KR20130049719A - 펠리클 - Google Patents

Abstract

[과제] 탄소섬유에 수지를 함침시킨 복합재료를 이용하여 경량화가 가능하고, 펠리클 막의 장력에 의한 휨이나 핸들링에 있어서의 휨이 작고 고강성이며, 원료 비용 및 생산 비용이 저감된 펠리클 프레임을 제공한다.
[해결수단] 펠리클 프레임(1)은 긴 변과 짧은 변으로 이루어지는 사각형상의 프레임체이며, 그 4개의 코너부가 내벽측 및 외벽측 모두 원호형상으로 되어 있는 것이다. 그 긴 변과 짧은 변의 각 변의 벽면에 있어서의 소정의 장소에는, 각각 펠리클 프레임(1)의 내측과 외측을 통기시키기 위한 통기 구멍(2)이나 핸들링에서 사용하기 위한 오목 구멍(3)이 형성되어 있다. 또한, 마스크 점착층이 형성되는 하단면에는 마스크 점착층을 형성하기 위한 마스크 점착층용 단차(4)가 형성되어 있다.

Description

펠리클{PELLICLE}

본 발명은 반도체 디바이스, 프린트 기판 또는 액정 디스플레이 등을 제조할 때의 먼지 막이로서 사용되는 펠리클에 사용되는 펠리클 프레임과 그 제조방법, 및 펠리클에 관한 것이다.

LSI, 초LSI 등의 반도체 제조나 액정 디스플레이 등의 제조에 있어서는 반도체 웨이퍼 또는 액정용 원판에 광을 조사해서 패턴을 제작하지만, 이 때에 사용하는 포토마스크나 레티클(이하, 단지 포토마스크로 기재)에 먼지가 부착되어 있으면 이 먼지가 광을 흡수하거나 광을 왜곡시켜 버리기 때문에, 전사된 패턴이 변형하거나, 엣지가 매끄럽지 못한 것으로 되는 것 이외에 하지(下地)가 검게 오염되거나 하는 등 치수, 품질, 외관 등이 손상된다고 하는 문제가 있었다.

이 때문에, 이들 작업은 통상 클린룸에서 행해지고 있지만, 그래도 포토마스크를 항상 청정하게 유지하는 것이 어렵다. 그래서, 포토마스크 표면에 먼지 막이로서 펠리클을 부착시킨 후에 노광을 행하고 있다. 이 경우, 이물은 포토마스크의 표면에는 직접 부착되지 않고 펠리클 상에 부착되기 때문에, 리소그래피시에 초점을 포토마스크의 패턴 상에 맞춰 두면 펠리클 상의 이물은 전사에 무관계하게 된다.

펠리클은 일반적으로 광을 잘 투과시키는 니트로셀룰로오스, 아세트산 셀룰로오스, 또는 불소 수지 등으로 이루어지는 투명한 펠리클 막을, 알루미늄, 스테인레스, 폴리에틸렌 등으로 이루어지는 펠리클 프레임의 상단면에 부착 내지 접착한 것이다. 또한, 펠리클 프레임의 하단면에는 포토마스크에 장착하기 위한 폴리부텐 수지, 폴리아세트산 비닐 수지, 아크릴 수지, 실리콘 수지 등으로 이루어지는 점착층, 및 점착층의 보호를 목적으로 한 이형층(세페레이터)이 설치된다.

얇은 수지인 펠리클 막을 느슨함 없이 펠리클 프레임으로 지지하기 위해서는 적절한 크기의 장력이 걸린 상태에서 펠리클 프레임에 접착하고 있지 않으면 안된다. 그러나, 종래의 소재제의 직사각형의 펠리클에서는 펠리클 막을 붙인 후의 펠리클 프레임이 펠리클 막의 장력에 의해 어느 정도 내측으로 휘어 펠리클 막이 느슨해지기 쉽다. 이 현상은, 예를 들면 프린트 기판이나 액정 디스플레이 제조에 사용되는 대형의 펠리클 등, 펠리클 프레임의 변 길이가 큰 것이나, 반도체 제조용의 소형의 것이라도 재질이나 치수상의 제약으로 저강성의 프레임을 채용한 펠리클에 있어서 현저하게 나타난다.

한편, 포토마스크에는 저비용화를 위해서 가능한 한 노광 영역을 넓게 확보하고 싶다고 하는 요구가 있다. 이 때문에, 펠리클 프레임의 내측으로의 휨을 가능한 한 작게 하는 것에 소형화하면 이용할 수 있는 노광 영역이 감소한다고 하는 문제가 있다. 또한, 휨량을 가능한 한 억제하면서 보다 폭이 좁은 펠리클 프레임으로 내측의 노광 가능 면적을 넓게 하는 것에 의한 비용 저감의 효과가 요망되고 있다.

이러한 펠리클 프레임의 휨을 해결하는 수단으로서, 예를 들면 특허문헌 1에 프레임체의 적어도 한쌍의 변에 있어서 중앙부가 외측 볼록의 원호형상부, 그 양측에 외측 오목의 원호형상부, 또한 그 외측에 직선형상부를 갖는 펠리클 프레임이 개시되어 있다. 이 방법에 의하면, 적절한 설계를 행함으로써 휨량을 일정한 값 이하로 제어할 수 있다.

그러나, 어떠한 프레임 폭이어도 장력과 밸런스를 취함으로써 프레임의 직선형상을 유지할 수는 있지만, 가능한 한 프레임 폭을 좁게 하려고 했을 경우 직선형상이 얻어져도 확실하게 강성이 저하하기 때문에 핸들링을 할 수 없거나, 약간의 외력에 의해 펠리클 막에 주름이 발생하거나 느슨해지거나 한다고 하는 문제가 생겨서 실용적으로 견딜 수 없고, 애써 펠리클 막으로 피복해도 충분히 그 효과를 얻을 수 없다.

