JPH1034061A

JPH1034061A - 基板の撓み防止装置および姿勢変換装置

Info

Publication number: JPH1034061A
Application number: JP21210996A
Authority: JP
Inventors: Akira Ota; 明大田; Tetsuo Koyanagi; 哲雄小柳; Hiroshi Yamaguchi; 弘山口
Original assignee: SUGAI KK
Current assignee: SUGAI KK
Priority date: 1996-07-22
Filing date: 1996-07-22
Publication date: 1998-02-10

Abstract

(57)【要約】【課題】ウェット処理工程を終了した矩形もしくは正
方形の薄板状基板を、起立姿勢から倒伏姿勢に姿勢変換
する姿勢変換装置において、基板の撓みを有効に防止す
る技術を提供する。【解決手段】ウェット処理を終了した矩形または正方
形の薄板状基板ＳＢを、起立姿勢から倒伏姿勢に姿勢変
換する姿勢変換装置に備えられ、倒伏姿勢にある基板Ｓ
Ｂの撓み部分を係合支持する撓み支持部３０と、この撓
み支持部３０を水平方向へ移動させる水平移動部３１
と、撓み支持部３０を垂直方向へ移動させる垂直移動部
３２とを備える。倒伏姿勢にある基板ＳＢの撓み部分を
水平に修正保持することによって、移載ロボットによる
正確かつ円滑な搬出動作を可能とするとともに、隣接の
基板同士の重なりによる破損を有効に防止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は基板の撓み防止装
置および姿勢変換装置に関し、さらに詳細には、液晶表
示パネルの基板等の各種エレクトロニクス製品の矩形ま
たは正方形の基板を複数枚まとめてカセットレスでウェ
ット処理する基板ウェット処理装置の搬出位置におい
て、ウェット処理工程を終了した基板を、実質的に垂直
な起立姿勢から実質的に水平な倒伏姿勢に姿勢変換する
姿勢変換技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種の基板は、その形状寸法が比較的
大型の矩形（例えば４００×５００ｍｍ）でかつ重いこ
とから、基板搬送装置で直接チャッキング支持すること
が難しく、カセットレスでバッチ式のウェット処理は従
来不可能とされ、基板を搬送用のカセットに複数枚収容
し一括して処理するカセット方式が主流であった。

【０００３】この点に関して、本出願人は、先に、矩形
または正方形の基板についてカセットレスでバッチ式の
ウェット処理を行うことを可能にした基板ウェット処理
装置を開発し提案している。

【０００４】この基板ウェット処理装置は、例えば特開
平７−８６３７３号公報に開示されるように、基板をそ
の隣接する２辺を傾斜下辺になるように傾斜した起立状
態で、これら両傾斜２辺を吊持ち支持する処理姿勢をと
る基板搬送装置と、この基板搬送装置の搬入側と搬出側
に設けられて、上記基板を、上記起立した処理姿勢と倒
伏した搬入・搬出姿勢との間で姿勢変換する姿勢変換装
置とを備えてなる。

【０００５】そして、前工程から搬送用カセットに収容
されて搬入される基板は、移載ロボットにより搬送用カ
セットから搬入側の姿勢変換装置に移し替えられた後、
この姿勢変換装置により上記搬入姿勢から処理姿勢に姿
勢変換される。この姿勢変換された基板は、上記基板搬
送装置によりその処理姿勢のまま吊持状態で保持され
て、カセットレスで所定のウェット処理を施される。ウ
ェット処理工程が終了した基板は、搬出側の姿勢変換装
置により、処理姿勢から搬出姿勢に姿勢変換された後、
移載ロボットにより搬送用カセットに移し替えられて、
次工程へ向けて搬出される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記姿勢変
換装置は、複数枚の基板を保持する基板保持部を備えて
いるところ、この基板保持部は、上記基板搬送装置によ
る上記処理姿勢での基板の保持動作を可能とするため、
基板搬送装置の保持部との保持動作時の干渉が生じない
ような構造とされている。具体的には、上記基板保持部
における基板の保持は、その姿勢変換に最低限度必要な
保持状態でかつ上記基板搬送装置の保持部との保持動作
時の干渉を避けるべく、少なくとも基板の下部を保持す
る一方で、上部はできる限り保持しない構造とされてい
る。

【０００７】しかしながら、このような基板保持部の構
造では、基板が起立状態にあるときは問題ないものの、
倒伏状態にあるときには、基板保持部により保持されて
いない基板の上部が自重により撓む（ダレる）傾向があ
り、これがときには以下のような問題を生じることがあ
った。

【０００８】すなわち、搬入側において、移載ロボット
により搬送用カセットから姿勢変換装置に移し替えられ
る場合は、基板の移し替え順序を工夫することにより、
基板に撓みが生じてもほとんど問題を生じることはな
い。一方、搬出側において、移載ロボットにより姿勢変
換装置から搬送用カセットに移し替えられる場合に、上
記基板の撓み量が過度に大きいと、移載ロボットの移動
経路中に上記基板の撓み部分が存在することになってし
まうことは避けがたい。これがため、この撓み部分が移
載ロボットとの干渉により破損したり、あるいは、隣接
する基板同士が重なってしまい、移載ロボットによる搬
出動作に誤動作を生じることとなる。

【０００９】このような問題は、基板の形状寸法がそれ
ほど大きくない場合は問題なかったが、近時の基板の形
状寸法の大型化に伴い避けがたい問題として、その解決
が強く要望されていた。

【００１０】本発明はかかる従来の問題点に鑑みてなさ
れたものであって、その目的とするところは、ウェット
処理工程を終了した基板を、起立姿勢から倒伏姿勢に姿
勢変換する姿勢変換装置において、倒伏姿勢にある基板
の撓み部分を水平に修正保持することによって、移載ロ
ボットによる搬出動作を正確かつ円滑に行うとともに、
基板の破損を防止することができる基板の撓み防止装置
の提供にある。

【００１１】また、本発明の他の目的とするところは、
この基板の撓み防止装置を備える姿勢変換装置の提供に
ある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の基板の撓み防止装置は、矩形もしくは正方
形の薄板状基板を複数枚まとめてウェット処理する基板
ウェット処理装置の搬出位置において、ウェット処理工
程を終了した基板を、起立姿勢から倒伏姿勢に姿勢変換
する姿勢変換装置に備えられるものであって、上記倒伏
姿勢にある基板の撓み部分を係合支持する撓み部支持手
段と、この撓み部支持手段を水平方向へ移動させる水平
移動手段と、上記撓み部支持手段を垂直方向へ移動させ
る垂直移動手段とを備えてなることを特徴とする。

