CN102161409A - 玻璃基板运送用容器以及玻璃基板运送台车 - Google Patents

玻璃基板运送用容器以及玻璃基板运送台车 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种玻璃基板运送用容器以及玻璃基板运送台车，其能既确保被收纳在容器内的大型玻璃基板的清洁性又不损伤基板。本发明是在玻璃基板运送用容器(10)的四条边的各周边部中两条对边的周边部的中央部的各个上设置回转夹具(18a、18b)，其用于使得收纳了玻璃基板(11)的状态下的容器能够相对于水平面倾斜，该回转夹具(18a、18b)通过设置在运送用台车(30)的框架体(31)柱部的顶部的夹具(32)支撑，并能够在预定的角度范围内倾斜。由此，即使在高度和宽度方向都受限制的通道中也能够使得容器(10)倾斜并进行运送。这样，能够在既确保被收纳在容器(10)内的大型玻璃基板(11)的清洁性又不损伤基板而对大型玻璃基板(11)进行保管与运送。

Description

玻璃基板运送用容器以及玻璃基板运送台车
技术领域
本发明涉及一种用于运送玻璃基板的容器及台车，更具体地说，涉及一种对运送大型玻璃基板特别有效的运送技术，该大型玻璃基板是在制造液晶显示器等设备时作为防尘部件使用的光刻用防尘薄膜组件的制造用基板。
背景技术
在LSI等半导体装置或液晶显示器等设备的制造中，通过光照射将描绘在光掩模上的图案转印到晶片或原板上。若上述光刻法工序所使用的光掩模上附着了微尘或微粒，则这些附着物会吸收曝光用光或使曝光用光折射，结果引起转印图案变形或图案边缘的清晰度降低等，并有影响图案的尺寸、质量以及外观等问题。
鉴于上述问题，与光刻法相关的工序通常是在无尘室内进行，即便如此，要使光掩模始终保持清洁仍很困难。于是，在光掩模表面粘贴防尘薄膜组件，防止微尘或微粒等异物附着在光掩模表面，并使用该状态的光掩模进行曝光。
该场合，异物不直接附着于光掩模的表面，而是附着于防尘薄膜组件上，因此，只要在光刻时将焦点对准在光掩模的图案上，防尘薄膜组件上的异物就与转印无关。
一般的防尘薄膜组件是这样制成的：将由硝化纤维素、醋酸纤维素或氟树脂等制成的能良好透光的透明防尘薄膜粘贴或粘接在由铝合金、不锈钢以及聚乙烯等构成的防尘薄膜组件的上端面。另外，在防尘薄膜组件的下端，设置由聚丁烯树脂、聚醋酸乙烯酯树脂、丙烯酸树脂等制成的并被用于将防尘薄膜组件安装到光掩模上的粘着层，以及用于保护该粘着层的离型层(隔离部)。
虽然防尘薄膜组件被贴附到光掩模上之后，有防止异物从外部向光掩模表面附着的效果，但是防尘薄膜组件本身若附着了异物，则担心该异物会附着到光掩模上。因此，防尘薄膜组件本身需要保持清洁，并要求用于制造防尘薄膜的大型玻璃基板也具有高度洁清性。
专利文献：特开2007-250688号公报
由于上述原因，要求保管和运送用于防尘薄膜的制造等的大型玻璃基板的容器具有既能够保持被收纳在其内部的玻璃基板表面的清洁性又不损伤基板的结构。
更具体地说，要求提供一种容器，其由防带电性能优异、摩擦时微尘量少的材料制成，并具有能够最大限度防止基板与构成零件之间接触的结构，而且，还具有被施加外力时能够防止变形的高刚性结构。
然而，以往的基板运送方法是使用安装于基板运送容器的滚轮等进行垂直运送，但是在运送大型玻璃基板时，会由于天花板的妨碍导致无法进行垂直运送等，实际上很难说充分满足了既确保被收纳在基板运送容器内部的大型玻璃基板的清洁性又不损伤基板地进行保管及运送这一要求(例如，参照上述专利文献)。
发明内容
本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种运送用容器以及运送用台车，在保管及运送用于光刻用防尘薄膜组件的制造等的大型玻璃基板时，既确保被收纳的大型玻璃基板的清洁性又不对基板造成损伤。