프레임 높이는 노광기의 광학설계로부터 결정되어 있으므로, 프레임 폭을 좁게 하면서 본질적으로 펠리클 프레임의 강성을 높이는 수단으로서는 탄성계수가 높은 재질을 사용하는 수단이 있다. 이러한 수단으로서는, 예를 들면 특허문헌 2에 알루미늄 합금의 프레임체에 프레임체보다 탄성계수가 큰 스테인레스강을 포함하는 철이나 티타늄을 메워넣은 펠리클 프레임이 기재되어 있다. 그러나, 철강, 스테인레스강 등의 철계 합금은 중량이 매우 무거워지는 것이 염려되고, 또한 티타늄 합금은 가공성(피삭성)이 매우 나쁘다고 하는 문제가 있어 실제로는 거의 채용되지 않고 있다. 이것들을 대신하는 것으로서, 현재 항공기 분야 등에서 이용이 진행되어 고강성 재료로서 알려져 있는 탄소섬유 복합재를 사용했을 경우에는, 상기 각종 금속재료보다 대폭 강성을 향상시킬 수 있고, 중량이나 가공성의 문제도 없는 것으로 기대되고 있다. 그러나, 탄소섬유를 사용하고 있기 때문에 탄소섬유에 기인하는 섬유 진애 등의 이물의 혼입이라고 하는 중대한 우려가 있었다.

또한, 탄소섬유 복합재를 사용했을 경우에는 원료 비용, 가공 비용 모두 일반적으로 사용되는 알루미늄 합금 등과 비교해서 그것들의 비용이 현저하게 상승한다고 하는 문제가 있었다. 이들 문제에 의해 탄소섬유 복합재는 지금까지 펠리클 프레임에 채용되는 일은 없었다.

일본 특허 공개 2006-56544호 공보 일본 특허 공개 2006-284927호 공보

본 발명은 상기 과제를 해결하기 위하여 이루어진 것으로서, 탄소섬유에 수지를 함침시킨 복합재료를 이용하여 경량화가 가능하고, 펠리클 막의 장력에 의한 휨이나 핸들링에 있어서의 휨이 작고 고강성이며, 원료 비용 및 생산 비용이 저감된 펠리클 프레임과 그 제조방법, 또한 그 펠리클 프레임에 펠리클 막이 부착되어 있고, 큰 노광 면적을 가져 원료 비용 및 생산 비용이 저감된 펠리클을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기의 목적을 달성하기 위하여 이루어진 특허청구범위의 청구항 1에 기재된 펠리클 프레임은, 펠리클 막이 긴장해서 피복되는 다각형상의 프레임체로서, 그 프레임체를 이루는 각 변의 길이 방향으로 탄소섬유를 배향하면서 수지를 함유한 복합부재가 상기 다각 형상으로 주회하면서 적층되어 상기 수지의 경화에 의해 일체화되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 2에 기재된 펠리클 프레임은 청구항 1에 기재된 것으로서, 상기 복합부재가 일련으로 연결되는 단일부재의 상기 주회에 의해 적층되거나, 또는 각각이 적어도 1주 주회하는 복수부재의 상기 주회에 의해 적층되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 3에 기재된 펠리클 프레임은 청구항 1～2 중 어느 하나에 기재된 것으로서, 상기 복합부재가 배향하고 있는 다수개의 상기 탄소섬유에 상기 수지를 함침시킨 시트 형상인 것을 특징으로 한다.

청구항 4에 기재된 펠리클 프레임은 청구항 1～3 중 어느 하나에 기재된 것으로서, 상기 프레임체의 표면이 연마 및/또는 절삭되어서 평활화되는 것을 특징으로 한다.

청구항 5에 기재된 펠리클 프레임은 청구항 1～4 중 어느 하나에 기재된 것으로서, 상기 프레임체의 표면이 수지 피막으로 피복되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 6에 기재된 펠리클 프레임의 제조방법은 다각 형상의 프레임체의 원하는 내측 치수보다 작은 심재에, 상기 프레임체의 원하는 높이보다 넓은 세로폭 및 적어도 상기 프레임체의 일주에 걸치는 가로폭으로 상기 가로폭 방향으로 배향한 탄소섬유에 수지를 함침시킨 시트 형상의 복합부재를 권취하여, 상기 프레임체의 원하는 외측 치수보다 크게 적층하고 상기 수지를 가열 경화해서 모재로 하는 모재 형성 공정과, 상기 모재를 상기 프레임체의 원하는 내측 치수, 외측 치수, 및 높이로 절삭가공하여 프레임체로 하는 프레임체 형성 공정을 갖는 것을 특징으로 한다.

청구항 7에 기재된 펠리클 프레임의 제조방법은 청구항 6에 기재된 것으로서, 상기 프레임체의 원하는 내측 치수보다 작은 심재에, 상기 프레임체의 원하는 높이보다 적어도 2배의 세로폭 및 적어도 상기 프레임체의 일주에 걸치는 가로폭으로 상기 가로폭 방향으로 배향한 탄소섬유에 수지를 함침시킨 시트 형상의 복합부재를 권취하여, 상기 프레임체의 외측 치수보다 크게 적층하고 상기 수지를 가열 경화하고나서 절삭가공에 의해 상기 프레임체의 변과 평행 방향으로 복수로 분할해서 상기 모재로 하는 상기 모재 형성 공정을 갖는 것을 특징으로 한다.

청구항 8에 기재된 펠리클 프레임의 제조방법은 청구항 5～7 중 어느 하나에 기재된 것으로서, 상기 프레임체의 표면에 수지 피막을 형성하는 상기 프레임체 형성 공정을 갖는 것을 특징으로 한다.

청구항 9에 기재된 펠리클은 청구항 1～5 중 어느 하나에 기재된 펠리클 프레임에 펠리클 막이 긴장해서 피복되어 부착되어 있는 것을 특징으로 한다.

(발명의 효과)

본 발명의 펠리클 프레임은 탄소섬유에 수지를 함침시킨 복합부재에 의해 형성되어 있고, 경량임과 아울러 높은 강성을 갖는다. 이 펠리클 프레임은 그것을 구성하는 복합부재의 탄소섬유가 각 변의 길이 방향으로 배향되어 있기 때문에 섬유의 기계적 강도를 최대한 발휘시킬 수 있고, 펠리클 막의 장력에 의한 휨이나 핸들링에 있어서의 휨에 대하여 매우 높은 강성을 나타낼 수 있다. 또한, 탄소섬유의 배향 방향에 추가하여, 섬유의 이음매가 없거나 또는 적기 때문에 이음매에 의한 강도의 저하를 방지할 수 있고, 또한 높은 강성을 얻을 수 있음과 아울러 균열의 발생, 전파가 어려워 높은 신뢰성을 얻을 수 있다. 그 때문에, 종래 사용되어 왔던 재질의 펠리클 프레임보다 각 변을 좁은 폭으로 형성하는 것이 가능하고, 큰 내측 노광 면적을 확보할 수 있다.