【００１３】ここに、水平および垂直とは完全な水平お
よび垂直状態を示すほか、実質的な水平および垂直状態
をも含むものとする。以下、本明細書全体を通じて同様
とする。

【００１４】本発明の姿勢変換装置は、上記基板を同一
姿勢で複数枚まとめて収容する基板保持部と、この基板
保持部に収容された基板が上記起立姿勢から倒伏姿勢に
なるように基板保持部を回動操作する回動部とを備えて
なり、上記基板保持部は、上記各基板の周縁部表裏面を
開閉可能にチャッキング支持する複数のチャック爪を有
するチャック手段と、上記撓み防止装置を備えているこ
とを特徴とする。

【００１５】本発明においては、ウェット処理工程が終
了した基板が、基板搬送装置から上記姿勢変換装置の基
板保持部のチャック手段に移し替えられてチャッキング
支持されると、上記回転部の駆動により、上記基板は基
板保持部と共に、起立姿勢つまり処理姿勢から、倒伏姿
勢つまり搬出姿勢に姿勢変換される。

【００１６】この場合、基板保持部により保持されてい
ない基板の上部が自重により撓むことになるが、引き続
いて、この撓み部分に対する撓み防止装置の撓み修正動
作が開始される。まず、上記水平移動手段により上記撓
み部支持手段が、上記撓み部分を係合支持し、続いて、
垂直移動手段がこの撓み部支持手段を垂直方向へ移動さ
せて、上記撓み部分を水平に修正保持する。

【００１７】この基板の撓み修正動作の完了により、移
載ロボットの移動経路中から基板の撓み部分が退避した
後、移載ロボットがこれらの基板を姿勢変換装置から搬
送用カセットに移し替える。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。

【００１９】本発明に係る基板の姿勢変換装置を図１〜
図４に示し、この姿勢変換装置１は、具体的には、図１
１に示される基板ウェット処理装置に設けられるもので
ある。この基板ウェット処理装置は、矩形もしくは正方
形の薄板状基板ＳＢ（図示のものは矩形）を複数枚一括
してカセットレスでウェット処理するバッチ式のもので
あって、図１１に示すように、基板搬入部Ｌ、搬入側移
載部Ａ、ウェット処理部Ｂ、搬出側移載部Ｃ、基板搬出
部Ｕ、カセット搬送部Ｄおよび制御装置Ｅを主要部とし
て備えてなり、搬出位置である上記搬出側移載部Ｃに、
上記姿勢変換装置１が配置されている。

【００２０】この姿勢変換装置１は、ウェット処理工程
を終了した基板ＳＢを、垂直に起立した処理姿勢から水
平に倒伏した搬出姿勢に姿勢変換するものであって、基
板ＳＢを収容する基板保持部２と、この基板保持部２を
回動操作する回動部３とを備えてなる。

【００２１】基板保持部２は、基板ＳＢを同一姿勢で複
数枚（本実施形態おいては５枚）まとめて収容するもの
であって、チャック手段としてのチャック部５と撓み防
止装置６を備えてなり、上記回動部３に上下方向へ回動
可能に装着されている。

【００２２】上記チャック部５は、各基板ＳＢの隣接す
る２辺ＳＢａ，ＳＢｂを保持するもので、具体的には、
上記各基板ＳＢの周縁部つまり上記２辺ＳＢａ，ＳＢｂ
縁部の表裏面を開閉可能にチャッキング支持する複数の
チャック爪Ｍ，Ｍ，…を有し、これらチャック爪Ｍ，
Ｍ，…は、保持部本体１０の内周に沿って配設された固
定側チャック部材１１と可動側チャック部材１２とから
構成されている。

【００２３】固定側チャック部材１１は、上記保持部本
体１０の内周に基板配列方向へ延びて固設されるととも
に、図５(a) に示すように、その内側部に、基板保持溝
Ｍ₁が上下方向つまり上記基板配列方向へ、同一の基板
配列ピッチをもって複数形成されている。各基板保持溝
Ｍ₁は、図示されるような側面形状を有し、その幅寸法
Ｗ₁が基板ＳＢの厚さ寸法よりも幅広に設定されてい
る。

【００２４】可動側チャック部材１２は、上記保持部本
体１０の内周において固定側チャック部材１１と平行に
つまり基板配列方向へ延びて設けられている。また、可
動側チャック部材１２の内側にも、図５(b) に示すよう
に、基板保持溝Ｍ₂が上下方向（基板配列方向）へ、同
一の基板配列ピッチをもって複数形成されている。各基
板保持溝Ｍ₂は、図示されるような側面形状を有し、そ
の幅寸法Ｗ₂が上記基板保持溝Ｍ₁同様、基板ＳＢの厚
さ寸法よりも幅広に設定されている。

【００２５】上記可動側チャック部材１２は、上記保持
部本体１０に、支持体１５が取り付けられるとともに、
この支持体１５に、上記可動側チャック部材１２が、エ
アシリンダ１６により上下方向（基板配列方向）へ移動
可能に支持されている。そして、上記エアシリンダ１６
の駆動により、可動側チャック部材１２は基板配列方向
へ往復移動可能とされている。

【００２６】上記両チャック部材１１，１２，…は、図
６に示すように、相互に対応して配列されており、これ
ら両者の基板保持溝Ｍ₁，Ｍ₂，…の対応する組が上記
各チャック爪Ｍを構成している。

【００２７】すなわち、基板ＳＢ，ＳＢ，…の上記起立
姿勢における出入動作時（後述）においては、可動側チ
ャック部材１２の基板保持溝Ｍ₂は上昇位置（図６(a)
の位置）にある。これにより、両基板保持溝Ｍ₁，Ｍ₂
は、図示のごとく、その下面がいずれも同一高さ位置に
あって、チャック爪Ｍは開放状態にある。

