JP2006220229A - あり溝用シール材 - Google Patents
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Abstract
【課題】
特に、半導体製造装置、液晶製造装置などに使用されるシール材で、あり溝内への装着性が良好で、かつ脱力抵抗力が高く、仮に大型化された場合であっても、低荷重で十分なシール力を得ることができ、メタルタッチによるパーティクルの発生を防止できるあり溝用シール材を提供する。
【解決手段】
シール面に形成されたあり溝42に装着される閉環状のシール材20であって、
あり溝42内に装着されるシール材本体20aが扁平した断面略楕円形状であり、あり溝42内から外方に突出される前記シール材本体20aの外周面に斜め方向に延びるリップ部24と、このリップ部24とは異なる方向に延びる凸部26と、を設けたことを特徴とする。
【選択図】図1
特に、半導体製造装置、液晶製造装置などに使用されるシール材で、あり溝内への装着性が良好で、かつ脱力抵抗力が高く、仮に大型化された場合であっても、低荷重で十分なシール力を得ることができ、メタルタッチによるパーティクルの発生を防止できるあり溝用シール材を提供する。
【解決手段】
シール面に形成されたあり溝42に装着される閉環状のシール材20であって、
あり溝42内に装着されるシール材本体20aが扁平した断面略楕円形状であり、あり溝42内から外方に突出される前記シール材本体20aの外周面に斜め方向に延びるリップ部24と、このリップ部24とは異なる方向に延びる凸部26と、を設けたことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、あり溝用シール材に関するもので、詳しくは、半導体製造装置や液晶製造装置の真空用ゲート弁に用いて好適なあり溝用シール材に関する。
製造装置で使用されている真空用ゲート弁として、ワンアクションタイプの真空用ゲート弁が知られている。図8は、ワンアクションタイプの真空用ゲート弁の分解斜視図を示したものである。
すなわち、この真空用ゲート弁10は、弁板2がアクチュエータ4から加えられる力により単一方向の直線移動を行い、これにより略矩形状のゲート開口部6を封止する構造を有している。
このようなゲート弁10では、一般に、弁板2の外周面に装着されるシール材として、断面が円形状であるOリング8が使用されている。
ところで、被処理体であるシリコンウェハなどの大型化に伴い真空用ゲート弁10が大型化されると、それに伴って、その加工精度、組立誤差を許容する必要があるため、Oリング8の断面形状も大きくしなければならない。したがって、真空用ゲート弁10が大型化されると、Oリング8に対するつぶし代を得るための荷重も大きくなり、結果として、バルブケーシング12の剛性を上げたり、押付力を増すためにアクチュエータ4の出力を上げたりするなどの対応が必要で、コストアップの大きな要因となっている。
ところで、被処理体であるシリコンウェハなどの大型化に伴い真空用ゲート弁10が大型化されると、それに伴って、その加工精度、組立誤差を許容する必要があるため、Oリング8の断面形状も大きくしなければならない。したがって、真空用ゲート弁10が大型化されると、Oリング8に対するつぶし代を得るための荷重も大きくなり、結果として、バルブケーシング12の剛性を上げたり、押付力を増すためにアクチュエータ4の出力を上げたりするなどの対応が必要で、コストアップの大きな要因となっている。
一方、断面が円形であるOリング8は、シール溝からの脱落が発生し易いため、シール溝としては、一般に、あり溝が採用されている。しかしながら、あり溝内にOリング8を装着すると、繰り返される弁の開閉動作によりあり溝内でOリング8が転動してしまうことが考えられる。そこで、あり溝に装着されるシール材として、断面円形のOリング8に代えて、特殊な異形品のシール材も提供されている(例えば、特許文献1および特許文献2)。また、本出願人によってもあり溝内への装着性が良好で、かつ、脱落と転動を防止した異形品のシール材が提供されている(特許文献3)。
特開平10−318373号公報
