KR200368497Y1 - 스탠더드메커니컬인터페이스파드의커버개폐장치 - Google Patents

스탠더드메커니컬인터페이스파드의커버개폐장치 Download PDF

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Abstract

본 고안은 커버 개폐장치가 구비된 스탠드 메커니컬 인터페이스 시스템을 개시한다. 본 고안의 SMIF 시스템은 SMIF 파드(10)와, SMIF 포트(20) 및 SMIF 아암(30)을 포함하고, 파드(10)는 파드 도어(11)와, 그곳에 웨이퍼들이 정렬된 캐리어(15)와, 커버(16)를 포함한다. 커버 개폐장치는 파드 도어(11)의 외측면 둘레에는 다수의 후크(13)가 마련되고, 이에 상응하는 위치의 커버(16)의 내측면에는 다수의 후크홈(14)이 마련되며, 파드 도어(11)의 하면에는 한쌍의 걸림홈이 형성된 회전판이 마련되어, SMIF 포트(20)의 래치핀(27)과 체결되는 것에 의해서 후크(13)가 후크홈(14)에서 해제되도록 작동하여 커버(16)를 개폐하는 것으로, 커버 해제 수단의 후크(13)와 반대로 작동하도록 후크(13)가 마련되지 않은 파드 도어(11)의 외측면 둘레에 마련된 다수의 후크(41)와, 이에 상응하는 위치의 커버(16)의 내측면에 마련된 걸림턱(42)으로 구성된 커버 분리수단(40)이 제공되어, 커버 해제수단(17)의 후크(13)가 파드 도어(11)내부로 삽입될 때, 커버 분리수단(40)의 후크(41)는 상기 파드 도어(11)의 내부에서 돌출되면서 상기 커버(16)를 윗방향으로 밀어올려 파드 도어(11)와 커버(16)를 완전하게 분리하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 파드 도어가 포트 플레이트와 함께 하강하도록 함으로써 캐리어 내의 웨이퍼들이 돌출하는 것을 방지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

Description

스탠더드 메커니컬 인터페이스 파드의 커버 개폐장치{COVER OPENING AND CLOSING DEVICE OF STANDARD MECHANICAL INTERFACE POD}
본 고안은 웨이퍼 이송공정에 사용되는 스탠드 메커니컬 인터페이스(Standard Mechanical Interface, 이하, SMIF라 한다) 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 SMIF 시스템에 포함되는 SMIF 파드(Pod) 및 SMIF 포트(Port)에 관한 것이다.
SMIF란 Standard Mechanical Interface의 약자로써, 좁은 공간의 청정실 등에서의 대기 콘트롤 및 프로세스 처리시 인위적인 실수 등을 방지하기 위한 것으로, SMIF 시스템은 반도체 제조공정을 수행하는 반도체 장비의 주변장치로서 웨이퍼가 저장된 캐리어를 반도체 장비에 반송하거나 배출하는데 이용되는 것이다.
통상적으로, 반도체 제조공정실에서 웨이퍼 이동시에는 웨이퍼가 저장된 캐리어를 소위, SMIF 파드(pod)라고 하는 기밀이 유지되는 저장용기에 담아 이동한다.
도 1은 반도체 장비에 주변장치로서 장착된 SMIF 시스템의 일예를 보여주고 있다.
도시된 바와 같이, SMIF 시스템은 반도체 장비(1)의 주변장치로 장착되어 이 SMIF 파드(10)에 저장된 캐리어(도시하지 않음.)를 꺼내어 반도체 장비(1)에 공급하거나 반도체 장비로(1)부터 캐리어를 받아 SMIF 파드(10)에 저장하는 역할을 수행한다.
이를 위한 SMIF 시스템은 캐리어를 수납하기 위한 SMIF 파드(10), SMIF 파드(10)를 저장하거나 인출하기 위한 SMIF 포트(20), SMIF 파드(10)로부터 캐리어를인출하여 캐리어 이송 아암으로 이송시키기 위한 SMIF 아암(30) 등을 포함한다.
도 2는 종래 SMIF 파드 및 SMIF 아암을 도시한 것으로, SMIF 파드(10)로부터 캐리어(15)를 아래로 인출하여 캐리어 이송 아암으로 이송시키기 위한 SMIF 아암(30)의 작동이 도시되어 있다. 도 3은 종래의 SMIF 파드의 커버와 파드 도어의 커버 해제수단을 도시한 도 2 의 A-A'선 단면도이다.
