JP4019032B2 - 密封構造体 - Google Patents
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Description
いずれの弾性シール41b,41c,41d,41eにせよ、平面図は図7に例示するような全体環状の形状である。また、上述のOリング(シール41a)は自由状態下で全体円形環状であるので、これを図7のような矩形に変形させたものを蟻溝42に嵌着していたので、矩形角部で引張りが生じるため、シール面に問題を生ずる場合があった。
次に、図6(D)の弾性シール41dは蟻溝42内へ逆組付けを行う虞があり、また、ゴムの摩耗粉(パーティクル)を生じるという問題がある。
図6(C)と(D)に於て、特に、矢印Kは清浄空間側(内径側)であって、液晶や半導体が収納されて加工される清浄度が要求される側を示しており、その清浄空間側(内径側)Kの開口端縁部43に対して、弾性シール41c,41dは摩擦して摩耗粉(パーティクル)を発生する形状であった。
法が、蟻溝深さ寸法の80%〜95%に設定され、さらに、上記中位肩部が第2側壁面に対し
て当接する、上記底壁面からの高さ寸法が、蟻溝深さ寸法の30%〜70%に設定されている
。
図1〜図4に於て、本発明に係る密封構造の実施の一形態を示し、この密封構造体は、蟻溝3を備えた被取付部材2と、この蟻溝3内へ装着されるゴム製等の弾性シール1と、平坦面20を有して蟻溝3内の弾性シールを押圧する相手部材21と、から成る。
弾性シール1は全体が略矩形状(図7参照)や、競技トラック状(長円形状)等の環状である。
なお、アール部18の代りに傾斜直線状の勾配部をもって、側面ストレート部17と底面ストレート部11とを連絡してもよい(図示省略)。
底面ストレート部11の図3の左端(大気側Mの端)は、小さな半径R6 のアール部24、及び、(底面ストレート部11側へ幅寸法が減少する方向に傾斜した)ストレート状逆勾配部25を介して、中位肩部12Lに連結されている。
また、上記高位肩部12Hが第1側壁面5に対して近接乃至当接する、上記底壁面7からの高さ寸法H13が、蟻溝深さ寸法H3 の80%〜95%に設定され、さらに、上記中位肩部12Lが第2側壁面6に対して当接する、上記底壁面7からの高さ寸法H12が、蟻溝深さ寸法H3 の30%〜70%に設定されているので、相手部材21の平坦面20に固着して弾性シール1が抜き出ることを防止できると共に清浄空間側Kに、デポ(成膜時の酸化ゴミ)が溜まることを防止し、かつ、反対の大気側Mでは圧縮弾性変形時のゴミの逃げる空間を確保できる。
H13<0.80×H3 の場合は、開口端縁部4aと大アール部16との間に空間が生じてデポが溜まる虞が高まる。逆に、H13>0.95×H3 の場合は、弾性シール1が蟻溝3から抜け出る虞が高まる。そして、H12<0.30×H3 の場合は、間隙部Gが大きくなり過ぎ、逆に、H12>0.70×H3 の場合は間隙が小さくなる。
2 被取付部材
3 蟻溝
4 開口部
4b 開口端縁部
5 第1側壁面
6 第2側壁面
7 底壁面
9 突出部
11 底面ストレート部
12H 高位肩部
12L 中位肩部
17 側面ストレート部 18 アール部
20 平坦面
21 相手部材
G 間隙部
H3 ,H12,H13 高さ寸法
K 清浄空間側(内径側) M 大気側(外径側)
θ 傾斜角度
Claims (1)
- 開口部(4)と、相互に該開口部(4)側に近づくにつれて接近する第1側壁面(5)
・第2側壁面(6)と、底壁面(7)とを、有する蟻溝(3)を備えた被取付部材(2)
と、該蟻溝(3)内へ装着される弾性シール(1)と、該弾性シール(1)が上記蟻溝(
3)から突出している突出部(9)を押圧する相手部材(21)と、から成ると共に、清浄
空間側(K)と大気側(M)とを遮断して密封する密封構造体であって、該弾性シール(
1)は、上記蟻溝(3)内へ装着されかつ上記相手部材(21)の平坦面(20)が押圧され
ない未圧縮装着状態に於て、上記蟻溝(3)の底壁面(7)に対応する底面ストレート部
(11)を有し、かつ、上記清浄空間側(K)に対応する上記第1側壁面(5)に対して上
記開口部(4)の近傍にて近接乃至当接する高位肩部(12H)を有し、上記大気側(M)
に対応する上記第2側壁面(6)に対して蟻溝深さ寸法(H3 )の中位の高さで当接する
中位肩部(12L)を有し、該中位肩部(12L)から上記突出部(9)に渡って上記開口部
(4)の開口端縁部(4b)との間に間隙部(G)を形成するよう構成され、かつ、上記未圧縮装着状態に於て、上記高位肩部(12H)が第1側壁面(5)に対して近接乃至当接する、上記底壁面(7)からの高さ寸法(H 13 )が、蟻溝深さ寸法(H 3 )の80%〜95%に設定され、さらに、上記中位肩部(12L)が第2側壁面(6)に対して当接する、上記底壁面(7)からの高さ寸法(H 12 )が、蟻溝深さ寸法(H 3 )の30%〜70%に設定されていることを特徴とする密封構造体。
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