JP2011185394A - 溝用シール材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】溝シール材20は、断面周方向に沿って順次配置された第1凸部21、第2凸部22、第3凸部23、第4凸部24及び第5凸部25を有し、シール溝50に装着した状態で、第1凸部21はシール溝の開口端から突出する突出部となり、第3凸部23及び第4凸部24はシール溝50の底部平面52にそれぞれ当接し、第3凸部23及び第4凸部24の間の第1凹部31とシール溝50の底部平面52とで第1凸部21が押圧された際の変形量を吸収する第1空間部を形成し、第2凸部22と第3凸部23との間、及び第4凸部24と第5凸部25との間にそれぞれ第2凹部32及び第3凹部33を設け、第2凹部32及び第3凹部33とシール溝50の内壁面との間に、第1凸部21が押圧された際、第1空間部41と協働して変形量を吸収する第4空間部44、第5空間部45を設ける。
【選択図】図3
Description
また、第3凸部23及び第4凸部24の間隔は、蟻溝50の開口部51の開口幅と同じかそれよりも狭くなっている。これによって、溝用シール材20の蟻溝50への装着が容易となる。
11 搬送室
12 ロードロック室
13 プラズマ処理装置
17 ゲートバルブ
20、60 溝用シール材
21、61 第1凸部(突出部)
22、62 第2凸部
23、63 第3凸部
24、64 第4凸部
25、65 第5凸部
41 第1空間部
44 第4空間部
45 第5空間部
86 第6空間部
87 第7空間部
88 第8空間部
Claims (15)
- 2つの部材の当接部における一方の部材表面に設けられたシール溝に装着され、他方の部材表面に当接することによって前記2つの部材相互間の隙間を封止する、延伸方向に対して垂直の断面形状が単一形状からなる環状の溝用シール材において、
前記断面形状は、周方向に沿って順次配置された第1凸部、第2凸部、第3凸部、第4凸部及び第5凸部を有し、
前記シール溝に装着した状態で、
前記第1凸部は、前記シール溝の開口端から突出する突出部を形成し、
前記第1凸部を頂点とする二等辺三角形の底角に位置する前記第3凸部及び第4凸部は、前記シール溝の底部平面にそれぞれ当接し、
前記第3凸部及び第4凸の間に設けられた第1凹部と前記シール溝の前記底部平面との間に前記第1凸部が押圧された際の変形量を吸収する第1空間部が形成され、
前記第2凸部及び前記第5凸部は、前記シール溝の対向する2つの壁面にそれぞれ近接し、
前記第2凸部と第3凸部との間の面、及び前記第4凸部と第5凸部との間の面と前記シール溝の内壁面との間に前記第1空間部と協働して前記第1凸部が押圧された際の変形量を吸収する第2空間部及び第3空間部がそれぞれ形成される
ことを特徴とする溝用シール材。 - 前記突出部の前記シール溝の開口端から突出する長さの前記シール溝の深さに対する割合は、10〜35%であることを特徴とする請求項1記載の溝用シール材。
- 前記第1凸部が押圧された際、前記第2凸部、第3凸部、第4凸部及び第5凸部がそれぞれ前記シール溝の内壁面に当接してシール材の捻れを抑制することを特徴とする請求項1又は2記載の溝用シール材。
- 前記第3凸部及び前記第4凸部の間隔は、前記シール溝の開口部の開口幅以下であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の溝用シール材。
- 前記第2凸部及び前記第5凸部と前記シール溝の内壁面との間にそれぞれ所定の隙間が形成されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の溝用シール材。
- 前記シール溝の全断面積に対する前記所定の隙間の断面積の割合は3%未満であることを特徴とする請求項5記載の溝用シール材。
- 前記第2凸部と第3凸部との間、及び前記第4凸部と前記第5凸部との間にそれぞれ第2凹部及び第3凹部が設けられており、
前記第2凹部及び第3凹部と前記シール溝の内壁面との間に、前記第1凸部が押圧された際、前記第1空間部と協働して同一押圧条件における断面円形のシール材と同様の反力で、且つ大きな圧縮量を得るための第4空間部及び第5空間部がそれぞれ形成されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の溝用シール材。 - 前記第1空間部の前記延伸方向に対して垂直の断面における断面積の前記シール溝の全断面積に対する割合は、10〜25%であることを特徴とする請求項7記載の溝用シール材。
- 前記第4空間部及び第5空間部の前記延伸方向に対して垂直の断面における断面積の前記シール溝の全断面積に対する割合は、それぞれ2〜10%であることを特徴とする請求項7又8は記載の溝用シール材。
- 前記第1凸部と第2凸部との間、及び前記第5凸部と前記第1凸部との間に、それぞれ前記第1空間部、第4空間部及び第5空間部と協働して前記圧縮量を増大させる第4凹部及び第5凹部がそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項7乃至9のいずれか1項に記載の溝用シール材。
- 前記第2凸部と第3凸部との間、及び前記第4凸部と前記第5凸部との間に、それぞれ第1平面部及び第2平面部が設けられており、
該第1平面部及び第2平面部と前記シール溝の内壁面との間に、前記第1凸部が押圧された際、前記第1空間部と協働して変形量を吸収し、押圧開始当初は、同一押圧条件における断面円形のシール材と同様の圧縮量及び反力が得られ、その後、反力が急増して圧縮量を、前記同一押圧条件における断面円形のシール材における圧縮量よりも小さくする第6空間部及び第7空間部がそれぞれ形成されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の溝用シール材。 - 前記第1空間部の前記延伸方向に対して垂直の断面における断面積の前記シール溝の全断面積に対する割合は、1〜15%であることを特徴とする請求項11記載の溝用シール材。
- 前記第6空間部及び第7空間部の前記延伸方向に対して垂直の断面における断面積の前記シール溝の全断面積に対する割合は、それぞれ2〜7%であることを特徴とする請求項11又は12記載の溝用シール材。
- 前記第1凸部と第2凸部との間、及び前記第5凸部と第1凸部との間に、それぞれ前記第1空間部、第6空間部及び第7空間部とそれぞれ協働して前記第1凸部が押圧された際、押圧開始当初は、同一押圧条件における断面円形のシール材と同様の圧縮量及び反力が得られ、その後、反力が急増して前記圧縮量を、前記同一押圧条件における前記断面円形のシール材における圧縮量よりも小さくする第3平面部及び第4平面部がそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項11乃至13のいずれか1項に記載の溝用シール材。
- 弾性材料からなることを特徴とする請求項1乃至14のいずれか1項に記載の溝用シール材。
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