또한, 이 펠리클 프레임은 그 표면이 연마나 절삭 등의 가공에 의해 평활화되어 치수 정밀도가 높은 것이다. 또한, 그 표면이 수지로 피복되기 때문에 펠리클 프레임의 가공에 의한 탄소섬유의 절단면이 노출되지 않아 탄소섬유의 탈락이나 발진(發塵)을 방지함과 아울러 자외선에 의한 열화를 막을 수 있다.

본 발명의 펠리클 프레임의 제조방법에 의하면, 한 사이즈 큰 모재로부터 기계 절삭가공에 의해 원하는 치수의 펠리클 프레임으로 형성하기 때문에, 그 표면의 결함을 제거할 수 있음과 아울러 치수 정밀도가 높고 통상의 금속 가공품에 필적하는 것을 얻을 수 있다.

본 발명의 펠리클 프레임의 제조방법에 의하면, 한번에 복수분의 펠리클 프레임을 형성하는 것이 가능한 크기의 모재로부터 형성됨으로써 재료가 필요 최소한이면 되는 것에 추가하여, 모재의 가공 공정수가 대폭 적어 1품마다의 가공 생산에 비해서 대폭적으로 원료 비용 및 생산 비용을 저감하는 것이 가능해진다.

본 발명의 펠리클은 고강성의 펠리클 프레임에 의해 큰 노광 면적을 확보할 수 있고, 반도체나 액정 디스플레이 등의 제조의 저비용화에 이바지한다. 또한, 사용 중의 발진의 우려가 없어 매우 높은 신뢰성을 나타낼 수 있다.

도 1은 본 발명을 적용하는 펠리클 프레임의 사시도이다.
도 2는 본 발명을 적용하는 펠리클 프레임의 A-A선 단면도, 및 B-B선 단면도 및 그 일부를 확대한 단면도이다.
도 3은 본 발명을 적용하는 펠리클 프레임의 평면 모식도이다.
도 4는 본 발명을 적용하는 별도의 펠리클 프레임의 평면 모식도이다.
도 5는 본 발명을 적용하는 펠리클 프레임의 모재로부터 펠리클 프레임을 절삭가공하는 관계를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명을 적용하는 펠리클 프레임의 제조방법을 나타내는 개요도이다.
도 7은 본 발명을 적용하는 펠리클 프레임의 다른 제조방법을 나타내는 개요도이다.
도 8은 본 발명을 적용하는 펠리클의 사시도이다.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대해서 상세하게 설명하지만, 본 발명의 범위는 이것들의 형태에 한정되는 것은 아니다.

본 발명의 펠리클 프레임에 대해서 도 1을 참조로 상세하게 설명한다.

펠리클 프레임(1)은 긴 변과 짧은 변으로 이루어지는 사각형상의 프레임체이며, 그 4개의 코너부가 내벽측 및 외벽측 모두 원호형상으로 되어 있는 것이다. 그 긴 변과 짧은 변의 각 변의 벽면에 있어서의 소정의 장소에는, 각각 펠리클 프레임(1)의 내측과 외측을 통기시키기 위한 통기 구멍(2)이나 핸들링에서 사용하기 위한 오목 구멍(3)이 형성되어 있다. 또한, 마스크 점착층이 형성되는 하단면에는 마스크 점착층을 형성하기 위한 마스크 점착층용 단차(4)가 형성되어 있다. 이 마스크 점착층용 단차(4)는 반드시 단차로 되어 있지 않아도 좋고, 필요에 따라서 또한 모서리부에 모따기나 그 밖의 단차, 함몰, 또는 홈 등이 형성되어 있어도 좋다.

이 펠리클 프레임(1)은 수지를 함침시킨 탄소섬유 시트인 복합부재(이하, 프리프레그라고 기재)로 구성되어 있고, 이 프리프레그(5)가 사각형상으로 주회하면서 적층되고, 프리프레그(5) 중의 수지의 경화에 의해 일체화함으로써 형성된 것이다. 이 시트 형상의 프리프레그(5)는, 도 1에 나타내어지는 펠리클 프레임(1)의 통기 구멍(2)을 지나는 A-A선 단면도인 도 2의 (a)부분, 및 도 1의 B-B선에 있어서의 단면도와 그 단면도에 있어서의 프리프레그(5)의 일부를 확대한 단면도인 도 2의 (b)부분에 나타내는 바와 같이, 각 변에 있어서 각각 층 형상으로 프리프레그(5a, 5b, 5c, …)로 되고, 각각이 간극 없이 적층되어 있다. 이 프리프레그(5)가 적층되어 형성된 펠리클 프레임(1)의 전체 표면은 수지 피막(9)으로 피복되어 있다.

각 프리프레그(5)는 다수개의 장섬유 형상인 탄소섬유(15)가 그 섬유 방향을 일방향으로만 배향되어 있고, 그것에 수지를 함침시킨 시트 형상의 복합부재이며, 그 탄소섬유(15)가 프레임체의 각 변에 대하여 길이 방향, 즉 각각 평행 방향에서 각 4변의 내벽 및 외벽 모두 일정 방향이 되도록 배치하는 것이다. 이 프리프레그(5)에 함침시키는 수지로서는, 예를 들면 에폭시 수지 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 펠리클 프레임(1)의 표면의 수지 피막(9)을 형성할 때에 가열 온도를 높게 할 수 있고, 발생 가스량 저감에 효과가 있기 때문에 내열성이 높은 것을 선택하는 것이 바람직하다. 또한, 프리프레그(5)는 적어도 펠리클 프레임(1)을 1주에 걸치는 연속한 길이를 갖는 것으로 한다. 그 중에서도, 시트 형상이고 장척인 프리프레그(5)로서, 권취 개시부터 권취 종료까지 일련으로 연결되는 단일부재인 한장의 프리프레그(5)로 주회하면서 펠리클 프레임(1)을 형성할 수 있는 것이 바람직하다.