为了解决上述课题，本发明涉及的玻璃基板运送用容器是一条边的长度为1000mm以上，厚度为10mm以上的大型矩形玻璃基板的运送用容器，其特征在于，包括：下部主体和上部主体，所述下部主体呈矩形，其用于载置所述玻璃基板，所述上部主体呈矩形，其与该下部主体嵌合并作为将内部密封的盖；所述下部主体具有设置在周边部的下外框架部、设置在该下外框架部的下嵌合部、设置在四条边的周边部的各个上的基板载置部、设置在该基板载置部的各个上的基板固定部以及回转夹具的安装部，所述安装部是互为相对地设置在所述四条边的各周边部中的两条相对的边的各周边部的夹具安装部，所述回转夹具以连接设置在该相对的周边部的夹具安装部的直线为回转轴，能够使得所述容器从水平面倾斜；所述上部主体具有设有上嵌合部的上外框架部，所述上嵌合部通过与所述下嵌合部嵌合将所述容器内部密封。
本发明优选，具有设置在所述四条边的各周边部中两条邻边的周边部的基板载置部的基板定位部。另外，安装在所述夹具安装部的回转夹具可以是能够安装以及拆卸的形态。
本发明涉及的玻璃基板运送用台车是用于搬运本发明的玻璃基板运送用容器的玻璃基板运送用台车，包括：对安装在所述夹具安装部的回转夹具进行支撑的支撑部，以及用于保持所述容器的主面与水平面形成的倾斜角的倾斜角决定部。
优选本发明的玻璃基板运送用台车能够决定所述倾斜角以水平面为基准为0至90度范围内。
下面说明本发明的效果。
本发明中，在玻璃基板运送用容器的四条边的各周边部中两条对边的周边部的各中央部设置回转夹具，其用于使得处于收纳了玻璃基板的状态的容器能够相对于水平面倾斜，该回转夹具通过设置在运送用台车的框架体柱部的顶部的夹具支撑，并能够在预定的角度范围内倾斜。由此，即使在高度和宽度方向都受限制的通道中也能够使得容器倾斜并进行运送，这样就能够既确保被收纳在容器内的大型玻璃基板的清洁性又不损伤基板地进行保管与运送。
附图说明
图1是表示容器的下部主体中收纳了玻璃基板的状态的一种形态的俯视概略图；
图2是沿图1中虚线A的截面概略图；
图3是沿图1中虚线B的截面概略图；
图4是沿图1中虚线C的截面概略图；
图5是表示本发明的玻璃基板运送用容器装载在运送台车上的状态时的立体图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明涉及的玻璃基板运送用容器以及玻璃基板运送用台车进行说明。
图1是表示本发明的玻璃基板运送用容器的下部主体中收纳了玻璃基板状态下的一种形态的俯视概略图。该玻璃基板11是一条边长度为1000mm以上，厚度为10mm以上的大型矩形玻璃基板，该玻璃基板11载置于基板载置部15的上面，所述基板载置部15设置在玻璃基板运送用容器的矩形的下部主体12的四条边的周边部(周缘部)的各个上，用旋钮16从上部将设置在各该基板载置部15的基板固定部(基板固定工具)14夹紧，从而使玻璃基板11固定。该图表示在四条边的各周边部的三个部位设置基板载置部15的例子。
在设置于四条边的各周边部中两条邻边的周边部的端部的基板载置部15设置夹具(基板定位部)13，其用于对被收纳在下部主体12内部的状态的玻璃基板11进行定位。在使用装卸臂(没有图示)将玻璃基板11载置到基板载置部15上时，用该基板定位部13对该玻璃基板11进行位置调整，该基板定位部13由例如树脂部件和金属制螺钉构成。
而且，在四条边的各周边部中的两条对边的周边部的各中央部设置回转夹具18a、18b的安装部17a、17b，该回转夹具18a、18b用于使得呈收纳了玻璃基板11状态的容器能够相对于水平面倾斜，回转夹具18a、18b互为相对地被固定在这些安装部17a、17b中。因此，连接回转夹具18a和18b的直线便成了使得收纳了玻璃基板11状态的容器相对于水平面倾斜时的回转轴。另外，安装于回转夹具的安装部17a、17b的回转夹具18a、18b能够安装或拆卸。
