置了氟橡膠構成的彈性體114。

然後，比較例中，也進行與實施例同寸的防塵薄膜組件框架121，在其長邊外側面上，將直徑2 mm，深2.5 mm的非貫通的圓孔122在距離框架角部30 mm的位置設置合計4處。然後，將防塵薄膜組件框架121在防塵薄膜組件收納容器本體111上的防塵薄膜組件框架支持裝置13上載置時，將銷保持裝置113的位置進行調整，使銷112插入防塵薄膜組件框架121的外側面的孔122，同時，用螺栓（未圖示）在防塵薄膜組件收納容器本體111上固定。

然後，與實施例同樣，該防塵薄膜組件收納容器110搬入10級的無塵室，用表面活性劑和純水洗淨，完全乾燥。

然後，比較例中，為了對防塵薄膜組件收納容器110進行評價，除了使用防塵薄膜組件框架121以外，也用與實施例完全相同的材料和製作工序製作防塵薄膜組件120，比較例的防塵薄膜組件框架121也形成遮罩黏著劑層塗布的區域和於其外周上形成沒有塗布遮罩黏著劑層的未塗布區域。因此，比較例的防塵薄膜組件120和實施例的防塵薄膜組件20，為實施例的防塵薄膜組件框架21的外側面中有溝26，而防塵薄膜組件框架121的外側面中有非貫通的圓孔122，除了這一點外它們完全相同。

將這樣的防塵薄膜組件120在暗室內進行異物檢査後，將其收納於防塵薄膜組件收納容器110內，周緣部用黏著帶密封（未圖示），而完成防塵薄膜組件收納容器110。

最後，作為比較例的防塵薄膜組件收納容器110的評價，與實施例同樣，將收納了防塵薄膜組件120的防塵薄膜組件收納容器110由2名操作人員抬起至大約腰部高度，從水平向大約垂直傾斜的動作對各邊（4方向）各進行5回，共計20回。其後，在無塵室內開梱，在暗室對防塵薄膜組件120的損傷以及異物的附著狀況進行檢査，防塵薄膜組件120，在防塵薄膜組件收納容器本體111上完全未移動，也完全沒有發現防塵薄膜組件120上附著的異物增加。

另外，對防塵薄膜組件框架121進行檢査，與防塵薄膜組件框架支持裝置13接觸的部分的異物附著或擦傷等的痕跡均完全沒有看到。

但是，接著將該使用了的防塵薄膜組件收納容器110與實施例相同在濕度50%，溫度20℃~30℃的環境中保管1年，1年後將該防塵薄膜組件收納容器110再次開梱，想要收納相同的防塵薄膜組件120時，防塵薄膜組件框架121的孔122和銷112的位置不能對準，在水平方向產生大約1.5 mm的錯位，不能將銷112插入。作為其理由，為防塵薄膜組件收納容器本體111的隨時間發生了尺寸變化，使銷112的位置錯位，如要收納防塵薄膜組件120，需要再調整銷的位置。

10‧‧‧防塵薄膜組件收納容器
11‧‧‧防塵薄膜組件收納容器本體
12‧‧‧蓋體
13‧‧‧防塵薄膜組件框架支持裝置
13a‧‧‧段差部
13b‧‧‧垂直面
13c‧‧‧錐面
14‧‧‧框架固定器
14a‧‧‧先端段差部
15‧‧‧固定器保持裝置
15a‧‧‧溝
15b‧‧‧角孔
16‧‧‧螺栓
17‧‧‧板螺帽
20‧‧‧防塵薄膜組件
21‧‧‧防塵薄膜組件框架
22‧‧‧遮罩黏著劑層
23‧‧‧遮罩黏著劑層未塗布區域
24‧‧‧防塵薄膜組件膜接著層
25‧‧‧防塵薄膜組件膜
26‧‧‧溝
51‧‧‧彈性體
91‧‧‧固定器保持裝置
92‧‧‧黏著帶
101‧‧‧彈性體
110‧‧‧防塵薄膜組件收納容器
111‧‧‧防塵薄膜組件收納容器本體
112‧‧‧銷
112a‧‧‧銷軸
112b‧‧‧突起
112c‧‧‧操作部
113‧‧‧銷保持裝置
113a‧‧‧凹部
114‧‧‧彈性體
120‧‧‧防塵薄膜組件
121‧‧‧防塵薄膜組件框架（比較例）
122‧‧‧孔

圖1是表示本發明的防塵薄膜組件收納容器的一實施方式的平面圖。。 圖2是表示本發明的一實施方式的圖1的A-A截面圖。 圖3是表示本發明的一實施方式的圖1的B-B截面圖。 圖4是表示本發明的一實施方式的圖2的C部擴大圖。 圖5是表示本發明的一實施方式的圖3的D部擴大圖。 圖6是表示本發明的防塵薄膜組件收納容器全體的斜視圖。 圖7是表示將框架固定器插入固定器保持裝置的溝而保持的狀態的斜視圖。 圖8是表示將框架固定器插入固定器保持裝置的角孔而保持的狀態的斜視圖。 圖9是表示將框架固定器用黏著帶保持在固定器保持裝置的狀態的斜視圖。 圖10是表示將框架固定器用蓋體內部的彈性體按壓而固定的狀態的截面圖。 圖11是表示使用比較例的銷的防塵薄膜組件收納容器的平面圖。 圖12是表示將比較例的銷用銷保持裝置保持的狀態的斜視圖。

Claims (6)

1. 一種防塵薄膜組件收納容器，收納沒有剝離片的防塵薄膜組件，且其包括：防塵薄膜組件收納容器本體；及蓋體，嵌合密閉所述防塵薄膜組件收納容器本體；所述防塵薄膜組件收納容器的特徵在於：在所述防塵薄膜組件收納容器本體上，設置支持具有遮罩黏著劑層塗布區域及未塗布區域的防塵薄膜組件框架的防塵薄膜組件框架支持裝置、及固定器保持裝置，所述防塵薄膜組件框架支持裝置在支持所述防塵薄膜組件框架的遮罩黏著劑層未塗布區域的同時，所述固定器保持裝置保持板狀的框架固定器，所述框架固定器插入設置於所述防塵薄膜組件框架的外側面的溝，所述固定器保持裝置具有和所述框架固定器嵌合的溝或孔，並且所述框架固定器可在大略水平方向上被可移動地保持，其中所述框架固定器，藉由其一部分被所述蓋體由上方按壓的方式、或者藉由被黏著帶貼附的方式、或者藉由其後端與所述蓋體的內面接觸而其水平方向的移動被規制的方式，從而其位置被固定。
2. 如申請專利範圍第1項所述的防塵薄膜組件收納容器，其中所述框架固定器，其一部分被所述蓋體由上方按壓，從而其位置被固定。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的防塵薄膜組件收納容器，其中所述框架固定器，其一部分被配置於所述蓋體的內側的彈性體從上方向按壓，從而其位置固定。
4. 如申請專利範圍第1項所述的防塵薄膜組件收納容器，其中所述框架固定器被黏著帶貼附，從而被固定至所述固定器保持裝置上。
5. 如申請專利範圍第1項所述的防塵薄膜組件收納容器，其中所述框架固定器，其後端與所述蓋體的內面接觸，其水平方向的移動被規制。
6. 如申請專利範圍第1項或第5項所述的防塵薄膜組件收納容器，其中所述框架固定器，其後端與配置於所述蓋體的內面的彈性體接觸，其水平方向的移動被規制。