펠리클 프레임(1)은, 도 3에 나타내는 바와 같이 연속한 한장의 시트 형상의 프리프레그(5)로 그 펠리클 프레임(1)의 변에 대하여 프리프레그(5)의 탄소섬유(15)가 평행으로 되도록 연속적으로 감아서 적층한 구조이면 바람직하다. 도 3에 있어서, 프리프레그(5)의 바람직한 권취 방법에 의해 형성된 펠리클 프레임(1)의 평면 모식도를 도 3의 (a)부분에 나타내고, 그 권취 방법에 대해서 도 3의 (b)부분에 나타낸다. 도 3의 (a)부분에 있어서, 권취 개시(6) 및 권취 종료(7)에 단차가 있지만, 실질적으로 프리프레그(5)는 매우 얇은 시트 형상이기 때문에 그 단차를 무시할 수 있다.

한장의 시트 형상의 프리프레그(5)로 권취 개시(6)로부터 권취 종료(7)까지 이음매 없이 형성됨으로써 프리프레그(5)의 이음매에 의한 강도 저하를 방지할 수 있고, 매우 신뢰도가 높아짐과 아울러 연속적으로 작업할 수 있기 때문에 작업성이 향상되어 저비용으로 생산하는 것이 가능해진다. 무엇보다, 프리프레그(5)의 길이는 무한하지는 않으므로 이음매 없이 펠리클 프레임(1)이 마무리될지는 제작하는 펠리클 프레임(1)의 크기나 적층 두께에 의하지만, 도중에 몇군데 이음매가 있어도 된다. 예를 들면, 복수회 주회할 수 있는 정도의 길이의 프리프레그(5)를 주회해서 적층하고, 그 권취 종료(7)에 다른 복수회 주회할 수 있는 정도의 길이의 프리프레그(5)의 권취 개시(6)를 간극 없이 연결하고, 그것을 주회해서 적층함으로써 펠리클 프레임(1)을 형성해도 좋고, 1주 주회할 수 있는 길이의 프리프레그(5)를 주회시켜서 그것을 복수부재 적층해서 펠리클 프레임(1)을 형성해도 좋다.

1주 주회할 수 있는 길이의 프리프레그(5)를 사용해서 제조할 경우, 예를 들면 도 4에 나타내는 바와 같이 펠리클 프레임(1)의 1주에 걸치는 길이의 프리프레그(5a, 5b, 5c, …)가 각각 일주마다 그 권취 개시(6a, 6b, 6c, …)와 권취 종료(7a, 7b, 7c, …)에서 서로 이어져 접합부(8a, 8b, 8c, …)가 되고, 각각이 간극 없이 적층되어 펠리클 프레임(1)이 형성된다. 도 4에 있어서, 1주분의 프리프레그(5)가 접합되어서 적층되어 형성된 펠리클 프레임(1)의 평면 모식도를 도 4의 (a)부분에 나타내고, 그 권취 방법에 대해서 도 4의 (b)부분에 나타낸다.

프리프레그(5)의 이음매인 접합부(8a, 8b, 8c, …)는 펠리클 프레임(1)의 코너부 닿지 않은 것이 바람직하다. 또한, 각 층의 접합부(8a, 8b, 8c, …)가 각각 겹치지 않도록 고려해서 적층되어 있는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 접합부(8a, 8b, 8c, …)에 의한 영향을 거의 무시할 수 있는 정도로 매우 작게 하여 그 접합부(8a, 8b, 8c, …)에 의해 생기는 강도 저하를 방지할 수 있다.

이와 같이 프리프레그(5)를 권취하여 적층되어 있는 펠리클 프레임(1)의 상벽면 및 하벽면의 프리프레그 끝면이나, 필요한 구멍 등이 절삭된 펠리클 프레임(1)의 표면은 파단한 탄소섬유의 노출이나, 탄소섬유 시트에 함침시킨 에폭시 등의 수지의 노광에 사용하는 자외선에 의한 열화를 방지하기 위해서, 수지 피막(9)으로 피복되어 있으면 바람직하다. 펠리클 프레임(1)의 전체 표면이 완전하게 수지 피막(9)으로 피복되어 있음으로써 탄소섬유에 기인하는 발진를 방지할 수 있다.

수지 피막(9)은 그 재질이 노광에 사용하는 자외선에 의해 열화되기 어려운 것이면 바람직하다. 수지 피막(9)의 색조는 하지(下地)인 프리프레그(5)가 흑색이기 때문에 흑색 이외의 어두운 색(예를 들면, 짙은 감색 등)이나 투명을 사용하는 것이 가능하지만, 흑색이면 더욱 산란광을 저감할 수 있기 때문에 특히 바람직하다. 수지 피막 자체에 색이 있어도 좋고, 안료, 카본블랙 등을 수지 피막에 혼합해도 좋다. 이 수지 피막(9)으로서는, 바람직하게는 아크릴 수지, 보다 바람직하게는 실리콘 수지, 더욱 바람직하게는 불소 수지이다. 이들 수지는 자외선에 대한 내성이 높음과 아울러 박리강도가 높은 피막이 형성되기 쉽다. 불소 수지의 경우에는 자외선에 대한 내성은 특히 뛰어나지만, 자외선 투과율도 높기 때문에 혼입되는 안료 등은 자외선의 투과성이 낮은 것을 조합시키는 것이 바람직하다. 또한, 동시에 절연성이 높아 대전하기 쉽기 때문에 도전성이 높은 것을 선택하는 것이 바람직하다.

펠리클 프레임(1)은 다각 형상의 프레임체이며, 그 형상은 특별하게 한정되지 않고, 구체예로서 코너부에 둥근 모양이 있는 사각형을 예시했지만, 4개의 코너부가 모두 직각인 사각형이어도 좋고, 이것과 유사한 그 밖의 형상, 예를 들면 직사각형, 정사각형, 8각형 등이어도 좋다.

본 발명의 펠리클 프레임(1)은 액정 제조 용도로 사용되는 1변의 길이가 500㎜를 초과하는 대형의 펠리클에 있어서 효과가 큰 것이다. 그러나, 이 펠리클 프레임(1)의 대상이 되는 펠리클은 그 크기로 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 펠리클 프레임(1)은 크기(변의 길이)나 펠리클 막의 장력에 대하여, 종래 펠리클 프레임의 강성을 충분하게 확보할 수 없었던 모든 펠리클에 적용할 수 있다.