特許第3050919号公報
特開2004−316724号公報
ところで、特許文献1〜特許文献3に開示されているようなシール材では、大型化したバルブに適用した場合に、高い圧縮荷重が必要とされる。
また、過度に圧縮されてしまうと、メタル同士のこすれによって、パーティクルが発生するという問題がある。
また、過度に圧縮されてしまうと、メタル同士のこすれによって、パーティクルが発生するという問題がある。
本発明は、このような従来の問題に鑑み、特に、半導体製造装置、液晶製造装置などに好適に使用されるシール材で、あり溝内への装着性が良好で、かつ脱落抵抗力が高く、仮に大型化された場合であっても、低荷重で十分なシール力を得ることができ、メタルタッチによるパーティクルの発生を可及的に防止し得るあり溝用シール材を提供することを目的としている。
本発明に係るあり溝用シール材は、
シール面に形成されたあり溝に装着される閉環状のシール材であって、
あり溝内に装着されるシール材本体の断面が扁平した略楕円形状であり、前記あり溝内から外方に突出される前記シール材本体の外周面に斜め方向に延びるリップ部と、このリップ部とは異なる方向に延びる凸部と、を備えたことを特徴としている。
シール面に形成されたあり溝に装着される閉環状のシール材であって、
あり溝内に装着されるシール材本体の断面が扁平した略楕円形状であり、前記あり溝内から外方に突出される前記シール材本体の外周面に斜め方向に延びるリップ部と、このリップ部とは異なる方向に延びる凸部と、を備えたことを特徴としている。
係る構成による本発明によれば、斜め方向に延びるリップ部が容易に変形するので、低荷重で所定のシール力を得ることができるとともに、逆に想定された圧宿荷重を超える場合には、背の低い凸部がリップ部と反対方向に傾動するので、このシール材の転動を防止することができるとともに所定の反発力を維持することができる。
これにより、メタルタッチを防止でき、パーティクルの発生を防止することができる。
ここで、本発明は、前記凸部は、前記リップ部の高さに比べて背が低く形成されていることが好ましい。
ここで、本発明は、前記凸部は、前記リップ部の高さに比べて背が低く形成されていることが好ましい。
このような構成であれば、リップ部が先に変形された後に凸部が変形されるので、リップ部の本来の機能が妨げられることはない。
また、本発明は、前記シール材本体における前記あり溝の底面に当接する基辺部に、凹所が形成されていることが好ましい。
また、本発明は、前記シール材本体における前記あり溝の底面に当接する基辺部に、凹所が形成されていることが好ましい。
このように、シール材本体のあり溝側に凹所を設ければ、シール材が締め付けられた場合に凹所内の空気が排出されるので、ここに生じる吸盤作用によりシール材の転動を効果的に防止することができる。
さらに、本発明は、部材同士の接合箇所でいずれか一方の部材の表面に設けられたあり溝内に装着され他方の部材の表面と当接することで両部材間を封止する閉環状のシール材であって、
弾性変形可能な材料からなり、
断面形状において、前記あり溝の底面に配置され略直線状をなす基辺部と、
前記あり溝と対向する他方の部材の表面に当接する先端側膨出辺部と、
前記基辺部の一端につながり外側に張り出す膨出辺部と、
前記基辺部の他端につながり直線で構成され外側に張り出す直線辺部と、
を備え、
かつ、前記先端側膨出辺部から斜め方向に延出されたリップ部と、
前記先端側膨出辺部から前記リップ部とは異なる方向に突出された凸部と、を備えたことを特徴としている。
弾性変形可能な材料からなり、
断面形状において、前記あり溝の底面に配置され略直線状をなす基辺部と、
前記あり溝と対向する他方の部材の表面に当接する先端側膨出辺部と、
前記基辺部の一端につながり外側に張り出す膨出辺部と、
前記基辺部の他端につながり直線で構成され外側に張り出す直線辺部と、
を備え、
かつ、前記先端側膨出辺部から斜め方向に延出されたリップ部と、
前記先端側膨出辺部から前記リップ部とは異なる方向に突出された凸部と、を備えたことを特徴としている。