【００２８】一方、基板保持部２の回動操作時（後述）
においては、可動側チャック部材１２の基板保持溝Ｍ₂
が下降位置（図６(b) の位置）にある。これにより、両
基板保持溝Ｍ₁，Ｍ₂は、図示のごとく、基板保持溝Ｍ
₂の上面が基板保持溝Ｍ₁の下面に対して接近して、チ
ャック爪Ｍが閉止状態にあり、基板ＳＢの周縁がこのチ
ャック爪Ｍによりチャッキング支持される。この場合、
チャック爪Ｍの最底部におけるチャッキング幅Ｗ₃は、
基板ＳＢの周縁を挟持状にまたは小さな隙間をもって支
持するように設定されている。

【００２９】また、これらチャック部５のチャック爪
Ｍ，Ｍ，…の支持面つまり底面は、図３および図４に示
すように、上記保持部本体１０の内周面に対して、それ
ぞれ傾斜して延びる直線状断面輪郭を有している。これ
により、これらチャック爪Ｍ，Ｍ，…に保持される各基
板ＳＢは、保持部本体１０の回動軸線Ｘに直交する直
線、つまり保持部本体１０の側面に平行な線に対して若
干傾斜した状態（本実施形態では５°傾斜）で保持され
る。

【００３０】この結果、後述するように、基板保持部２
の保持部本体１０が、基板ＳＢの被処理面が垂直状態に
なるように姿勢変換されたとき、その隣接する直交２辺
ＳＢａ，ＳＢｂが傾斜下辺となる処理姿勢が得られる
（図３および図１０参照）。

【００３１】また、保持部本体１０には、上記チャック
部５と協働する開閉部２０が設けられており、この開閉
部２０は、上記基板ＳＢの他の１辺ＳＢｃを開放可能に
保持するもので、上記固定側チャック部材１１と同一構
造の開閉チャック部材２１を備えてなる。

【００３２】この開閉チャック部材２１は、上記保持部
本体１０に対して開閉可能に設けられている。つまり、
開閉チャック部材２１は、保持部材２２を介してエアシ
リンダ２５のピストンロッド２５ａに取り付けられてい
る。そして、このエアシリンダ２５の駆動により、上記
開閉チャック部材２１が開閉動作して、保持部本体１０
のチャック部５に保持される各基板ＳＢの他の一辺ＳＢ
ｃを保持あるいは開放する。なお、開閉チャック部材２
１の支持面は、上記チャック部５のチャック爪Ｍ，Ｍ，
…の支持面と同様、各基板ＳＢを前記傾斜状態で保持す
るように形成されている。

【００３３】撓み防止装置６は、上記基板保持部２によ
り保持されていない基板ＳＢの撓みを防止するものであ
って、図３および図４に示すように、保持部本体１０に
おいて、基板ＳＢ，ＳＢ，…の起立姿勢における片側上
部、つまり辺ＳＢｃの上部に対応した位置に装着されて
いる。

【００３４】この撓み防止装置６の具体的構成は、図７
ないし図９に示すように、撓み支持部（撓み部支持手
段）３０、水平移動部（水平移動手段）３１および垂直
移動部（垂直移動手段）３２を主要部として備え、上記
基板保持部２に保持された基板ＳＢが倒伏姿勢にあると
き動作するように駆動制御される。

【００３５】撓み支持部３０は、基板ＳＢ，ＳＢ，…の
辺ＳＢｃの上部つまり撓み部分を係合支持するもので、
図７に示すように、複数つまり５つの保持溝３５，３
５，…が上下方向へ配設されてなる。これら保持溝３
５，３５，…は、上記姿勢変換装置１の基板保持溝
Ｍ₁, Ｍ₂と同じ配列ピッチをもって上下方向へ配設さ
れている。また、各保持溝３５は、基板ＳＢの撓み部分
の撓み量に対応した幅寸法Ｗを備えるとともに、その溝
底面３５ａが外側下方へ傾斜した傾斜面とされている。

【００３６】具体的には、上記撓み支持部３０は、保持
溝３５の底部３５ａを形成する下向き拡径状のテーパ円
柱部３６，３６，…と、保持溝３５の下側壁部３５ｂを
形成する円形フランジ部３７，３７，…が交互にかつ連
続して形成されてなる円柱棒の形態とされ、水平移動部
３１の揺動アーム３８の先端部に垂直状態で取付け支持
されている。

【００３７】水平移動部３１は、撓み支持部３０を水平
方向へ揺動させるもので、上記揺動アーム３８と、この
揺動アーム３８を駆動する揺動シリンダ３９とを備えて
なる。

【００３８】上記揺動アーム３８は、垂直な揺動軸（支
軸）４０に、上下一対のアーム部材３８ａ，３８ｂが平
行な水平状態で取付け固定されるとともに、これら両ア
ーム部材３８ａ，３８ｂの先端同士が接続杆３８ｃによ
り接続されて矩形枠の形態とされてなり、この接続杆３
８ｃに、上記撓み支持部３０が取付け支持されている。
上記揺動軸４０は、後述する垂直移動部３２の昇降ブラ
ケット（昇降部）４５に、軸受４６，４６により回転可
能にかつ軸方向へ固定的に軸支されてなり、これより、
揺動アーム３８が水平方向へ揺動可能とされている。

【００３９】揺動シリンダ３９は、図７および図９に示
すように、支持ブラケット５０を介して上記保持部本体
１０に装着されている。この揺動シリンダ３９は、上記
支持ブラケット５０の底面部分に取付け固定されるとと
もに、そのピストンロッド３９ａが接続アーム（揺動
部）５１を介して、上記揺動軸４０に連結されている。

【００４０】このピストンロッド３９ａと揺動軸４０の
具体的な連結構造は、図７に示すように、上記揺動軸４
０の下端部分が、上記支持ブラケット５０を貫通して下
側へ突出されるとともに、上記接続アーム５１とスプラ
インまたはセレーション結合５２されてなる。これによ
り、上記揺動軸４０は、上記接続アーム５１に対して、
軸線方向へ移動可能とされるとともに、回転方向へ固定
的につまり一体回転可能に接続されている。

【００４１】垂直移動部３２は、上記撓み支持部３０を
垂直方向へ移動させるもので、具体的には昇降シリンダ
５５を備えてなる。この昇降シリンダ５５は、図７に示
すように、ピストンロッド５５ａが支持ブラケット５
６，５６を介して上記保持部本体１０に垂直状に支持固
定されるとともに、シリンダ本体５５ｂに、上記揺動軸
４０を軸支する昇降ブラケット４５が取付け固定されて
いる。そして、昇降シリンダ５５の駆動により、シリン
ダ本体５５ｂさらには撓み支持部３０が昇降動作され
る。