다양한 사이즈에 대하여 실용적이고 치수 정밀도가 높은 펠리클 프레임(1)으로서, 원하는 펠리클 프레임(1)보다 내측 치수를 작게, 외측 치수를 크게, 또한 높이가 높아지도록 프리프레그(5)가 적층되어 가열 경화시킨 펠리클 프레임(1)의 모재가, 기계 절삭가공에 의해 원하는 치수로 가공되어 있는 것이 바람직하다. 도 5에 프리프레그(5)를 적층한 원하는 펠리클 프레임(1)보다 1사이즈 큰 모재(10)로부터 펠리클 프레임(1)을 절삭가공하는 관계를 나타내는 도면을 나타낸다. 모재(10) 중, 원하는 펠리클 프레임(1)을 2점 파선으로 나타낸다.

모재(10)의 내측 치수 및 외측 치수는 절삭값을 고려해서 결정하면 좋지만, 제작하는 펠리클 프레임(1)에 대하여 한쪽 0.2～3㎜정도, 보다 바람직하게는 0.5～1㎜ 크게 하는 것이 바람직하다. 프리프레그(5)의 두께는 두꺼운 것이라도 0.2㎜ 전후이기 때문에 1㎜의 절삭값을 만드는데도 5주 가까이 주회시킬 필요가 있고, 이 절삭값이 적을수록 비용적으로 유리하게 되는 것은 명확하다. 그러나, 가열 경화시에 변형이 생기거나 하는 경우도 있는데다가 변 길이가 길어질수록 가공에도 오차가 생기기 때문에 상기 정도의 절삭값은 필요하다.

모재(10)로부터 원하는 펠리클 프레임(1)으로 기계 절삭가공함으로써 적층의 오차나 가열 경화시의 변형도 절삭에 의해 거의 수정되기 때문에, 가공 후의 치수 정밀도는 일반적인 금속제 펠리클 프레임과 동등한 것이 얻어진다. 또한, 프리프레그(5)의 사용량도 펠리클 프레임(1)의 형상보다 조금 크게 적층하는 것 뿐으므로 낭비가 매우 적고, 1매 판으로부터 잘라내는 방법과 비교해서 대폭적으로 생산 비용의 저감이 가능해진다. 또한, 바 형상의 부재로 각 변을 만들고, 이것을 서로 이어서 펠리클 프레임의 형상을 제작하는 경우에도 프리프레그(5)의 사용량은 저감할 수 있지만, 각 바 형상의 부재를 서로 잇는 공정이 필요하고, 또한 그 이어붙인 부분의 강도도 염려된다. 그 때문에, 생산 비용 및 강도의 양면으로부터 본 발명의 방법에 우위성이 있다.

또한, 이 기계 절삭가공에 있어서는 모재(10)로부터의 절출시에 프리프레그(5)에 포함되는 탄소섬유(15)의 방향과 그것에 의해 형성된 변의 방향을 엄밀하게 일치시켜서 가공하는 것은 곤란하고, 적층한 프리프레그(5)의 탄소섬유(15)와 펠리클 프레임(1)의 변이 엄밀하게는 평행이 안될 경우가 있다. 또한, 모재(10)의 단계에서 연속되어 있었던 탄소섬유(15)도 표면 가까이의 것은 기계 절삭가공에 의해 절단될 경우도 있다. 그러나, 어느 경우에 관해서도 실제상의 영향은 적고, 본래 목적으로 하는 효과는 얻을 수 있기 때문에 본 발명의 기술 사상의 범위에 포함된다.

이러한 펠리클 프레임(1)의 제조방법에 대해서 일실시예를 도 6에 나타내고, 상세하게 설명한다.

도 6의 (a)부분에 나타내는 바와 같이, 사각형상의 프레임체인 원하는 펠리클 프레임(1)의 내측 치수보다 작은 긴 변 및 짧은 변이고, 또한 원하는 펠리클 프레임(1)의 높이보다 높은 절삭값을 고려해서 설계된 심재(12)를 준비하고, 여기에, 미리 소정의 폭으로 절단한 장척의 프리프레그(5)를 그 탄소섬유(15)의 배향이 형성해야 할 프레임체의 변의 길이 방향이 되도록, 느슨하지 않게 권취해 간다. 이 프리프레그(5)의 폭은 적어도 형성해야 할 프레임체의 일주에 걸치는 가로폭이고,또한 형성해야 할 프레임체의 높이보다 넓은 세로폭이다. 이 때, 프리프레그(5)의 탄소섬유(15)와 형성되는 변이 평행이 되는 것이 바람직하다. 도 6의 (a)부분에 있어서, 화살표 P는 탄소섬유(15)의 배향 방향을 나타낸다. 또한, 심재(12)에는 프리프레그(5)의 권취 개시(6)를 깨끗하게 마무리하기 위해서 프리프레그(5)의 두께분의 단차(13)를 설치하는 것이 바람직하지만, 굽힘 반경이 작아질수록 적층시에 탄소섬유에 꺾임(파단)이 발생하기 쉬워지기 때문에 반경은 적어도 3㎜ 이상으로 하는 것이 좋다. 또한, 심재(12)의 코너부는 형성하는 펠리클 프레임(1)의 코너부의 형상에 가까운 반경으로 형성되어 있는 것이 바람직하다.

펠리클 프레임(1)의 외측 치수보다 절삭값의 분만큼 커질 때까지 권취하여 적층하고, 도 6의 (b)부분에 나타내는 펠리클 프레임의 모재(10)를 얻는다. 이 때, 적층도중에 프리프레그(5)에 이음매가 들어가버리는 경우에는 그 이음매가 코너부 닿지않도록 조정하고, 간극 없이 다음 프리프레그(5)를 접합하는 것이 바람직하다. 또한, 심재(12)는 프리프레그(5)를 적층 후 및 가열 경화 중에 외측을 향해서 장력이 걸리도록, 스프링 등의 힘으로 외측으로 넓히는 기구를 갖고 있으면 바람직하다 (도시하지 않음).

이 모재(10)를 심재(12)와 함께 폴리에틸렌제의 백(도시하지 않음)에 수납하고, 진공 감압해서 내부에 포함된 공기를 빼낸 후 오토클레이브로 가압하면서 가열하여 프리프레그(5) 내에 함침되어 있는 수지를 경화시킨다. 서냉 후, 오토클레이브로부터 인출하여 심재(12)를 빼내면 도 6의 (c)부분에 나타나 있는 바와 같은 원하는 펠리클 프레임(1)보다 1사이즈 큰 모재(10)가 얻어진다. 이 모재(10)를 머시닝 센터(machining center) 등으로 기계 절삭가공하고, 연마나 절삭해서 평활화함으로써 각 면을 소정의 치수까지 마무리하고, 또한 통기 구멍(2)이나 오목 구멍(3)인 지그 구멍을 가공함으로써 도 6의 (d)부분에 나타내는 바와 같이 실용적이고 치수 정밀도가 높은 펠리클 프레임(1)을 제조할 수 있다.