このような構成であれば、斜め方向に延びるリップ部が容易に変形し、これにより低荷重で所定のシール力を得ることができるとともに、締め付けられた場合に、背の低い凸部がリップ部と反対方向に傾動するので、このシール材の転動を防止することができるとともに所定の反発力を維持することができる。
これにより、メタルタッチが防止でき、パーティクルの発生を防止することができる。
また、本発明は、前記直線辺部内に少なくとも一箇所の角部が構成されていることが好ましい。
また、本発明は、前記直線辺部内に少なくとも一箇所の角部が構成されていることが好ましい。
このような構成であれば、あり溝に装着する際のシール材の弾性変形は、その角部周辺のわずかな部分だけでよく、角部があり溝の開口縁を通過すれば、そのまま軽く押し込めば、シール材を所定の位置に装着することができる。
さらに、本発明は、前記基辺部に、凹所が形成されていることが好ましい。
このような凹所が形成されていれば、シール材が締め付けられた場合に凹所内の空気が排出されて、吸盤作用により効果的に転動を防止ることができる。
このような凹所が形成されていれば、シール材が締め付けられた場合に凹所内の空気が排出されて、吸盤作用により効果的に転動を防止ることができる。
本発明に係るあり溝用シール材によれば、リップ部が小さな荷重で極めて容易に変形するので、低荷重でシール力を得ることができる。また、そのリップ部によりシールされた状態で、反対側の凸部が相手部材を押圧するので、パーティクルの発生を防止するとともに、シール部材の転動を防止することができる。
さらに、あり溝への装着に関しては、凸部をあり溝の開口縁に係止させ、その状態からシール材を回動させれば良いので、極めて容易に、かつ適正な姿勢でシール材を装着することができる。また、シール材本体の凸部と反対側に位置する直線部側では、角部の近傍を局部的に弾性変形させるだけで内部に押し込むことができるので、装着作業は極めて容易になる。
以下、図面を参照しながら本発明の実施例について説明する。
図1は、本発明の一実施例に係るあり溝用シール材20の装着状態を、図2はそのシール構造を備えた真空用ゲート弁30の概略を示したものである。また、図3は、シール材20の自然状態での断面形状を示したものである。
図1は、本発明の一実施例に係るあり溝用シール材20の装着状態を、図2はそのシール構造を備えた真空用ゲート弁30の概略を示したものである。また、図3は、シール材20の自然状態での断面形状を示したものである。
本実施例のあり溝用シール材20は、閉環状のシール材であり、例えば、閉環状のあり溝42が形成された一方の部材(例えば、弁板に相当)40と、他方の部材(例えば、バルブケーシングに相当)50との封止箇所に装着される。
一方の部材40の表面に形成されたあり溝42は、開口幅Hを有し、開口端縁から底面にかけてテーパ−状に拡がる台形状をなし、一対の傾斜面と平坦な底面を有している。また、あり溝42の開口縁には、小さなアールが設けられ、底面側の隅部にも小さなアールが設けられている。
一方、シール材20のシール材本体20aは、断面が扁平した略楕円形状であり、あり溝42から外方に突出されるシール材本体20aの外周面に、斜め方向にリップ部24が設けられている。他方、このリップ部24から若干離れた位置に、リップ部24とは異なる方向に傾斜した凸部26が突出形成されている。なお、リップ部24と凸部26の延びる方向のなす角αは、略90°であることが好ましい。
本実施例のシール材20は、このような形状を基本構造としているが、さらに具体的な形状について詳述する。
すなわち、シール材20のシール材本体20aは、図1および図3に示したように、あり溝42の底面に配置される基辺部28と、他方の部材50の表面に当接する先端側膨出辺部32と、前記基辺部28の一端につながり外側に張り出す膨出辺部34と、前記基辺部28の他端につながり直線で構成され外側に張り出す直線辺部36とを備えており、上記したリップ部24と凸部26は、先端側膨出辺部32に形成されている。
すなわち、シール材20のシール材本体20aは、図1および図3に示したように、あり溝42の底面に配置される基辺部28と、他方の部材50の表面に当接する先端側膨出辺部32と、前記基辺部28の一端につながり外側に張り出す膨出辺部34と、前記基辺部28の他端につながり直線で構成され外側に張り出す直線辺部36とを備えており、上記したリップ部24と凸部26は、先端側膨出辺部32に形成されている。