由于基板固定部14与玻璃基板11的表面接触，也就是说与对防尘薄膜组件有膜的面接触，因此，将其设置在将玻璃基板11的尽量靠端部处(边缘部)压紧的位置。这些基板载置部15及基板固定部14的配置、数量或其形状并不仅限于本发明附图例示的形态，也可以根据载置或取出玻璃基板11时所使用的装卸臂(没有图示)的形状等适当设计。
图2是沿图1中虚线A的截面概略图。在下部主体12的周边部(周缘部)设置具有下嵌合部20的下外框架部19。下嵌合部20通过与形成在上外框架部26的上嵌合部27嵌合，从而将容器内部密封。所述上外框架部26设置在矩形的上部主体21的周边部，上部主体21是将容器内部密封的盖。为了防止异物从外部侵入，理想的是尽可能缩小嵌合部的间隙。另外，为了防止由于上部主体21的嵌合部与下部主体12的嵌合部接触时产生灰尘，可以在下嵌合部20的周缘部埋入密封垫(没有图示)。为了进一步提高容器内部的密封性，理想的是用粘接胶带(没有图示)将上部主体与下部主体密封，且用被称为拉扣的夹紧零件等(没有图示)固定。
容器的下部主体12和上部主体21以及设置于下部主体12的基板定位部13、基板载置部15、基板固定部14的材料可以从尼龙、聚甲醛等工程塑料中适当选择。另外，为了减少因带电附着异物，优选使用防带电材料。这些树脂部件的颜色优选黑色，以便容易确认异物。
在树脂制上部主体21的上面与下部主体12的下面分别设置用于防止变形的加固件22、23。另外，在使得容器倾斜并装载到运送用台车上时，由于成为下方侧的下部主体12的侧面被施加负荷，因此，在下部主体12的侧面设置加固件24。只要通过称作拉扣的底座零件(没有图示)分别连接加固件23、24，就能够提高作为加固件的刚性。加固件的材料可以选择不锈钢、铝合金等，但从既保持玻璃基板运送容器的强度又尽可能减轻总重量这一观点来看，优选使用比强度大的材料。另外，图中符号25表示容器的脚部。
图3是沿图1中虚线B的截面概略图，图4是沿图1中虚线C的截面概略图。如图3所示，在基板载置部15设置基板定位部13，用于对被收纳在下部主体12内的状态下的玻璃基板11进行定位。
图5是表示本发明玻璃基板运送用容器装载在运送用台车上的状态的立体图。作为对运送容器进行运送时的姿势，可以设想有使容器的主面处于水平状态进行运送，以及使容器以垂直竖立的状态进行运送。然而，前者在有高度方向限制的情况下有利，但在有宽度方向限制的情况下则不利，后者与前者相反。在实际使用的设有空气吹淋室、制造装置等的无尘室内的运送通道中，高度方向和宽度方向都受到限制的情况并不少见。于是，理想的是能够使玻璃基板运送用容器10倾斜地运送，这样，即使运送高度方向和宽度方向都受限制也能够进行运送。
图5所示形态的运送用台车30中，在框架体31的柱部的顶部两个相对的位置设置回转夹具的支撑部32，所述回转夹具设置在容器10的两条对边的中央部并且能够安装或拆卸，在该支撑部32设置倾斜角决定机构(没有图示)，能够使得容器10的主面与水平面形成的倾斜角呈被保持状态。
作为倾斜角决定机构(也就是说，使得容器10倾斜时的固定机构)，例如金属线、带螺钉旋钮、拉扣等止动工具。另外，从安全性的观点来看，最好设置即使在倾斜角决定机构脱落的情况下容器10也不会回转的止动件(没有图示)。进而，在框架体31的下部设置车轮33。
回转夹具支撑部32设有树脂制辊(没有图示)，能够容易地使容器10顺利地倾斜。容器10的倾斜可能范围(倾斜角范围)并不限定于该图中的形态，可以根据运送通道的高度和宽度适当设计。在一般的运送通道，理想的是该倾斜角能够保持在以水平面为基准的0至90度的范围内。