【００４２】この場合、取り扱うべき基板ＳＢ，ＳＢ，
…の辺ＳＢｃの上部撓み部分の撓み量を予め把握して、
昇降シリンダ５５の初期位置つまり最下降位置におい
て、上記撓み支持部３０の保持溝３５，３５，…が各基
板ＳＢの撓み部分に対応して位置するように設定されて
いる。

【００４３】回動部３は、上記基板保持部２に収納され
た基板ＳＢ，ＳＢ，…を倒伏姿勢（図１，２，４参照）
と起立姿勢（図３参照）との間で回動操作するもので、
基板保持部２を回動する駆動部６０と、基板保持部２の
回動範囲を規定する位置決め部６１とを主要部として備
えてなる。

【００４４】これに関連して、上記基板保持部２は、支
軸６３，６４を介して、装置本体６７に起立状に固設さ
れた一対の垂直コラム６５，６６に上下方向へ回転可能
に軸支されている。装置本体６７は具体的には図示しな
いが、水平方向に回転可能な構成とされている。

【００４５】駆動部６０は、回動アーム７０とこれを駆
動する回動シリンダ７１とからなり、上記回動アーム７
０は、その基端部が上記支軸６３の外端部に連結固定さ
れるとともに（図２参照）、その先端部が回動シリンダ
７１のピストンロッド７１ａに連結されている。

【００４６】この回動シリンダ７１は、その基端が取付
けブラケット７２を介して垂直コラム６５に枢支される
とともに、ピストンロッド７１ａが上記回動アーム７０
の先端に回動可能に連結されており、このピストンロッ
ド７１ａの突出退入動作により、上記回動アーム７０を
介して、支軸６３さらには基板保持部２が上下方向へ回
動される。

【００４７】位置決め部６１は、水平状態位置決め部７
５と垂直状態位置決め部７６とからなる。水平状態位置
決め部７５は、基板保持部２の水平保持状態位置、つま
り基板ＳＢ，ＳＢ，…の倒伏姿勢（図１および図２の状
態）を規定する。一方、垂直状態位置決め部７６は、基
板保持部２の垂直保持状態位置、つまり基板ＳＢ，Ｓ
Ｂ，…の起立姿勢（図３の状態）を規定する。

【００４８】次に、上記姿勢変換装置１との間で基板Ｓ
Ｂ，ＳＢ，…の受渡しを行う基板搬送装置８０と移載ロ
ボット８１の構成を説明する。

【００４９】基板搬送装置８０は、基板ＳＢ，ＳＢ，…
をカセットレスで搬送処理するとともに、搬出側移載部
Ｃにおいて上記姿勢変換装置１に排出収載する構成とさ
れている。具体的には、基板搬送装置８０は、搬出側処
理槽列１０１の処理槽１０１ａ〜１０１ｅの配列方向
（図１１の矢符(5) 方向）へ平行に往復移動可能に設け
られるとともに、図１０に示すように、上下方向へ昇降
可能な水平アーム８６と、この水平アーム８６の先端に
装着された基板吊持装置８７とから構成されており、基
板ＳＢ，ＳＢ，…を、上記処理槽列１０１内の処理液中
に順次浸漬して、基板ＳＢ，ＳＢ，…の表面を処理す
る。

【００５０】上記基板吊持装置８７の具体的構造は図示
しないが、左右一対の吊持アーム８８，８９が開閉制御
される構成とされている。

【００５１】吊持アーム８８，８９の上端は、水平アー
ム８６に揺動可能に枢着されるとともに、図示しないア
ーム駆動部に接続されている。また、一方の吊持アーム
８８の下端と中央部には、水平状に取り付けられた３本
の基板保持バー９０，９０，９０が設けられるととも
に、他方の吊持アーム８９の下端には、１本の基板保持
バー９０が取付けられている。各基板保持バー９０の具
体的構造は図示しないが、前述したチャック爪Ｍの基板
保持溝Ｍ₁，Ｍ₂と同ピッチの基板保持溝を備えてい
る。

【００５２】これら４本の基板保持バー９０，９０，…
の相対的位置は、吊持アーム８８，８９が閉止して基板
ＳＢをチャッキング保持した時、この基板ＳＢの下辺が
水平から５°程度傾斜した状態（図３および図１０参
照）で吊持状に保持されるように設定されている。

【００５３】そして、吊持アーム８８，８９は図示しな
いアーム駆動部により相互に揺動されて拡縮動作され、
その閉止位置において基板ＳＢを吊持状にチャッキング
保持するとともに、拡開位置において基板ＳＢのチャッ
キングを解除する。

【００５４】移載ロボット８１は、図４に示すように、
基板ＳＢをハンドリングする移替えハンド８１ａを備え
る。この移替えハンド８１ａは、ロボット本体８１ｂの
上側に、支軸８１ｃを介して昇降可能かつ回転可能に設
けられるとともに、ロボット本体８１ｂ内部の駆動源
（図示省略）に連係されている。移替えハンド８１ａの
先端部には、基板ＳＢを吸着チャッキングする吸引プレ
ート８１ｄを備えており、この吸引プレート８１ｄは図
示しない真空ポンプ等の負圧源に連通されている。

【００５５】そして、吸引プレート８１ｄは、搬出側移
載部Ｃにおいて、水平状態で姿勢変換装置１に収容され
ている基板ＳＢ，ＳＢ，…を一枚ずつ水平状態で抜き取
り、水平方向へ所定角度（図示例においては１８０°）
だけ回転させた後、水平保持状態にある搬送用カセット
２００に挿入して移し替える。この場合、移替えハンド
８１ａは基板ＳＢを１枚移し替えるたびに垂直方向（上
方向または下方向）へ１ピッチ分だけ昇降動作してか
ら、上記と同様の動作を順次繰り返して、基板ＳＢ，Ｓ
Ｂ，…すべてを姿勢変換装置１から搬送用カセット２０
０へ移し替えるように駆動制御される。