また、基辺部28の中間部には、凹所38が形成されている。
上記直線辺部36は、中間部に少なくとも一箇所の角部36aが形成され、この角部36aを境に、第1の直線辺部44と第2の直線部46とが形成されている。さらに、リップ部24と第2の直線辺部46との間は、略直線状の傾斜辺部47で接続され、両者間に略直角な角部46aが形成されている。
上記直線辺部36は、中間部に少なくとも一箇所の角部36aが形成され、この角部36aを境に、第1の直線辺部44と第2の直線部46とが形成されている。さらに、リップ部24と第2の直線辺部46との間は、略直線状の傾斜辺部47で接続され、両者間に略直角な角部46aが形成されている。
以下、本実施例によるシール材20の各部の望ましい設計条件について説明する。
図3において、シール材20の全幅をW1、図1に示したあり溝42の開口幅をHとしたとき、
H×1.1≦W1≦H×1.3 であることが望ましい。
図3において、シール材20の全幅をW1、図1に示したあり溝42の開口幅をHとしたとき、
H×1.1≦W1≦H×1.3 であることが望ましい。
W1がこれより小さいと、シール材20はシール溝42から脱落する虞があり、これよりも大きいとシール溝42に対する装着性が悪くなる。
また、膨出辺部34の曲率半径をRとしたとき、
H×0.25≦R≦H×0.35 であることが望ましい。
また、膨出辺部34の曲率半径をRとしたとき、
H×0.25≦R≦H×0.35 であることが望ましい。
曲率半径Rがこのような範囲に設定されていれば、基辺部28を充実させて、シール材としての強度(剛性)を確保することができる。曲率半径Rがこれより小さいと、シール溝42から脱落する虞があり、これより大きいとシール溝42に対する装着性が悪くなる。
また、シール材20の全高をH1、先端側膨出辺部32から延出されたリップ部24の高さをH2、シール部本体20aの高さをH3としたとき、
H1×0.6≦H3≦H1×0.8 であることが好ましい。
H1×0.6≦H3≦H1×0.8 であることが好ましい。
シール部本体20aの高さH3が、このような範囲に設定されていれば、シール材としての強度(剛性)を確保することができる。これより小さいと、シール溝42から脱落する虞があり、これより大きいとシール溝42に対する装着性が悪くなる。
さらに、リップ部24の傾斜角度をβとしたとき、
135°≦β≦160° であることが好ましい。
傾斜角度βがこれより小さいと、相手部材とのシール接触点の移動量が大きくなるとともに、こすれが発生しやすく、結果として、磨耗やパーティクルが生じてしまう。また、これより傾斜角度βが大きいと、リップ部24が変形できないので、低荷重で座屈してしまう結果となる。
135°≦β≦160° であることが好ましい。
傾斜角度βがこれより小さいと、相手部材とのシール接触点の移動量が大きくなるとともに、こすれが発生しやすく、結果として、磨耗やパーティクルが生じてしまう。また、これより傾斜角度βが大きいと、リップ部24が変形できないので、低荷重で座屈してしまう結果となる。
さらに、リップ部24の先端から直線部46と傾斜辺部47とが交わる角部46aまでの水平方向の距離をW3、全幅W1からW3を引いた長さをW2としたとき、
W1×0.6≦W2≦W1×0.8 であることが好ましい。
W1×0.6≦W2≦W1×0.8 であることが好ましい。
W2がこれよりも大きいと、シール材20をシール溝に装着する場合に、シール溝42の開口部にかみ込んでしまう虞があり、これより小さいと、リップ部24によるシール効果が発揮されない。すなわち、低荷重でのシール効果が無くなってしまうことになる。
よって、上記のような範囲に各部材の寸法が設計されていることが望ましい。
本実施例によるシール材20は、全体が弾性変形可能なゴム材料から形成されている。ゴム材料としては、例えば、硬度60〜70HA程度のフッ素ゴム、シリコンゴム、EPDM系ゴムなどが挙げられるが、特に、半導体製造装置や液晶製造装置の真空用ゲート弁などに使用される場合には、内部がプラズマ環境となる場合が多いことから、耐プラズマ性に優れたフッ素ゴムが好ましい。