본 발명의 펠리클 프레임(1)에서는 통기 구멍(2)이나 오목 구멍(3)의 가공시에 프리프레그(5)의 적층면에 대하여 수직인 구멍 가공으로 되므로, 구멍 가공시의 프리프레그(5)의 박리나 균열 발생의 우려가 적다고 하는 이점을 갖는다.

또한, 절삭가공 후 얻어진 펠리클 프레임(1)을 세정하고, 또한 필요에 따라서 그 표면을 절삭가공에 의해 파단한 탄소섬유가 표면에 노출되지 않도록 수지 피막(9)으로 피복한다. 펠리클 프레임(1)의 표면이 수지 피막(9)으로 피복됨으로써 파단된 탄소섬유의 노출이나, 세정으로 완전하게 청정한 표면이 얻어져 있지 않은 경우에 발생하는 펠리클 사용시에 있어서의 탄소섬유나 수지의 탈락에 의한 발진의 우려가 없어져 한층더 바람직하다. 그것 뿐만 아니라, 프리프레그(5)를 구성하는 에폭시 등의 수지에 있어서 노광에 사용하는 자외선에 의한 열화, 또한 그것에 의한 강도 저하를 방지할 수 있다.

펠리클 프레임(1)의 표면으로의 수지 피막(9)의 형성은 특별하게 한정되는 것은 아니고, 제작한 펠리클 프레임(1)을 충분히 세정, 건조해 두고, 수지 피막(9)을 형성하는 수지를 적절한 농도로 용매에 용해하고, 필요에 따라서 혼입하는 안료, 카본블랙 등을 용매 중에 분산시킨 상태로 해서 스프레이, 딥핑, 전착 도장 등의 공지의 코팅 방법을 사용할 수 있다. 이것들은 사용하는 수지의 종류에 따라 최적인 것을 선택하는 것이 좋고, 피막 형성 후에는 펠리클 프레임 전체를 가열 처리하여 용매를 완전하게 휘발 제거함과 아울러 피막 중에 포함되는 저분자 성분을 저감하는 것이 바람직하다. 가열 온도는 가능한 한 높은 온도인 것이 바람직하지만, 프리프레그(5)의 내열온도, 피막 수지(9)의 내열온도, 피막 수지(9)의 코팅시에 사용하는 용매의 비점 등으로부터 종합적으로 결정하는 것이 바람직하다.

또한, 별도의 제조방법으로서는 도 7에 나타내는 바와 같은 파이프 형상의 모재(10)로부터 가공하는 방법을 들 수 있다. 도 7의 (a)부분에 나타내는 바와 같이, 사각형상의 프레임체인 원하는 펠리클 프레임(1)의 내측 치수보다 작은 긴 변 및 짧은 변이고, 또한 원하는 펠리클 프레임(1)의 높이보다 적어도 2배 이상 높은 심재(12)를 준비하고, 미리 소정의 폭으로 절단한 장척의 프리프레그(5)를 그 탄소섬유 방향이 형성해야 할 프레임체의 변의 길이 방향이 되도록 느슨함이 없이 권취해 간다. 이 프리프레그(5)의 폭은 적어도 형성해야 할 프레임체의 1주분에 걸치는 가로폭이고, 또한 형성해야 할 프레임체의 높이의 적어도 2배 이상, 더욱 바람직하게는 5배 이상의 세로폭이다. 이 때, 프리프레그(5)의 탄소섬유와 형성되는 변이 평행이 되는 것이 바람직하다. 도 6의 (a)부분에 있어서 화살표 P는 탄소섬유의 배향 방향을 나타낸다. 또한, 이 경우에도 심재(12)에는 프리프레그(5)의 두께 만큼의 단차(13)를 형성하는 것이 바람직하고, 또한, 외측에 장력을 가하는 기구를 갖고 있는 것이 바람직하다(도시하지 않음).

펠리클 프레임(1)의 외측 치수보다 절삭값의 분만큼 커질 때까지 권취하여 적층하고, 상기한 바와 같이 가열 경화함으로써 도 7의 (b)부분에 나타나 있는 바와 같은 파이프 형상의 모재(10)를 얻을 수 있다.

이 파이프 형상의 모재(10)에 대하여 도 7의 (c)부분에 나타내는 바와 같이 형성해야 할 펠리클 프레임(1)의 변과 평행 방향으로 그라인더(grinder)(16)로 둥글게 자름으로써 원하는 펠리클 프레임(1)의 높이 또는 그것에 가까운 높이를 갖는 모재(10a)를 얻는다. 마찬가지로, 파이프 형상의 모재(10)를 둥글게 자름으로써 도 7의 (d)부분에 나타내는 바와 같이 한번에 복수의 모재(10a, 10b, 10c, …)를 얻을 수 있다. 둥글게 자르는 가공 방법으로서, 그라인더(16)를 사용하는 예를 나타내었지만 이것에 한정되지 않고, 예를 들면 워터제트, 다이아몬드 커터, 레이저 절단 등을 사용할 수 있다. 그 중에서도 절단 품질 및 모재(10)에 주는 악영향이 적은 것으로부터 워터제트가 특히 바람직하다. 여기에서, 얻어진 모재(10a, 10b, 10c, …)는 상기 도 6과 마찬가지로, 각각 개별적으로 기계 절삭가공을 행하고, 각각 펠리클 프레임(1)으로서 마무리할 수 있다. 한번에 복수개의 펠리클 프레임(1)의 생산이 가능해서 대폭적으로 생산성을 향상시킬 수 있다.