도시된 바와 같이, SMIF 파드(10)는 그의 하부에 마련된 파드 도어(pod door, 11), 파드 도어(11)의 상부에 탑재된 웨이퍼들이 정렬된 캐리어(15) 및 캐리어(15)를 덮고 있는 커버(16)를 포함한다. 파드 도어(11)의 외측면 둘레에는 다수의 후크(13)가 마련되고, 이에 상응하는 위치의 커버(16) 내측면에는 다수의 후크홈(14)이 마련되며, 파드 도어(11)의 하면에는 한 쌍의 걸림홈(도시하지 않음)이 형성된 회전판(도시하지 않음)이 마련되어 후술하는 SMIF 포트(20)의 래치핀(27)과 체결되는 것에 의해 후크(13)가 후크홈(14)에서 해제되도록 작동하여 커버(16)를 개폐하는 커버 개폐장치를 구비한다.
또한, 파드 도어(11)에는 SMIF 파드(10)의 내부는 진공상태를 유지하는 것이 바람직하므로, SMIF 파드(10)의 내부에 공기 등의 주입을 방지하기 위한 고무 재질로 이루어지는 밀봉재(12)가 마련되어 있다. 밀봉재(12)는 파드 도어(11)의 각 측면을 따라 대략 사각형 형상으로 배치되어 커버(16)가 파드 도어(11)와 선택적으로 체결될 때 커버(16)와 파드 도어(11) 사이의 간격을 밀봉하는 역할을 한다.
도 2에 도시된 바와 같이, SMIF 포트(20)는 포트 플레이트(port plate, 21), "Ｌ"자 형상의 가이드 레일(22), 파드 래치(pod latch, 23) 및 포트 도어(24)를 포함한다. 포트 플레이트(21)는 SMIF 포트(20)상에 SMIF 파드(10)가 위치할 때, SMIF 파드(10)의 하면을 수평으로 유지시키기 위한 것이고, 가이드 레일(22)은 포트 플레이트(21)의 각 꼭지점을 중심으로 마련되어 SMIF 포트(20) 상의 소망하는 정위치에 SMIF 파드(10)를 안내하는 역할을 하며, 파드 래치(23)는 L자 형상의 가이드 레일(22)의 코너부에 마련되어 SMIF 파드(10)를 SMIF 포트(20) 상의 소망하는 정위치에 기계적으로 고정시키는 역할을 한다. 또한, 포트 도어(24)는 파드 도어(11)와 접촉하여 후술하는 Z축 아암(31)과 함께 수직방향으로 이송되어 파드 도어(11)상의 캐리어(15)를 운반하는 역할을 하며, 래치 핀(27)은 포트 도어(24)의 중앙부에 위치하여 SMIF 파드(10)의 커버 개폐장치를 작동한다. 즉, 파드 도어(11)의 회전판(도시하지 않음.)에 형성된 걸림홈(도시하지 않음.)과 선택적으로 체결되는 것에 의해 후크(13)를 작동시켜 파드 도어(11)를 커버(16)로부터 선택적으로 개폐시키는 역할을 한다. 도 3에 도시된 바와 같이, 커버 해제수단(17)은 후크(13)와 후크홈(14)으로 구성된다.
SMIF 아암(30)은 포트 도어(24)와 연결되어 포트 도어(24)를 상, 하 방향으로 이송시키는 역할을 하는 Z축 아암(31)을 포함한다.
이하, 캐리어(15)의 이송과정을 설명하면 다음과 같다.
우선, 웨이퍼가 정렬된 캐리어(15)가 수납된 SMIF 파드(10)가 SMIF 포트(20)의 포트 플레이트(21)상에 안착된다. 이때, SMIF 파드(10)는 SMIF 포트(20)의 가이드 레일(22)에 의해 소망하는 정위치로 안내되며, 정위치로 안내된 후에는 파드 래치(23)에 의해 기계적으로 고정된다. 이러한 상태는 포트 도어(11)의 래치 핀(27)이 파드 도어(11)의 회전판(도시하지 않음)과 체결됨에 따라 후크(13)가 후크홈(14)에 체결된 상태이다.
계속해서, SMIF 포트(20)의 파드 센서(도시하지 않음)가 SMIF 파드(10)의 위치를 체크하여 SMIF 파드(10)가 소망하는 정위치에 위치된 경우, 래치 핀(27)은 파드 도어(11)의 회전판(도시하지 않음.)을 회전시켜 파드 도어(11)를 SMIF 파드(10)의 커버(16)로부터 분리시킨다. 이러한 상태에서는 SMIF 포트(20)의 포트 플레이트(21)가 이동할 때 SMIF 파드(10)의 파드 도어(11)도 함께 이동하게 된다.