本実施例によるシール材20は、全体が弾性変形可能なゴム材料から形成されている。ゴム材料としては、例えば、硬度60〜70HA程度のフッ素ゴム、シリコンゴム、EPDM系ゴムなどが挙げられるが、特に、半導体製造装置や液晶製造装置の真空用ゲート弁などに使用される場合には、内部がプラズマ環境となる場合が多いことから、耐プラズマ性に優れたフッ素ゴムが好ましい。
以下に、このようなシール材20のあり溝42内への装着について、図4を参照しながら説明する。なお、図4中の矢印は、力の作用する方向を示したものである。
先ず、図4(A)に示したように、あり溝42内にシール材20の基辺部28および膨出辺部34側を対向させ、膨出辺部34からあり溝42内に挿入する。このとき、直線辺
部36と基辺部28との境界部分が、あり溝42の開口縁をなぞるように摺動する。この状態から、さらに図4(A)に矢印で示したように膨出部34側を斜め方向に軽く押し込めば、図4(B)に示したように、凸部26があり溝42の開口縁に当接される。このように、凸部26があり溝42の開口縁に当接された状態から、さらにシール部材20を押し込めば、ここを支点としながら図4(C)に示したように、第1の直線辺部44があり溝42の開口縁を通過して、あり溝42の内側に配置される。このとき、直線辺部36の角部36aの近傍を若干圧縮するだけで、シール材20を内方に収納することができるので、大きな力が不要である。
先ず、図4(A)に示したように、あり溝42内にシール材20の基辺部28および膨出辺部34側を対向させ、膨出辺部34からあり溝42内に挿入する。このとき、直線辺
部36と基辺部28との境界部分が、あり溝42の開口縁をなぞるように摺動する。この状態から、さらに図4(A)に矢印で示したように膨出部34側を斜め方向に軽く押し込めば、図4(B)に示したように、凸部26があり溝42の開口縁に当接される。このように、凸部26があり溝42の開口縁に当接された状態から、さらにシール部材20を押し込めば、ここを支点としながら図4(C)に示したように、第1の直線辺部44があり溝42の開口縁を通過して、あり溝42の内側に配置される。このとき、直線辺部36の角部36aの近傍を若干圧縮するだけで、シール材20を内方に収納することができるので、大きな力が不要である。
この状態から傾斜辺部47が内方に位置するまで押し込めば、図4(D)に示したように、シール材20のシール材本体20aを完全にあり溝42内に装着することができる。
図4(D)に示したような自然状態において、シール材20は、図の右方に位置する膨出部34の一部があり溝42の内周面に当接される。さらに、反対側では、第2の直線部46と傾斜辺部47との間の角部46aが、あり溝42の傾斜面に当接される。したがって、図4(D)の状態では、シール材20は、あり溝42の幅方向に移動することができず、しかも、あり溝42の開口縁が狭まっていることから、外方に脱落することもない。
図4(D)に示したような自然状態において、シール材20は、図の右方に位置する膨出部34の一部があり溝42の内周面に当接される。さらに、反対側では、第2の直線部46と傾斜辺部47との間の角部46aが、あり溝42の傾斜面に当接される。したがって、図4(D)の状態では、シール材20は、あり溝42の幅方向に移動することができず、しかも、あり溝42の開口縁が狭まっていることから、外方に脱落することもない。
以下に、一方の部材40に装着されたシール材20を締め付ける場合の挙動について、図5を参照しながら説明する。
今、図5(A)に示したように、シール材20が一方の部材40内に装着され、この部材40に他方の部材50が接近して、リップ部24の先端部に当接したとする。この状態で、シール材20には、図5(A)の矢印で示したような回転力が発生し、直線辺部36の両端部A,Bと膨出辺部34の外周部分Cとがあり溝42の内周面に当接した状態で押し込まれる。図5(B)に示したように、リップ部24に加えてシール材20の凸部26が他方の部材50に押し込まれる場合に、リップ部24は反時計方向の回転力を受ける。その回転力は、基辺部28の膨出辺部34側があり溝42から若干浮き上がる方向に作用する。このようにシール材20の底面側が若干浮き上がるが、さらに圧縮が進むと、今度は図5(C)に示したように、浮き上がった部分があり溝42の底面側に押し戻される。