이와 같이 하여 제작한 펠리클 프레임(1)을 사용해서 구성한 펠리클의 사시 개략도를 도 8에 나타낸다. 프리프레그(5)의 표면에 수지 피막(9)이 형성된 펠리클 프레임(1)의 한쪽의 끝면의 부착면(21)에 펠리클 막 접착층을 통해서 펠리클 막(22)이 장설(張設)되고, 펠리클(20)이 형성되어 있다. 펠리클 막(22)의 재질로서는 셀룰로오스 및 그 유도체, 불소 수지 등을 이용할 수 있다. 그 반대측인 다른쪽의 끝면에는 마스크 점착층(23)이 형성되어 있다. 마스크 점착층(23)을 형성하는 마스크 점착제로서는 아크릴 점착제, 고무계 점착제, 핫멜트 점착제, 실리콘 점착제 등을 이용할 수 있다. 이 마스크 점착층(23)의 표면에는 마스크 점착층(23)을 보호하기 위해서, 필요에 따라서 PET 등의 얇은 수지 필름 상에 이형제층을 설치한 세페레이터(24)가 첨부되어 있어도 좋다. 또한, 필요에 따라서 펠리클 프레임(1)의 측면에 관통된 통기 구멍(2)을 형성하여 펠리클 내외의 기압차에 의한 펠리클 막(22)의 팽창, 함몰을 해소함과 아울러 통기에 따라 펠리클 밖으로부터 진애가 펠리클 내로 침입하지 않도록 필터(25)를 설치하는 것이 바람직하다. 또한, 핸들링 등을 위해서 필요한 장소에 오목 구멍(3)이나 홈 등(도시하지 않음)을 형성해도 좋다.

이상의 구성에 의해, 펠리클 막(22)의 장력에 의한 휨이나 핸들링시에 있어서의 휨이 작고, 큰 노광 면적을 갖는 펠리클(20)이 저비용으로 얻어짐과 아울러 그 펠리클(20)은 사용 중의 발진의 우려가 없어 매우 신뢰성이 높은 것으로 된다.

[실시예]

이하, 본 발명의 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명의 범위는 이것들의 실시예에 한정되는 것은 아니다.

(실시예)

도 1 에 나타나 있는 바와 같은 형상의 복합부재제 펠리클 프레임(1)을 기계 절삭가공에 의해 제작했다. 이 펠리클 프레임(1)의 형상은 각 코너부의 외측 치수는 904.5×750㎜, 동 내측 치수는 896.5×742㎜의 직사각형이고, 두께는 5.8㎜, 각 코너부의 형상은 내측 R2, 외측 R6으로 했다. 또한, 긴 변에는 860㎜의 간격으로 핸들링용으로서 지름 2.5㎜, 깊이 2㎜의 오목 구멍(3)을, 짧은 변에는 730㎜의 간격이고 동 형상의 오목 구멍(3)을 형성했다. 또한, 양쪽 긴 변 중앙부 부근에는 지름 1.5㎜의 통기 구멍(2)을 각 변에 4개소씩 형성했다.

이러한 펠리클 프레임(1)의 구체적인 제조공정은 이하와 같다. 여기에서 사용한 복합부재는, 일방향으로 배향시킨 탄소섬유에 에폭시 수지를 함침시킨 시트 형상의 프리프레그(5)[상품명; E8025C-25N 니혼 그라파이트 파이버(주)제]를 사용했다. 이 프리프레그(5)를 폭 200㎜로 절단하고, 도 7의 (a)～(c)부분에 나타내는 바와 같이 섬유 방향이 각 변과 평행 방향으로 되도록 심재(12)에 감아서 적층하고, 가열 경화시켜서 외측 치수 약 906.5×752㎜, 내측 치수 894.5×740㎜, 높이 약 200㎜의 파이프 형상의 모재(10)를 얻었다. 이 모재(10)로부터 워터제트 가공에 의해 높이 6.5㎜로 잘라내어 모재(10a, 10b, 10c, …)를 얻었다. 그리고, 이 각 모재(10a, 10b, 10c, …)로부터 머시닝 센터에 의해 상기 치수의 펠리클 프레임(1)의 형상으로 기계가공했다.

이어서, 이 펠리클 프레임(1)을 계면활성제와 순수로 잘 세정하고, 80℃×3시간으로 가열 건조시킨 뒤, 표면에 수지를 도장해서 수지 피막(9)을 형성했다. 수지에는 불소 수지[상품명; 사이톱 CTX109A 아사히가라스(주)제]를 불소계 용매[상품명; NOVEC7300, 스미토모스리엠(주)제]에 용해하고, 카본블랙[상품명; HCF2650, 미쓰비시카가쿠(주)제]을 분산시킨 용액을 사용하여 스프레이법에 의해 4회 행하였다. 그 후에 오븐 중에서 130℃로 가열해서 완전하게 용매를 건조시켰다. 불소 수지의 수지 피막(9)의 막 두께는 약 30㎛이었다.

마지막으로, 치수의 검사를 행하였지만 외측 치수 및 내측 치수는 모두 가공 지정 치수의 +0/-0.3㎜의 범위이었다. 또한, 직각도는 긴 변을 기준으로 해서 90도로 그은 가상선에 대하여 0.5㎜의 어긋남이었다.

이 펠리클 프레임(1)을 클린룸에 반입하고, 계면활성제와 순수로 세정하여 건조한 후 암실 내에서 40만럭스의 할로겐 램프를 조사하면서 외관을 검사했다. 그 결과, 복합부재가 노출되어 있는 곳은 전혀 없었다. 또한, 표면의 번쩍임이나 도장 불균일 등의 결함이나, 세정에 의한 수지 피막(9)의 박리 등도 볼 수 없었다.

이어서, 이 펠리클 프레임(1)을 사용해서 도 8에 나타내는 바와 같은 펠리클(20)을 제작했다. 펠리클 프레임(1)의 한쪽 끝면의 부착면(21)에 펠리클 막 접착층으로서 실리콘 점착제, 다른쪽 끝면에 마스크 점착층(23)으로서 실리콘 점착제[상품명 KR3700, 신에츠 카가쿠 고교(주)제]를 에어 가압식 디스펜서에 의해 도포하고, 가열에 의해 큐어(경화)시켰다. 그리고, 이형제를 표면에 부여한 두께 125㎛의 PET필름을 펠리클 프레임(1)과 거의 같은 형태로 절단 가공해서 제작한 마스크 점착층 보호용의 세페레이터(24)를 부착하고, 또한 통기 구멍(2)을 덮도록 3.6×9.5㎜, 두께 0.35㎜의 PTFE제 필터(25)를 붙였다.