그 후, Z축 아암(31)의 슬라이딩 이송에 의해 SMIF 포트(20)의 포트 플레이트(21)와 SMIF 파드(10)의 파드 도어(11)가 동시에 아래로 이송되어 캐리어 이송아암의 픽업 위치까지 이송된다.
그러나, 종래의 구성에 있어서는 파드 도어(11)와 커버(16) 사이에 장착된 밀봉재(12)의 마찰력 때문에, SMIF 파드(10)의 커버(16)로부터 파드 도어(11) 분리시 커버(16)가 불완전하게 분리되어 파드 도어(11)가 포트 플레이트(21)와 함께 하강하지 못하며, 포트 플레이트(21)의 하강 개시후 포트 플레이트(21)와 소정 간격 이격된 상태에서 하강하게 되므로, 파드 도어(11)의 하강 충격으로 인해 그의 상부에 위치한 캐리어(15) 내의 웨이퍼들이 돌출하게 된다는 문제점이 발생하게 된다.
이와 같은 문제는 래치핀(27)에 의해 작동되는 커버 개폐장치가 커버(16) 잠금시에는 SMIF 파드(10) 내부의 진공상태 유지를 위해 후크(13)가 후크홈(14)에 삽입되면서 밀봉재(12)를 압박하도록 되어 있지만, 커버(16) 개방시에는 래치핀(27)에 의해 커버 개폐장치가 해제된 상태에서 파드 도어(11)의 자체 하중에 의해 커버(16)와 파드 도어(11)가 분리되는 구조로 되어 있기 때문이다.
즉, 파드 도어(11)가 포트 플레이트(21)와 함께 하강할 수 있도록 커버 개폐장치를 해제하더라도 커버(16)와 파드 도어(11)가 밀봉재(12)에 의해 이미 장시간 긴밀하게 밀착되어 있었기 때문에 밀착력이 잔류하여 포트 플레이트(21)의 하강 타이밍과 파드 도어(11)의 하강 타이밍이 서로 일치하지 않는 경우가 종종 발생된다.
따라서, 본 고안은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, SMIF 파드의 커버 개폐장치에 커버와 파드 도어 분리시 잠금후크의 해제뿐만 아니라 커버와 파드 도어를 완전히 분리시킬 수 있도록 별도의 분리후크를 구비하여 파드 도어가 포트 플레이트와 함께 하강하도록 함으로써 캐리어 내의 웨이퍼들이 돌출하는 것을 방지할 수 있는 스탠드 메커니컬 인터페이스 파드의 커버 개폐장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 고안은 커버 해제수단으로서 파드 도어의 외측면 둘레에 다수의 후크와, 이에 상응하는 위치의 커버의 내측면에는 다수의 후크홈이 마련되며, 상기 파드 도어의 하면에는 한쌍의 걸림홈이 형성된 회전판이 마련되어, SMIF 포트의 래치핀과 체결되는 것에 의해서 상기 후크가 상기 후크홈에서 해제되도록 작동하여 상기 커버를 개폐하는 스탠드 메커니컬 인터페이스 파드의 커버 개폐장치에 있어서, 상기 후크가 마련되지 않은 상기 파드 도어의 외측면 둘레에 마련된 다수의 후크와, 이에 상응하는 위치의 커버의 내측면에 마련된 걸림턱으로 구성된 커버 분리수단이 더 제공되어, 상기 커버 해제수단의 후크가 상기 파드 도어의 내부로 삽입될 때, 상기 커버 분리수단의 후크는 상기 파드 도어의 내부로 돌출되면서 상기 커버를 윗방향으로 밀어올려 파드 도어와 커버를 완전하게 분리하는 스탠드 메커니컬 인터페이스 파드의 커버 개폐장치이다.
본 고안의 상기 목적과 여러 가지 장점은 이 기술 분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 다음에 설명하는 고안의 바람직한 실시예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.
도 1은 반도체 장비에 장착된 SMIF 시스템의 일예를 도시한 개략 사시도,
도 2는 종래의 SMIF 파드 및 SMIF 아암의 작동을 도시한 투시 사시도,
도 3은 종래의 SMIF 파드의 커버와 파드 도어의 커버 해제수단을 도시한 도 2 의 A-A'선 단면도,
도 4는 본 발명에 따른 SMIF 파드를 사시도,
도 5는 본 고안에 따른 SMIF 파드의 커버와 파드 도어의 커버 분리수단을 도시한 도 4 의 B-B'선 단면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >
10 ; SMIF 파드 11 ; 파드 도어
12 ; 밀봉재 13 ; 후크
14 ; 후크홈 16 ; 커버
17 ; 커버 해제수단 40 ; 커버 분리수단
41 ; 후크 42 ; 걸림턱
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 일실시예를 예시하면 다음과 같다.