今、図5(A)に示したように、シール材20が一方の部材40内に装着され、この部材40に他方の部材50が接近して、リップ部24の先端部に当接したとする。この状態で、シール材20には、図5(A)の矢印で示したような回転力が発生し、直線辺部36の両端部A,Bと膨出辺部34の外周部分Cとがあり溝42の内周面に当接した状態で押し込まれる。図5(B)に示したように、リップ部24に加えてシール材20の凸部26が他方の部材50に押し込まれる場合に、リップ部24は反時計方向の回転力を受ける。その回転力は、基辺部28の膨出辺部34側があり溝42から若干浮き上がる方向に作用する。このようにシール材20の底面側が若干浮き上がるが、さらに圧縮が進むと、今度は図5(C)に示したように、浮き上がった部分があり溝42の底面側に押し戻される。
図5(C)のシール状態では、リップ部24は反時計方向に、凸部26は時計方向への回転力が発生しており、これにより、シール材20の転動が確実に防止されている。
このように、本実施例では、シール部材20が装着された一方の部材40は、他方の部材50との締め付けにより、先にリップ部24が変形され、リップ部24が十分に変形された後に、凸部26が変形するので、低荷重でシール力を得ることができる。また、このように締め付けられた状態であっても、リップ部24と凸部26との二股に分かれて変形するので、転動や姿勢の崩れを防止することができる。
このように、本実施例では、シール部材20が装着された一方の部材40は、他方の部材50との締め付けにより、先にリップ部24が変形され、リップ部24が十分に変形された後に、凸部26が変形するので、低荷重でシール力を得ることができる。また、このように締め付けられた状態であっても、リップ部24と凸部26との二股に分かれて変形するので、転動や姿勢の崩れを防止することができる。
さらに、図5(C)の状態からさらに、想定外の強い圧縮荷重を受けたとしても、凸部26が、上方に向けて反力を発生するので、それ以上の圧縮変形が抑制され、一方の部材40と他方の部材50とによるメタルタッチを防止することができる。したがって、パーティクルの発生を可及的に防止することができる。
さらに、本実施例では、基辺部28のあり溝底面側に凹所38が形成されているので、図5(C)に示したように、締め付けられた状態では、この凹所38が吸盤作用を発揮するため、このシール材20があり溝42内に、より一層密着される。このように、このシール材20があり溝42側に密着されれば、あり溝42からの脱落防止性を向上させることができる。
図6は、従来例であるOリング8と、本実施例によるシール材20との装着性、圧縮性、および脱落防止性を対比して示した断面図である。この図から明らかなように、本実施
例のシール材は、つぶし代tを変形させるための荷重がOリング8に比べて小さくて良い。したがって、圧縮時に低荷重でシール性を得ることができる。また、装着性が良好であるとともに、膨出辺部34と直線辺部36との係止により、あり溝42からの抜けを効果的に防止できる。このように、シール時の荷重が低荷重で良く、さらに装着状態からの脱落防止性が極めて良好であることは明らかである。
例のシール材は、つぶし代tを変形させるための荷重がOリング8に比べて小さくて良い。したがって、圧縮時に低荷重でシール性を得ることができる。また、装着性が良好であるとともに、膨出辺部34と直線辺部36との係止により、あり溝42からの抜けを効果的に防止できる。このように、シール時の荷重が低荷重で良く、さらに装着状態からの脱落防止性が極めて良好であることは明らかである。
図7は、つぶし代と圧縮荷重との関係を、実施例と従来例とを対比して示したグラフである。