상기 펠리클 프레임(1)과는 별도로, 불소계 폴리머[상품명 사이톱, 아사히가라스(주)제]를 슬릿 코팅법에 의해 1200×850×두께 10㎜의 직사각형 석영 기판 상에 성막하고, 용매를 건조시킨 후에 기판 외형과 동 형상의 알루미늄 합금제 가프레임에 접착, 박리하여 두께 약 3㎛의 펠리클 막(22)을 얻었다. 이 펠리클 막(22)을 상기한 바와 같이 마무리한 펠리클 프레임(1)의 한쪽 끝면의 부착면(21)에 펠리클 막 접착층을 통해서 접착시킨 후, 펠리클 프레임(1)의 주위의 불필요한 펠리클 막(22)을 커터로 절단 제거하여 펠리클(20)을 제작했다.

그리고, 이 펠리클(20)을 정반 상에 두고, 펠리클 프레임(1)의 각 변의 휨량을 계측했다. 그 결과, 긴 변 중앙부의 내측으로의 휨량은 한쪽 1.0㎜, 짧은 변 중앙부의 내측으로의 휨량은 한쪽 0.6㎜이었다.

(비교예)

상기 실시예 1과 같은 치수, 같은 형상의 펠리클 프레임을 기계 가공에 의해 제작했다. 이 때, 모재로서 사용한 것은 평직으로 한 탄소섬유에 에폭시 수지를 함침시킨 시트 형상의 프리프레그[상품명; 다이아리드 HMFJ3113/948A1, 미쓰비시 쥬시(주)제]를 적층하고, 가열 경화시킨 910×760×두께 약 6㎜의 판재이다. 이 판재로부터 머시닝 센터에 의해 상기 치수의 펠리클 프레임 형상으로 기계 가공하고, 실시예 1과 같은 공정으로 표면에 수지 도장을 행하였다.

이어서, 이 펠리클 프레임을 사용해서 실시예 1과 완전히 같은 공정으로, 도 8에 나타나 있는 바와 같은 펠리클을 제작하고, 완성된 펠리클을 정반 상에 두고, 펠리클 프레임 각 변의 휨량을 계측했다. 그 결과, 긴 변 중앙부의 내측으로의 휨량은 한쪽 2.3㎜, 짧은 변 중앙부의 내측으로의 휨량은 한쪽 1.9㎜이었다. 또한, 이 비용는 상기 실시예의 약 9배이었다.

(비교예 2)

알루미늄 합금 A5052를 사용하여 상기 실시예와 같은 치수, 같은 형상의 펠리클 프레임을 기계 가공에 의해 제작하고, 표면에 흑색 알루마이트 처리를 실시했다. 그리고, 이 펠리클 프레임을 사용해서 펠리클을 제작하려고 했지만, 펠리클을 수직으로 세운 것만으로 긴 변, 짧은 변 모두 20㎜ 전후의 휨이 발생하여, 애당초 직사각형의 프레임의 형상을 유지할 수 없었다. 따라서, 이것은 펠리클 프레임으로서 전혀 사용하는 것에 견딜 수 없는 것이었다.

본 발명의 펠리클 프레임은 강성을 대폭 향상시킬 수 있음으로써 대면적의 노광 영역을 확보할 수 있기 때문에, 반도체, IC 패키지, 프린트 기판, 액정 및 유기 EL 디스플레이 등의 제조공정에서 사용되는 펠리클에 적합하게 이용할 수 있다.

1 : 펠리클 프레임 2 : 통기 구멍
3 : 오목 구멍 4 : 마스크 점착층용 단차
5 : 프리프레그 6 : 권취 개시
7 : 권취 종료 8 : 접합부
9 : 수지 피막 10, 10a, 10b, 10c : 모재
12 : 심재 13 : 단차
15 : 탄소섬유 16 : 그라인더
20 : 펠리클 21 : 부착면
22 : 펠리클 막 23 : 마스크 점착층
24 : 세페레이터 25 : 필터

Claims (9)

1. 펠리클 막이 긴장해서 피복되는 다각 형상의 프레임체로서, 그 프레임체를 이루는 각 변의 길이 방향으로 탄소섬유를 배향하면서 수지를 함유한 복합부재가 상기 다각 형상으로 주회하면서 적층되어 상기 수지의 경화에 의해 일체화되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 복합부재는 일련으로 연결되는 단일부재의 상기 주회에 의해 적층되거나, 또는 각각이 적어도 1주 주회하는 복수부재의 상기 주회에 의해 적층되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 복합부재는 배향되어 있는 다수개의 상기 탄소섬유에 상기 수지를 함침시킨 시트 형상인 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임.
4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 프레임체의 표면은 연마 및/또는 절삭되어서 평활화되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임.
5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 프레임체의 표면은 수지 피막으로 피복되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임.
6. 다각 형상의 프레임체의 원하는 내측 치수보다 작은 심재에, 상기 프레임체의 원하는 높이보다 넓은 세로폭 및 적어도 상기 프레임체의 일주에 걸치는 가로폭으로 상기 가로폭 방향으로 배향한 탄소섬유에 수지를 함침시킨 시트 형상의 복합부재를 권취하여, 상기 프레임체의 원하는 외측 치수보다 크게 적층하고 상기 수지를 가열 경화해서 모재로 하는 모재 형성 공정과,
   상기 모재를 상기 프레임체의 원하는 내측 치수, 외측 치수, 및 높이로 절삭가공하여 프레임체로 하는 프레임체 형성 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임의 제조방법.
7. 제 6 항에 있어서,
   상기 프레임체의 원하는 내측 치수보다 작은 심재에, 상기 프레임체의 원하는 높이보다 적어도 2배의 세로폭 및 적어도 상기 프레임체의 일주에 걸치는 가로폭으로 상기 가로폭 방향으로 배향한 탄소섬유에 수지를 함침시킨 시트 형상의 복합부재를 권취하여, 상기 프레임체의 외측 치수보다 크게 적층하고 상기 수지를 가열 경화하고나서 절삭가공에 의해 상기 프레임체의 변과 평행 방향으로 복수로 분할해서 상기 모재로 하는 상기 모재 형성 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임의 제조방법.
8. 제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 프레임체의 표면에 수지 피막을 형성하는 상기 프레임체 형성 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임의 제조방법.
9. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 기재된 펠리클 프레임에 펠리클 막이 긴장해서 피복되어 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클.

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