도 4는 본 발명에 따른 SMIF 파드를 사시도이며, 도 5는 본 고안에 따른 SMIF 파드의 커버와 파드 도어의 커버 분리수단을 도시한 도 4 의 B-B'선 단면도이며, 도 2를 참조하여 설명한다.
도시된 바와 같이, SMIF 시스템은 캐리어를 수납하기 위한 SMIF 파드(10), SMIF 파드(10)를 저장하거나 인출하기 위한 SMIF 포트(20), SMIF 파드(10)로부터 캐리어를 인출하여 캐리어 이송 아암(도시하지 않음.)으로 이송시키기 위한 SMIF 아암(30) 등을 포함한다.
SMIF 파드(10)는 그의 하부에 마련된 파드 도어(pod door, 11), 파드 도어(11)의 상부에 탑재된 웨이퍼들이 정렬된 캐리어(15) 및 캐리어(15)를 덮고 있는 커버(16) 및, 파드 도어(11)로부터 커버(16)를 분리하기 위한 커버 개폐장치를 포함한다.
본 고안에 따른 커버 개폐장치는 커버 해제수단(17), 커버 분리수단(40)으로 구성된다.
커버 해제수단(17)은 사각틀 형상의 파드 도어(11)의 길이가 긴 측면의 양단에 각각 2개씩 마련되는 후크(13)와, 이에 상응하는 위치의 커버(16) 내측면에 마련되는 후크홈(14)으로 구성된다.
커버 분리수단(40)은 파드 도어(11)의 길이가 긴 측면에 형성된 후크(13) 사이 및 길이가 짧은 측면에 각각 마련되는 후크(41)와, 이에 상응하는 위치의 커버(16) 내측면에 마련되는 걸림턱(42)으로 구성된다.
여기서, 커버 해제수단(17)의 후크(13)와 커버 분리수단(40)의 후크(41)는 작동기구(도면상 미도시됨)에 의해 반대로 작동되도록 결합된다. 즉, 커버 해제수단(17)의 후크(13)가 도 3의 실선에서 점선으로 도시된 위치로 이동되는 바와 같이, 파드 도어(11) 내부로 삽입될 때, 이와 반대로 커버 분리수단(40)의 후크(41)는 도 5의 점선에서 실선으로 도시되는 바와 같이, 파드 도어(11) 내부에서 돌출되면서 걸림홈(42)과 결합된다.
또한, 파드 도어(11)에는 SMIF 파드(10)의 내부에 공기 등의 주입을 방지하기 위한 고무 재질로 이루어지는 밀봉재(12)가 마련된다. 밀봉재(12)는 파드 도어(11)의 각 측면을 따라 대략 사각형 형상으로 배치되어 커버(16)가 파드 도어(11)와 선택적으로 체결될 때 커버(16)와 파드 도어(11) 사이의 간격을 밀봉하는 역할을 한다.
또한, SMIF 포트(20)는 포트 플레이트(port plate, 21), "Ｌ"자 형상의 가이드 레일(22), 파드 래치(pod latch, 23) 및 포트 도어(24)를 포함한다. 포트 플레이트(21)는 SMIF 포트(20)상에 SMIF 파드(10)가 위치할 때, SMIF 파드(10)의 하면을 수평으로 유지시키기 위한 것이고, 가이드 레일(22)은 포트 플레이트(21)의 각 꼭지점을 중심으로 마련되어 SMIF 포트(20) 상의 소망하는 정위치에 SMIF 파드(10)를 안내하는 역할을 하며, 파드 래치(23)는 L자 형상의 가이드 레일(22)의 코너부에 마련되어 SMIF 파드(10)를 SMIF 포트(20) 상의 소망하는 정위치에 기계적으로 고정시키는 역할을 한다. 또한, 포트 도어(24)는 파드 도어(11)와 접촉하여 후술하는 Z축 아암(31)과 함께 수직방향으로 이송되어 파드 도어(11)상의 캐리어(15)를 운반하는 역할을 하며, 래치 핀(27)은 포트 도어(24)의 중앙부에 위치하여 SMIF 파드(10)의 커버 개폐장치를 작동한다. 즉, 파드 도어(11)의 회전판(도시하지 않음.)에 형성된 걸림홈(도시하지 않음.)과 선택적으로 체결되는 것에 의해 후크(13)를 작동시켜 파드 도어(11)를 커버(16)로부터 선택적으로 개폐시키는 역할을 한다.