【００５６】しかして、搬入側処理装置列１００および
搬出側処理槽列１０１を介してウェット処理工程が終了
した基板ＳＢ，ＳＢ，…は、上記基板搬送装置８０から
上記姿勢変換装置１の基板保持部２のチャック部５に移
し替えられて姿勢変換される。すわなち、基板ＳＢ，Ｓ
Ｂ，…がチャック部５にチャッキング支持されると、上
記回動部３の駆動により、上記基板ＳＢ，ＳＢ，…は基
板保持部２と共に、起立姿勢つまり処理姿勢（図３の状
態）から、倒伏姿勢つまり搬出姿勢（図１，図２および
図４の状態）に姿勢変換される。

【００５７】この場合、基板保持部２により保持されて
いない基板ＳＢ，ＳＢ，…の辺ＳＢｃの上部が自重によ
り撓むことになるが、引き続いて、この撓み部分に対す
る撓み防止装置６の撓み修正動作が開始される。

【００５８】つまり、基板ＳＢ，ＳＢ，…の倒伏姿勢に
おいて、撓み状態にある上記辺ＳＢｃの上部に対して、
まず、上記水平移動部３１の揺動シリンダ３９の駆動に
より揺動アーム３８が揺動して、撓み支持部３０が退避
位置（図８の二点鎖線位置）から係合位置（図８の実線
位置）へ水平移動し、その保持溝３５，３５，…が上記
基板ＳＢ，ＳＢ，…の辺ＳＢｃの上部つまり撓み部分に
係合支持する。この場合、各保持溝３５は、上述のごと
く各基板ＳＢの辺ＳＢｃの上部撓み部分に対向位置する
とともに、その幅寸法が上記撓み部分の撓み量に対応し
ているため、対応する撓み部分を確実に捕捉することが
できる。

【００５９】次に、垂直移動部３２の昇降シリンダ７５
が駆動して昇降ブラケット４５と共に撓み支持部３０が
上昇して、上記撓み部分を持ち上げて水平状態に修正す
る。これにより、すべての基板ＳＢ，ＳＢ，…の撓み部
分が後述する移載ロボット８１の出入れ移動経路中から
退避して、基板ＳＢ，ＳＢ，…全体が水平状態に保持さ
れることとなる。

【００６０】続いて、移載ロボット８１がこれらの基板
ＳＢ，ＳＢ，…を、前述した動作により、姿勢変換装置
１から搬送用カセット２００に移し替える。

【００６１】次に、上記基板ウェット処理装置を構成す
る他の装置・機器の構成について、図１１を参照しつつ
簡単に説明する。

【００６２】基板搬入部Ｌは、基板ＳＢ，ＳＢ，…が前
工程から搬入される部位で、図示しないタクト送り機構
等を備える。そして、前工程から搬入されてくる基板入
り搬送用カセット２００は、タクト送り機構により矢符
(1) の方向へ所定間隔をもってタクト送りされる。この
際基板ＳＢ，ＳＢ，…は水平状態（倒伏姿勢）に保持さ
れている。

【００６３】搬入側移載部Ａは、搬送用カセット２００
から姿勢変換装置８５に基板ＳＢ，ＳＢ，…を移し替え
る（移載する）部位で、姿勢変換装置８５と移載ロボッ
ト９１が配されてなる。なお、姿勢変換装置８５の具体
的構成は、前述した搬出側の姿勢変換装置１における撓
み防止装置６を備えていないことを除いて、基本的に姿
勢変換装置１と同一構成とされている。また、移載ロボ
ット９１は前述した搬出側の移載ロボット８１と全く同
一構成とされている。

【００６４】そして、搬送用カセット２００に水平状態
で収容されてタクト送りされてくる基板ＳＢ，ＳＢ，…
は、前述したように、移載ロボット９１により一枚ずつ
抜き取られて、倒伏姿勢にある基板保持部２内の基板Ｓ
Ｂ，ＳＢ，…に同一姿勢で移載される。

【００６５】ウェット処理部Ｂは、高清浄度雰囲気に維
持される処理室内に、２列平行に並設された一対の処理
槽列１００，１０１と基板搬送装置９２、８０とをそれ
ぞれ備えてなり、これら両処理槽列１００，１０１の接
続部には基板搬送装置９３が設けられている。これによ
り、基板ＳＢ，ＳＢ，…のウェット処理経路は、搬入側
の処理槽列１００のオペレータゾーンＯ側端からオペレ
ータゾーンＯ反対側端へ進むとともに、搬出側の処理槽
列１０１のオペレータゾーンＯ反対側端からオペレータ
ゾーンＯ側端へ進むように構成されている。

【００６６】搬入側の処理槽列１００は、図示例におい
ては、複数の処理槽（図示例の場合６つの処理槽１００
ａ〜１００ｆ）を備えるとともに、これら処理槽１００
ａ〜１００ｆの側部に上記基板搬送装置９２が配設され
ている。

【００６７】基板搬送装置９２は、搬入側移載部Ａの姿
勢変換装置８５に収容された基板ＳＢ，ＳＢ，…を吊持
ち状態で搬送処理する構造とされており、具体的には前
述した搬出側処理槽列１０１の基板搬送装置８０と同一
構成とされている。

【００６８】上記搬入側処理槽列１００に続く基板搬送
装置９３は、搬入側処理槽列１００から搬出側処理槽列
１０１へ基板ＳＢ，ＳＢ，…を移送および処理する装置
であって、その基本構造は、基板搬送装置９２と同様、
上述した基板搬送装置８０と同様である。

【００６９】搬出側処理槽列１０１は、前述した搬入側
処理槽列１００と同様、複数の処理槽を備えるととも
に、これらの処理槽の側部に、前記基板搬送装置８０が
配設されている。図示例においては、４つの処理槽１０
１ａ〜１０１ｄとＩＰＡベーパー乾燥機１０１ｅが設け
られてなる。

【００７０】搬出側移載部Ｃは、基板ＳＢ，ＳＢ，…か
ら搬送用カセット２００に基板ＳＢ，ＳＢ，…を移し替
える（移載する）部位で、上記搬入側移載部Ａと同様、
前述した姿勢変換装置１と移載ロボット８１が配されて
なる。

【００７１】この搬出側移載部Ｃにおいては、ウェット
処理工程が終了した基板ＳＢ，ＳＢ，…を収容した基板
ＳＢ，ＳＢ，…は、前述した動作により、基板搬送装置
８０から姿勢変換装置１へ移載されて、垂直な起立姿勢
から水平な倒伏姿勢へ姿勢変換された後、移載ロボット
８１により一枚ずつ抜き取られて、基板搬出部Ｕに待機
する洗浄済みの搬送用カセット２００内に水平状態のま
ま移載されることとなる。

