JP5515238B2 - フォトマスクの曇り防止方法及び装置 - Google Patents
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Description
また、フォトマスクにこの遮光膜側から光を照射するため、遮光膜の上に存在するHAZEを除去することが可能となるから、フォトマスクの曇りを有効に防止することができる。
また、フォトマスクにこの遮光膜側から光を照射するため、遮光膜の上に存在するHAZEを除去することが可能となるから、フォトマスクの曇りを有効に防止することができる。
次に、本発明の実施の形態1を図面に基づいて詳細に説明する。図1は、本発明の実施の形態1に係るフォトマスクの曇り防止装置を示す概略図である。図2は、本発明の実施の形態1に係るフォトマスクを示す概略断面図である。
なお、光照射装置21からの光の波長は、短波長のほうが望ましく、HAZEの状況に応じて適宜に選択可能であり、193nmが好適である。
また、光照射装置21からの光が5J/cm 2 未満であると、一度発生させたHAZEを十分に除去することができなくなってしまう。また、光照射装置21から照射される光のエネルギーは大きい方が好ましい。しかしながら、光照射装置21から照射される光のエネルギーは、100J/cm 2 以下であれば十分であり、100J/cm 2 を超える場合にあってはエネルギーのロスとなる。
次に、本発明の実施の形態2を図面に基づいて詳細に説明する。図3は、本発明の実施の形態2に係るフォトマスクの曇り防止装置を示す概略図である。図4は、本発明の実施の形態2に係るフォトマスクを示す概略斜視図である。
次に、本発明の実施の形態3を図面に基づいて詳細に説明する。図5は、本発明の実施の形態3に係るフォトマスクの曇り防止装置を示す概略図である。
図5に示すように、本発明の実施の形態3に係るフォトマスクの曇り防止装置は、保管室41と、温度調整装置42と、を具備している。保管室41は、ガラス基板10aの表面に遮光膜10bを有するフォトマスク10を保管するものである。温度調整装置42は、フォトマスク10が保管室に保管された状態において、保管室41の温度を40℃以上であって80℃以下である環境に30分以上24時間以下の時間で調整する。
次に、本発明の実施例1を図面に基づいて詳細に説明する。
まず、図1に示す本発明の実施例1のフォトマスクの曇り防止装置の光照射装置21として、ArFレーザー(ximer−300、MPB社製)が用いられた。フォトマスクの曇り防止装置により、50mW/cm 2 、200Hzの193nmの波長であって5J/cm 2 の光が、1度照射された第1のフォトマスク10、2度照射された第2のフォトマスク10、3度照射された第3のフォトマスク10、4度照射された第4のフォトマスク10、5度照射された第5のフォトマスク10及び6度照射された第6のフォトマスク10を準備した。それぞれの光照射と光照射の間隔は、5分とされた。
光が1度照射された第1のフォトマスク10からのHAZEの発生数は3140個であった。光が2度照射された第2のフォトマスク10からのHAZEの発生数は542個であった。光が3度照射された第3のフォトマスク10からのHAZEの発生数は13個であった。光が4度照射された第4のフォトマスク10からのHAZEの発生数は21個であった。光が5度照射された第5のフォトマスク10からのHAZEの発生数は1個であった。光が6度照射された第6のフォトマスク10からのHAZEの発生数は4個であった。これにより、フォトマスク10への複数回の光の照射によりHAZEの発生数は抑制されていることが分かった。
次に、本発明の実施例2を図面に基づいて詳細に説明する。
実施例2においては、実施例1と同じように、フォトマスクの曇り防止装置の光照射装置21として、ArFレーザー(ximer−300、MPB社製)が用いられた。フォトマスクの曇り防止装置により、50mW/cm 2 、200Hzの193nmの波長であって5J/cm 2 の光が、1度照射されたフォトマスク10を準備した。
11 ペリクル膜
12 ペリクルフレーム
13 マスク接着剤
14 ペリクル接着剤
21 光照射装置(光照射手段)
31 加熱装置(加熱手段)
41 保管装置
42 温度調整装置
Claims (2)
- ガラス基板の表面に遮光膜を有し、前記表面に露光エリアを覆うようにペリクル膜がペリクルフレームを介して接着剤により固定されたフォトマスクに、当該フォトマスクの前記遮光膜側から193nmの波長であり、かつ、5J/cm 2 以上であって100J/cm 2 以下の光を時間間隔をおいて2回以上照射することで前記接着剤由来の有機系HAZEを除去するようにしたことを特徴とするフォトマスクの曇り防止方法。
- ガラス基板の表面に遮光膜を有し、前記表面に露光エリアを覆うようにペリクル膜がペリクルフレームを介して接着剤により固定されたフォトマスクに、当該フォトマスクの前記遮光膜側から193nmの波長であり、かつ、5J/cm 2 以上であって100J/cm 2 以下の光を時間間隔をおいて2回以上照射することで前記接着剤由来の有機系HAZEを除去する光照射手段を具備することを特徴とするフォトマスクの曇り防止装置。
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