JP4774549B2 - 真空用ゲート弁およびこれに用いられるシール部材 - Google Patents
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Description
シール部材装着溝の外方端が開放するように形成されたプレート本体と、
前記プレート本体の前記シール部材装着溝内に装着され、弾性部材により無端状に形成されたシール部材と、を有する真空用ゲート弁であって、
前記シール部材の断面形状は、頂点Tを有する略山形であり、この頂点Tよりも前記シール部材装着溝の幅方向の外側に外側傾斜面を有し、前記頂点Tよりも前記シール部材装着溝の幅方向の内側に内側傾斜面を有し、さらに、前記外側傾斜面の傾斜角をθ1、前記内側傾斜面の傾斜角をθ2、前記シール部材装着溝の底面の幅をSとしたとき、
前記頂点Tの位置は、S/2よりも前記シール部材装着溝の内側に位置しており、かつθ1>θ2であることを特徴としている。
前記頂点Tの位置は、S/2よりも前記シール部材装着溝の幅方向の内側に位置しており、かつθ1>θ2であることを特徴としている。
23 シール部材装着溝
24 シール部材
24d 外側傾斜面
24e 内側傾斜面
32 裾部
40 プレート本体
P 屈曲点
T 頂点
θ1、θ2 傾斜角
すなわち、シール部材24は、図3および図4に示したように、断面形状で見れば略山形である。そして、このシール部材24は、図3および図4に示したように、外方の端部が開放された断面略L字状のシール部材装着溝23の2辺に対応して、互いに直角な底辺24aと内側辺24bとを有している。
Claims (3)
- シール部材装着溝の外方端が開放するように形成されたプレート本体と、
前記プレート本体の前記シール部材装着溝内に装着され、弾性部材により無端状に形成されたシール部材と、を有する真空用ゲート弁であって、
前記シール部材の断面形状は、頂点Tを有する略山形であり、この頂点Tよりも前記シール部材装着溝の幅方向の外側に外側傾斜面を有し、前記頂点Tよりも前記シール部材装着溝の幅方向の内側に内側傾斜面を有し、さらに、前記外側傾斜面の傾斜角をθ1、前記内側傾斜面の傾斜角をθ2、前記シール部材装着溝の底面の幅をSとしたとき、
前記頂点Tの位置は、S/2よりも前記シール部材装着溝の内側に位置しており、かつθ1>θ2であることを特徴とする真空用ゲート弁。 - 前記外側傾斜面の下部には、屈曲点Pが形成され、この屈曲点Pからさらに前記シール部材装着溝の幅方向の外方に向かうにしたがって傾斜角が緩やかに小さくなる裾部が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の真空用ゲート弁。
- 断面形状が頂点Tを有する略山形であり、前記頂点Tよりも前記シール部材装着溝の幅方向の外側に外側傾斜面を有し、前記頂点Tよりも前記シール部材装着溝の幅方向の内側に内側傾斜面を有し、さらに、前記外側傾斜面の傾斜角をθ1、前記内側傾斜面の傾斜角をθ2、前記シール部材装着溝の底面の幅をSとしたとき、
前記頂点Tの位置は、S/2よりも前記シール部材装着溝の幅方向の内側に位置しており、かつθ1>θ2であることを特徴とするシール部材。
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