SMIF 아암(30)은 포트 도어(24)와 연결되어 포트 도어(24)를 상, 하 방향으로 이송시키는 역할을 하는 Z축 아암(31)을 포함한다.
이하, 본 고안에 따른 SMIF 파드(10)에 저장된 캐리어(15)의 이송과정을 설명하면 다음과 같다.
우선, 웨이퍼가 정렬된 캐리어(15)가 수납된 SMIF 파드(10)가 SMIF 포트(20)의 포트 플레이트(21)상에 안착된다. 이때, SMIF 파드(10)는 SMIF 포트(20)의 가이드 레일(22)에 의해 소망하는 정위치로 안내되며, 정위치로 안내된 후에는 파드 래치(23)에 의해 기계적으로 고정된다. 이러한 상태는 포트 도어(11)의 래치 핀(27)이 파드 도어(11)의 회전판(도시하지 않음.)에 체결된 상태이다.
계속해서, SMIF 포트(20)의 파드 센서(도시하지 않음)가 SMIF 파드(10)의 위치를 체크하여 SMIF 파드(10)가 소망하는 정위치에 위치된 경우, 래치 핀(27)이 파드 도어(11)의 회전판(도시하지 않음.)을 회전시키면 커버 해제수단(17)의 후크(13)는 후크홈(14)으로부터 이탈되어 파드 도어(11)와 커버(16)의 잠금상태를 해제하게 됨과 동시에 커버 분리수단(40)의 후크(41)는 도 5에 실선으로 도시된 바와 같이 파드 도어(11)의 내부에서 돌출되면서 걸림턱(42)을 밀어올려 파드 도어(11)와 커버(16)는 도 5에 점선으로 도시된 바와 같이 완전하게 분리되도록 한다.
즉, 파드 도어(11)와 커버(16) 사이에 장착된 밀봉재(12)의 마찰력 때문에, 파드 도어(11)의 자체 하중만으로는 분리되지 못하더라도 커버 분리수단(40)에 의해 파드 도어(11)와 커버(16) 사이를 분리시키는 가압력이 작용하여 강제로 분리된다.
따라서, 파드 도어(11)가 포트 플레이트(21)와 함께 하강할 수 있으며, 파드 도어(11) 상부에 위치한 캐리어(15) 내의 웨이퍼들이 돌출될 염려가 없다.
이상, 내용은 본 고안의 바람직한 일실시예를 단지 예시한 것으로 본 고안이 속하는 분야의 당업자는 본 고안의 요지를 변경시킴이 없이 본 고안에 대한 수정 및 변경을 가할 수 있다.
따라서, 본 고안에 따르면, SMIF 파드의 커버 개폐장치에 커버와 파드 도어 분리시 잠금후크의 해제뿐만 아니라 커버와 파드 도어를 완전히 분리시킬 수 있도록 별도의 분리후크를 구비하여 파드 도어가 포트 플레이트와 함께 하강하도록 함으로써 캐리어 내의 웨이퍼들이 돌출하는 것을 방지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

Claims (1)

  1. 커버 해제수단(17)으로서 파드 도어(11)의 외측면 둘레에 다수의 후크(13)와, 이에 상응하는 위치의 커버(16)의 내측면에는 다수의 후크홈(14)이 마련되며, 상기 파드 도어(11)의 하면에는 한쌍의 걸림홈이 형성된 회전판이 마련되어, SMIF 포트(20)의 래치핀(27)과 체결되는 것에 의해서 상기 후크(13)가 상기 후크홈(14)에서 해제되도록 작동하여 상기 커버를 개폐하는 스탠드 메커니컬 인터페이스 파드의 커버 개폐장치에 있어서,
    상기 후크(13)가 마련되지 않은 상기 파드 도어(11)의 외측면 둘레에 마련된 다수의 후크(41)와, 이에 상응하는 위치의 커버(16)의 내측면에 마련된 걸림턱(42)으로 구성된 커버 분리수단(40)이 더 제공되어,
    상기 커버 해제수단(17)의 후크(13)가 상기 파드 도어(11)의 내부로 삽입될 때, 상기 커버 분리수단(40)의 후크(41)는 상기 파드 도어(11)의 내부에서 돌출되면서 상기 커버(16)를 윗방향으로 밀어올려 파드 도어(11)와 커버(16)를 완전하게 분리하는 스탠드 메커니컬 인터페이스 파드의 커버 개폐장치.
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