实施例
下面说明本发明的实施例，但是，本发明并不仅限于此实施例。
使用聚丙烯腈类非晶性热塑性树脂板(商品名称：三巴莱克斯(サンバレツクス)，三协化成株式会社生产)，通过粘结制成图1至图4所示容器的下部主体12与上部主体21。上部主体12与下部主体21的内尺寸为1940mm×1800mm，将各主体组合而成的容器10的外形尺寸是2020mm×1880mm，厚度为195mm。另外，该外形尺寸是包含加固件，但不包含突起部的值。
加固件22、23以及24是组合使用铝合金制挤压材料制成，因此具有防止变形的高刚性结构。另外，玻璃基板11的尺寸为1780×1620mm，厚度为17mm。
基板载置部15、基板固定部14以及基板定位部13是耐磨性以及防带电性能优异的超高分子量聚乙烯(商品名称：U-PE300，日本泊离本克(ポリペンコ)株式会社生产)进行机械加工制成，并配置在图1所示玻璃基板11的周围各条边的三个部位。
另外，制成如图5所示的运送用台车30，容器10与水平面的最大倾斜角度为65度，整体高度(a)约1920mm，前后距离(b)约1000mm，框架体最低高度(c)为96mm。
首先，说明玻璃基板11的装载方法。预先使基板定位部13待机，使用装卸臂等工具将玻璃基板11载置到基板载置部15的上面，旋转基板定位部13的螺钉部，推动玻璃基板11端部进行位置调整。
接着，将待机的基板定位部13的台阶部引导至玻璃基板11的边缘部，使用旋钮16将基板定位部13夹紧，使得玻璃基板11固定。
之后，使得上部主体21和下部主体12叠合在一起，用粘接胶布将其周围密封，并用拉扣将上部主体21和下部主体12夹紧。
接着，在容器10的两条对边的中央部安装回转夹具18a、18b，将该回转夹具18a、18b载置到设置于运送用台车30顶部的回转夹具支撑部32，并使得容器10倾斜至预定角度，使用倾斜角决定机构、即带螺钉的旋钮将容器10固定在运送用台车30上。
如上所述，按照本发明，提供一种既能确保收纳在容器内部的大型玻璃基板的清洁性，又不损伤基板的保管与运送方法。

Claims (5)

1.一种玻璃基板运送用容器，是一条边的长度为1000mm以上，厚度为10mm以上的大型矩形玻璃基板的运送用容器，其特征在于，包括：
下部主体和上部主体，所述下部主体呈矩形，其用于载置所述玻璃基板，所述上部主体呈矩形，其与该下部主体嵌合并作为将内部密封的盖；
所述下部主体具有设置在周边部的下外框架部、设置在该下外框架部的下嵌合部、设置在四条边的周边部的各个上的基板载置部、设置在该基板载置部的各个上的基板固定部、以及回转夹具的安装部，
所述安装部是互为相对地设置在所述四条边的各周边部中的两条相对的边的各周边部的夹具安装部，所述回转夹具以连接设置在该相对的周边部的夹具安装部的直线为回转轴，能够使得所述容器从水平面倾斜；
所述上部主体具有设有上嵌合部的上外框架部，
所述上嵌合部通过与所述下嵌合部嵌合将所述容器内部密封。
2.根据权利要求1中所述的玻璃基板运送用容器，包括：
基板定位部，其设置在所述四条边的各周边部中的两条邻边的周边部的基板载置部。
3.根据权利要求1或2中所述的玻璃基板运送用容器，其中，安装在所述夹具安装部的回转夹具可装可卸。
4.一种玻璃基板运送用台车，用于搬运权利要求1～3中任意一项所述的玻璃基板运送用容器，其中，包括：
安装在所述夹具安装部的回转夹具的支撑部，
为了保持所述容器的主面与水平面形成的倾斜角的倾斜角决定部。
5.根据权利要求4中所述的玻璃基板运送用台车，其中能够决定的所述倾斜角以水平面为基准为0至90度。
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