【００７２】基板搬出部Ｕは、基板ＳＢ，ＳＢ，…を次
工程へ搬出する部位で、ウェット処理部Ｂの搬出側に配
置され、タクト送り機構（図示省略）を備える。搬出側
移載部Ｃにより洗浄処理済の基板ＳＢ，ＳＢ，…が収容
された搬送用カセット２００は、上記タクト送り機構に
より矢符(8) の方向へ所定間隔をもってタクト送りされ
て、次工程へ搬出される。

【００７３】カセット搬送部Ｄは、基板搬入部Ａから基
板搬出部Ｃへ空の搬送用カセット２００を搬送する部位
で、これら基板搬入部Ａと基板搬出部Ｃとを連結してい
る。また、このカセット搬送部Ｄは、図示しないカセッ
ト搬送装置を備えるとともに、その移送経路(7) の中途
箇所にはカセット洗浄槽９４が設けられている。

【００７４】制御装置Ｅは、前述した図示しないタクト
送り機構、姿勢変換装置１，８５、移載ロボット８１，
９１および基板搬送装置８０，９２，９３などを互いに
同期して駆動制御するもので、この制御装置Ｅにより、
以下のウェット処理工程が基板ＳＢ，ＳＢ，…の搬入時
から搬出時まで全自動で行われることとなる。

【００７５】前工程の終了した基板ＳＢ，ＳＢ，…
は、搬送用カセット２００内に収容された状態で基板搬
入部Ｌに搬入され、前述の如く矢符(1) の経路でタクト
送りされて移載位置に配置された後、搬入側移載部Ａに
おいて、姿勢変換装置８５の回動部３により倒伏姿勢に
位置決めされた基板保持部２に、移載ロボット９１によ
り、前述した要領で水平状態のまま一枚ずつ移し替えら
れる。

【００７６】この場合、上記基板保持部２のチャック部
５は、可動側チャック部材１２が上昇位置（図６(a) の
位置）にあって、チャック爪Ｍは開放状態にあるととも
に、開閉部２０の開閉チャック部材２１は閉じた状態に
ある。したがって、水平状態にある基板ＳＢは、その自
重によりある程度撓んだ状態でチャック爪Ｍ間に挿入さ
れることになるが、上記チャック爪Ｍとの間で擦れるこ
となく、非接触状態での円滑な挿入が確保される。

【００７７】続いて、上記チャック爪Ｍが閉止し
て、基板ＳＢの２辺ＳＢａ，ＳＢｂがチャッキングされ
た後、回動部３が作動して、水平状態にある基板保持部
２が起立方向へ９０°回転して起立状態となる。これに
より、基板ＳＢ，ＳＢ，…も、その被処理面が垂直状態
（起立状態）となるとともに、その下辺ＳＢａが水平か
らわずかに傾斜した状態（本例では５°傾斜）つまり前
述の処理姿勢に姿勢変換される。

【００７８】この後、開閉チャック部材２１が基板
ＳＢ，ＳＢ，…から再び離間し、基板ＳＢ，ＳＢ，…
は、その隣接する傾斜下辺ＳＢｂ，ＳＢａのみがチャッ
ク部５に保持されて、この処理姿勢のまま基板搬送装置
９２を待機する。

【００７９】続いて、この基板ＳＢ，ＳＢ，…は、
基板搬送装置９２により吊持状態で保持されて、各処理
槽１００ａ〜１００ｆへの浸漬を順次繰り返されて所定
のウェット処理が施された後、基板搬送装置９３によ
り、搬出側処理槽列１０１の処理槽１０１ａまで搬送さ
れる。基板ＳＢ，ＳＢ，…は、今度は基板搬送装置８０
により吊持状態で保持されて、各処理槽１０１ｂ〜１０
１ｅに浸漬を順次繰り返されて所定のウェット処理を施
される。

【００８０】両洗浄槽列１００，１０１でのウェッ
ト処理工程が終了した基板ＳＢ，ＳＢ，…は、搬出側移
載部Ｃへ搬送されて（矢符(5) 参照）、姿勢変換装置１
に収載される。

【００８１】搬出側移載部Ｃにおいて、上記基板Ｓ
Ｂ，ＳＢ，…は、姿勢変換装置１により起立姿勢から再
び倒伏姿勢に姿勢変換される。この場合、前述したよう
に、倒伏姿勢に姿勢変換された基板ＳＢ，ＳＢ，…は、
撓み防止装置６により撓み修正されて、基板ＳＢ，Ｓ
Ｂ，…全体が水平状態に保持される。

【００８２】この姿勢変換された基板ＳＢ，ＳＢ，
…は、移載ロボット８１により、前述した動作で搬入時
と同じ洗浄済みの搬送用カセット２００に移し替えられ
た後（矢符(6) 参照）、図示しないタクト送り機構によ
り矢符(8) の経路でタクト送りされて、次の工程へ向け
て搬出される。

【００８３】なお、上記搬送用カセット２００は、搬入
側移載部Ａで空になった後、この搬送用カセット２００
から取り出された基板ＳＢ，ＳＢ，…の洗浄処理工程と
並行して、カセット洗浄槽９４にて洗浄処理が施された
後、上記搬出側移載部Ｃに搬送される（矢符(7) 参
照）。

【００８４】実施形態２本実施形態は図１２に示されており、姿勢変換装置１に
おける撓み防止装置６の構成が改変されたものである。
本実施形態においては、実施形態１の場合と逆に、水平
移動部３１上に垂直移動部３２が装着された構造とされ
ており、実施形態１と同一または類似の構成部材は同一
の参照符号が付されている。

【００８５】水平移動部３１において、揺動アーム３８
を支持固定する揺動軸４０は、保持部本体１０に取付け
られた支持ブラケット１１０，１１０に、軸受１１１，
１１１により回転可能にかつ軸方向へ固定的に軸支され
てなり、これより、上記揺動アーム３８が水平方向へ揺
動可能とされている。

【００８６】この揺動アーム３８を揺動させる揺動シリ
ンダ３９は具体的には図示しないが、実施形態１と同
様、支持ブラケット５０を介して上記保持部本体１０に
装着されている。この揺動シリンダ３９のピストンロッ
ド３９ａは、上記揺動軸４０の下端部分に接続固定され
た接続アーム５１に、揺動可能に接続されている。