一般に、シール部分では、上記したように、一定以上の応力がシール材8,20に作用して所定のつぶし代tを変形させてシール機能を発揮するが、図7のグラフから明らかなように、従来例であるOリングの場合には、つぶし代tが大きくなるに比例して、これに必要な圧縮荷重も大きくなっているが、本実施例の場合には、つぶし代tが大きくなっても、締付荷重はそれほど変わらないことが確認された。
一般に、シール部分では、上記したように、一定以上の応力がシール材8,20に作用して所定のつぶし代tを変形させてシール機能を発揮するが、図7のグラフから明らかなように、従来例であるOリングの場合には、つぶし代tが大きくなるに比例して、これに必要な圧縮荷重も大きくなっているが、本実施例の場合には、つぶし代tが大きくなっても、締付荷重はそれほど変わらないことが確認された。
したがって、本実施例によれば、仮に、ウェハなどの被処理体が大型化するに伴って真空用ゲートバルブが大型化されたとしても、それに装着されるシール材は、Oリングの場合のように、圧縮荷重をそれ程大きくする必要はないことが確認された。
以上、本発明に係るあり溝用シール材の一実施例について説明したが、本発明は、上記実施例に何ら限定されない。
例えば、上記実施例では、特に、半導体製造装置、液晶製造装置において使用されるワンアクションタイプの真空用ゲート弁を例にして説明したが、使用箇所は、これに限定されるものではない。あり溝42が形成されたシール溝であれば、どのような部材にも有効に適用することができる。また、凹所38は、必須のものではない。
例えば、上記実施例では、特に、半導体製造装置、液晶製造装置において使用されるワンアクションタイプの真空用ゲート弁を例にして説明したが、使用箇所は、これに限定されるものではない。あり溝42が形成されたシール溝であれば、どのような部材にも有効に適用することができる。また、凹所38は、必須のものではない。
20 シール材
20a シール材本体
24 リップ部
26 凸部
28 基辺部
30 真空用ゲート弁
32 先端側膨出辺部
34 膨出辺部
36 直線辺部
36a 角部
38 凹所
40 一方の部材
42 あり溝
50 他方の部材
20a シール材本体
24 リップ部
26 凸部
28 基辺部
30 真空用ゲート弁
32 先端側膨出辺部
34 膨出辺部
36 直線辺部
36a 角部
38 凹所
40 一方の部材
42 あり溝
50 他方の部材
Claims (6)
- シール面に形成されたあり溝に装着される閉環状のシール材であって、
あり溝内に装着されるシール材本体の断面が扁平した略楕円形状であり、前記あり溝内から外方に突出される前記シール材本体の外周面に斜め方向に延びるリップ部と、このリップ部とは異なる方向に延びる凸部と、を備えたことを特徴とするあり溝用シール材。 - 前記凸部は、前記リップ部の高さに比べて背が低く形成されていることを特徴とする請求項1に記載のあり溝用シール材。
- 前記シール材本体における前記あり溝の底面に当接する基辺部に、凹所が形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載のあり溝用シール材。
- 部材同士の接合箇所でいずれか一方の部材の表面に設けられたあり溝内に装着され他方の部材の表面と当接することで両部材間を封止する閉環状のシール材であって、
弾性変形可能な材料からなり、
断面形状において、前記あり溝の底面に配置され略直線状をなす基辺部と、
前記あり溝と対向する他方の部材の表面に当接する先端側膨出辺部と、
前記基辺部の一端につながり外側に張り出す膨出辺部と、
前記基辺部の他端につながり直線で構成され外側に張り出す直線辺部と、
を備え、
かつ、前記先端側膨出辺部から斜め方向に延出されたリップ部と、
前記先端側膨出辺部から前記リップ部とは異なる方向に突出された凸部と、を備えたことを特徴とするあり溝用シール材。 - 前記直線辺部内に少なくとも一箇所の角部が構成されていることを特徴とする請求項4に記載のあり溝用シール材。
- 前記基辺部に、凹所が形成されていることを特徴とする請求項4に記載のあり溝用シール材。
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