【００８７】また、上記揺動アーム３８のアーム部材３
８ａ，３８ｂ上には、垂直移動部３２の昇降シリンダ５
５が垂直状に装着されるとともに、そのシリンダ本体５
５ｂに、撓み支持部３０が昇降ブラケット（昇降部）４
５を介して取付け支持されている。そして、昇降シリン
ダ５５の駆動により、上記撓み支持部３０が昇降動作さ
れる。その他の構成および作用は実施形態１と同様であ
る。

【００８８】実施形態３本実施形態は図１３に示されており、姿勢変換装置１に
おける撓み防止装置６の構成がさらに改変されたもので
ある。本実施形態においては、実施形態２の場合と同
様、水平移動部３１上に垂直移動部３２が装着された構
造とされており、実施形態１または実施形態２と同一ま
たは類似の構成部材は同一の参照符号が付されている。

【００８９】水平移動部３１は、支持体１２０が図外の
基板保持部２の保持部本体１０に取付け固定されるとと
もに、この支持体１２０上に、上記垂直移動部３２が移
動体（水平移動部）１２３を介して装着されてなるとと
もに、水平移動シリンダ１２１が直接的に装着されてな
る。

【００９０】すなわち、一対のリニアレール１２２，１
２２が上記支持体１２０に水平方向へ延びて平行に設け
られるとともに、これらリニアレール１２２，１２２上
を、上記移動体１２３がリニアベアリング１２４，１２
４を介して摺動可能とされている。

【００９１】また、上記水平移動シリンダ１２１は、上
記両リニアレール１２２，１２２間において、これらと
平行な水平状で上記指示体１２０に設けられるととも
に、図示しないが、そのピストンロッドが上記移動体１
２３に接続されている。そして、このピストンロッドの
突出退入動作により、上記移動体１２３が水平方向へ往
復移動される構成とされている。

【００９２】上記垂直移動部３２は、上記移動体１２３
上に、撓み支持部３０と昇降シリンダ１３０が設けられ
てなる。つまり、撓み支持部３０に昇降ロッド（昇降
部）１３１が一体的に取り付けられるとともに、この昇
降ロッド１３１は、上記移動体１２３に軸受１３２を介
して垂直上下方向へ昇降可能に軸支されている。

【００９３】また、上記移動体１２３には、上記昇降シ
リンダ１３０が垂直下向きに設けられるとともに、その
ピストンロッド１３０ａが上記撓み支持部３０に接続さ
れている。そして、このピストンロッド１３０ａの突出
退入動作により、上記撓み支持部３０が上下方向へ昇降
動作される。

【００９４】この撓み支持部３０は、前記基板保持部２
のチャック部５を構成しているチャック部材１１、１２
とほぼ同じ構成とされている。つまり、撓み支持部３０
は、図示されるように、複数（本実施形態においては２
０個）の保持溝１３５，１３５，…が上下方向へ配設さ
れてなる垂直バーの形態とされ、これら保持溝１３５，
１３５，…の具体的構造は、上記チャック部材１１、１
２の基板保持溝Ｍ₁，Ｍ₂とほぼ同様とされている。そ
の他の構成および作用は実施形態１と同様である。

【００９５】なお、上述した実施形態１〜３はあくまで
も本発明の好適な具体例を示すものであって、本発明は
これに限定されることなく、その範囲内で適宜設計変更
可能である。

【００９６】例えば、撓み防止装置６の具体的構造は、
実施形態１〜３に示された構造と同様な機能を有する限
り他の構成を採用することも可能であり、また、姿勢変
換装置１さらには基板ウェット処理装置を構成する他の
構成装置についても同様である。

【００９７】また、上述した実施形態においては、搬入
側の姿勢変換装置８５が、撓み防止装置６を備えていな
い構造とされているが、もちろん搬出側の姿勢変換装置
１と同様に撓み防止装置６を備えていても良い。このよ
うな構造とすることにより、移載ロボット９１によるよ
り多様な移し替え方法が採用可能となる。

【００９８】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明の基板の撓
み防止装置によれば、ウェット処理工程を終了した基板
が、姿勢変換装置により起立姿勢から倒伏姿勢に姿勢変
換された場合、姿勢変換装置の基板保持部に保持されて
いない基板の上部が自重により撓むことになるが、この
撓み部分に対する撓み修正が確実に行われて、続いて行
われる移載ロボットによる姿勢変換装置から搬送用カセ
ットへの移し替えが迅速かつ安全確実に行われる。

【００９９】すなわち、上記基板の撓み量が、移載ロボ
ットの移動経路中に上記基板の撓み部分が存在するほど
過度に大きい場合でも、上記撓み防止装置によりこの撓
みが完全に修正されるので、この撓み部分が移載ロボッ
トとの干渉により破損したり、隣接する基板同士が重な
って、移載ロボットによる搬出動作に誤動作を生じるこ
ともない。

【０１００】したがって、本発明の基板の撓み防止装置
を備えた姿勢変換装置さらには基板ウェット処理装置に
おいては、近時の基板の形状寸法の大型化にもかかわら
ず、矩形または正方形の基板についてのカセットレスに
よるバッチ式のウェット処理が迅速かつ安全確実に行う
ことが可能となる。

【０１０１】しかも、上記撓み防止装置は、倒伏姿勢に
ある基板の撓み部支持手段と、この撓み部支持手段を水
平方向へ移動させる水平移動手段と、上記撓み部支持手
段を垂直方向へ移動させる垂直移動手段とを備えてなる
単純な構成であるから、装置の軽量小型化も可能で、姿
勢変換装置の基本構造を変更することなく、既設の姿勢
変換装置に追加設置することも可能である。

【０１０２】例えば、この種の姿勢変換装置において
は、基板を保持する基板保持部は、基板搬送装置の保持
部と干渉しない構造とされているが、上記撓み防止装置
を備えることにより、この構造を全く損なうことなく基
板の撓みを修正防止することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る実施形態１である基板の姿勢変換
装置を示す正面図で、基板が倒伏姿勢にある状態を示し
ている。

【図２】同じく同姿勢変換装置を示す側面図で、基板が
倒伏姿勢にある状態を示している。

【図３】同姿勢変換装置を示す正面図で、基板が起立姿
勢にある状態を基板搬送装置との関係で示している。

【図４】同姿勢変換装置を示す正面図で、基板が倒伏姿
勢にある状態を移載ロボットとの関係で示している。

【図５】同姿勢変換装置における基板保持部のチャック
部を示し、図５(a) はチャック部の固定側チャック部材
を示す側面図、図５(b) はチャック部の可動側チャック
部材を示す側面図である。

【図６】同チャック部の動作状態を示す側面図で、図６
(a) はチャック部の開放状態を、図６(b) はチャック部
の閉止チャッキング状態をそれぞれ示す。

【図７】同姿勢変換装置の撓み防止装置を一部断面で示
す側面図である。

【図８】同撓み防止装置を示す平面図である。

【図９】同撓み防止装置を示す底面図である。

【図１０】同姿勢変換装置と協働する基板搬送装置を示
し、図１０(a) は正面図、図１０(b) は一部断面で示す
側面図である。

【図１１】同姿勢変換装置を備える基板ウェット処理装
置の全体構成を示す概略平面図である。

【図１２】本発明に係る実施形態２である基板の姿勢変
換装置の撓み防止装置を示す側面図である。

【図１３】本発明に係る実施形態３である基板の姿勢変
換装置の撓み防止装置を示す側面図である。

【符号の説明】

１姿勢変換装置２基板保持部３回動部５チャック部（チャック手段）６撓み防止装置１０保持部本体２０開閉部３０撓み支持部（撓み部支持手段）３１水平移動部（水平移動手段）３２垂直移動部（垂直移動手段）３５保持溝３６テーパ円柱部３７円形フランジ部３８揺動アーム３９揺動シリンダ４０揺動軸（支軸）４５昇降ブラケット（昇降部）５１接続アーム（揺動部）５５昇降シリンダ８０基板搬送装置８１移載ロボット８５姿勢変換装置９１移載ロボット１２０支持体１２１水平移動シリンダ１２３移動体（水平移動部）１３０昇降シリンダ１３１昇降ロッド（昇降部）１３５保持溝２００搬送用カセットＳＢ基板ＳＢｃ基板の撓みを生じる辺Ｍ基板保持部のチャック爪Ｍ₁，Ｍ₂ チャック爪の基板保持溝

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】矩形もしくは正方形の薄板状基板を複数
枚まとめてウェット処理する基板ウェット処理装置の搬
出位置において、ウェット処理工程を終了した基板を、
起立姿勢から倒伏姿勢に姿勢変換する姿勢変換装置に備
えられるものであって、前記倒伏姿勢にある基板の撓み部分を係合支持する撓み
部支持手段と、この撓み部支持手段を水平方向へ移動さ
せる水平移動手段と、前記撓み部支持手段を垂直方向へ
移動させる垂直移動手段とを備えてなることを特徴とす
る基板の撓み防止装置。
【請求項２】前記撓み部支持手段は、前記姿勢変換装
置の基板保持溝と同じ配列ピッチをもって上下方向へ配
設された複数の保持溝を備え、この保持溝は、基板の撓み部分の撓み量に対応した幅寸
法を備えるとともに、その溝底面が外側下方へ傾斜した
傾斜面とされていることを特徴とする請求項１に記載の
基板の撓み防止装置。
【請求項３】前記水平移動手段は、水平方向へ揺動す
る揺動アームと、この揺動アームを駆動する揺動シリン
ダとを備えてなり、前記揺動アームの先端部に前記撓み
部支持手段が取り付けられていることを特徴とする請求
項２に記載の基板の撓み防止装置。
【請求項４】前記垂直移動手段は、前記揺動アームを
昇降動作させる昇降シリンダを備えてなり、前記揺動アームの支軸は、前記昇降シリンダの昇降部に
回転可能にかつ軸方向へ固定的に支持されるとともに、
前記揺動シリンダの揺動部に回転方向に固定的にかつ軸
方向に移動可能に連結されていることを特徴とする請求
項３に記載の基板の撓み防止装置。
【請求項５】前記垂直移動手段は、前記揺動アームに
昇降可能に設けられた昇降部と、この昇降部を昇降させ
る昇降シリンダとを備えてなり、前記昇降部に、前記撓
み部支持手段が取り付けられていることを特徴とする請
求項３に記載の基板の撓み防止装置。
【請求項６】前記撓み部支持手段は、前記保持溝が上
下方向へ配設されてなる円柱棒の形態とされ、この円柱棒は、前記保持溝の底部を形成する下向き拡径
状のテーパ円柱部と、前記保持溝の下側壁部を形成する
円形フランジ部とが交互にかつ連続して形成されてなる
ことを特徴とする請求項４または５に記載の基板の撓み
防止装置。
【請求項７】前記水平移動手段は、水平方向へ直線移
動可能に設けられた水平移動部と、この水平移動部を往
復移動させる水平移動シリンダとを備え、前記垂直移動手段は、前記水平移動部に昇降可能に設け
られた昇降部と、この昇降部を昇降させる昇降シリンダ
を備え、前記昇降部に前記撓み部支持手段が取付けられているこ
とを特徴とする請求項２に記載の基板の撓み防止装置。
【請求項８】矩形もしくは正方形の薄板状基板を複数
枚まとめてウェット処理する基板ウェット処理装置の搬
出位置に設けられて、ウェット処理工程を終了した基板
を、実質的に垂直な起立姿勢から実質的に水平な倒伏姿
勢に姿勢変換するものであって、前記基板を同一姿勢で複数枚まとめて収容する基板保持
部と、この基板保持部に収容された基板が前記起立姿勢
から倒伏姿勢になるように基板保持部を回動操作する回
動部とを備えてなり、前記基板保持部は、前記各基板の周縁部表裏面を開閉可
能にチャッキング支持する複数のチャック爪を有するチ
ャック手段と、請求項１から７のいずれか一つに記載の
撓み防止装置を備えていることを特徴とする基板の姿勢
変換装置。
【請求項９】前記チャック手段のチャック爪は、前記
起立姿勢における基板出入動作時において開放状態にあ
るとともに、前記基板保持部の回動操作時において閉止
状態にあるように駆動制御され、前記撓み防止装置は、前記基板保持部に保持された基板
が倒伏姿勢にあるとき動作するように駆動制御されるこ
とを特徴とする請求項８に記載の基板の姿勢変換装置。